
Kritik Proses Ortamları için Gelişmiş Performanslı Yarı İletken Kuvars Cam
Zorlu yarı iletken uygulamaları için tasarlanan TOQUARTZ®, benzersiz güvenilirlik ve özelleştirme esnekliği ile gelişmiş performanslı kuvars bileşenler sunar.
- Kritik süreçler için tasarlandı
- Tutarlı boyutsal doğruluk
- MOQ dostu özel siparişler
Yarı İletken Kuvars Cam Nedir?
Yarı İletken Kuvars Cam yarı iletken üretim süreçleri için özel olarak tasarlanmış yüksek saflıkta kuvars bileşenleri ifade eder. Bu özel kuvars parçalar, 99,995%'ye kadar saflık seviyelerine sahip ultra saf silikon dioksitten (SiO₂) üretilmiştir ve kritik yarı iletken üretim ortamları için gerekli olan olağanüstü termal stabilite, kimyasal direnç ve boyutsal hassasiyet sağlar.
Yarı İletken Sınıf Kuvars Camın Temel Özellikleri
Yarı iletken sınıfı kuvars cam, gofret işleme, ısıl işlem ve kimyasal maruziyetin aşırı taleplerini karşılamak üzere tasarlanmıştır.
Saflık, kararlılık ve dayanıklılığın benzersiz kombinasyonu, yüksek hassasiyetli yarı iletken ortamlarda tutarlı performans sağlar.
Termal Kararlılık
Yarı iletken proseslerdeki aşırı sıcaklıklara dayanır.
- Maksimum sıcaklık: 1600°C+
- Termal şok direnci: Mükemmel
- Genleşme katsayısı: 5,5×10-⁷ /°C
- Hızlı ısıtma döngülerinde kararlı

Kimyasal Direnç
Asitlere, bazlara ve reaktif gazlara karşı dayanıklıdır.
- HF, HCl, H₂SO₄ dirençli
- Alkali korozyonu: <0.01% loss
- Flor gazları ile uyumludur
- Erimiş tuzlarla reaksiyon yok

Elektrik İzolasyonu
Yüksek dielektrik dayanım ve direnç sağlar.
- Dirençlilik: >10⁷ Ω-cm
- Dielektrik dayanımı: 40 kV/mm
- Düşük dielektrik kayıp faktörü
- Plazma ortamları için ideal

Sunduğumuz Yarı İletken Kuvars Cam Ürün Yelpazeleri
TOQUARTZ'ın tüm ürün yelpazesini keşfedin yarı iletken kuvars cam bileşenler yüksek performanslı gofret işleme, ısıl işlem ve kimyasal işleme için tasarlanmıştır.
Difüzyon ve LPCVD'de kullanılan TOQUARTZ® kuvars tüpler, yarı iletken fırınlarda termal stabilite ve hassas uyum sağlar.
Gofret tekneleri ve tutucular, yüksek sıcaklıkta işleme sırasında istikrarlı ve doğru gofret desteği sağlar.
Mükemmel termal ve kimyasal dirence sahip silikon eritme için yüksek saflıkta yarı iletken kuvars potalar.
Kritik yarı iletken uygulamaları için aşındırma halkaları ve kaynak şişeleri gibi özel yarı iletken kuvars parçalar.
Yarı İletken Üretimindeki Uygulamalar
Yarı iletken kuvars cam bileşenler wafer üretiminden son testlere kadar yarı iletken üretim süreci boyunca kritik roller oynar. Hassas mühendislik ürünü kuvars ürünlerimiz, en zorlu yarı iletken ortamlarındaki çeşitli uygulamaları destekler.
Isıl İşlem Uygulamaları
Yarı iletken kuvars parçalar dahil olmak üzere silikon gofretlerin yüksek sıcaklıkta işlenmesinde gereklidir:
- Büyük çaplı kuvars tüplerin kullanıldığı oksidasyon işlemleri
- Yüksek saflıkta kuvars tüplerin kullanıldığı difüzyon işlemleri
- Kuvars fırın kapıları kullanan tavlama işlemleri
- Kuvars potalar kullanarak silikon kristal büyütme

Wafer İşleme Uygulamaları
TOQUARTZ® kuvars gofret taşıyıcıları ve süreç bileşenleri kritik gofret taşıma ve işleme için tasarlanmıştır:

Kimyasal Buhar Biriktirme
Erimiş silika bileşenler yarı iletken üretiminde ince filmlerin kontrollü biriktirilmesi için kritik öneme sahiptir:
- Kuvars proses tüpleri kullanan reaksiyon odaları
- Özel kuvars imalatı kullanan gaz akış bileşenleri

Araştırma & Geliştirme
Yarı iletken için kuvars özel parçalar araştırma, gelişmiş süreç geliştirme ve test etme olanağı sağlar:
- Özel kuvars parçalarla süreç geliştirme
- Özel kuvars bileşenleri kullanılarak küçük parti testleri

Özel Yarı İletken Kuvars Cam Çözümleri
İhtiyaçlarınıza Göre Uyarlandı
TOQUARTZ® yaratma konusunda uzmanlaşmıştır yarı iletken kuvars cam teknik özelliklerinize tam olarak uyan bileşenler. Mühendislik ekibimiz, tasarımdan teslimata kadar kapsamlı destek sağlayarak benzersiz gereksinimleriniz için en uygun çözümleri sunar.
Mühendislik Desteği
TOQUARTZ® deneyimli mühendisleri, kritik özellikleri korurken tasarımları üretilebilirlik açısından optimize etmek için ekibinizle işbirliği yapar. Malzeme seçimi, boyutsal ayarlamalar ve proses uyumluluğu konularında yardımcı olabiliriz.
Hızlı Prototipleme
1-2 hafta gibi kısa bir sürede numune teslimatı ile prototiplerin ve küçük parti siparişlerin hızlı geri dönüşü konusunda uzmanız. Bu, tam üretimden önce özel kuvars bileşenlerini test etmenize ve doğrulamanıza olanak tanır.
Esnek Üretim
TOQUARTZ® hem küçük özel siparişleri hem de büyük üretim çalışmalarını kabul eder. Esnek üretim kabiliyetlerimiz, kısıtlayıcı MOQ'lar dayatmadan özel hacim gereksinimlerinizi karşılamamıza olanak tanır.

Çizimden Teslimata
Çizim ve Şartname
Teknik çizimlerinizi veya numunelerinizi bize gönderin. CAD dosyaları, PDF'ler ve hatta boyutları içeren el çizimleri dahil olmak üzere çeşitli formatları kabul ediyoruz.
Teknik Danışmanlık
Mühendislerimiz gereksinimlerinizi gözden geçirir ve fizibilite, malzeme seçimi ve olası optimizasyonlar hakkında geri bildirim sağlar.
Fiyat Teklifi ve Prototip
Fiyatlandırma ve zaman çizelgesiyle birlikte ayrıntılı bir teklif alın. Onaylandıktan sonra, tam üretimden önce doğrulama için bir prototip üretiyoruz.
Üretim ve Teslimat
Onay alındıktan sonra, güvenli paketleme ve uluslararası sevkiyattan önce kapsamlı kalite kontrol ile tam üretimi tamamlıyoruz.
TOQUARTZ® Yarı İletken Kuvars Cam Güvencesi
Bizim yarı iletken kuvars cam bileşenler, endüstri standartlarını karşılayan veya aşan olağanüstü performans özellikleri sunarak en zorlu yarı iletken ortamlarda güvenilir çalışma sağlar.
TOQUARTZ® Endüstri Standartlarına Karşı
Mülkiyet | Endüstri Standardı | TOQUARTZ® Performans | Fayda |
SiO₂ Saflık | 99.90% | 99,995%'ye kadar | Hassas yarı iletken prosesler için minimum kontaminasyon riski |
Sıcaklık Dayanımı | 1100-1300°C | 1600°C+'ye kadar | En zorlu yüksek sıcaklık uygulamaları için uygundur |
Boyutsal Tolerans | ±0,2 mm | ±0,1 mm standart | Hassas ekipmanlarda daha iyi uyum ve işlevsellik |
Yüzey Pürüzlülüğü | Ra ≤ 1,2μm | Ra ≤ 0,8μm | Daha iyi proses kontrolü ve daha az partikül oluşumu için daha pürüzsüz yüzeyler |
Teslim Süresi (Özel) | 6-8 hafta | 2-3 hafta | Daha hızlı ekipman kurulumu ve daha az üretim kesintisi |
Kalite Sertifikaları & Standartları
ISO 9001 Sertifikası
TOQUARTZ® üretim süreçleri ISO 9001 kalite yönetim standartlarına uygun olup, tutarlı ürün kalitesi ve müşteri memnuniyeti sağlar. Bu sertifika, aşağıdakilere olan bağlılığımızı göstermektedir:
- Sıkı kalite kontrol prosedürleri
- Sürekli süreç iyileştirme
- Müşteri odaklı yönetim sistemleri
- Kapsamlı dokümantasyon ve izlenebilirlik

REACH Uyumluluğu
TOQUARTZ® yarı iletken kuvars ürünleri, Avrupa Birliği'nin REACH yönetmeliklerine (Kimyasalların Kaydı, Değerlendirilmesi, İzni ve Kısıtlanması) uygundur:
- Çok yüksek önem arz eden maddelerden (SVHC'ler) arınmışlık
- Tedarik zinciri boyunca güvenli elleçleme
- Çevreye duyarlı üretim
- Mevzuata uygunluk için dokümantasyon

RoHS Uyumluluğu
TOQUARTZ® ürünleri, elektronik ve elektrikli ekipmanlarda belirli tehlikeli maddelerin kullanımını kısıtlayan RoHS (Tehlikeli Maddelerin Kısıtlanması) gerekliliklerini karşılamaktadır:
- Kurşun, cıva, kadmiyum ve diğer kısıtlanmış maddeler içermez
- Çevre dostu üretim süreçleri
- Belgeler talep üzerine temin edilebilir
- Küresel elektronik tedarik zincirleri ile uyumlu

Yarı İletken Kuvars Cam Hakkında SSS
S: Yarı iletken sınıfı kuvars cam bileşenlerin maksimum çalışma sıcaklığı nedir?
C: TOQUARTZ® Yarı iletken kuvars 1100°C'ye kadar sürekli sıcaklıklara ve 1600°C'ye kadar aralıklı maruziyete dayanabilir, bu da onu difüzyon ve oksidasyon işlemleri için ideal hale getirir.
S: Kuvars saflığı yarı iletken üretim performansını nasıl etkiler?
C: Daha yüksek SiO₂ saflığı (≥99,995%) kontaminasyon riskini azaltır, kimyasal direnci artırır ve ultra temiz yarı iletken ortamlarla uyumluluk sağlar.
S: Yarı iletken aletlerde kullanılan kuvars parçalar için hangi yüzey işlemleri mevcuttur?
C: Ateşle parlatma, mekanik taşlama, kumlama ve kimyasal aşındırma sunuyoruz. Gerilme ve kirlenmeyi azaltmak için tavlama ve ultrasonik temizleme de mevcuttur.
S: TOQUARTZ ürünleri LPCVD ve PECVD sistemleri ile uyumlu mudur?
C: Kesinlikle. Kuvars tüplerimiz, gofret teknelerimiz ve kaynak şişelerimiz, silikon nitrür, polisilikon ve oksit biriktirme için LPCVD / PECVD sistemlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
S: TOQUARTZ, müşteri çizimlerine göre özel yarı iletken kuvars cam parçaları üretebilir mi?
C: Evet, karmaşık geometriler ve çok parçalı montajlar da dahil olmak üzere CAD çizimlerinden, 2D eskizlerden veya fiziksel numunelerden tam özel üretimi destekliyoruz.
S: TOQUARTZ yarı iletken kuvars cam bileşenlerinde kalite ve tutarlılığı nasıl sağlıyor?
C: ISO 9001 standartlarını takip ediyor, boyutsal denetimler, malzeme saflık testleri gerçekleştiriyor ve COA, COC ve boyutsal raporlar dahil olmak üzere eksiksiz belgeler sağlıyoruz.