Кварцевое стекло для полупроводников с улучшенными характеристиками для критических технологических сред
Созданные для сложных полупроводниковых приложений, TOQUARTZ® обеспечивает передовые кварцевые компоненты с непревзойденной надежностью и гибкостью в настройке.
- Создан для критически важных процессов
- Постоянная точность размеров
- MOQ-дружественные пользовательские заказы
Что такое полупроводниковое кварцевое стекло?
Полупроводниковое кварцевое стекло относится к кварцевым компонентам высокой чистоты, специально разработанным для процессов производства полупроводников. Эти специализированные кварцевые детали изготавливаются из сверхчистого диоксида кремния (SiO₂) с уровнем чистоты до 99,995%, обеспечивая исключительную термическую стабильность, химическую стойкость и точность размеров, необходимые для критических условий производства полупроводников.
Основные свойства кварцевого стекла полупроводникового класса
Кварцевое стекло полупроводникового класса разработано с учетом экстремальных требований к обработке полупроводниковых пластин, термической обработке и химическому воздействию.
Уникальное сочетание чистоты, стабильности и долговечности обеспечивает стабильную работу в высокоточных полупроводниковых средах.
Термическая стабильность
Выдерживает экстремальные температуры в полупроводниковых процессах.
- Максимальная температура: 1600°C+
- Устойчивость к тепловым ударам: Отлично
- Коэффициент расширения: 5,5×10-⁷ /°C
- Стабильность в циклах быстрого нагрева
Химическая стойкость
Устойчив к воздействию кислот, щелочей и реактивных газов.
- HF, HCl, H₂SO₄ устойчивы
- Щелочная коррозия: <0.01% loss
- Совместимость с фторсодержащими газами
- Не реагирует с расплавленными солями
Электрическая изоляция
Обеспечивает высокую диэлектрическую прочность и удельное сопротивление.
- Удельное сопротивление: >10⁷ Ω-см
- Диэлектрическая прочность: 40 кВ/мм
- Низкий коэффициент диэлектрических потерь
- Идеально подходит для плазменных сред
Ассортимент предлагаемых нами полупроводниковых кварцевых стекол
Ознакомьтесь с полным ассортиментом TOQUARTZ компоненты из полупроводникового кварцевого стекла разработаны для высокопроизводительной обработки пластин, термической обработки и химической обработки.
Используемые в диффузии и LPCVD, кварцевые трубки TOQUARTZ® обеспечивают термическую стабильность и точную посадку в полупроводниковых печах.
Лодочки и держатели для пластин обеспечивают стабильную и точную поддержку пластин при высокотемпературной обработке.
Высокочистые полупроводниковые кварцевые тигли для плавки кремния с отличной термической и химической стойкостью.
Изготовленные на заказ полупроводниковые кварцевые детали, такие как кольца для травления и бутылки с источником, для критически важных полупроводниковых приложений.
Применение в производстве полупроводников
Компоненты из полупроводникового кварцевого стекла играют важнейшую роль в процессе производства полупроводников, от изготовления пластин до финального тестирования. Наши прецизионные кварцевые изделия поддерживают различные применения в самых сложных условиях полупроводниковой промышленности.
Применение термической обработки
Полупроводниковый кварц запчасти необходимы для высокотемпературной обработки кремниевых пластин, в том числе:
- Процессы окисления с использованием кварцевых трубок большого диаметра
- Диффузионные процессы с использованием кварцевых трубок высокой чистоты
- Процессы отжига с использованием дверей кварцевых печей
- Выращивание кристаллов кремния в кварцевых тиглях
Применение для обработки пластин
TOQUARTZ® носители кварцевых пластин и компоненты процесса разработаны для критически важной обработки и перемещения пластин:
Химическое осаждение из паровой фазы
Компоненты из плавленого кварца имеют решающее значение для контролируемого осаждения тонких пленок в производстве полупроводников:
- Реакционные камеры с использованием кварцевых технологических трубок
- Компоненты газового потока с использованием кварцевого производства
Исследования и разработки
Кварцевые детали для полупроводников Исследования позволяют разрабатывать и тестировать передовые процессы:
- Разработка технологических процессов с использованием нестандартных кварцевых деталей
- Мелкосерийное тестирование с использованием специализированных кварцевых компонентов
Кварцевое стекло для полупроводниковых приборов
Индивидуальный подход к вашим потребностям
TOQUARTZ® специализируется на создании полупроводниковое кварцевое стекло компоненты, точно соответствующие вашим техническим требованиям. Наша команда инженеров обеспечивает всестороннюю поддержку от проектирования до поставки, гарантируя оптимальные решения для ваших уникальных требований.
Инженерная поддержка
Опытные инженеры TOQUARTZ® сотрудничают с вашей командой, чтобы оптимизировать конструкцию для производства, сохраняя при этом важные технические характеристики. Мы можем помочь с выбором материала, корректировкой размеров и совместимостью процессов.
Быстрое прототипирование
Мы специализируемся на быстром изготовлении прототипов и мелкосерийных заказов, поставляя образцы всего за 1-2 недели. Это позволит вам протестировать и проверить заказные кварцевые компоненты до начала производства.
Гибкое производство
TOQUARTZ® принимает как небольшие индивидуальные заказы, так и крупные партии продукции. Наши гибкие производственные возможности позволяют нам удовлетворить ваши специфические требования к объему продукции, не устанавливая ограничительные MOQ.
От рисунка до доставки
Чертежи и спецификации
Присылайте нам свои технические чертежи или образцы. Мы принимаем различные форматы, включая файлы CAD, PDF или даже эскизы от руки с размерами.
Техническая консультация
Наши инженеры изучат ваши требования и дадут рекомендации по выполнимости, выбору материалов и возможной оптимизации.
Котировка и прототип
Получите подробное коммерческое предложение с указанием цены и сроков. После утверждения мы изготовим прототип для проверки перед полным производством.
Производство и доставка
После утверждения мы полностью завершаем производство и проводим всесторонний контроль качества перед надежной упаковкой и международной отправкой.
Гарантия на полупроводниковое кварцевое стекло TOQUARTZ®
Наш сайт полупроводниковое кварцевое стекло Компоненты обладают исключительными эксплуатационными характеристиками, которые соответствуют или превосходят отраслевые стандарты, обеспечивая надежную работу в самых сложных полупроводниковых средах.
TOQUARTZ® в сравнении с промышленными стандартами
| Недвижимость | Отраслевой стандарт | Производительность TOQUARTZ® | Выгода |
| SiO₂ Чистота | 99.90% | До 99.995% | Минимальный риск загрязнения для чувствительных полупроводниковых процессов |
| Температурная стойкость | 1100-1300°C | До 1600°C+ | Подходит для самых требовательных высокотемпературных применений |
| Допуск на размеры | ±0,2 мм | ±0,1 мм стандарт | Улучшенная посадка и функциональность в прецизионном оборудовании |
| Шероховатость поверхности | Ra ≤ 1,2 мкм | Ra ≤ 0,8 мкм | Более гладкие поверхности для лучшего контроля процесса и уменьшения образования частиц |
| Время выполнения заказа (под заказ) | 6-8 недель | 2-3 недели | Ускоренная настройка оборудования и сокращение времени простоя производства |
Сертификаты и стандарты качества
Сертификация ISO 9001
Производственные процессы TOQUARTZ® соответствуют стандартам управления качеством ISO 9001, что обеспечивает стабильное качество продукции и удовлетворенность клиентов. Эта сертификация демонстрирует нашу приверженность:
- Строгие процедуры контроля качества
- Непрерывное совершенствование процессов
- Системы управления, ориентированные на клиента
- Всеобъемлющая документация и возможность отслеживания
Соответствие требованиям REACH
Полупроводниковые кварцевые изделия TOQUARTZ® соответствуют нормам Европейского союза REACH (регистрация, оценка, разрешение и ограничение химических веществ), что гарантирует:
- Свобода от веществ, вызывающих серьезные опасения (SVHC)
- Безопасное обращение на протяжении всей цепочки поставок
- Экологически ответственное производство
- Документация для соблюдения нормативных требований
Соответствие RoHS
Продукция TOQUARTZ® соответствует требованиям RoHS (Restriction of Hazardous Substances), которые ограничивают использование определенных опасных материалов в электронном и электрическом оборудовании:
- Не содержит свинца, ртути, кадмия и других запрещенных веществ
- Экологически безопасные производственные процессы
- Документация предоставляется по запросу
- Совместимость с глобальными цепочками поставок электроники
Часто задаваемые вопросы о кварцевом стекле для полупроводников
Вопрос: Какова максимальная рабочая температура компонентов из кварцевого стекла полупроводникового класса?
О: Полупроводниковый кварц TOQUARTZ® выдерживает постоянную температуру до 1100°C и периодическое воздействие до 1600°C, что делает его идеальным для диффузионных и окислительных процессов.
Вопрос: Как чистота кварца влияет на производительность производства полупроводников?
О: Более высокая чистота SiO₂ (≥99,995%) снижает риск загрязнения, повышает химическую стойкость и обеспечивает совместимость с ультрачистыми полупроводниковыми средами.
Вопрос: Какие виды обработки поверхности доступны для кварцевых деталей, используемых в полупроводниковых инструментах?
О: Мы предлагаем огневую полировку, механическую шлифовку, пескоструйную обработку и химическое травление. Также доступны отжиг и ультразвуковая очистка для снижения напряжения и загрязнения.
В: Совместимы ли продукты TOQUARTZ с системами LPCVD и PECVD?
О: Безусловно. Наши кварцевые трубки, лодочки для пластин и бутылки для источников широко используются в системах LPCVD/PECVD для осаждения нитрида кремния, поликремния и оксидов.
Вопрос: Может ли компания TOQUARTZ изготавливать нестандартные детали из полупроводникового кварцевого стекла по чертежам заказчика?
О: Да, мы поддерживаем полное изготовление на заказ по чертежам CAD, 2D-эскизам или физическим образцам, включая сложные геометрические формы и сборки из нескольких частей.
Вопрос: Как компания TOQUARTZ обеспечивает качество и стабильность компонентов из полупроводникового кварцевого стекла?
О: Мы следуем стандартам ISO 9001, проводим проверки размеров, тестируем чистоту материала и предоставляем полную документацию, включая COA, COC и отчеты о размерах.
Русский 
English 
العربية 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe