Les tolérances de précision sur l'épaisseur des plaques de quartz jouent un rôle essentiel dans les secteurs de la technologie de pointe. De nombreuses applications dépendent des qualités uniques des plaques de quartz, telles que leur faible coefficient de dilatation thermique et leur grande pureté. Ces caractéristiques contribuent à maintenir la fiabilité et la précision dans des environnements exigeants. Les applications de tolérance de précision des plaques de quartz comprennent les instruments optiques, les systèmes laser, la fabrication de semi-conducteurs et l'équipement médical.
La plaque de quartz résiste aux chocs thermiques et offre une clarté optique supérieure dans une large gamme de longueurs d'onde, ce qui la rend essentielle pour une transmission d'images de haute qualité et une production sans contamination.
Domaine d'application | Tolérance d'épaisseur typique |
|---|---|
Plaque de quartz carrée | 2mm à 10mm |
Plaque de quartz rectangulaire | 2mm à 15mm |
Instruments optiques | 2mm à 10mm |
Matériel médical | 2mm à 10mm |
Instruments de précision | 1mm à 10mm |
Équipements électroniques | Jusqu'à 15 mm |
Plaque de quartz La précision a une incidence directe sur les performances, la fiabilité et la qualité de ces systèmes.
Principaux enseignements
La précision des tolérances d'épaisseur des plaques de quartz est cruciale pour des applications telles que la fabrication de semi-conducteurs, les instruments optiques et les équipements médicaux.
Un contrôle strict de l'épaisseur permet d'éviter les défauts et de garantir des performances constantes dans les systèmes de haute technologie, améliorant ainsi la fiabilité et l'efficacité.
Les ingénieurs doivent tenir compte des exigences spécifiques de chaque application, telles que la stabilité de la température et la clarté optique, lors de la sélection des plaques de quartz.
Les tolérances d'épaisseur personnalisées peuvent améliorer de manière significative la précision des mesures et la qualité des données dans le cadre de la recherche et des laboratoires.
La consultation des fournisseurs et l'évaluation du coût total de possession permettent d'obtenir les meilleurs résultats lors de la sélection des plaques de quartz pour les applications avancées.
Pourquoi les applications de traitement des plaquettes de semi-conducteurs nécessitent-elles un contrôle de l'épaisseur de ±0,03-0,05 mm ?
La fabrication de semi-conducteurs repose sur des applications de tolérance de précision des plaques de quartz afin d'obtenir des performances constantes des dispositifs. L'épaisseur de la plaque de quartz influe sur le contrôle de la température, les réactions chimiques et la qualité des plaquettes dans ces systèmes. Les ingénieurs utilisent des tolérances strictes pour maintenir la fiabilité et l'efficacité des processus de semi-conducteurs avancés.
Calculs de l'uniformité de la masse thermique pour les composants en quartz des réacteurs CVD
L'épaisseur de la plaque de quartz joue un rôle essentiel dans le contrôle de la masse thermique pendant la période d'utilisation. dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Une masse thermique uniforme garantit que la température reste stable dans toutes les zones du réacteur, ce qui est essentiel pour produire des semi-conducteurs de haute qualité. Les variations de l'épaisseur de la plaque de quartz peuvent provoquer un chauffage inégal, ce qui entraîne des défauts dans les couches de la plaquette.
Les ingénieurs calculent la masse thermique à l'aide de la formule suivante :
Masse thermique = Densité × Volume × Capacité thermique spécifique
Même un petit écart dans l'épaisseur du quartz peut déplacer la masse thermique et affecter les gradients de température.
Points clés :
Masse thermique uniforme permet d'obtenir des profils de température stables.
Contrôle strict de l'épaisseur évite les points chauds et les zones froides.
Chauffage constant améliore le rendement des plaquettes et la fiabilité des dispositifs.
Les applications de tolérance de précision des plaques de quartz dans les réacteurs CVD permettent de maintenir la stabilité du processus et la qualité du produit.
Comment les variations d'épaisseur affectent les profils de diffusion des dopants dans les tranches de silicium
L'épaisseur de la plaque de quartz influence la façon dont les dopants se répandent dans les tranches de silicium pendant le traitement à haute température. Lorsque l'épaisseur du quartz varie, la distribution de la température change, ce qui modifie la vitesse et la profondeur de la diffusion des dopants. Il peut en résulter des propriétés électriques incohérentes sur l'ensemble de la plaquette.
Paramètres | Spécifications |
|---|---|
Variation de l'épaisseur | <10μm pour les plaquettes de qualité recherche |
Tolérance de diamètre | ±0,1mm à ±0,5mm |
Planéité (GBIR) | 1-10μm |
Précision de l'orientation | ±0,5° à ±0,1° |
Le contrôle précis de l'épaisseur des plaques de quartz permet d'obtenir des profils de dopage uniformes, ce qui est essentiel pour produire des dispositifs semi-conducteurs fiables.
Spécifications relatives au gradient de température pour la fabrication de semi-conducteurs à nœuds avancés (<7nm)
Les applications de semi-conducteurs avancés, telles que celles inférieures à 7 nm, exigent des spécifications extrêmement strictes en matière de gradient de température. La plaque de quartz doit maintenir son épaisseur à ±0,03-0,05 mm pour éviter les variations thermiques indésirables. Ces systèmes utilisent des capteurs laser et optiques pour contrôler la température et garantir l'uniformité.
Résumé des points clés :
Tolérance d'épaisseur serrée maintient les gradients de température dans des limites sûres.
Surveillance laser détecte les petites variations d'épaisseur de la plaque de quartz.
Température uniforme soutient la fabrication à haut rendement de nœuds avancés.
Les applications de tolérance de précision des plaques de quartz permettent de produire des semi-conducteurs de nouvelle génération avec des performances constantes.
Quelles sont les applications d'interférométrie optique qui nécessitent des tolérances d'épaisseur de ±0,005-0,010 mm ?
Interférométrie optique exigent un contrôle extrêmement précis de l'épaisseur de la plaque de quartz. Ces applications s'appuient sur les tolérances de précision des plaques de quartz pour obtenir des mesures précises et des modèles d'interférence clairs. Les ingénieurs utilisent des plaques de quartz dans les systèmes interférométriques pour maintenir la qualité du front d'onde et minimiser les erreurs.
Budgets d'erreur de front d'onde transmis et allocation de la tolérance d'épaisseur
L'épaisseur de la plaque de quartz affecte directement l'erreur du front d'onde transmis en interférométrie optique. De petits écarts d'épaisseur peuvent entraîner des déphasages, ce qui réduit la clarté des franges d'interférence et diminue la précision des mesures. Les ingénieurs attribuent des tolérances d'épaisseur strictes pour maintenir les erreurs de front d'onde dans le budget requis, souvent entre λ/4 et λ/10 à 632,8 nm, ce qui équivaut à 39,5-158 nm.
Les applications de tolérance de précision des plaques de quartz permettent de maintenir l'intégrité des mesures optiques. Les systèmes utilisent des outils de métrologie avancés pour mesurer simultanément l'épaisseur, le parallélisme et la planéité. Le module de mesure FTP évalue ces paramètres pour assurer le contrôle de la qualité des composants optiques et de la mécanique de précision.
L'attribution précise de l'épaisseur permet une imagerie à haute résolution et des mesures de phase fiables.
Points clés :
Contrôle strict de l'épaisseur maintient les erreurs de front d'onde en dessous des seuils critiques.
Mesures simultanées de la planéité, de l'épaisseur et du parallélisme améliore la qualité.
Des fronts d'onde cohérents permettent une analyse optique précise.
Sensibilité à la différence de chemin optique (OPD) dans différentes régions de longueur d'onde (UV, Vis, IR)
Les plaques de quartz jouent un rôle essentiel dans le contrôle de la différence de chemin optique (OPD) dans les domaines de l'ultraviolet, du visible et de l'infrarouge. La sensibilité à l'OPD augmente à mesure que la longueur d'onde diminue, ce qui rend les tolérances d'épaisseur plus critiques pour les applications UV. Par exemple, une variation d'épaisseur de 0,01 mm peut entraîner un déphasage de plus de 15% dans la région UV, ce qui a un impact sur la précision des mesures.
Les ingénieurs sélectionnent des plaques de quartz avec des tolérances d'épaisseur serrées pour minimiser les erreurs d'OPD. Les systèmes laser et les configurations de résonateurs nécessitent un OPD stable pour maintenir la cohérence du faisceau et réduire le bruit. Les données montrent que le maintien de l'épaisseur à ±0,005-0,010 mm permet de maintenir les variations de l'OPD en dessous de 5% pour la plupart des longueurs d'onde optiques.
Région de longueur d'onde | Sensibilité de l'OPD | Tolérance d'épaisseur recommandée | Impact sur la mesure |
|---|---|---|---|
UV (<400nm) | Haut | ±0,005 mm | Essentiel pour la précision de la phase |
Visible (400-700nm) | Moyen | ±0,008 mm | Important pour la clarté de l'image |
IR (>700nm) | Faible | ±0,010mm | Maintien de la stabilité de la ligne de base |
L'interférométrie laser et l'analyse optique dépendent de ces spécifications pour fournir des résultats fiables.
Spécifications combinées : épaisseur, parallélisme et planéité pour les applications interférométriques
Les applications interférométriques exigent que les plaques de quartz répondent à des spécifications combinées d'épaisseur, de parallélisme et de planéité. Les plaques optiques servent de surfaces de référence pour générer des franges d'interférence et évaluer la qualité des plaques de quartz. Le module de mesure FTP évalue les trois paramètres simultanément, ce qui est crucial pour le contrôle de la qualité dans les systèmes optiques et mécaniques.
La plaque de quartz doit conserver une épaisseur de ±0,005-0,010 mm, un parallélisme inférieur à 10 secondes d'arc et une planéité inférieure à 0,2μm pour garantir des mesures précises. Ces spécifications combinées permettent d'éviter les distorsions dans les faisceaux laser et les lentilles, ce qui favorise les analyses de haute précision. Les ingénieurs utilisent ces normes dans l'horlogerie, la conception de résonateurs optiques et la recherche avancée.
Le respect des spécifications combinées garantit des performances fiables dans les applications optiques exigeantes.
Points clés :
Contrôle simultané de l'épaisseur, du parallélisme et de la planéité garantit la précision des mesures.
Surfaces de référence tels que les plats optiques permettent de valider la qualité des composants.
Contrôle de la qualité prend en charge les systèmes laser et optiques à haute performance.
Comment les systèmes laser de haute puissance définissent-ils les exigences en matière d'uniformité de l'épaisseur ?
Les applications laser de haute puissance exigent un contrôle exceptionnel de l'épaisseur de la plaque de quartz afin de garantir un fonctionnement sûr et fiable. Les ingénieurs comptent sur les plaques de quartz dans la technologie laser parce que ces matériaux offrent une transmittance élevée, une forte résistance à la corrosion et une résistance aux températures élevées. L'uniformité de l'épaisseur de la plaque de quartz a un impact direct sur les performances des principaux composants des lasers, notamment les lentilles de résonateur laser et les lentilles de focalisation laser.
Birefringence induite par la contrainte due à la non-uniformité de l'épaisseur dans les faisceaux de haute puissance
L'uniformité de l'épaisseur des plaques de quartz joue un rôle crucial dans la réduction de la biréfringence induite par les contraintes dans les faisceaux laser de haute puissance. Lorsque l'épaisseur d'une plaque de quartz varie, les contraintes mécaniques se concentrent dans certaines régions, ce qui entraîne une modification des propriétés optiques du quartz. Cet effet peut fausser l'état de polarisation du laser, réduisant ainsi l'efficacité de la transmission et la qualité du faisceau.
Les ingénieurs mesurent la biréfringence à l'aide de la polarimétrie et constatent souvent qu'un écart d'épaisseur de seulement 0,008 mm peut augmenter la biréfringence jusqu'à 25% dans les systèmes de focalisation laser à haute puissance. Les données relatives aux systèmes industriels de transmission et de mise en forme laser montrent que le maintien de l'uniformité de l'épaisseur à ±0,005 mm permet de maintenir la biréfringence en dessous de 0,002, ce qui est essentiel pour un fonctionnement stable du laser.
Points clés :
Epaisseur uniforme réduit les tensions et les distorsions optiques.
Faible biréfringence permet une transmission élevée et une polarisation stable du faisceau.
Tolérance de précision dans une plaque de quartz garantit des performances fiables dans les applications laser de haute puissance.
Corrélation entre les effets de lentille thermique et la dégradation de la qualité du faisceau (facteur M²)
La lentille thermique se produit lorsque des faisceaux laser de haute puissance chauffent des plaques de quartz de manière inégale, provoquant des changements d'indice de réfraction qui agissent comme une lentille. L'épaisseur de la plaque de quartz influe directement sur l'ampleur du phénomène de lentille thermique, qui peut dégrader la qualité du faisceau mesurée par le facteur M². Une région plus épaisse absorbe plus d'énergie, ce qui entraîne une lentille plus forte et une réduction de la précision de la mise au point.
Des études montrent que dans les systèmes de résonateurs laser, une variation d'épaisseur de 0,006 mm peut augmenter le facteur M² de 0,3, ce qui se traduit par une baisse de 15% de la précision de focalisation du faisceau. Les ingénieurs utilisent des plaques de quartz dont la variation totale d'épaisseur (TTV) est inférieure à 0,010 mm afin de réduire au minimum le phénomène de lentille thermique et de maintenir une transmittance élevée pour les lentilles de focalisation laser.
Essai de seuil de dommage induit par laser (LIDT) selon ISO 21254 pour les échantillons à épaisseur variable
Seuil de dommage induit par laser (LIDT) définit la densité d'énergie maximale qu'une plaque de quartz peut supporter avant d'être endommagée. Les ingénieurs testent la LIDT conformément aux normes ISO 21254, en utilisant des plaques de quartz de différentes épaisseurs pour évaluer les performances. Les régions plus minces présentent souvent des valeurs LIDT plus faibles en raison de l'augmentation de l'échauffement et des contraintes locales.
Les données relatives aux applications laser de haute puissance révèlent qu'un écart d'épaisseur de 0,007 mm peut réduire la LIDT de 10 J/cm² à moins de 5 J/cm² à une longueur d'onde de 1064 nm et une durée d'impulsion de 10ns. Les plaques de quartz utilisées dans la technologie laser doivent respecter des tolérances d'épaisseur strictes afin de garantir une résistance aux températures élevées et une forte résistance à la corrosion, protégeant ainsi les composants centraux des lasers contre les dommages.
Points clés :
Contrôle strict de l'épaisseur augmente la LIDT et la sécurité du système.
Essais ISO 21254 vérifie la fiabilité de la plaque de quartz.
Epaisseur constante protège le résonateur laser et les lentilles de focalisation dans les systèmes de haute puissance.
Quelles sont les spécifications des instruments de spectroscopie et d'analyse qui permettent d'équilibrer la précision et le coût ?
Les concepteurs d'instruments de spectroscopie et d'analyse doivent trouver un équilibre entre le besoin de précision et les réalités du coût de fabrication. La tolérance de l'épaisseur de la plaque de quartz joue un rôle central dans ce processus, car elle affecte directement la fiabilité des mesures et les performances du système. Les fabricants choisissent des spécifications qui permettent d'obtenir des résultats de haute qualité et une production économique pour une large gamme d'applications.
Exigences de précision de la loi de Beer-Lambert et dérivation de la tolérance de la longueur du trajet
La tolérance de l'épaisseur de la plaque de quartz détermine la longueur du trajet dans les cuvettes, ce qui est essentiel pour les mesures de la loi de Beer-Lambert. Les cuvettes de haute précision exigent une tolérance de ±0,01 mm, alors que les cuvettes standard autorisent une tolérance de ±0,05 mm. Cette différence a un impact sur la précision des lectures d'absorbance dans les systèmes de mesure de précision.
Les fabricants doivent trouver un compromis entre le resserrement des tolérances et l'augmentation des coûts de production. Le resserrement des tolérances exige des processus de fabrication avancés et des équipements spécialisés, ce qui peut augmenter les coûts et allonger les délais. Si les tolérances dépassent les capacités de fabrication, il peut y avoir gaspillage de matériaux et surproduction.
Type de cuvette | Tolérance |
|---|---|
Cuvettes de haute précision | ±0,01 mm |
Cuvettes standard | ±0,05 mm |
Un contrôle précis de la longueur du trajet garantit des résultats de mesure fiables dans les instruments optiques et les systèmes analytiques.
Spécifications d'épaisseur pour la spectroscopie UV (<250nm) pour la transparence en UV profond
Les plaques de quartz doivent répondre à des spécifications strictes en matière d'épaisseur afin d'obtenir une transparence dans l'ultraviolet profond en dessous de 250 nm. De nombreux instruments optiques et systèmes laser utilisent du quartz d'une épaisseur comprise entre 0,1 mm et 0,5 mm pour une transmission optique optimale. Ces spécifications permettent une résistance aux températures élevées et une transmission stable dans des environnements exigeants.
Les fabricants proposent une grande variété de produits en quartz pour la spectroscopie UV, chacun avec des gammes d'épaisseur et des prix différents. Le tableau suivant indique les épaisseurs minimales et maximales des plaques de quartz utilisées en spectroscopie UV au-dessous de 250 nm :
Points clés :
Épaisseur de la plaque de quartz entre 0,1 mm et 0,5 mm pour les applications à UV profond.
Variété de produits permet aux utilisateurs de choisir la solution la mieux adaptée à leurs besoins de mesure.
Stabilité de la transmission optique garantit des résultats précis dans les systèmes laser et optiques.
Le choix d'une plaque de quartz pour la spectroscopie UV dépend à la fois des exigences techniques et des considérations de coût.
Tolérances des cuvettes standard de référence (±0,02 mm) pour les applications de métrologie
Les cuves étalons de référence constituent la référence en matière de précision dans les laboratoires de métrologie et d'analyse. Ces cuvettes nécessitent des tolérances d'épaisseur de plaque de quartz aussi serrées que ±0,02 mm pour garantir une longueur de chemin optique cohérente et des mesures fiables. Les instruments de précision et les lentilles laser dépendent de ces étalons pour l'étalonnage et le contrôle de la qualité.
Les fabricants équilibrent la précision et le coût en privilégiant le quartz de grande pureté, les équipements de pointe et un contrôle de qualité rigoureux. Ils gèrent également les coûts en optimisant soigneusement les processus et en respectant les normes industrielles. Cette approche garantit que les cuvettes de référence offrent à la fois des performances élevées et une valeur économique.
Spécifications | Impact |
|---|---|
Tolérance de ±0,02 mm | Garantit la précision des mesures |
Quartz de haute pureté | Améliore la performance de la transmission optique |
Des tests rigoureux | Maintien de la fiabilité du système |
Les cuvettes étalons de référence jouent un rôle essentiel dans la précision des systèmes de mesure analytiques et optiques.
Où les applications de recherche et de laboratoire spécifient-elles des tolérances d'épaisseur personnalisées ?
Les applications de recherche et de laboratoire exigent souvent des tolérances d'épaisseur personnalisées pour les plaques de quartz. Les scientifiques et les ingénieurs choisissent le quartz pour son uniformité optique et sa stabilité dans des environnements exigeants. Ces systèmes reposent sur un contrôle précis pour obtenir des résultats exacts en microscopie, en analyse des matériaux et en optique quantique.
Applications microscopiques : compromis entre tolérance d'épaisseur et distance de travail
Les applications de microscopie dépendent de l'épaisseur des lames de quartz pour contrôler la distance de travail et la qualité de l'image. Les chercheurs utilisent des lames de quartz avec une tolérance d'épaisseur standard de ±0,005" (127 µm) pour maintenir une mise au point et une clarté constantes. La variation le long d'une seule lame peut atteindre 51 µm, ce qui affecte la résolution des images du microscope.
La plaque de quartz aux tolérances étroites permet aux scientifiques d'obtenir des résultats reproductibles et des images claires. Lorsque l'épaisseur varie, la distance de travail change, ce qui peut réduire la précision des mesures.
Équipement de caractérisation des matériaux (XRD, XRF) spécifications du substrat
Les équipements de caractérisation des matériaux tels que XRD et XRF utilisent des plaques de quartz pour soutenir les échantillons pendant l'analyse. Les laboratoires spécifient des tolérances personnalisées pour la longueur, la largeur et l'épaisseur afin de garantir la fiabilité de la collecte des données. Le quartz offre une grande pureté et une uniformité optique, ce qui améliore la précision des mesures basées sur le laser.
Une plaque de quartz aux dimensions précises permet d'obtenir des résultats cohérents dans l'analyse des matériaux. Les laboratoires bénéficient de substrats qui minimisent les erreurs de mesure et maximisent la répétabilité.
Plate-forme de recherche en optique quantique et photonique exigences en matière d'ultra-précision (±0,01 mm)
Les plates-formes de recherche en optique quantique et en photonique exigent des tolérances de plaque de quartz ultra-précises. Les scientifiques utilisent du quartz avec des tolérances d'épaisseur de ±0,01 mm pour maintenir des chemins optiques stables et réduire la dérive de la ligne de base dans les expériences sensibles. Dans un laboratoire, le passage à des cuvettes en quartz de haute précision a permis d'éliminer des erreurs d'absorbance de 5-10% dans les essais sur les protéines.
Points clés :
Plaque de quartz ultra-précise garantit des résultats stables et reproductibles.
Systèmes laser exigent des tolérances serrées pour des mesures optiques précises.
Applications personnalisées bénéficier d'une amélioration de la qualité des données et de la répétabilité des expériences.
Les plaques de quartz aux tolérances ultra-précises soutiennent la recherche avancée en optique quantique et en photonique. Les scientifiques obtiennent des mesures fiables et des données de haute qualité en sélectionnant le quartz avec les bonnes spécifications.
La précision des tolérances d'épaisseur du quartz permet un fonctionnement performant, fiable et sûr dans de nombreux systèmes avancés. Le contrôle précis de l'épaisseur des plaques de quartz améliore la précision des mesures, le rendement des appareils et la sécurité des systèmes dans les applications semi-conductrices, optiques et laser. Les experts de l'industrie recommandent aux ingénieurs et aux acheteurs techniques de suivre ces meilleures pratiques :
Recommandation | Description |
|---|---|
Correspondre à la qualité et à l'épaisseur de la tôle | Aligner les spécifications sur l'application spécifique et la longueur d'onde. |
Consulter les fournisseurs | Discuter des exigences en matière d'épaisseur ou de finition de surface. |
Évaluer le coût total de possession | Examinez l'impact d'une plus grande pureté et de tolérances plus strictes sur les performances et la durée de vie par rapport aux coûts. |
Négocier les prix et les délais | Ajuster en fonction du volume de la commande et des besoins de personnalisation. |
Spécifier la qualité de la surface | Utiliser des normes de gravure (par exemple, 10-5 selon MIL-PRF-13830B) pour garantir une qualité de surface élevée. |
Demande de données métrologiques | Les fournisseurs doivent fournir des données et une assistance pour les traitements de surface personnalisés. |
Le quartz permet d'obtenir des résultats précis dans les domaines de la recherche, de la fabrication et de la technologie laser. Les ingénieurs qui accordent la priorité aux tolérances serrées dans la sélection des plaques de quartz garantissent les meilleurs résultats pour leurs systèmes.
FAQ
Quelle est la tolérance d'épaisseur typique pour les plaques de quartz dans la fabrication de semi-conducteurs ?
La plupart des applications de semi-conducteurs nécessitent des plaques de quartz avec une tolérance d'épaisseur de ±0,03-0,05 mm. Ce contrôle rigoureux permet de maintenir une température uniforme et une performance constante des dispositifs pendant le traitement des plaquettes.
Quels sont les facteurs qui déterminent la tolérance d'épaisseur requise dans les applications optiques ?
Les ingénieurs prennent en compte la longueur d'onde, l'erreur de front d'onde et la différence de chemin optique. Par exemple, l'interférométrie nécessite souvent des tolérances aussi étroites que ±0,005 mm pour maintenir les erreurs de mesure en dessous de 5%.
Que se passe-t-il si l'épaisseur de la plaque de quartz varie trop dans les systèmes laser ?
Une variation excessive de l'épaisseur peut provoquer des tensions, des lentilles thermiques et abaisser les seuils d'endommagement induits par le laser. Les données montrent qu'un écart de 0,007 mm peut réduire le seuil d'endommagement de 50%.
Quelle est la tolérance d'épaisseur des cuvettes de quartz standard pour la spectroscopie ?
Les cuvettes de quartz standard ont généralement une tolérance d'épaisseur de ±0,05 mm. Les cuvettes de haute précision peuvent avoir une tolérance de ±0,01 mm pour des mesures d'absorbance plus précises.
Quelles sont les tolérances d'épaisseur personnalisées demandées par les laboratoires de recherche ?
Les laboratoires de recherche demandent souvent des tolérances personnalisées allant de ±0,15 mm pour les lames générales à ±0,01 mm pour l'optique quantique. Le choix dépend des besoins de précision de l'expérience.
