أنبوب فرن الانتشار الكوارتز ذو القطر الكبير القابل للتخصيص لأشباه الموصلات ومعالجة أشباه الموصلات ومعالجة الطاقة الشمسية - ®TOQUARTZ
الميزات الرئيسية لأنبوب فرن الانتشار الكوارتز
صُممت أنابيب فرن الانتشار الكوارتز® TOQUARTZ من السيليكا المنصهرة عالية النقاء، مما يوفر خصائص أداء استثنائية ضرورية لتطبيقات المعالجة الحرارية الدقيقة. تضمن هذه الميزات الموثوقية في بيئات تصنيع أشباه الموصلات والخلايا الشمسية الصعبة.
الاستقرار الحراري
يتحمل التشغيل المستمر عند درجة حرارة 1100 درجة مئوية والتعرض قصير الأجل حتى 1350 درجة مئوية بأقل قدر من التشوه. يمنع معامل التمدد الحراري المنخفض للغاية (5.5 × 10×10-⁷/°مئوية) التشقق أثناء التغيرات السريعة في درجات الحرارة.
مقاومة المواد الكيميائية
مقاوم للغاية للأحماض، والقلويات، والأملاح المنصهرة، وغازات الهالوجين المستخدمة عادةً في معالجة أشباه الموصلات. يحافظ على السلامة الهيكلية حتى في البيئات الكيميائية العدوانية في درجات الحرارة المرتفعة.
التحكم الدقيق في الأبعاد
صُنعت بدقة قياسية تبلغ ± 0.2 مم للقطر وسُمك الجدار. الدقة المحسّنة ± 0.1 مم متوفرة للتطبيقات الحرجة التي تتطلب خصائص مثالية في منع التسرب وتدفق الغاز.
- محتوى عالي النقاء 99.99% SiO₂ عالي النقاء 99.99%
- الإرسال ≥93% لسمك 1 مم ضمن الطول الموجي 280-780 نانومتر
- مقاومة كهربائية 7 × 10 ⁷ Ω-سم
مواصفات أنبوب فرن الانتشار الكوارتز المصهور
يتم تصنيع أنابيب أفران الانتشار الكوارتز® TOQUARTZ وفقًا لمواصفات فنية دقيقة تضمن الأداء الأمثل في بيئات المعالجة عالية الحرارة. يخضع كل أنبوب لاختبارات صارمة لمراقبة الجودة للتحقق من دقة الأبعاد وخصائص المواد.
الخاصية المادية
| الممتلكات | القيمة |
| 1. الخصائص الفيزيائية | |
| الكثافة | 2.2 جم/سم3 |
| قوة الفلِيكستشر | 48 ميجا باسكال |
| معامل المرونة | 72 جيجا باسكال |
| نسبة بواسون | 0.14-0.17 |
| قوة الانضغاط | 1100 ميجا باسكال |
| قوة الانحناء | 67 ميجا باسكال |
| صلابة موس | 5.5-6.5 |
| 2. الخواص الحرارية والبصرية | |
| درجة حرارة العمل القصوى (طويلة الأجل) | 1100°C |
| درجة حرارة العمل القصوى (قصيرة الأجل) | 1350°C |
| التوصيل الحراري | 1.4 وات/م-ك |
| معامل التمدد الحراري | 5.5×10-⁷ /°C |
| معامل الانكسار | 1.4585 |
| مقاومة محددة | 7 × 10⁷ Ω-سم |
| الإرسال (280-780 نانومتر) | ≥93% (سُمك 1 مم) |
الأبعاد القياسية
| الطراز | القطر الخارجي (مم) | القطر الداخلي (مم) | سُمك الجدار (مم) | الطول (مم) | SiO₂ المحتوى (%) |
| AT-SY-XG001 | 55 | 50 | 2.5 | 1500-2000 | 99.99 |
| AT-SY-XG002 | 90 | 83 | 3.5 | 1500-2000 | 99.99 |
| AT-SY-XG003 | 200 | 190 | 5 | 2000-3500 | 99.99 |
| AT-SY-XG004 | 330 | 314 | 8 | 2000-3500 | 99.99 |
| AT-SY-XG005 | 430 | 410 | 10 | 2000-3500 | 99.99 |
| AT-SY-XG006 | 550 | 520 | 15 | 2000-3500 | 99.99 |
تفاوتات الأبعاد
| القطر الخارجي (مم) | القطر الخارجي (%) | السُمك (%) | الاستدارة (%) | الحد الأقصى للانحناء (%) | تسطيح الوجه الطرفي (مم) | تعامد الوجه الطرفي (مم) |
| 200≤φ＜250 | ±0.5 | ±10 | ±0.5 | 0.3 | ±0.1 | ±0.5 |
| φ≥250 | ±0.5 | ±10 | ±0.5 | 0.3 | ±0.1 | ±0.5 |
TOQUARTZ® حل التحديات باستخدام أنبوب فرن انتشار الكوارتز
أنابيب أفران نشر الكوارتز في تصنيع أشباه الموصلات
المزايا الرئيسية
-
انتظام مُحسَّن لتدفق الغاز عبر دفعات الرقاقات مقاس 300 مم
تفاوت الاستدارة الداخلية ≤0.3% يضمن توزيعًا متسقًا للغاز أثناء التخدير والأكسدة. -
ثبات الأبعاد تحت درجة حرارة 1200 درجة مئوية في التشغيل المستمر
انحراف سُمك الجدار ≤ ± 0.2 مم يمنع التشوه الحراري في التلدين طويل الدورة. -
تقليل توليد الجسيمات في بيئات الغرف النظيفة
تقلل خشونة السطح Ra ≤0.8 ميكرومتر من تساقط الجسيمات الدقيقة أثناء المعالجة عالية النقاء.
محلول توكارتز
أبلغت إحدى شركات تصنيع أشباه الموصلات في الولايات المتحدة عن فقدان 12% في إنتاجية الرقاقة بسبب اضطراب تدفق الغاز في الانتشار الدفعي 300 مم.وبعد التنفيذ، انخفض فقدان العائد إلى 3%. قام العميل بتوحيد أنابيب TOQUARTZ في جميع خطوط الانتشار الأربعة في غضون شهرين.
أنابيب فرن الانتشار الكوارتز المنصهر في إنتاج الخلايا الشمسية
المزايا الرئيسية
-
متانة التدوير الحراري التي تتجاوز 300 دورة فأكثر
تحافظ الأنابيب على سلامتها الهيكلية بعد أكثر من 300 دورة تخدير بالفوسفور/البورون عند درجة حرارة 1000 درجة مئوية. -
تصميم شفة مانعة للغازات لسلامة التفريغ
يحقق ختم الشفة المخصص يحقق <10⁻³ mbar leak rate, verified by helium leak testing. -
توحيد سُمك الجدار من أجل ترسيب مستقر
يضمن الانحراف في السُمك ≤ ± 0.15 مم توحيد طلاء نيتريد السيليكون أثناء عملية التفحيم بالجليد منخفض الكثافة.
محلول توكارتز
واجهت محطة كورية للوحدات الشمسية عطلًا في الأنابيب بعد 120 دورة، مما تسبب في تعطل 18 ساعة/شهر. سلمت TOQUARTZ® أنابيب الكوارتز المقواة مع توزيع الجدار المحسن وإحكام إغلاق الشفة. امتد عمر الأنبوب إلى 320 دورة، مما قلل من وقت التعطل إلى 4 ساعات/شهر. وسّع العميل حجم الطلبات بمقدار 40% في غضون ربع واحد.
أنابيب أفران نشر السيليكا المنصهرة في التطبيقات البحثية
المزايا الرئيسية
-
لا يوجد موك مع مدة تسليم تصل إلى 3 أسابيع للمواصفات المخصصة
يدعم الطلبات أحادية الوحدة مع تفاوتات تفاوتات المعرف/التعريف المصممة حتى ± 0.1 مم لإعدادات المعامل. -
تكامل متعدد المداخل والمنافذ لمرونة في التفريغ القابل للذوبان في الماء
يدعم ما يصل إلى 4 مداخل للغاز ومنفذين حراريين لكل أنبوب، بناءً على رسومات المستخدم. -
النماذج الأولية السريعة للتكرارات التجريبية
يتيح تسليم النموذج الأولي في 18 يوم عمل التحقق السريع من صحة العمليات الحرارية الجديدة.
محلول توكارتز
احتاج مختبر إحدى الجامعات الأوروبية إلى أنبوب كوارتز ثنائي المنافذ بعمق 280 مم لإعداد جديد للتفكيك القابل للذوبان في القطبين. عرض الموردون المحليون مهلة 10 أسابيع مع موك ≥5 وحدات. سلمت TOQUARTZ® نموذجًا أوليًا لوحدة واحدة في 19 يومًا بتفاوت ± 0.1 مم. أكمل المختبر إنجاز إنجاز المنحة قبل 6 أسابيع من الموعد المحدد وأعاد طلب 3 أنواع مختلفة.
TOQUARTZ® Customization Options for Quartz Diffusion Furnace Tube
تقدم TOQUARTZ® قدرات تخصيص واسعة النطاق لأنابيب أفران الانتشار الكوارتز لتلبية متطلبات العملية الخاصة بك. يعمل فريقنا الهندسي معك مباشرةً لتطوير حلول تعمل على تحسين الأداء لتطبيقك الفريد.
خيارات التشطيب النهائي
- أطراف ذات حواف (تصميمات قياسية أو مخصصة)
- وصلات الوصلات الأرضية المشتركة
- نهايات مصقولة بالنار
- نهايات مطرزة بالخرز
- نهايات مغلقة/مغلقة مع مداخل
التعديلات الهيكلية
- مداخل الغاز المتعددة
- منافذ المزدوجة الحرارية
- حواجز داخلية
- تكوينات متعددة المناطق
- تصميم أنبوب متحد المركز
معالجات السطح
- الأسطح الأرضية/المتجمدة
- أسطح داخلية عالية اللمعان
- أقسام غير شفافة
- علامات متدرجة
- الطلاءات المتخصصة
عملية التخصيص
-
تحليل المتطلبات
نقوم بتحليل المواصفات الفنية ومعايير العملية والبيئة التشغيلية الخاصة بك. -
التصميم والهندسة
يقوم مهندسونا بتطوير رسومات تفصيلية ومواصفات إنتاج للموافقة عليها. -
إنتاج النموذج الأولي
نقوم بتصنيع عينة للاختبار والتحقق من صلاحيتها قبل الإنتاج الكامل. -
الإنتاج ومراقبة الجودة
إنتاج كامل مع مراقبة شاملة للجودة والتوثيق.
إرشادات استخدام أنبوب فرن الانتشار الكوارتز المصهور
يعد التعامل السليم مع أنابيب أفران الانتشار الكوارتز وتركيبها وصيانتها أمرًا ضروريًا لتحقيق أقصى قدر من الأداء والعمر التشغيلي. سيساعد اتباع هذه الإرشادات على منع التلف وضمان نتائج متسقة في تطبيقات المعالجة الحرارية الخاصة بك.
المناولة والتركيب
- ارتدِ دائمًا قفازات نظيفة خالية من المسحوق عند التعامل مع أنابيب الكوارتز لمنع التلوث وبصمات الأصابع.
- ادعم الأنبوب بطول الأنبوب بالكامل أثناء النقل والتركيب لمنع الإجهاد الميكانيكي.
- تأكد من أن تركيبات الدعم تحافظ على المحاذاة المناسبة وتستوعب التمدد الحراري.
- استخدم عزم دوران متساوٍ عند شد وصلات الشفة لمنع تركزات الضغط.
- استخدم مواد مانعة للتسرب متوافقة مصنفة لنطاق درجة حرارة التشغيل.
التنظيف والصيانة
- استخدم المحاليل الحمضية المخففة (بتركيز أقل من 5%) للتنظيف، مثل حمض الهيدروفلوريك أو حمض الهيدروكلوريك أو مخاليط حمض النيتريك.
- التحكم الصارم في وقت التنظيف الحمضي لمنع الحفر المفرط أو التنظيف غير الكافي.
- اشطفها جيداً بالماء منزوع الأيونات بعد التنظيف بالحمض لإزالة جميع الأحماض المتبقية من السطح.
- معالجة مياه الصرف الصحي الحمضية الناتجة عن التنظيف بشكل صحيح لتلبية اللوائح البيئية قبل التخلص منها.
- افحص بانتظام بحثاً عن أي ترسبات أو تغير في اللون أو تشققات دقيقة قد تشير إلى الحاجة إلى الصيانة.
إرشادات التحكم في درجة الحرارة
- للأنابيب بقطر ≤200 مم: بحد أقصى 5 درجات مئوية/دقيقة حتى 1100 درجة مئوية
- للأنابيب التي يزيد قطرها عن 200 مم: بحد أقصى 3 درجات مئوية/دقيقة حتى 1100 درجة مئوية
- أعلى من 1100 درجة مئوية فوق 1100 درجة مئوية: خفض المعدل إلى 2 درجة مئوية/دقيقة كحد أقصى
- من درجة حرارة التشغيل إلى 800 درجة مئوية: بحد أقصى 3 درجات مئوية/دقيقة
- من 800 درجة مئوية إلى 500 درجة مئوية: بحد أقصى 5 درجات مئوية/دقيقة
- أقل من 500 درجة مئوية: التبريد الطبيعي مقبول
هل تحتاج إلى مساعدة فنية؟
اتصل بنا اليوم لمناقشة متطلبات مشروعك.
لماذا الشراكة مع TOQUARTZ
ميزة المصنع المباشر
وبصفتنا شركة تصنيع مباشرة، يمكننا الاستغناء عن الروابط الوسيطة العديدة.
الخبرة الهندسية
يقوم الفريق التقني بتوجيه العملاء بدءاً من اختيار المواد إلى تحسين التصميم، وترجمة المواصفات إلى مخرجات.
التصنيع المرن
التعامل مع الطلبيات القياسية والمخصصة من خلال الخبرة في مجال الدُفعات الصغيرة والصرامة في وضع النماذج الأولية للوفاء بالمواعيد النهائية العاجلة.
الجودة
التأمين
التحقق من الصحة قبل الشحن في 3 خطوات:
1. دقة الأبعاد,
2. نقاء المادة,
3 - عتبات الأداء
سلسلة التوريد العالمية
خدمات لوجستية عالمية موثوقة إلى المراكز الصناعية (أولوية DE/US/JP/KR) مع مراحل إنجاز يمكن تتبعها.
المنتجات المستعادة
تقدم TOQUARTZ، بصفتها شركة تصنيع متخصصة تتمتع بقدرات المصنع المباشرة، حلول الكوارتز القياسية والمخصصة مع الدعم الهندسي طوال عملية تحديد المواصفات والتنفيذ.
الأسئلة الشائعة
س: فيمَ يُستخدم أنبوب نشر الكوارتز؟
ج: تُستخدم أنابيب نشر الكوارتز في تصنيع أشباه الموصلات وإنتاج الخلايا الشمسية والبيئات المختبرية لتطبيقات المعالجة الحرارية عالية الحرارة. وهي توفر بيئة محكومة لعمليات مثل التنشيط والتلدين والأكسدة والترسيب الكيميائي للبخار (CVD). إن نقاوتها العالية وثباتها الحراري ومقاومتها الكيميائية تجعلها مثالية لهذه التطبيقات الحرجة حيث يكون التحكم في التلوث والإدارة الدقيقة لدرجة الحرارة أمرًا ضروريًا.
س: ما هي درجة نقاء أنابيب الكوارتز المستخدمة في معالجة أشباه الموصلات؟
ج: بالنسبة لتطبيقات معالجة أشباه الموصلات، عادةً ما تكون أنابيب الكوارتز بمستويات نقاء لا تقل عن 99.99% SiO₂. توفر أنابيب نشر TOQUARTZ ما يصل إلى 99.995% SiO₂ مع التحكم في الشوائب المعدنية إلى مستويات أجزاء من المليار. هذا النقاء العالي ضروري لمنع التلوث في معالجة رقاقات أشباه الموصلات، حيث يمكن حتى للشوائب النزرة أن تضر بأداء الجهاز. بالنسبة للتطبيقات الأقل أهمية مثل تصنيع الخلايا الشمسية أو الاستخدام المختبري العام، غالبًا ما تكون الأنابيب ذات النقاء 99.99% كافية.
س: ما هو حد درجة حرارة أنابيب نشر الكوارتز؟
يعتمد الحد العملي لدرجة الحرارة العملية على عدة عوامل بما في ذلك أبعاد الأنبوب، وسُمك الجدار، وتكوين الدعم، ومعدلات التسخين/التبريد. قد تتطلب الأنابيب الأكبر قطرًا درجات حرارة قصوى أقل لمنع الترهل أو التشوه. بالنسبة للتطبيقات التي تتطلب التشغيل فوق 1200 درجة مئوية، نوصي بالتشاور مع فريقنا الهندسي لتحسين تصميم الأنبوب واختيار المواد. يجب تسخين جميع الأنابيب وتبريدها بمعدلات مضبوطة (عادةً 3-5 درجات مئوية/دقيقة) لمنع الصدمة الحرارية وإطالة العمر التشغيلي.
س: ما هي الأبعاد القصوى المتاحة لأنابيب نشر الكوارتز؟
ج: يمكن لشركة TOQUARTZ® تصنيع أنابيب نشر بأقطار خارجية تتراوح أقطارها من 55 مم إلى 550 مم، بسماكة جدار تتراوح من 2.5 مم إلى 15 مم. الحد الأقصى للطول القياسي لدينا هو 3500 مم للأنابيب ذات الأقطار الكبيرة، ولكن يمكننا إنتاج أطوال مخصصة بناءً على متطلبات محددة. بالنسبة للأقطار الكبيرة للغاية (> 550 مم) أو التكوينات المتخصصة، يرجى الاتصال بفريقنا الهندسي لتقييم الجدوى. يتم الحفاظ على تفاوتات الأبعاد عند ± 0.5% للقطر و± 10% لسُمك الجدار، مع توفر دقة معززة للتطبيقات الحرجة.
س: ما هي متطلبات الشحن والمناولة لأنابيب الكوارتز الكبيرة؟
ج: تتطلب أنابيب نشر الكوارتز ذات القطر الكبير إجراءات تغليف ومناولة متخصصة لمنع التلف أثناء النقل. وتستخدم TOQUARTZ صناديق خشبية مصممة خصيصًا مع مواد تعليق ومواد ممتصة للصدمات لتأمين الأنابيب أثناء الشحن الدولي. يتم تغليف كل أنبوب بشكل فردي في رغوة واقية ومختومة بالبلاستيك لمنع التلوث. بالنسبة للأنابيب التي يزيد طولها عن مترين أو قطرها 300 مم، نوصي بترتيبات شحن متخصصة. يقوم فريقنا اللوجستي بتنسيق جميع تفاصيل الشحن بما في ذلك الوثائق الجمركية للطلبات الدولية. عند الاستلام، يجب فحص الأنابيب وهي لا تزال في العبوة وتخزينها بشكل أفقي على دعامات مبطنة حتى يتم تركيبها.
اتصل بفريقنا الهندسي للحصول على الاستشارات الفنية والتسعير. سنساعدك في اختيار المواصفات المثلى لمتطلبات تطبيقك.
العربية 
English 
Русский 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe