- الصفحة الرئيسية
- /
- التطبيقات
- /
- زجاج كوارتز أشباه الموصلات
- /
- حمض الكوارتز الحمضي المدمج في العملية المخصصة...
خزان تنظيف حمض الكوارتز المدمج في العملية المخصص لتطبيقات أشباه الموصلات والتطبيقات الكهروضوئية -TOQUARTZ®
مصممة لتنظيف رقاقات أشباه الموصلات، وحفر الخلايا الكهروضوئية، وتطبيقات المعالجة الكيميائية المختبرية التي تتطلب مقاومة استثنائية للتآكل في HF وHCl وHNO₃.
ميزات خزان تنظيف حمض الكوارتز
نقاء فائق النقاء
نقاوة 99.99% SiO₂ يضمن الحد الأدنى من التلوث في عمليات أشباه الموصلات الحرجة. تقلل مراقبة الجودة الصارمة ومعالجة غرف الأبحاث من الشوائب والتلوث بالجسيمات.
مقاومة المواد الكيميائية
مقاومة استثنائية لجميع الأحماض بما في ذلك HF وHCl وHNO₃ وغيرها من المواد الكيميائية العدوانية المستخدمة في المعالجة الرطبة لأشباه الموصلات. لا تتحلل المواد حتى بعد التعرض الطويل للأحماض المركزة.
ثبات حراري عالٍ
نطاق درجة حرارة تشغيل يصل إلى 1100 درجة مئوية للاستخدام طويل الأجل و1300 درجة مئوية للتطبيقات قصيرة الأجل. يضمن معامل التمدد الحراري المنخفض (5.5 × 10×10-⁷/ درجة مئوية) ثبات الأبعاد أثناء تقلبات درجات الحرارة.
الشفافية البصرية
شفافية بصرية ممتازة (≥93%) تسمح بمراقبة العملية والفحص البصري أثناء التشغيل. يتيح التكامل مع أجهزة الاستشعار البصرية للتحكم في العمليات والأتمتة.
-
تلوث أيوني منخفض للغاية
الإصدار
-
مصفوفة SiO₂ المستقرة تحت الأحماض الحرارية
ركوب الدراجات
-
الوضوح البصري لـ
مراقبة التفاعل في الموقع
المواصفات الفنية لخزان التنظيف الكيميائي للكوارتز
المواصفات الفنية لخزان تنظيف حمض الكوارتز الزجاجي الزجاجي
| الممتلكات | القيمة |
| التركيب المادي | كوارتز عالي النقاء (≥99.99% SiO₂) |
| الكثافة | 2.2 جم/سم مكعب |
| قوة الانثناء | 48 ميجا باسكال |
| معامل المرونة | 72 جيجا باسكال |
| نسبة بواسون | 0.14-0.17 |
| قوة الانضغاط | 1100 ميجا باسكال |
| قوة الانحناء | 67 ميجا باسكال |
| صلابة موس | 5.5-6.5 |
| درجة حرارة العمل القصوى (طويلة الأجل) | 1100°C |
| درجة حرارة العمل القصوى (قصيرة الأجل) | 1300°C |
| التوصيل الحراري | 1.4 وات/م-ك |
| معامل الانكسار | 1.4585 |
| معامل التمدد الحراري | 5.5×10-⁷/°C |
| مقاومة محددة | 7 × 10⁷ Ω-سم |
| انتقال بصري (سُمك 1 مم، 280-780 نانومتر) | ≥93% |
الأبعاد المخصصة لخزان تنظيف حمض الكوارتز المصهور بأحماض الكوارتز المصهورة
يمكن أن تستوعب TOQUARTZ® مواصفات مخصصة بناءً على متطلبات العميل. اتصل بفريقنا الهندسي للحصول على المواصفات التفصيلية للأبعاد وخيارات المقاسات المخصصة.
حل التحديات الحرجة مع حاوية حمام حمض الكوارتز TOQUARTZ® Quartz
صهاريج تنظيف حمض الكوارتز لمعالجة رقائق أشباه الموصلات
المزايا الرئيسية
-
إطلاق تلوث أيوني منخفض للغاية
إصدار خزانات كوارتز TOQUARTZ® كوارتز <0.1 ppb of Na⁺, K⁺, and Al³⁺ ions after 72h HF/HCl exposure at 80°C. -
لا يوجد تدهور في السطح تحت التعرض للأحماض المختلطة
تبقى خشونة السطح (Ra) <0.02μm after 96h in HNO₃/HF/HCl mixture at 100°C. -
مصفوفة SiO₂ المستقرة في ظل التدوير الحراري الحمضي
لم يلاحظ أي انتشار للتشققات الدقيقة بعد 50 دورة من الغمر بالحمض بدرجة حرارة 100 درجة مئوية والتبريد المحيط.
محلول توكارتز
أبلغ مصنع ياباني للرقاقات مقاس 300 مم عن تلوث أيونات معدنية (> 0.5 جزء في البليون من الألومنيوم³⁺) من خزانات الكوارتز المحلية بعد 48 ساعة من استخدام HF/HCl، مما أدى إلى فقدان 3.21 تيرابايت 3 تيرابايت من إنتاجية الرقاقة.
TOQUARTZ® صهاريج التنظيف الحمضي المزودة بـ <0.1 ppb ion leaching (SGS test), reducing wafer surface contamination by 87% and restoring yield to 99.1% within 2 weeks of deployment.
خزان تنظيف الكوارتز الكيميائي لتنظيف الخلايا الكهروضوئية وتركيبها
المزايا الرئيسية
-
لا يوجد تنقر سطحي ناتج عن الحمض بعد 100 ساعة
TOQUARTZ® tanks show zero visible corrosion after 100h in 10% HNO₃ at 90°C. -
مستقر تحت التركيب القلوي عند درجة حرارة 85 درجة مئوية
لا يوجد تقشر أو تغير في لون SiO₂ SiO₂ بعد 72 ساعة في محلول NaOH/KOH عند درجة حرارة 85 درجة مئوية. -
يحافظ على استقرار الأس الهيدروجيني للحمام الحمضي
انجراف الأس الهيدروجيني <0.2 over 48h in HF/HNO₃ mix, ensuring consistent etching rate.
محلول توكارتز
شهد أحد خطوط الوحدات الكهروضوئية الألمانية التي تستخدم خزانات البورسليكات انجراف الأس الهيدروجيني في الحمام الحمضي >0.5 خلال 24 ساعة، مما تسبب في حدوث قوام غير متساوٍ وانخفاض كفاءة خلية 5%.
TOQUARTZ® quartz tanks maintained pH stability within ±0.2 over 48h, enabling uniform etching and restoring average cell efficiency from 18.3% to 19.1% across 3 production batches.
حاويات حمام حمض الكوارتز لمختبرات الأبحاث
المزايا الرئيسية
-
متوافق مع 98% من الأحماض والمذيبات المعملية
TOQUARTZ® tanks tested stable in 30+ reagents including HF, aqua regia, and perchloric acid. -
الوضوح البصري لرصد التفاعل في الموقع
≥93% نقل الضوء (280-780 نانومتر) يتيح مراقبة التفاعلات اللونية في الوقت الفعلي. -
لا يوجد ترشيح يمكن اكتشافه في تحليل الأثر
<0.05 ppb total leachables after 48h in 10% HCl at 60°C (ICP-MS verified).
محلول توكارتز
أبلغ مختبر جامعة كندية يجري تحليلاً للمعادن النزرة في HF/HCl عن وجود تلوث في الخلفية بالألمنيوم > 0.3 جزء في البليون من خزانات السيليكا المنصهرة.
After switching to TOQUARTZ® acid bath containers, ICP-MS baseline dropped to <0.05 ppb, enabling accurate detection of sub-ppb analytes and improving experimental reproducibility by 92%.
TOQUARTZ® Customization Services for Quartz Glass Acid Cleaning Tank
تخصيص التصميم
- أبعاد مخصصة ذات تفاوتات دقيقة
- تكوينات المدخل/المخرج المتخصصة لتكامل العملية
- حواجز أو غرف داخلية للمعالجة متعددة المراحل
- حواف أو زوايا معززة لتعزيز السلامة الهيكلية
- سمك الجدار المخصص بناءً على المتطلبات الحرارية أو الهيكلية
- ميزات تركيب مدمجة لتوافق المعدات
مواصفات المواد
- كوارتز قياسي عالي النقاء (99.99% SiO₂)
- خيارات الكوارتز المعتم للتطبيقات الحساسة للضوء
- معالجات سطحية لتعزيز المقاومة الكيميائية
- أسطح مصقولة بدقة لتطبيقات الختم الحرجة
- حواف مصقولة بالنار لتحسين القوة الميكانيكية
- شهادات المواد المخصصة للصناعات المنظمة
عملية التطوير المخصص
تحليل المتطلبات
- يعمل الفريق الفني لدى TOQUARTZ معك لفهم متطلبات المعالجة الخاصة بك، والبيئة الكيميائية، ونطاقات درجات الحرارة، وقيود الأبعاد.
اقتراح التصميم
- نقوم بتطوير الرسومات والمواصفات الفنية التفصيلية بناءً على متطلباتك، وغالباً ما نوفر خيارات تصميم متعددة للنظر فيها.
تطوير النموذج الأولي
- بالنسبة للتصميمات المعقدة أو الجديدة، يمكننا إنتاج وحدات نموذجية أولية للاختبار والتحقق من صلاحيتها في بيئة المعالجة الخاصة بك قبل الإنتاج على نطاق كامل.
الإنتاج
- تنتقل التصميمات المعتمدة إلى مرحلة الإنتاج مع مراقبة صارمة للجودة خلال عملية التصنيع لضمان دقة الأبعاد وسلامة المواد.
التحقق من الجودة
- يخضع كل خزان نهائي لفحص شامل بما في ذلك التحقق من الأبعاد والفحص البصري واختبار المواد كما هو مطلوب بموجب المواصفات.
إرشادات استخدام خزان تنظيف حمض الكوارتز
المناولة والتركيب
- تعامل معها بحذر لتجنب الصدمات أو التغيرات المفاجئة في درجات الحرارة التي قد تسبب الكسور.
- التركيب على أسطح مستوية وثابتة باستخدام تركيبات دعم مناسبة لتوزيع الوزن بالتساوي.
- عند التركيب، استخدم PTFE أو حشوات متوافقة لمنع التلامس المباشر مع الأسطح المعدنية.
- اسمح بخلوص 5 مم على الأقل حول الخزان للتمدد الحراري أثناء عمليات التسخين.
- بالنسبة لتوصيلات المدخل/المخرج، استخدم فقط التركيبات المتوافقة المصممة لمكونات الكوارتز.
ظروف التشغيل
- لا تتجاوز درجة حرارة التشغيل القصوى 1100 درجة مئوية للاستخدام طويل الأجل أو 1300 درجة مئوية للاستخدامات قصيرة الأجل.
- حافظ على معدلات ارتفاع درجة الحرارة أقل من 5 درجات مئوية/دقيقة لمنع حدوث صدمة حرارية.
- بالنسبة للتطبيقات المسخنة، تأكد من توزيع التسخين بالتساوي لتجنب الإجهاد الموضعي.
- عند الاستخدام مع المحاليل القلوية، تجنب ملامسة مركبات البوتاسيوم أو الصوديوم في درجات الحرارة المرتفعة، والتي يمكن أن تقلل من الأداء بشكل كبير.
- لتحقيق السلامة المثلى لمانع التسرب في تطبيقات المعالجة الرطبة، تحقق من أن جميع نقاط التوصيل تحافظ على التفاوتات المحددة.
الصيانة والتنظيف
- بعد الاستخدام، يُشطف جيدًا بالماء منزوع الأيونات لإزالة البقايا الكيميائية.
- بالنسبة للملوثات الثابتة، استخدم المذيبات المناسبة متبوعة بالتنظيف بالموجات فوق الصوتية في الماء منزوع الأيونات.
- افحص بانتظام للتأكد من عدم وجود تشققات دقيقة أو تآكل في السطح، خاصة عند نقاط توصيل السوائل.
- يُحفظ في بيئات نظيفة وخالية من الغبار للحفاظ على سلامة السطح ومنع التلوث.
- للتخزين على المدى الطويل، قم بتغطية الفتحات بمواد نظيفة من PTFE أو البولي إيثيلين.
هل تحتاج إلى مساعدة فنية مع خزانات تنظيف أحماض الكوارتز؟
لماذا الشراكة مع TOQUARTZ
ميزة المصنع المباشر
وبصفتنا شركة تصنيع مباشرة، يمكننا الاستغناء عن الروابط الوسيطة العديدة.
الخبرة الهندسية
يقوم الفريق التقني بتوجيه العملاء بدءاً من اختيار المواد إلى تحسين التصميم، وترجمة المواصفات إلى مخرجات.
التصنيع المرن
التعامل مع الطلبيات القياسية والمخصصة من خلال الخبرة في مجال الدُفعات الصغيرة والصرامة في وضع النماذج الأولية للوفاء بالمواعيد النهائية العاجلة.
الجودة
التأمين
التحقق من الصحة قبل الشحن في 3 خطوات:
1. دقة الأبعاد,
2. نقاء المادة,
3 - عتبات الأداء
سلسلة التوريد العالمية
خدمات لوجستية عالمية موثوقة إلى المراكز الصناعية (أولوية DE/US/JP/KR) مع مراحل إنجاز يمكن تتبعها.
المنتجات المستعادة
تقدم TOQUARTZ، بصفتها شركة تصنيع متخصصة تتمتع بقدرات المصنع المباشرة، حلول الكوارتز القياسية والمخصصة مع الدعم الهندسي طوال عملية تحديد المواصفات والتنفيذ.
الأسئلة الشائعة
س: ما هي درجة الحرارة القصوى التي يمكن أن تتحملها خزانات تنظيف حمض الكوارتز؟
يضمن الثبات الحراري اتساق الأبعاد حتى أثناء التدوير الحراري، مع معامل تمدد حراري منخفض يبلغ 5.5 × 10 ⁷/ درجة مئوية.
س: ما هي أنواع الأحماض المتوافقة مع خزانات الكوارتز الخاصة بك؟
تحافظ هذه الأحماض على سلامتها الهيكلية ونقائها حتى بعد التعرض الطويل للأحماض المركزة في درجات حرارة مرتفعة.
س: ما هو مستوى نقاء مادة الكوارتز المستخدمة في خزانات التنظيف الحمضي لديكم؟
ج: يتم تصنيع خزانات تنظيف حمض الكوارتز القياسية TOQUARTZ® من كوارتز عالي النقاء يحتوي على ≥99.99% SiO₂. ويضمن مستوى النقاء هذا الحد الأدنى من التلوث في العمليات الحرجة لأشباه الموصلات والعمليات الضوئية. وتحتوي المادة على مستويات منخفضة بشكل استثنائي من الشوائب القلوية والمعدنية، مما يجعلها مثالية للتطبيقات التي يكون فيها التحكم في التلوث أمرًا حاسمًا لعائد العملية والأداء.
س: كيف يمكنني تنظيف خزانات تنظيف حمض الكوارتز وصيانتها لزيادة عمر الخدمة إلى أقصى حد؟
ج: لزيادة العمر التشغيلي لخزانات تنظيف حمض الكوارتز إلى أقصى حد: 1) شطفها جيدًا بماء DI بعد كل استخدام، 2) بالنسبة للبقايا العنيدة، استخدم المذيبات المناسبة متبوعة بالتنظيف بالموجات فوق الصوتية، 3) تجنب الصدمات الحرارية عن طريق الحفاظ على معدلات ارتفاع درجة الحرارة أقل من 5 درجات مئوية/دقيقة، 4) التعامل معها بعناية لمنع التأثير الميكانيكي، 5) تخزينها في بيئات نظيفة مع تغطية المنافذ، 6) الفحص المنتظم بحثًا عن أي تشققات دقيقة أو تدهور في السطح. مع الصيانة المناسبة، يمكن لخزانات الكوارتز أن توفر سنوات من الخدمة الموثوقة في بيئات أشباه الموصلات الصعبة.
س: كيف تقارن خزانات تنظيف حمض الكوارتز بخزانات PTFE أو PFA لتطبيقات أشباه الموصلات؟
ج: في حين أن PTFE وPFA يوفران مقاومة كيميائية ممتازة، فإن خزانات تنظيف حمض الكوارتز توفر العديد من المزايا المتميزة لتطبيقات أشباه الموصلات: 1) مقاومة فائقة لدرجات الحرارة (حتى 1100 درجة مئوية مقابل 260 درجة مئوية تقريبًا للبوليمرات الفلورية)، 2) ثبات أفضل للأبعاد في ظل التدوير الحراري، 3) صلابة أعلى للحفاظ على الأشكال الهندسية الدقيقة، 4) شفافية أكبر لمراقبة العملية، 5) توليد جسيمات أقل وانبعاث غازات أقل. يعتبر الكوارتز مفيدًا بشكل خاص للعمليات الحمضية عالية الحرارة الشائعة في تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.
اتصل بفريقنا الهندسي للحصول على الاستشارات الفنية والتسعير. سنساعدك في اختيار المواصفات المثلى لمتطلبات تطبيقك.
العربية 
English 
Русский 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe