- الصفحة الرئيسية
- /
- الأنواع
- /
- زجاجة كوارتز
- /
- مصدر كوارتز مصمم خصيصاً حسب الطلب...
زجاجات مصدر الكوارتز ذات الرتبة الهندسية المخصصة لأنظمة التفكيك القابل للذوبان/التفكيك بالحرارة -TOQUARTZ®
ميزات زجاجات مصدر الكوارتز
يتم تصنيع كل واحدة منها باستخدام مادة كوارتز من الدرجة الممتازة لضمان الأداء المتسق في البيئات الصعبة.
خواص المواد
- مادة كوارتز عالية النقاء (تصل إلى 99.995% SiO₂) للحد الأدنى من التلوث في تطبيقات أبحاث أشباه الموصلات والمواد
- مقاومة للصدمات الحرارية، قادرة على تحمل التغيرات السريعة في درجات الحرارة دون تشقق
- المقاومة الكيميائية للأحماض والقلويات والأملاح المنصهرة والغازات المحتوية على الفلور المستخدمة في عمليات الترسيب
- ثبات درجة حرارة عالية تصل إلى 1200 درجة مئوية، وهي مثالية لتطبيقات التفريد القابل للذوبان في درجة الحرارة العالية وتطبيقات تركيب المواد
ميزات التصميم
- أنابيب مدخل ومخرج مصممة بدقة للتحكم في تدفق الغاز وتكوين الفقاعات في أنظمة توصيل السلائف
- تصميم شفاف للغاية يسمح بمراقبة بصرية سهلة لمستويات السلائف وحركة الفقاعات أثناء التشغيل
- متوفر مع تركيبات مخصصة بما في ذلك الوصلات الزجاجية الأرضية أو تركيبات الضغط أو الوصلات المتخصصة للتكامل مع الأنظمة الحالية
- دقة أبعاد تصل إلى ± 0.1 مم للمكونات المهمة، مما يضمن أداءً موثوقًا وتوافق النظام
- نقاء 99.99% SiO₂ النقاء
- مقاومة المواد الكيميائية
- الوصلات الدقيقة
المواصفات الفنية لزجاجة مصدر الكوارتز
الخصائص الفيزيائية
| المعلمة | القيمة / الوصف |
| الكثافة | 2.2 جم/سم مكعب - يضمن الثبات الميكانيكي تحت التفريغ والدورة الحرارية |
| درجة حرارة العمل القصوى | 1200 درجة مئوية - مناسبة لتبخير السلائف ذات درجة الحرارة العالية في التبخير بالحرارة العالية في CVD/MOCVD |
| مقاومة الصدمات الحرارية | ∆T ≥ 900 درجة مئوية - يتحمل التسخين/التبريد السريع في الدورات النبضية للتجريد المستطيل |
| معامل التمدد الحراري | 5.5 × 10 × 10 ⁷ / درجة مئوية (20-800 درجة مئوية) - يقلل من الإجهاد أثناء التدرج الحراري |
| التوصيل الحراري | 1.4 واط/م كلفن (عند 20 درجة مئوية) - يدعم التوزيع الحراري المنتظم في مناطق السلائف |
الخواص الكيميائية
| المعلمة | القيمة / الوصف |
| محتوى SiO₂ من SiO₂ | ≥99.991.99% - يمنع التلوث المعدني في عمليات أشباه الموصلات دون 10 نانومتر |
| إجمالي العناصر النزرة | <10 جزء في المليون - تم التحقق من ذلك بواسطة GDMS لبيئات الترسيب فائقة النظافة |
| مقاومة الأحماض | ممتاز (باستثناء HF) - متوافق مع سلائف الهاليدات مثل TiCl₄، WF₆ |
| مقاومة القلويات | جيد تحت 600 درجة مئوية - مناسب لمعالجة السلائف الحساسة للقاعدة |
الخصائص البصرية
| المعلمة | القيمة / الوصف |
| معامل الانكسار | 1.458 (عند 589.3 نانومتر) - يتيح المراقبة البصرية لمستويات السلائف |
| انتقال الأشعة فوق البنفسجية | >80% (200-2000 نانومتر) - يدعم الفحص البصري وتشخيص العمليات القائمة على الأشعة فوق البنفسجية |
| الإرسال بالأشعة تحت الحمراء | جيد حتى 3.5 ميكرومتر - يسمح بالتسخين بالأشعة تحت الحمراء والمراقبة في أنظمة MOCVD |
TOQUARTZ® حل تحديات المختبر مع زجاجات مصدر الكوارتز
زجاجات مصدر الكوارتز لتصنيع أشباه الموصلات
المزايا الرئيسية
-
محتوى منخفض للغاية من المعادن النزرة
إجمالي الشوائب الفلزية < 5 جزء في البليون تم التحقق منه بواسطة نظام قياس كثافة الأيونات العالمية، مما يضمن عدم وجود تلوث أيوني في عمليات العقدة 7 نانومتر. -
ثبات الأبعاد في درجات الحرارة العالية
انجراف الأبعاد < 0.03 مم بعد التلدين عند درجة حرارة 1000 درجة مئوية لمدة 24 ساعة، وهو أمر بالغ الأهمية للتجانس الفوقي. -
توافق غاز الهاليد
مقاومة مثبتة لكل من TiCl₄، وWF₆، وBCl₃ مع عدم وجود انحلال في السطح بعد 200 دورة.
محلول توكارتز
واجهت إحدى الشركات المصنعة لأشباه الموصلات في الولايات المتحدة فقدان إنتاجية 12% بسبب تلوث السلائف في التفريغ القابل للذوبان بالقنوات القلبية الوسيطة القائم على TiCl₄. زودت شركة TOQUARTZ زجاجات مصدر الكوارتز مع <5 ppb impurity levels and halide-resistant polish. Yield improved by 9.4%, saving $27,000/month in wafer scrap.
زجاجات سلائف الكوارتز المنصهرة للبحث والتطوير
المزايا الرئيسية
-
سرعة إنجاز النماذج الأولية
يتم تسليم فقاعات الكوارتز المخصصة في 12 يوم عمل من الموافقة على الرسم إلى الشحن. -
التصنيع الهندسي المعقد
تم تحقيق تفاوت ± 0.1 مم على أنابيب مدخل ثلاثية الأبعاد مثنية بسماكة جدار 2.5 مم. -
لا يوجد موك للتصميمات المخصصة
طلبات مدعومة من قطعة واحدة لـ 7 تكوينات مختلفة من سلائف التفتيت الذائب الأحادي في دفعة واحدة.
محلول توكارتز
احتاج مختبر إحدى الجامعات الأوروبية إلى 3 فقاعات كوارتز فريدة من نوعها للتجريد المستطيل للمواد ثنائية الأبعاد الجديدة. قامت TOQUARTZ بتسليم جميع التصميمات الثلاثة في غضون أسبوعين، مما مكّن الفريق من تحقيق إنجاز منحة Horizon 2020 وتأمين 120,000 يورو كتمويل مستمر.
زجاجات مصدر زجاج الكوارتز لإنتاج المواد المتقدمة
المزايا الرئيسية
-
تكرار الأبعاد من دفعة إلى أخرى من دفعة إلى أخرى
تباين OD <± 0.05 مم عبر 200 وحدة إنتاج، تم التحقق من ذلك بواسطة القياس المجهري بالليزر. -
عمر التعرض للمواد الكيميائية الممتد
الحفاظ على السلامة الهيكلية بعد 500 ساعة من التعرض ل POCl₃ عند درجة حرارة 950 درجة مئوية. -
الإرسال على مدار 24 ساعة لوحدات حفظ المخزون القياسية
يتم شحن طرازي 500 مل و1500 مل في غضون 24 ساعة، مما يقلل من مخاطر تعطل الخط.
محلول توكارتز
عانى أحد موردي مواد OLED الكوريين من وقت تعطل لمدة 6 ساعات/شهر بسبب تعطل الفقاعات في تسليم POCl₃. استبدلت TOQUARTZ زجاجات المصدر بوحدات كوارتز عالية المتانة، مما أدى إلى إطالة عمر الخدمة بمقدار 3.2 ضعفًا وتقليل وقت التعطل بمقدار 831 تيرابايت 3 تيرابايت، مما وفر 1 تيرابايت 4 تيرابايت 18,000 دولار/شهر من الإنتاج المفقود.
TOQUARTZ® Customization Services for Quartz Source Bottles
استشارات التصميم
يحلل فريقنا الهندسي متطلبات العملية الخاصة بك ويوفر رسومات فنية لزجاجات مصدر الكوارتز المخصصة. يمكننا تعديل التصميمات الحالية أو إنشاء تكوينات جديدة تمامًا لتحسين توصيل السلائف.
تطوير النموذج الأولي
نحن ننتج نماذج أولية وظيفية لزجاجات مصدر الكوارتز المخصصة لتسليم سلائف ALD مع أوقات تسليم سريعة. اختبر مفاهيم التصميم الخاصة بك قبل الالتزام بكميات الإنتاج، مع تسليم النموذج الأولي النموذجي في غضون 2-3 أسابيع.
التصنيع الإنتاجي
بمجرد الانتهاء من التصميم الخاص بك، ننتقل إلى مرحلة التصنيع الإنتاجي مع مراقبة صارمة للجودة. نحافظ على مواصفات متسقة عبر الدفعات ونقدم أحجام إنتاج مرنة.
خيارات التخصيص
- سعات مخصصة من 500 مل إلى 5,000 مل
- تصميمات أنبوب المدخل المتخصصة لتحسين الفقاعات
- تركيبات مخصصة متوافقة مع نظامك الحالي
- تكوينات متعددة الغرف للعمليات المعقدة
- سمك الجدار المعدل لملامح حرارية محددة
- التكامل مع أنظمة التحكم في درجة الحرارة
إرشادات استخدام زجاجات مصدر الكوارتز
تُعد المناولة السليمة وتركيب زجاجات مصدر الكوارتز وصيانتها أمرًا ضروريًا لضمان الأداء الأمثل وعمر الخدمة الطويل في عمليات التفريغ القابل للذوبان بالبطاقات CVD وعمليات الترسيب الأخرى. ستساعدك الإرشادات التالية على تعظيم قيمة مكونات توصيل سلائف الكوارتز الخاصة بك.
المناولة والتركيب
- ارتدِ دائمًا قفازات نظيفة خالية من المسحوق عند التعامل مع زجاجات مصدر الكوارتز لمنع التلوث
- افحص جميع التوصيلات للتأكد من ملاءمتها قبل تركيبها في نظامك
- عند إحكام ربط التركيبات، استخدم ضغطًا متساويًا وتجنب الإفراط في الشد الذي قد يؤدي إلى تكسير الكوارتز
- السماح بخلوص كافٍ حول الزجاجة للتمدد الحراري أثناء دورات التسخين
التشغيل والصيانة
- تنفيذ دورات تسخين وتبريد تدريجية لمنع حدوث صدمة حرارية (المعدل الموصى به: <5°C/min)
- بالنسبة للتنظيف، استخدم فقط المذيبات والأحماض المعتمدة المتوافقة مع الكوارتز عالي النقاء
- افحص بانتظام بحثًا عن إزالة النتروجين (تبييض الكوارتز)، مما يشير إلى الحاجة إلى الاستبدال
- خزِّن الزجاجات الفارغة في بيئة نظيفة وجافة بعيدًا عن مصادر القلويات
2. عند الملء، احتفظ بثلث مساحة الرأس كحد أدنى للسماح بفقاعات الغاز وتمدده بشكل مناسب
3. بالنسبة للسلائف الحساسة لدرجات الحرارة، قم بتبريد الزجاجة مسبقاً قبل الملء
4. بعد التحميل، طهر النظام بغاز خامل قبل التسخين لإزالة أي رطوبة أو أكسجين
5. اتبع إرشادات المناولة الخاصة بالسلائف لمنع التحلل المبكر أو التلوث
هل أنت مستعد لتحسين نظام توصيل السلائف لديك؟
تقدم TOQUARTZ® حلولاً عالية الجودة مع دعم هندسي وأوقات تسليم سريعة.
لماذا الشراكة مع TOQUARTZ
ميزة المصنع المباشر
وبصفتنا شركة تصنيع مباشرة، يمكننا الاستغناء عن الروابط الوسيطة العديدة.
الخبرة الهندسية
يقوم الفريق التقني بتوجيه العملاء بدءاً من اختيار المواد إلى تحسين التصميم، وترجمة المواصفات إلى مخرجات.
التصنيع المرن
التعامل مع الطلبيات القياسية والمخصصة من خلال الخبرة في مجال الدُفعات الصغيرة والصرامة في وضع النماذج الأولية للوفاء بالمواعيد النهائية العاجلة.
الجودة
التأمين
التحقق من الصحة قبل الشحن في 3 خطوات:
1. دقة الأبعاد,
2. نقاء المادة,
3 - عتبات الأداء
سلسلة التوريد العالمية
خدمات لوجستية عالمية موثوقة إلى المراكز الصناعية (أولوية DE/US/JP/KR) مع مراحل إنجاز يمكن تتبعها.
المنتجات المستعادة
تقدم TOQUARTZ، بصفتها شركة تصنيع متخصصة تتمتع بقدرات المصنع المباشرة، حلول الكوارتز القياسية والمخصصة مع الدعم الهندسي طوال عملية تحديد المواصفات والتنفيذ.
الأسئلة الشائعة
س: ما هي زجاجة مصدر الكوارتز المستخدمة في CVD؟
ج: تُستخدم زجاجة مصدر الكوارتز في الترسيب الكيميائي للبخار في الترسيب الكيميائي للبخار لاحتواء وتوصيل السلائف الكيميائية التي تشكل الفيلم المترسب. ويمنع هيكل الكوارتز عالي النقاء التلوث مع السماح بالتبخر المتحكم فيه أو فقاعات الغاز الناقل من خلال السلائف لنقلها إلى غرفة التفاعل.
س: هل يمكن استخدام زجاجات مصدر الكوارتز مع السلائف المسببة للتآكل؟
ج: نعم، يوفر الكوارتز عالي النقاء مقاومة ممتازة لمعظم المواد الكيميائية المسببة للتآكل بما في ذلك الأحماض القوية (باستثناء HF) والقواعد التي تقل درجة حرارتها عن 600 درجة مئوية ومركبات الهالوجين التي يشيع استخدامها كسلائف. هذا الثبات الكيميائي يمنع تلوث السلائف ويضمن جودة ترسيب ثابتة.
س: ما درجة الحرارة التي يمكن أن تتحملها زجاجات مصدر الكوارتز؟
تحافظ المادة على سلامتها الهيكلية وخمولها الكيميائي في درجات الحرارة هذه، مما يجعلها مثالية لتطبيقات توصيل السلائف في درجات الحرارة العالية في عمليات التفريد القابل للذوبان بالحرارة CVD وعمليات التفريد بالحرارة المستديمة ALD.
س: هل يمكن استخدام زجاجات مصدر الكوارتز مع السلائف الصلبة؟
ج: نعم، يمكن تصميم زجاجات مصدر الكوارتز خصيصًا للسلائف الصلبة. تتميز هذه التصميمات عادةً بفتحات أوسع للتحميل، ومناطق تسخين متخصصة للتحكم في التسامي ومسارات تدفق الغاز المصممة لنقل السلائف المتسامية بكفاءة إلى غرفة التفاعل.
س: هل يمكن تصميم زجاجات مصدر الكوارتز المخصصة لأنظمة محددة للتجريد المستطيل الذائب؟
يمكننا إنشاء تكوينات مدخل مخصصة، وأنظمة توزيع الغاز، ومناطق التسخين، وأنواع التوصيلات لتحسين توصيل السلائف لتلبية متطلبات عملية إزالة التصلب الضوئي الذائب الأحادي الضوئي الخاصة بك.
اتصل بفريقنا الهندسي للحصول على الاستشارات الفنية والتسعير. سنساعدك في اختيار المواصفات المثلى لمتطلبات تطبيقك.
العربية 
English 
Русский 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe