- الصفحة الرئيسية
- /
- التطبيقات
- /
- زجاج كوارتز أشباه الموصلات
- /
- فرن كوارتز مخصص لإغلاق الغلاف الجوي...
باب فرن الكوارتز المخصص لغلق الغلاف الجوي لأفران أشباه الموصلات -TOQUARTZ®
ميزات باب فرن الكوارتز
أبواب أفران الكوارتز المصنعة من قبل TOQUARTZ® هي مكونات مصممة بدقة هندسية عالية مصممة للتطبيقات ذات درجات الحرارة العالية في الأفران الصناعية. وتوفر هذه المكونات الهامة مزيجًا فريدًا من الخصائص الحرارية والميكانيكية والكيميائية التي تضمن الأداء الأمثل في البيئات الصعبة.
مقاومة درجات الحرارة العالية
تتحمل درجات حرارة تشغيل تصل إلى 1600 درجة مئوية دون تشوه أو تدهور، مما يجعلها مثالية للعمليات ذات درجات الحرارة العالية في تصنيع أشباه الموصلات والخلايا الضوئية.
مقاومة الصدمات الحرارية
مقاومة ممتازة للتدوير الحراري والتغيرات المفاجئة في درجات الحرارة، مما يمنع التشقق ويطيل العمر التشغيلي في البيئات الحرارية الصعبة.
تمدد حراري منخفض
مع معامل تمدد حراري يبلغ 5.5 × 10×10-⁷/K، تحافظ أبواب أفران الكوارتز على ثبات الأبعاد أثناء تقلبات درجات الحرارة، مما يضمن إحكامًا موثوقًا وسلامة العملية.
- يتحمل المواد المسببة للتآكل في عملية أشباه الموصلات
- 99.99% SiO2 من أشباه الموصلات من الدرجة 99.99%
- أبعاد قابلة للتخصيص
المواصفات الفنية لباب فرن الكوارتز
يتم تصنيع أبواب أفران الكوارتز TOQUARTZ® وفقًا لمواصفات دقيقة، مما يضمن الأداء الأمثل في التطبيقات ذات درجات الحرارة العالية الصعبة. توفر البيانات الفنية التالية معلومات مفصلة عن الخصائص الفيزيائية والكيميائية والحرارية لمنتجاتنا.
| الممتلكات | القيمة | الوحدة |
| المواد | زجاج كوارتز عالي النقاء | – |
| محتوى SiO₂ من SiO₂ | ≥99.99 | % |
| درجة حرارة العمل القصوى | 1600 | °C |
| معامل التمدد الحراري | 5.5×10-⁷ | /K |
| التوصيل الحراري | 1.3 | ث/(م-ك) |
| الكثافة | 2.2 | جم/سم مكعب |
| قوة الشد | 50 | ميجا باسكال |
| تفاوت الأبعاد | ±0.2 | مم |
| تشطيب السطح | مصقول النار | – |
| مقاومة المواد الكيميائية | مقاومة للأحماض والقلويات وغازات الفلور | – |
TOQUARTZ® حل التحديات الحرجة مع أبواب أفران الكوارتز
أبواب أفران الكوارتز في صناعة الخلايا الكهروضوئية
المزايا الرئيسية
-
دقة الاحتفاظ بالغلاف الجوي في حدود ± 1.5%
يحافظ على ثبات تركيز غاز المنشطات أثناء الانتشار بدرجة حرارة 950 درجة مئوية للحصول على ملامح منشطات موحدة. -
انحراف توحيد المنشطات <2% across 156mm wafers
يضمن اتساق مقاومة الصفائح وكفاءة الخلايا في خطوط الطاقة الشمسية عالية الإنتاجية. -
تقليل مخاطر التلوث باستخدام 85% مقابل أبواب الألومينا
يمنع الكوارتز عالي النقاء انتشار أيونات المعادن ويحافظ على سلامة رقاقة السيليكون.
محلول توكارتز
أبلغت إحدى الشركات المصنعة للخلايا الشمسية من المستوى الأول في كوريا عن فقدان 2.81 تيرابايت 3 تيرابايت من العائد بسبب عدم اتساق المنشطات الناجم عن تسرب الغاز في نهايات الفرن.
وبعد التركيب، تحسن الإنتاجية بمقدار 2.41 تيرابايت 3 تيرابايت، وانخفض استخدام الغاز المخدّر بمقدار 111 تيرابايت 3 تيرابايت، مما وفر أكثر من 1 تيرابايت 4 تيرابايت 18,000/شهر من تكاليف المواد.
أبواب أفران الكوارتز المنصهرة في معالجة أشباه الموصلات
المزايا الرئيسية
-
توليد الجسيمات <0.1 pcs/cm²/hour under 1200°C
يقلل التلوث في عمليات الأكسدة في غرف التنظيف من الفئة 100. -
انجراف الأبعاد <0.05mm after 500 thermal cycles
يحافظ على سلامة الختم أثناء التلدين السريع ودورة الأكسدة. -
مقاومة التآكل لكل من Cl₂ وHCl حتى 1000 جزء في المليون
يضمن الثبات الهيكلي في بيئات الغازات شبه الموصلة العدوانية.
محلول توكارتز
شهد مصنع أمريكي لأشباه الموصلات في الولايات المتحدة 4 حالات إغلاق غير مخطط لها في شهرين بسبب تآكل باب السيراميك أثناء أكسدة كلوريد الهيدروجين.
سلمت TOQUARTZ® أبواب أفران الكوارتز بأبواب أفران الكوارتز ذات المقاومة الكيميائية المعززة وثبات الأبعاد. انخفض وقت التوقف عن العمل بمقدار 92%، مما وفر $380,000 في الإنتاج المفقود وخفض تكرار الصيانة بمقدار 60%.
أبواب أفران الكوارتز الزجاجية في تطبيقات الأبحاث المعملية
المزايا الرئيسية
-
نفاذية بصرية >90% عند 400-800 نانومتر
تمكين المراقبة البصرية في الوقت الحقيقي لعمليات التبلور والتفاعل. -
تكامل متعدد المنافذ بتفاوت ± 0.2 مم
يدعم المزدوجة الحرارية، ومدخل الغاز، ومنافذ أخذ العينات في إعدادات المختبر المدمجة. -
وقت التسليم المخصص <18 days for R&D projects
تسريع الجداول الزمنية للتجارب من خلال النماذج الأولية والتسليم السريع.
محلول توكارتز
احتاج مختبر جامعة يابانية إلى باب فرن كوارتز مزود بفتحات عرض مزدوجة و3 منافذ غاز لدراسة نمو البلورات الحساسة للوقت. حدد الموردون القياسيون 6-8 أسابيع.
سلمت TOQUARTZ® وحدة مخصصة بالكامل في 17 يومًا. وقد حقق المشروع إنجازه التمويلي، وأبلغ المختبر عن تحسن في الإنتاجية التجريبية بمقدار 301 تيرابايت 3 تيرابايت.
خدمات التخصيص TOQUARTZ® لباب فرن السيليكا المصهور
الهندسة والتصميم
- تحويل الرسم الفني وتحسينه
- النمذجة ثلاثية الأبعاد للأشكال الهندسية المعقدة
- اختيار المواد لتطبيقات محددة
- استشارات التصميم لتحقيق الأداء الأمثل
قدرات التصنيع
- أبعاد وسُمك جدار مخصص
- تكوينات أسطح الختم المتخصصة
- دمج منافذ العرض أو منافذ الوصول
- تصميمات أخدود الحلقة الدائري على شكل O لمتطلبات منع التسرب المحددة
الخدمات المعجّلة
- النماذج الأولية السريعة للتحقق من صحة التصميمات
- إنتاج دفعات صغيرة للاختبار
- التصنيع البديل في حالات الطوارئ
- الشحن على مدار 24 ساعة لأصناف المخزون
إرشادات استخدام باب فرن الكوارتز
تعتبر المناولة والتركيب والصيانة السليمة لأبواب أفران الكوارتز ضرورية لزيادة عمر الخدمة إلى أقصى حد وضمان الأداء الأمثل في التطبيقات ذات درجات الحرارة العالية. اتبع هذه الإرشادات لمنع التلف وإطالة العمر التشغيلي لمكونات الكوارتز الخاصة بك.
المناولة والتخزين
- ارتدِ قفازات نظيفة خالية من المسحوق عند التعامل مع أبواب أفران الكوارتز لمنع تلوث السطح
- يُخزن في العبوة الأصلية أو على أسطح نظيفة ومبطنة بعيدًا عن الصدمات المحتملة
- الحفاظ على بيئة التخزين في درجة حرارة ورطوبة مضبوطة (40-60% RH)
- تجنب التعرض لحمض الهيدروفلوريك (HF) أثناء التخزين
- افحص التشققات الدقيقة أو التلف قبل التركيب
إجراءات التثبيت
- نظف أسطح التركيب جيدًا قبل التركيب
- استخدم الحلقات أو الحشيات المناسبة لدرجات الحرارة المرتفعة والمتوافقة مع غازات المعالجة
- استخدم ضغطًا متساويًا عند التثبيت - تجنب الإفراط في الشد الذي يمكن أن يسبب نقاط إجهاد استخدم ضغطًا متساويًا عند التثبيت - تجنب الإفراط في الشد الذي يمكن أن يسبب نقاط إجهاد
- اتبع مواصفات عزم الدوران الموصى بها لأجهزة التركيب
- السماح بخلوص كافٍ للتمدد الحراري أثناء التشغيل
إدارة درجة الحرارة
- مراعاة درجة الحرارة القصوى المقدرة (1200 درجة مئوية لأبواب الكوارتز القياسية)
- التحكم في معدلات التسخين إلى <100°C/hour during initial warm-up to prevent thermal shock
- ضمان توحيد درجة الحرارة عبر الباب لمنع الإجهاد الموضعي
- السماح بالتبريد التدريجي عند إيقاف تشغيل أنظمة الأفران
- تجنب التلامس المباشر مع أنظمة التبريد أو المشتتات الحرارية
الصيانة والتنظيف
- افحص الأسطح المانعة للتسرب بانتظام بحثًا عن أي ترسبات أو تلف
- التنظيف باستخدام كحول الأيزوبروبيل عالي النقاء أو الأسيتون والمناديل الخالية من الوبر
- بالنسبة للرواسب العنيدة، استخدم المحاليل الحمضية المخففة (باستثناء HF) متبوعة بالشطف الشامل
- استبدل الحلقات الدائرية والحشيات وفقًا لجدول الشركة المصنعة
- توثيق سجل الصيانة لتتبع عمر المكونات وأدائها
مؤشرات الاستبدال
- التشققات الدقيقة المرئية أو إزالة التشققات السطحية
- صعوبة الحفاظ على جو العملية
- انخفاض أداء العملية أو العائد المتراجع
- زيادة استهلاك الغاز أو تقلبات الضغط أو زيادة استهلاك الغاز
هل تحتاج إلى دعم هندسي لمكونات الفرن الخاص بك؟
وتحسين التصميم لضمان الأداء الأمثل في بيئتك الخاصة.
لماذا الشراكة مع TOQUARTZ
ميزة المصنع المباشر
وبصفتنا شركة تصنيع مباشرة، يمكننا الاستغناء عن الروابط الوسيطة العديدة.
الخبرة الهندسية
يقوم الفريق التقني بتوجيه العملاء بدءاً من اختيار المواد إلى تحسين التصميم، وترجمة المواصفات إلى مخرجات.
التصنيع المرن
التعامل مع الطلبيات القياسية والمخصصة من خلال الخبرة في مجال الدُفعات الصغيرة والصرامة في وضع النماذج الأولية للوفاء بالمواعيد النهائية العاجلة.
الجودة
التأمين
التحقق من الصحة قبل الشحن في 3 خطوات:
1. دقة الأبعاد,
2. نقاء المادة,
3 - عتبات الأداء
سلسلة التوريد العالمية
خدمات لوجستية عالمية موثوقة إلى المراكز الصناعية (أولوية DE/US/JP/KR) مع مراحل إنجاز يمكن تتبعها.
المنتجات المستعادة
تقدم TOQUARTZ، بصفتها شركة تصنيع متخصصة تتمتع بقدرات المصنع المباشرة، حلول الكوارتز القياسية والمخصصة مع الدعم الهندسي طوال عملية تحديد المواصفات والتنفيذ.
الأسئلة الشائعة
س: فيمَ يُستخدم باب فرن الكوارتز؟
ج: تُستخدم أبواب أفران الكوارتز لإغلاق نهايات الأفران عالية الحرارة مع الحفاظ على استقرار درجة الحرارة الداخلية وظروف الغلاف الجوي. وهي مكونات بالغة الأهمية في تصنيع أشباه الموصلات وإنتاج أشباه الموصلات والإنتاج الكهروضوئي والأبحاث المختبرية حيث تكون سلامة العملية والتحكم في التلوث أمرًا ضروريًا. تساعد الأبواب في الحفاظ على التركيب الدقيق للغاز وتمنع فقدان الحرارة مع السماح بمراقبة العملية في بعض التكوينات.
س: كيف يتم استبدال باب فرن الكوارتز في فرن الانتشار؟
ج: لاستبدال باب فرن الكوارتز في فرن الانتشار:
1. تأكد من تبريد الفرن تمامًا لمنع حدوث صدمة حرارية
2. افصل أي أنابيب غاز أو معدات مراقبة متصلة بالباب.
3. قم بإزالة أجهزة التثبيت أثناء دعم الباب لمنع سقوطه
4. استخرج الباب القديم بحذر دون ملامسة عناصر التسخين
5. نظف سطح التركيب جيداً
6. افحص الحلقات الدائرية أو الحشيات واستبدلها
7. قم بتركيب باب الكوارتز الجديد باستخدام أجهزة التثبيت المناسبة
8. أحكم ربط السحابات بنمط عرضي لضمان الضغط المتساوي
9. إعادة توصيل خطوط الغاز ومعدات المراقبة
10. اختبر التسريبات باستخدام طريقة مناسبة لغازات المعالجة الخاصة بك
س: هل يمكن لأبواب أفران الكوارتز أن تتحمل درجات الحرارة العالية؟
ج: نعم، أبواب أفران الكوارتز مصممة خصيصًا لتحمل دورات الحرارة العالية. إن معامل تمددها الحراري المنخفض (5.5 × 10 × 10 ⁷/K) يجعلها مقاومة للغاية للصدمة الحرارية والتغيرات في الأبعاد أثناء دورات التسخين والتبريد. يمكن لأبواب الكوارتز المناسبة أن تتحمل عادةً آلاف الدورات الحرارية بين درجة حرارة الغرفة ودرجات حرارة التشغيل حتى 1600 درجة مئوية، شريطة التحكم في معدلات التسخين والتبريد (يوصى عمومًا بمعدلات تسخين وتبريد أقل من 100 درجة مئوية/ساعة أثناء مرحلتي التسخين الأولي والتبريد النهائي). للحصول على الأداء الأمثل للدورات، يعد التسخين/التبريد المنتظم والتركيب المناسب للسماح بالحد الأدنى من التمدد الحراري أمرًا ضروريًا.
س: ما هي درجة الحرارة القصوى لباب فرن الكوارتز؟
ج: يمكن لأبواب أفران الكوارتز القياسية عالية النقاء تحمل درجات حرارة تشغيل مستمرة تصل إلى 1600 درجة مئوية. وتعتمد درجة الحرارة القصوى العملية على عدة عوامل منها:
1. مدة التعرض (مستمر مقابل متقطع)
2. معدل التغير في درجة الحرارة (مقاومة الصدمات الحرارية)
3. الإجهاد الميكانيكي أثناء التركيب
4. وجود ملوثات قلوية (التي يمكن أن تخفض نقطة التليين)
في درجات الحرارة التي تقترب من 1600 درجة مئوية، يبدأ الكوارتز في التفتت بمرور الوقت، مكونًا هياكل بلورية يمكن أن تضر بالسلامة الميكانيكية. بالنسبة للتطبيقات التي تتطلب درجات حرارة أعلى من 1600 درجة مئوية، قد تكون هناك حاجة إلى تركيبات متخصصة أو مواد بديلة.
س: كيف يمكن طلب باب فرن كوارتز مخصص لفرن أنبوبي؟
ج: لطلب باب فرن كوارتز مخصص لفرن أنبوبي، قدم المعلومات التالية:
1. القطر الخارجي وسُمك جدار أنبوب الفرن الخاص بك
2. طريقة الإغلاق المطلوبة (حلقة على شكل O، وصلة ذات حواف، إلخ)
3. أي منافذ مطلوبة (مداخل/منافذ الغاز، الوصول إلى المزدوجات الحرارية، إلخ)
4. نطاق درجة الحرارة ومتطلبات التدوير
5. تكوين جو العملية (خاصة في حالة وجود غازات أكالة)
6. الرسومات الفنية أو الصور الفوتوغرافية للإعدادات الحالية (إن وجدت)
7. وصف التطبيق للمساعدة في تحسين التصميم
يمكن ل TOQUARTZ تطوير تصميم مخصص بناءً على متطلباتك، وتقديم رسومات فنية للموافقة عليها، والتصنيع وفقًا لمواصفات دقيقة مع مهلة زمنية نموذجية تتراوح من أسبوعين إلى ثلاثة أسابيع للتصميمات المخصصة.
اتصل بفريقنا الهندسي للحصول على الاستشارات الفنية والتسعير. سنساعدك في اختيار المواصفات المثلى لمتطلبات تطبيقك.
العربية 
English 
Русский 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe