- الصفحة الرئيسية
- /
- التطبيقات
- /
- زجاج كوارتز أشباه الموصلات
- /
- نقش الكوارتز المحفورة على الكوارتز المخصص...
حلقات نقش الكوارتز المحفورة المحسنة للعملية والمخصصة لغرف بلازما أشباه الموصلات - ®TOQUARTZ
مميزات خاتم نقش الكوارتز
TOQUARTZ® semiconductor quartz rings are engineered specifically for plasma etching equipment, offering exceptional properties that ensure stable process conditions and extended service life in demanding semiconductor manufacturing environments.
النقاء المادي
مصنوع من كوارتز عالي الجودة بدرجة نقاء 99.99% SiO₂ (يتوفر حتى 99.995%)، مما يقلل من التلوث المحتمل في عمليات أشباه الموصلات الحرجة.
الاستقرار الحراري
يتحمل درجات الحرارة القصوى التي تصل إلى 1600 درجة مئوية مع الحد الأدنى من التمدد الحراري (المعامل: 0.5×10-⁶/ك)، مما يضمن ثبات الأبعاد أثناء التدوير الحراري في عمليات الحفر بالبلازما.
توافق العملية
مصممة خصيصًا لعمليات حفر أشباه الموصلات بما في ذلك أنظمة ICP وRIE وDRIE، مع أبعاد محسّنة لتكوينات مختلفة للغرفة.
- يقاوم المحفورات القاسية لأشباه الموصلات القاسية
- معامل احتكاك منخفض للغاية
- يضمن إحكام إغلاق غرفة الحفر بشكل صحيح
المواصفات الفنية وأبعاد حلقة نقش الكوارتز المحفورة
TOQUARTZ® quartz etching rings are manufactured to precise specifications required for semiconductor processing equipment, featuring controlled physical, chemical, and thermal properties.
المواصفات الفنية لحلقة حفر الكوارتز
| الممتلكات | القيمة | الملاحظات |
| المواد | كوارتز عالي النقاء | 99.991.99% SiO₂ قياسي (يتوفر ما يصل إلى 99.995%) |
| الكثافة | 2.2 جم/سم مكعب | ± 0.02 جم/سم مكعب |
| قوة الانثناء | 48 ميجا باسكال | في درجة حرارة الغرفة |
| معامل المرونة | 72 جيجا باسكال | معامل يونغ |
| نسبة بواسون | 0.14-0.17 | – |
| قوة الانضغاط | 1100 ميجا باسكال | في درجة حرارة الغرفة |
| صلابة موس | 5.5-6.5 | – |
| درجة حرارة العمل القصوى (طويلة الأمد) | 1100°C | التشغيل المستمر |
| درجة حرارة العمل القصوى (قصيرة المدى) | 1350°C | التعرض المتقطع |
| التوصيل الحراري | 1.4 وات/م-ك | عند درجة حرارة 20 درجة مئوية |
| معامل التمدد الحراري | 5.5×10-⁷/°C | 20-1000 درجة مئوية |
| مقاومة محددة | 7 × 10⁷ Ω-سم | عند درجة حرارة 20 درجة مئوية |
| خشونة السطح | را ≤0.8 ميكرومتر | تشطيب قياسي |
مخطط مقاس خاتم الكوارتز المحفور المصهور المحفور
| الطراز | المواصفات | القطر الخارجي (مم) | السُمك (مم) | النقاء (%) |
| AT-TAZ-ER001 | 2 بوصة | 50.8 | 3 | 99.99 |
| AT-TAZ-ER002 | 4 بوصة | 101.6 | 4 | 99.99 |
TOQUARTZ® حل تحديات نقش أشباه الموصلات
مع خواتم كوارتز
حلقات نقش الكوارتز في مصانع أشباه الموصلات كبيرة الحجم: منع تعطل خط الإنتاج المكلف
المزايا الرئيسية
-
دعم برنامج الاستبدال المجدول
تدعم TOQUARTZ تسليم دورة ثابتة تتماشى مع نوافذ صيانة من 3 إلى 6 أشهر من الصيانة النهائية. -
الوفاء في حالات الطوارئ في <48 Hours
يمكن شحن حلقات نقش الكوارتز القياسية على مستوى العالم في غضون 48 ساعة لمنع تعطل العمل. -
معدل اتساق الدُفعات ≥ 99.7%
يضمن اتساق الأبعاد والمواد عبر الدفعات عدم حدوث أي أعطال في التركيب غير المخطط لها.
محلول توكارتز
أبلغت إحدى شركات تصنيع DRAM DRAM مقاس 12 بوصة في الولايات المتحدة التي تعمل على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع عن خسائر قدرها $220,000 يوميًا بسبب أعطال غير مخطط لها في حلقة الحفر.
في غضون 6 أشهر، انخفضت حوادث التعطل بمقدار 83%، وتم القضاء على حالات انقطاع العمليات المتعلقة بالحلقات.
يحافظ المصنع الآن على معدل وقت تشغيل 99.91 تيرابايت 3 تيرابايت في وحدة الحفر الخاصة به مع شركة TOQUARTZ كمورد الحلقات الوحيد.
حلقات نقش الكوارتز المنصهرة لمصنعي المعدات المخصصة: تلبية متطلبات الأبعاد الدقيقة
المزايا الرئيسية
-
± 0.08 مم التفاوت المسموح به في OD/ID
تحقق TOQUARTZ تفاوتًا قدره ± 0.08 مم على الأقطار الخارجية/الداخلية لتصميمات الغرف الخاصة بمصنعي المعدات الأصلية. -
دقة موضع الفتحة ≤ ± 0.1 مم
ثقوب التركيب مثقوبة باستخدام الحاسب الآلي بانحراف موضعي ≤ ± 0.1 مم على امتداد 100 مم. -
الانحراف من دفعة إلى أخرى < 0.05 مم
يتم التحكم في انحراف الأبعاد عبر الدفعات في أقل من 0.05 مم لضمان تكرار التجميع.
محلول توكارتز
طلب أحد مصنعي المعدات الأصلية الألمان حلقات كوارتز مقاس 6 بوصات مع 6 ثقوب تركيب غير متماثلة وتفاوت ± 0.1 مم.
وكان معدل الرفض لدى الموردين السابقين 12% بسبب عدم محاذاة الثقوب وتقطيع الحواف.
سلمت TOQUARTZ® 300 حلقة مع رفض 0% و <0.03mm deviation verified by CMM reports.
The OEM reduced assembly rework time by 40% and signed a 2-year supply agreement.
حلقات نقش زجاج الكوارتز لتطوير العمليات المتقدمة: متطلبات نقاء المواد
المزايا الرئيسية
-
النجاسة الفلزية ≤ 10 جزء في المليون
حلقات الكوارتز TOQUARTZ معتمدة بإجمالي شوائب معدنية ≤10 جزء في البليون من إجمالي الشوائب المعدنية للعقدة المتقدمة للبحث والتطوير. -
CF₄/O₂ بلازما التحمل ≥ 72 ساعة
تحافظ الحلقات على سلامتها الهيكلية بعد التعرض لمدة 72 ساعة لبلازما CF₄/O₂ عند درجة حرارة 800 درجة مئوية. -
عدد الجسيمات السطحية < 5 قطع/سم²
يتم التحكم في عدد الجسيمات بعد التنظيف بأقل من 5 قطع/سم² (≥ 0.3 ميكرومتر) في ظل ظروف الفئة 5 من ISO.
محلول توكارتز
احتاج مختبر بحث وتطوير ياباني يعمل على تطوير عقد منطقية 3 نانومتر إلى حلقات كوارتز فائقة النقاء للحفر القائم على الكربون.
زودت TOQUARTZ® حلقات مزودة بمحتوى معدني ≤8ppbb و <3 pcscm² surface particles.
بعد التعرض للبلازما لمدة 72 ساعة، لم يتم اكتشاف أي تدهور هيكلي أو تلوث.
أبلغ المختبر عن انخفاض 92% في العيوب الناتجة عن الجسيمات مقارنةً بالموردين السابقين.
خدمات التخصيص من TOQUARTZ® لخدمات تخصيص خواتم الكوارتز المحفورة
قدرات التصميم المخصص
-
تخصيص الأبعاد
أقطار خارجية/داخلية وسُمك وحواف مخصصة مصممة خصيصًا لتصميم غرفتك الخاصة. -
ميزات التركيب
ثقوب تثبيت مثقوبة بدقة، أو فتحات، أو شقوق، أو شقوق، أو ميزات أخرى لضمان المحاذاة والتركيب المناسبين. -
ميزات التركيب
ثقوب تثبيت مثقوبة بدقة، أو فتحات، أو شقوق، أو شقوق، أو ميزات أخرى لضمان المحاذاة والتركيب المناسبين. -
معالجات السطح
التشطيبات السطحية الخاصة، بما في ذلك التلميع بالنار أو الطحن أو التنظيف الكيميائي لتلبية متطلبات خشونة السطح المحددة.
عملية الطلب المخصص
-
تحليل المتطلبات
أرسل الرسومات أو المواصفات أو العينات. سيقوم مهندسونا بمراجعة ومناقشة المتطلبات الفنية. -
تأكيد التصميم
نقدم رسومات تفصيلية للموافقة عليها قبل بدء الإنتاج. -
تطوير النموذج الأولي
بالنسبة للتصميمات المعقدة، يمكننا إنتاج نماذج أولية للاختبار والتحقق من صحتها. -
الإنتاج ومراقبة الجودة
يضمن الفحص والاختبار الصارم استيفاء جميع المواصفات. -
التوصيل والدعم
شحن سريع مع وثائق كاملة ودعم فني كامل.
إرشادات الاستخدام والصيانة لحلقة حفر الكوارتز
تُعد المناولة والتركيب والصيانة السليمة لحلقات معالجة الكوارتز ضرورية لتحقيق أقصى قدر من الأداء وعمر الخدمة في تطبيقات حفر أشباه الموصلات.
المناولة والتركيب
- تعامل دائمًا مع حلقات الكوارتز بقفازات خالية من المسحوق في غرف الأبحاث لمنع التلوث
- افحص الشقوق أو التشققات أو العيوب السطحية قبل التركيب
- تأكد من أن أسطح التركيب نظيفة وخالية من الجسيمات
- أحكم ربط أجهزة التثبيت تدريجيًا بشكل متقاطع لضمان توزيع الضغط بشكل متساوٍ
- تجنب الشد المفرط الذي يمكن أن يؤدي إلى حدوث نقاط إجهاد ويؤدي إلى كسور
- لا تستخدم أبدًا الأدوات المعدنية مباشرة على أسطح الكوارتز أثناء التركيب
الصيانة والاستبدال
- وضع جدول زمني للتفتيش المنتظم بناءً على ظروف العملية
- مراقبة علامات التآكل أو تغير اللون أو تغيرات الأبعاد
- فترة الاستبدال النموذجية: 500-1000 ساعة معالجة (تختلف حسب الاستخدام)
- وضع جدول زمني استباقي للاستبدال لمنع التعطل غير المخطط له
- التنظيف باستخدام مذيبات معتمدة فقط من فئة أشباه الموصلات إذا لزم الأمر
- تجنب التغيرات المفاجئة في درجات الحرارة التي يمكن أن تسبب صدمة حرارية
توصيات التخزين
- يُحفظ في العبوة الأصلية حتى يصبح جاهزاً للاستخدام
- يُحفظ في بيئة نظيفة وجافة مع التحكم في الرطوبة
- ظروف التخزين المثالية: 20-25 درجة مئوية، رطوبة نسبية 40-60%
- استخدم مواد ناعمة خالية من الوبر كفواصل بين الحلقات المتعددة
- تجنب تكديس العناصر الثقيلة فوق مكونات الكوارتز
هل تحتاج إلى مساعدة فنية لحلقات نقش الكوارتز؟
لماذا الشراكة مع TOQUARTZ
ميزة المصنع المباشر
وبصفتنا شركة تصنيع مباشرة، يمكننا الاستغناء عن الروابط الوسيطة العديدة.
الخبرة الهندسية
يقوم الفريق التقني بتوجيه العملاء بدءاً من اختيار المواد إلى تحسين التصميم، وترجمة المواصفات إلى مخرجات.
التصنيع المرن
التعامل مع الطلبيات القياسية والمخصصة من خلال الخبرة في مجال الدُفعات الصغيرة والصرامة في وضع النماذج الأولية للوفاء بالمواعيد النهائية العاجلة.
الجودة
التأمين
التحقق من الصحة قبل الشحن في 3 خطوات:
1. دقة الأبعاد,
2. نقاء المادة,
3 - عتبات الأداء
سلسلة التوريد العالمية
خدمات لوجستية عالمية موثوقة إلى المراكز الصناعية (أولوية DE/US/JP/KR) مع مراحل إنجاز يمكن تتبعها.
المنتجات المستعادة
تقدم TOQUARTZ، بصفتها شركة تصنيع متخصصة تتمتع بقدرات المصنع المباشرة، حلول الكوارتز القياسية والمخصصة مع الدعم الهندسي طوال عملية تحديد المواصفات والتنفيذ.
الأسئلة الشائعة
س: ما هي حلقة حفر الكوارتز المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات؟
ج: حلقات الحفر بالكوارتز (وتسمى أيضًا حلقات عملية الكوارتز) هي مكونات مهمة في معدات الحفر بالبلازما المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات. وهي تعمل كفواصل بين حجرة البلازما والركيزة التي يتم حفرها، مما يساعد على احتواء وتوجيه البلازما، والحفاظ على اتساق العملية، ومنع التلوث. إن نقاوتها العالية وثباتها الحراري ومقاومتها الكيميائية تجعلها مثالية لتحمل بيئات البلازما العدوانية المستخدمة في عمليات حفر الرقائق.
س: كيف يمكن لحلقة الكوارتز تحسين عمليات الحفر بالبلازما؟
ج: تعمل حلقات الكوارتز على تحسين عمليات الحفر بالبلازما بعدة طرق:
(1) تساعد في الحفاظ على بيئة بلازما متسقة من خلال توفير تباعد ومحاذاة دقيقين داخل الحجرة,
(2) يمنع نقاؤها العالي التلوث المعدني الذي قد يضر بأداء أجهزة أشباه الموصلات,
(3) يضمن استقرارها الحراري ثبات أبعادها أثناء تقلبات درجات الحرارة;
(4) تساعد خصائصها العازلة الكهربائية في التحكم في توزيع البلازما.
وتساهم هذه الفوائد مجتمعةً في تحسين اتساق الحفر وزيادة إنتاجية المعالجة وأداء الجهاز الأكثر اتساقًا.
س: ما هي المتطلبات المادية لحلقات الكوارتز في حفر أشباه الموصلات؟
ج: يجب أن تستوفي حلقات الكوارتز الخاصة بحفر أشباه الموصلات متطلبات المواد الصارمة:
(1) عالية النقاء (عادةً 99.99% SiO₂ أو أعلى) لمنع التلوث,
(2) ثبات حراري ممتاز لتحمل درجات حرارة المعالجة حتى 1600 درجة مئوية,
(3) مقاومة كيميائية فائقة ضد الغازات المسببة للتآكل والبلازما,
(4) معامل تمدد حراري منخفض لثبات الأبعاد,
(5) خصائص مادية متسقة مع الحد الأدنى من العيوب أو الشوائب,
(6) تفاوتات أبعاد دقيقة، عادةً ± 0.1 مم أو أفضل.
تضمن هذه المتطلبات موثوقية المعالجة وتمنع خسائر الإنتاجية في تصنيع الرقاقات.
س: هل حلقات الكوارتز الخاصة بك متوافقة مع عمليات الحفر القائمة على الفلور؟
ج: نعم، حلقات الحفر المصنوعة من الكوارتز لدينا متوافقة مع عمليات الحفر القائمة على الفلور المستخدمة عادةً في تصنيع أشباه الموصلات. وتوفر تركيبة الكوارتز عالية النقاء الخاصة بنا مقاومة ممتازة للغازات المفلورة مثل CF₄ و SF₆ وNF₃ وNF₃ وCHF₃. وعلى الرغم من أن جميع أنواع الكوارتز ستواجه بعض التآكل التدريجي في بيئات بلازما الفلور، إلا أن حلقات TOQUARTZ تُظهر متانة فائقة مع معدلات تآكل أقل عادةً بمقدار 20-301 تيرابايت 3 تيرابايت أقل من الكوارتز التجاري القياسي. بالنسبة لعمليات الفلور العدوانية بشكل خاص، يمكننا أن نوصي بالتركيبات والسماكات المحسنة لزيادة عمر الخدمة إلى أقصى حد.
س: كيف تقارن حلقات حفر الكوارتز بالبدائل الخزفية؟
ج: حلقات الحفر الكوارتز وبدائل السيراميك (عادةً الألومينا أو نيتريد الألومنيوم) لكل منهما مزايا مميزة: يوفر الكوارتز نقاءً فائقًا (99.99%+ SiO₂)، وشفافية ممتازة للمراقبة البصرية، وتوليد جسيمات أقل، وتمدد حراري منخفض جدًا. عادةً ما يوفر السيراميك قوة ميكانيكية أفضل، وموصلية حرارية أعلى، وفي بعض الحالات مقاومة أفضل لكيميائيات بلازما محددة. يعتمد الاختيار على متطلبات العملية - يفضل الكوارتز عمومًا للتطبيقات التي تتطلب نقاءً عاليًا ووضوحًا بصريًا وتمددًا حراريًا أقل، بينما يمكن اختيار السيراميك للتطبيقات التي تتطلب قوة هيكلية أكبر أو إدارة حرارية.
اتصل بفريقنا الهندسي للحصول على الاستشارات الفنية والتسعير. سنساعدك في اختيار المواصفات المثلى لمتطلبات تطبيقك.
العربية 
English 
Русский 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe