- Ev
- /
- Uygulamalar
- /
- Yarı İletken Kuvars Cam
- /
- Özelleştirilmiş Termal Kararlı Kuvars Gofret...
Yarı İletken ve Solar İşleme için Özelleştirilmiş Termal Stabil Kuvars Gofret Teknesi -TOQUARTZ®
Silikon gofret taşıyıcı kuvars tekneler 1100°C'ye kadar termal kararlılığa, üstün korozyon direncine ve yüksek elektrik direncine (7×10⁷ Ω-cm) sahiptir.
Kuvars Gofret Teknesinin Özellikleri
Malzeme Mükemmelliği
- Yüksek Saflıkta: 99,995%'ye kadar SiO₂ içeriği kritik süreçlerde minimum kontaminasyon sağlar
- Üstün Güç: 350 MPa'ya kadar eğilme dayanımı taşıma streslerine karşı dayanıklıdır
- Kimyasal Stabilite: Asitlere, alkalilere, erimiş tuzlara ve florlu gazlara karşı dayanıklı
Termal Performans
- Yüksek Sıcaklık Kararlılığı: Sürekli çalışma için 1100°C'de yapısal bütünlüğünü korur
- Düşük Termal Genleşme: 5,5×10-⁷/°C katsayısı termal döngü sırasında bükülmeyi en aza indirir
- Termal İletkenlik: İşleme sırasında verimli ısı transferi için 120-160 W/m-K
Pratik Avantajlar
- Uzatılmış Kullanım Ömrü: Düşük aşınma oranı üretim ortamlarında hizmet ömrünü uzatır
- Elektrik İzolasyonu: Yüksek direnç (7×10⁷ Ω-cm) elektriksel paraziti önler
- Optik Özellikler: Özel uygulamalar için 1,4585 refraktif indeks

- Dopant Girişimini En Aza İndirin
- Çarpıklıksız Hizalama
- Termal Döngü Direnci
Kuvars Gofret Teknesi Teknik Özellikleri
Kuvars Cam Gofret Teknesi Teknik Özellikleri
Fiziksel Özellikler
Mülkiyet | Değer | Birim |
Yoğunluk | 2.2 | g/cm3 |
Eğilme Dayanımı | 48 | MPa |
Elastik Modül | 72 | GPa |
Poisson Oranı | 0.14-0.17 | – |
Basınç Dayanımı | 1100 | MPa |
Bükülme Dayanımı | 67 | MPa |
Moh'un Sertliği | 5.5-6.5 | – |
Termal Özellikler
Mülkiyet | Değer | Birim |
Maksimum Çalışma Sıcaklığı (uzun süreli) | 1100 | °C |
Maksimum Çalışma Sıcaklığı (kısa süreli) | 1300 | °C |
Termal İletkenlik | 1.4 | W/m-K |
Termal Genleşme Katsayısı | 5.5×10-⁷ | /°C |
Optik ve Elektriksel Özellikler
Mülkiyet | Değer | Birim |
Kırılma İndisi | 1.4585 | – |
Spesifik Direnç | 7×10⁷ | Ω-cm |
Özelleştirilmiş Erimiş Kuvars Gofret Teknesi Boyutları
TOQUARTZ® müşteri gereksinimlerine göre özel spesifikasyonları karşılayabilir. Detaylı boyutsal özellikler ve özel boyutlandırma seçenekleri için mühendislik ekibimizle iletişime geçin.
TOQUARTZ® Kuvars Gofret Teknesi ile Kritik Zorlukları Çözüyor
Yarı İletken Difüzyon Süreçleri için Kuvars Cam Gofret Tekneleri
Temel Avantajlar
-
1100°C'de Boyutsal Kararlılık
TOQUARTZ® gofret teknelerinin bakımı <0.15mm deformation after 100 cycles at 1100°C in diffusion furnaces. -
Ultra Düşük İyonik Kontaminasyon
ICP-MS testi, Na⁺, K⁺ ve Fe³⁺ iyon seviyelerinin 0,1 ppm'in altında olduğunu doğrulayarak dopant girişimini en aza indirir. -
Yuva Paralellik Kontrolü
Yuvadan yuvaya paralellik sapması, 25 yuvalı konfigürasyonlarda 0,05 mm içinde kontrol edilir.
TOQUARTZ® çözümü
ABD merkezli bir yarı iletken ekipman entegratörü, 8 inçlik gofretler için yapısal bütünlüğü koruyabilecek ve 1030°C difüzyon sırasında kontaminasyonu önleyebilecek kuvars teknelere ihtiyaç duyuyordu. Önceki tedarikçilerinin tekneleri 60 döngüden sonra eğrilerek yonga plakasının yanlış hizalanmasına ve verim kaybına neden oluyordu.
TOQUARTZ® çift aşamalı bir tavlama işlemi ve asit liçi protokolü uygulayarak 120+ döngüden sonra boyutsal olarak stabil kalan ve tespit edilebilir iyonik kalıntı bırakmayan tekneler üretti.
Güneş Pili Üretimi için Kaynaşmış Kuvars Gofret Tekneleri
Temel Avantajlar
-
Termal Döngü Direnci
TOQUARTZ® tekneler mikro çatlak yayılımı olmadan 200'den fazla termal döngüye (20-1100°C) dayanır. -
Kütle Yükleme için Yüksek Yuva Düzgünlüğü
Yuva aralığı sapması, 100 yuvalı solar wafer taşıyıcıları boyunca ±0,03 mm içinde kontrol edilir. -
Çarpıklıksız Hizalama
Döngü sonrası düzlük sapması, inline difüzyon sistemlerinde 180 döngüden sonra 0,2 mm'nin altında kalır.
TOQUARTZ® çözümü
Polonyalı bir güneş modülü üreticisi, mevcut kuvars teknelerindeki yuva deformasyonu nedeniyle yüksek verimli difüzyon sırasında gofret kırılması ve yanlış hizalama ile karşılaştı.
TOQUARTZ®, FEM simülasyonunu kullanarak yuva geometrisini yeniden tasarladı ve temel yapıyı güçlendirdi. 180 termal döngüden sonra, tekneler 0,2 mm sapma içinde hizalamayı koruyarak yonga plakası kırılmasını 27% azalttı ve partiler arasında hücre verimliliği tutarlılığını artırdı.
Araştırma Uygulamaları için Erimiş Silika Wafer Tekneler
Temel Avantajlar
-
Standart Dışı Wafer Uyumluluğu
Hibrit deneyler için karışık yuvalı konfigürasyonlarla 2" ila 8" arasındaki yonga plakası çaplarını destekler. -
Hızlı Prototipleme Hassasiyeti
CNC kontrollü yuva işleme, küçük partili özel siparişlerde tekrarlanabilirlik sağlar. -
Geometri Uyarlanabilirliği
Kenar odaklı termal çalışmalar için asimetrik veya kısmi yuvalı tasarımları destekler.
TOQUARTZ® çözümü
Bir Alman üniversite laboratuvarı, asimetrik ısıtma bölgelerine ve standart olmayan yuva aralıklarına sahip 6 inçlik gofretleri içeren bir prototip işlemi için kuvars teknelere ihtiyaç duyuyordu.
TOQUARTZ®, laboratuvarın benzersiz geometri ve termal profil gereksinimlerini karşılamak için 5 eksenli CNC işleme ve dijital yuva haritalama uyguladı. Tekneler dahili hizalama testlerini geçti ve laboratuvarın yapısal arıza veya yuva sapması olmadan 3 deneysel çalışmayı tamamlamasını sağladı.
Kuvars Cam Gofret Teknesi için TOQUARTZ® Özelleştirme Hizmetleri
Boyutsal Özelleştirme
- Özel uzunluk, genişlik ve yükseklik özellikleri
- Termal gereksinimler için özel duvar kalınlığı
- Aksi belirtilmedikçe veya kullanıcı tarafından talep edilmedikçe boyut toleransı.
Özel Tasarım
Özellikler
- 5'ten 200+ pozisyona kadar özel slot sayısı
- Farklı yonga plakası kalınlıkları için değişken yuva aralığı
- Kenar koruması için özel yuva geometrileri
Performans Optimizasyonu
- Daha az partikül oluşumu için parlatılmış yüzeyler
- Gelişmiş termal özellikler için zemin kaplaması
- Ultra yüksek saflıktaki uygulamalar için özel temizleme protokolleri

Özel Tasarım Süreci
Gereksinim Toplama ve Teknik Danışmanlık
- Wafer boyutu, yuva sayısı, fırın tipi ve termal koşullar dahil olmak üzere ayrıntılı uygulama verilerini toplayarak işe başlıyoruz. Müşteriler çizimleri gönderebilir veya doğrudan kuvars mühendislik ekibimize danışabilir.
Kuvars Wafer Tekne Tasarımı ve Simülasyonu
- Mühendislerimiz, boyutsal stabilite ve termal performans sağlamak için FEM termal stres analizi ve yuva geometrisi optimizasyonunu içeren özel kuvars gofret teknesinin 2D / 3D CAD modellerini oluşturur.
Prototip Üretimi ve Doğrulama
- CNC işleme ve hassas kanal açma araçları kullanarak bir prototip üretiyoruz. Her özel kuvars gofret teknesi, onaylanmadan önce boyutsal inceleme, termal şok testi ve yuva hizalama doğrulamasından geçer.
Toplu Üretim ve Teslimat
- Prototip onayının ardından, tam kalite kontrol dokümantasyonu ile seri üretime başlıyoruz. Standart teslim süresi 15-20 iş günüdür. Acil projeler için hızlandırılmış kuvars wafer tekne üretimi mevcuttur.
Kuvars Gofret Teknesi Kullanım Kılavuzu
Taşıma Prosedürleri
- Yüksek sıcaklıklarda kusurlara neden olabilecek kirlenmeyi ve parmak izlerini önlemek için temiz eldivenlerle tutun.
- Kuvars, yüksek sıcaklığa dayanıklı olmasına rağmen ufalanmaya ve çatlamaya karşı hassas olduğundan, çarpma veya düşürmeden kaçının.
- Kullanılmadığında çizilmeyi önlemek için yumuşak temas noktalarına sahip özel depolama rafları kullanın.
- Hasar riskini en aza indirmek için kuvars gofret teknelerini koruyucu ambalaj içinde taşıyın.
Sıcaklık Yönetimi
- Sürekli kullanım için 1100°C veya kısa süreli işlemler için 1350°C olan maksimum çalışma sıcaklığını aşmayın.
- Hızlı termal döngüden kaçının; termal şoku önlemek için 5-8°C/dakika veya daha düşük rampa hızları önerilir.
- Termal stres kırılmalarını önlemek için kullanmadan veya temizlemeden önce yeterli soğuma süresi bırakın.
- Belirtilen sınırların ötesinde yanlışlıkla aşırı ısınmayı önlemek için sıcaklık kalibrasyonlu fırınlar kullanın.
Kimyasal Uyumluluk
- Kuvars asidik bir malzemedir; yüksek sıcaklıklarda alkalin bileşiklerle (sodyum/potasyum bileşikleri, su bardağı) temastan kaçının.
- Çoğu asitle uyumludur, ancak hidroflorik asit (HF) kuvarsı aşındırır ve bundan kaçınılmalıdır.
- Yüksek sıcaklıklarda kuvarsın devitrifikasyonuna (kristalleşmesine) neden olabilecek metal kontaminasyonundan kaçının.
- Proses gereksinimlerinize göre uygun çözücüler/asitler ile temizleyin; özel öneriler için teknik ekibimize danışın.
Bakım ve Temizlik
- Yapısal bütünlüğü tehlikeye atabilecek çatlak, talaş veya devitrifikasyon olup olmadığını düzenli olarak inceleyin.
- Özel kirleticileriniz için uygun kimyasallarla ultrasonik banyolar kullanarak temizleyin.
- Kalıcı birikintiler için piranha çözeltisi (H₂SO₄:H₂O₂) veya RCA temizleme yöntemleri uygun olabilir (güvenlik yönergelerine bakın).
- Arıza meydana gelmeden önce değiştirme ihtiyaçlarını öngörmek için kullanım döngülerini belgeleyin.
Uygulamaya özel kullanım kılavuzları veya sorun giderme yardımı için, özel proses parametrelerinize göre özelleştirilmiş öneriler sağlayabilecek teknik destek ekibimizle iletişime geçin.
Kuvars Gofret Teknesi Gereksinimleriniz için Mühendislik Desteğine mi İhtiyacınız Var?
Özel kuvars gofret teknesi gereksinimlerinizi görüşmek için bugün bize ulaşın.
Neden TOQUARTZ ile Ortak Olmalısınız?
Doğrudan Fabrika Avantajı
Doğrudan bir üretici olarak, çok sayıda ara bağlantıyı ortadan kaldırabiliriz.
Mühendislik Uzmanlığı
Teknik ekip, malzeme seçiminden tasarım optimizasyonuna kadar müşterilere rehberlik eder ve teknik özellikleri çıktılara dönüştürür.
Esnek Üretim
Acil teslim tarihlerini karşılamak için küçük parti uzmanlığı ve prototipleme titizliği ile standart ve özel siparişleri ele alma.
Kalite
Güvence
Sevkiyat öncesi 3 aşamalı doğrulama:
1. boyutsal doğruluk,
2. malzeme saflığı,
3. performans eşi̇kleri̇
Küresel Tedarik Zinciri
Endüstriyel merkezlere (DE/US/JP/KR öncelikli) izlenebilir kilometre taşlarıyla güvenilir küresel lojistik.
Yeniden Üretilen Ürünler
Doğrudan fabrika yeteneklerine sahip uzman bir üretici olarak TOQUARTZ, spesifikasyon ve uygulama süreci boyunca mühendislik desteği ile hem standart hem de özel kuvars çözümleri sunar.
SSS
S: Kuvars gofret teknesinin tanımı nedir?
C: Kuvars gofret teknesi, yarı iletken ve güneş pili üretiminde yüksek sıcaklıkta ısıl işlem operasyonları sırasında silikon gofretleri tutmak ve taşımak için kullanılan yüksek saflıkta bir kuvars taşıyıcıdır. Bu tekneler, tutarlı gofret aralığı ve konumlandırmasını korumak için hassas işlenmiş yuvalara sahiptir.
S: Kuvars gofret tekneleri için ana uygulamalar nelerdir?
C: Kuvars gofret tekneleri öncelikle yarı iletken difüzyon ve oksidasyon süreçlerinde, güneş pili üretiminde, LED üretiminde ve yüksek sıcaklık kararlılığı ve malzeme saflığının kritik gereksinimler olduğu malzeme araştırmalarında kullanılır.
S: Kuvarsı gofret tekneleri için tercih edilen malzeme yapan nedir?
C: Olağanüstü termal kararlılığı, minimum termal genleşmesi, kimyasal inertliği ve yüksek sıcaklıkta işleme sırasında kontaminasyonu önleyen yüksek saflığı (tipik olarak 99.995% SiO₂) nedeniyle gofret tekneleri için yüksek saflıkta kuvars tercih edilir.
S: Bir kuvars gofret teknesinin dayanabileceği maksimum sıcaklık nedir?
C: TOQUARTZ® kuvars gofret tekneleri 1100°C'ye kadar sürekli çalışma sıcaklıklarına ve 1300°C'ye kadar kısa süreli maruz kalmaya dayanabilir. Kuvars yonga plakası sıcaklık limiti, yumuşama noktası ve devitrifikasyonun (kristalleşme) başlangıcı ile belirlenir.
S: Kuvars wafer tekne tasarımı için teknik destek sağlıyor musunuz?
C: Evet, TOQUARTZ® mühendislik ekibi, kuvars gofret teknenizi belirli işleme koşullarına göre optimize etmek için kapsamlı tasarım desteği sağlar. Termal performansı, mekanik stabiliteyi ve hizmet ömrünü iyileştirmek için modifikasyonlar önerebiliriz.
Teknik danışmanlık ve fiyatlandırma için mühendislik ekibimizle iletişime geçin. Uygulama gereksinimleriniz için en uygun özellikleri seçmenize yardımcı olacağız.