Yarı İletken ve Güneş Enerjisi İşleme için Büyük Çaplı Özelleştirilebilir Kuvars Difüzyon Fırını Tüpü-TOQUARTZ®
Kuvars Difüzyon Fırını Tüpünün Temel Özellikleri
TOQUARTZ® Kuvars difüzyon fırını tüpleri, hassas termal işleme uygulamaları için gerekli olan olağanüstü performans özellikleri sağlayan yüksek saflıkta erimiş silikadan üretilmiştir. Bu özellikler, zorlu yarı iletken ve güneş pili üretim ortamlarında güvenilirlik sağlar.
Termal Kararlılık
1100°C'de sürekli çalışmaya ve 1350°C'ye kadar kısa süreli maruz kalmaya minimum deformasyonla dayanır. Son derece düşük termal genleşme katsayısı (5,5×10-⁷/°C) hızlı sıcaklık değişimleri sırasında çatlamayı önler.
Kimyasal Direnç
Yarı iletken işlemede yaygın olarak kullanılan asitlere, alkalilere, erimiş tuzlara ve halojen gazlara karşı son derece dayanıklıdır. Yüksek sıcaklıklardaki agresif kimyasal ortamlarda bile yapısal bütünlüğünü korur.
Hassas Boyutsal Kontrol
Çap ve et kalınlığı için ±0,2 mm standart hassasiyetle sıkı toleranslara göre üretilmiştir. Optimum sızdırmazlık ve gaz akışı özellikleri gerektiren kritik uygulamalar için ±0,1 mm'lik geliştirilmiş hassasiyet mevcuttur.
- Yüksek Saflıkta 99.99% SiO₂ içeriği
- 280-780nm dalga boyunda 1mm kalınlık için ≥93% iletim
- 7×10⁷ Ω-cm Elektrik Direnci
Erimiş Kuvars Difüzyon Fırını Tüpünün Özellikleri
TOQUARTZ® kuvars difüzyon fırını tüpleri, yüksek sıcaklıklı işleme ortamlarında optimum performans sağlayan hassas teknik özelliklere göre üretilir. Her tüp, boyutsal doğruluğu ve malzeme özelliklerini doğrulamak için titiz kalite kontrol testlerinden geçirilir.
Malzeme Özelliği
| Mülkiyet | Değer |
| 1. Fiziksel Özellikler | |
| Yoğunluk | 2,2 g/cm3 |
| Fleksür Dayanımı | 48 MPa |
| Elastik Modül | 72 GPa |
| Poisson Oranı | 0.14-0.17 |
| Basınç Dayanımı | 1100 MPa |
| Bükülme Dayanımı | 67 MPa |
| Moh'un Sertliği | 5.5-6.5 |
| 2. Termal ve Optik Özellikler | |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı (uzun süreli) | 1100°C |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı (kısa süreli) | 1350°C |
| Termal İletkenlik | 1,4 W/m-K |
| Termal Genleşme Katsayısı | 5.5×10-⁷ /°C |
| Kırılma İndisi | 1.4585 |
| Spesifik Direnç | 7×10⁷ Ω-cm |
| İletim (280-780nm) | ≥93% (1mm kalınlık) |
Standart Ölçüler
| Model | Dış Çap (mm) | İç Çap (mm) | Duvar Kalınlığı (mm) | Uzunluk (mm) | SiO₂ İçerik (%) |
| AT-SY-XG001 | 55 | 50 | 2.5 | 1500-2000 | 99.99 |
| AT-SY-XG002 | 90 | 83 | 3.5 | 1500-2000 | 99.99 |
| AT-SY-XG003 | 200 | 190 | 5 | 2000-3500 | 99.99 |
| AT-SY-XG004 | 330 | 314 | 8 | 2000-3500 | 99.99 |
| AT-SY-XG005 | 430 | 410 | 10 | 2000-3500 | 99.99 |
| AT-SY-XG006 | 550 | 520 | 15 | 2000-3500 | 99.99 |
Boyutsal Toleranslar
| Dış Çap (mm) | Dış Çap (%) | Kalınlık (%) | Yuvarlaklık (%) | Maksimum Eğrilik (%) | Uç Yüzü Düzlüğü (mm) | Uç Yüzey Dikliği (mm) |
| 200≤φ＜250 | ±0.5 | ±10 | ±0.5 | 0.3 | ±0.1 | ±0.5 |
| φ≥250 | ±0.5 | ±10 | ±0.5 | 0.3 | ±0.1 | ±0.5 |
TOQUARTZ® Kuvars Difüzyon Fırını Tüpü ile Zorlukları Çözme
Yarı İletken Üretiminde Kuvars Difüzyon Fırını Tüpleri
Temel Avantajlar
-
300mm yonga plakası partilerinde optimize edilmiş gaz akışı homojenliği
İç yuvarlaklık toleransı ≤0,3%, doping ve oksidasyon sırasında tutarlı gaz dağılımı sağlar. -
1200°C sürekli çalışma altında boyutsal kararlılık
Duvar kalınlığı sapması ≤±0,2 mm, uzun döngülü tavlamada termal deformasyonu önler. -
Temiz oda ortamlarında azaltılmış partikül üretimi
Yüzey pürüzlülüğü Ra ≤0,8μm, yüksek saflıkta işleme sırasında mikro partikül dökülmesini en aza indirir.
TOQUARTZ® çözümü
ABD'deki bir yarı iletken fabrikası, 300 mm yığın difüzyonunda gaz akışı türbülansı nedeniyle 12% yonga plakası verim kaybı bildirdi. TOQUARTZ®, gelişmiş yuvarlaklığa ve ±0,2 mm duvar toleransına sahip kuvars difüzyon tüpleri tedarik etti. Uygulama sonrasında verim kaybı 3%'ye düştü. Müşteri, TOQUARTZ tüplerini 2 ay içinde dört difüzyon hattının tamamında standartlaştırdı.
Güneş Pili Üretiminde Erimiş Kuvars Difüzyon Fırını Tüpleri
Temel Avantajlar
-
300+ döngüyü aşan termal döngü dayanıklılığı
Tüpler 1000°C'de 300+ fosfor/bor katkılama döngüsünden sonra yapısal bütünlüğünü korur. -
Vakum bütünlüğü için gaz geçirmez flanş tasarımı
Özel flanş sızdırmazlığı sağlar <10⁻³ mbar leak rate, verified by helium leak testing. -
Kararlı biriktirme için duvar kalınlığı homojenliği
Kalınlık sapması ≤±0.15mm, LPCVD sırasında düzgün silikon nitrür kaplama sağlar.
TOQUARTZ® çözümü
Koreli bir güneş modülü tesisi, 120 döngüden sonra tüp arızasıyla karşılaştı ve ayda 18 saat kesintiye neden oldu. TOQUARTZ®, optimize edilmiş duvar dağılımı ve flanş sızdırmazlığı ile güçlendirilmiş kuvars tüpler sağladı. Tüp ömrü 320 çevrime uzatılarak duruş süresi ayda 4 saate düşürüldü. Müşteri bir çeyrek içinde sipariş hacmini 40%'ye çıkardı.
Araştırma Uygulamalarında Erimiş Silika Difüzyon Fırını Tüpleri
Temel Avantajlar
-
Özel spesifikasyonlar için 3 haftalık geri dönüş ile MOQ yok
Laboratuvar ölçekli kurulumlar için ±0,1 mm'ye kadar uyarlanmış ID/OD toleranslarına sahip tek üniteli siparişleri destekler. -
CVD esnekliği için çoklu giriş ve port entegrasyonu
Kullanıcı çizimlerine göre tüp başına 4 adede kadar gaz girişini ve 2 termokupl portunu destekler. -
Deneysel iterasyonlar için hızlı prototipleme
Prototipin 18 iş günü içinde teslim edilmesi, yeni termal süreçlerin hızlı bir şekilde doğrulanmasını sağlar.
TOQUARTZ® çözümü
Bir Avrupa üniversitesi laboratuvarı, yeni bir CVD kurulumu için 280 mm dış çapa sahip 2 portlu bir kuvars tüpe ihtiyaç duyuyordu. Yerel tedarikçiler, MOQ ≥5 birim ile 10 haftalık teslim süresi teklif etti. TOQUARTZ®, ±0,1 mm toleransla 19 gün içinde tek üniteli bir prototip teslim etti. Laboratuvar, hibe kilometre taşını planlanandan 6 hafta önce tamamladı ve 3 varyantı yeniden sipariş etti.
Kuvars Difüzyon Fırını Tüpü için TOQUARTZ® Özelleştirme Seçenekleri
TOQUARTZ®, özel proses gereksinimlerinizi karşılamak üzere kuvars difüzyon fırını tüpleri için kapsamlı özelleştirme olanakları sunar. Mühendislik ekibimiz, benzersiz uygulamanız için performansı optimize eden çözümler geliştirmek üzere doğrudan sizinle birlikte çalışır.
Son İşlem Seçenekleri
- Flanşlı uçlar (standart veya özel tasarımlar)
- Topraklama bağlantıları
- Ateş cilalı uçlar
- Boncuklu uçlar
- Girişli kapalı/mühürlü uçlar
Yapısal Değişiklikler
- Çoklu gaz girişleri
- Termokupl bağlantı noktaları
- İç bölmeler
- Çok bölgeli konfigürasyonlar
- Konsantrik boru tasarımları
Yüzey İşlemleri
- Zemin/buzlu yüzeyler
- Yüksek cilalı iç yüzeyler
- Opak bölümler
- Dereceli işaretler
- Özel kaplamalar
Özelleştirme Süreci
-
Gereksinim Analizi
Teknik özelliklerinizi, süreç parametrelerinizi ve operasyonel ortamınızı analiz ediyoruz. -
Tasarım ve Mühendislik
Mühendislerimiz, onayınız için ayrıntılı çizimler ve üretim spesifikasyonları geliştirir. -
Prototip Üretimi
Tam üretimden önce test ve doğrulama için bir numune üretiyoruz. -
Üretim ve Kalite Kontrol
Kapsamlı kalite kontrol ve dokümantasyon ile tam üretim.
Erimiş Kuvars Difüzyon Fırını Tüpü için Kullanım Kılavuzları
Kuvars difüzyon fırını tüplerinin doğru kullanımı, kurulumu ve bakımı, performansı ve çalışma ömrünü en üst düzeye çıkarmak için çok önemlidir. Bu yönergelerin izlenmesi hasarın önlenmesine yardımcı olacak ve ısıl işlem uygulamalarınızda tutarlı sonuçlar elde etmenizi sağlayacaktır.
Taşıma ve Kurulum
- Kirlenmeyi ve parmak izlerini önlemek için kuvars tüpleri kullanırken daima temiz, pudrasız eldivenler giyin.
- Mekanik gerilimi önlemek için taşıma ve montaj sırasında boruyu tüm uzunluğu boyunca destekleyin.
- Destek armatürlerinin uygun hizalamayı koruduğundan ve termal genleşmeyi karşıladığından emin olun.
- Gerilim yoğunlaşmalarını önlemek için flanş bağlantılarını sıkarken eşit tork uygulayın.
- Çalışma sıcaklığı aralığınız için derecelendirilmiş uyumlu sızdırmazlık malzemeleri kullanın.
Temizlik ve Bakım
- Temizlik için hidroflorik asit, hidroklorik asit veya nitrik asit karışımları gibi seyreltik asit çözeltileri (konsantrasyon 5%'nin altında) kullanın.
- Aşırı aşındırmayı veya yetersiz temizliği önlemek için asitle temizleme süresini sıkı bir şekilde kontrol edin.
- Asit temizliğinden sonra yüzeydeki tüm asit kalıntılarını gidermek için deiyonize su ile iyice durulayın.
- Asidik temizlik atık suyunu bertaraf etmeden önce çevre yönetmeliklerine uygun şekilde arıtın.
- Bakım ihtiyacına işaret edebilecek tortu, renk değişikliği veya mikro çatlaklara karşı düzenli olarak kontrol edin.
Sıcaklık Kontrol Yönergeleri
- 200 mm çapındaki borular için: 1100°C'ye kadar maksimum 5°C/dakika
- 200 mm'den büyük çaplı borular için: 1100°C'ye kadar maksimum 3°C/dakika
- 1100°C'nin üzerinde: hızı maksimum 2°C/dk'ya düşürün
- Çalışma sıcaklığından 800°C'ye kadar: maksimum 3°C/dk
- 800°C'den 500°C'ye: maksimum 5°C/dakika
- 500°C'nin altında: doğal soğutma kabul edilebilir
Teknik Yardıma mı İhtiyacınız Var?
Proje gereksinimlerinizi görüşmek için bugün bize ulaşın.
Neden TOQUARTZ ile Ortak Olmalısınız?
Doğrudan Fabrika Avantajı
Doğrudan bir üretici olarak, çok sayıda ara bağlantıyı ortadan kaldırabiliriz.
Mühendislik Uzmanlığı
Teknik ekip, malzeme seçiminden tasarım optimizasyonuna kadar müşterilere rehberlik eder ve teknik özellikleri çıktılara dönüştürür.
Esnek Üretim
Acil teslim tarihlerini karşılamak için küçük parti uzmanlığı ve prototipleme titizliği ile standart ve özel siparişleri ele alma.
Kalite
Güvence
Sevkiyat öncesi 3 aşamalı doğrulama:
1. boyutsal doğruluk,
2. malzeme saflığı,
3. performans eşi̇kleri̇
Küresel Tedarik Zinciri
Endüstriyel merkezlere (DE/US/JP/KR öncelikli) izlenebilir kilometre taşlarıyla güvenilir küresel lojistik.
Yeniden Üretilen Ürünler
Doğrudan fabrika yeteneklerine sahip uzman bir üretici olarak TOQUARTZ, spesifikasyon ve uygulama süreci boyunca mühendislik desteği ile hem standart hem de özel kuvars çözümleri sunar.
SSS
S: Kuvars difüzyon tüpü ne için kullanılır?
C: Kuvars difüzyon tüpleri yarı iletken üretiminde, güneş pili üretiminde ve yüksek sıcaklıkta termal işleme uygulamaları için laboratuvar ortamlarında kullanılır. Doping, tavlama, oksidasyon ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) gibi işlemler için kontrollü bir ortam sağlarlar. Yüksek saflıkları, termal stabiliteleri ve kimyasal dirençleri, kontaminasyon kontrolü ve hassas sıcaklık yönetiminin gerekli olduğu bu kritik uygulamalar için idealdir.
S: Yarı iletken işlemede kullanılan kuvars tüplerin saflığı nedir?
C: Yarı iletken işleme uygulamaları için tipik olarak en az 99,99% SiO₂ saflık seviyesine sahip kuvars tüpler gereklidir. TOQUARTZ difüzyon tüpleri, milyarda parça seviyelerine kadar kontrol edilen metal safsızlıkları ile 99,995% SiO₂ saflığı sunar. Bu yüksek saflık, eser safsızlıkların bile cihaz performansını tehlikeye atabileceği yarı iletken yonga plakası işlemede kontaminasyonu önlemek için gereklidir. Güneş pili üretimi veya genel laboratuvar kullanımı gibi daha az kritik uygulamalar için 99,99% saflığa sahip tüpler genellikle yeterlidir.
S: Kuvars difüzyon tüpleri için sıcaklık sınırı nedir?
C: TOQUARTZ® difüzyon tüpleri 1100°C'ye kadar sıcaklıklarda sürekli çalışmaya ve 1350°C'ye kadar kısa süreli maruz kalmaya dayanabilir. Pratik sıcaklık limiti tüp boyutları, duvar kalınlığı, destek konfigürasyonu ve ısıtma/soğutma oranları gibi çeşitli faktörlere bağlıdır. Daha büyük çaplı borular, sarkma veya deformasyonu önlemek için daha düşük maksimum sıcaklıklar gerektirebilir. 1200°C'nin üzerinde çalışma gerektiren uygulamalarda, boru tasarımını ve malzeme seçimini optimize etmek için mühendislik ekibimize danışmanızı öneririz. Termal şoku önlemek ve çalışma ömrünü uzatmak için tüm tüpler kontrollü hızlarda (tipik olarak 3-5°C/dk) ısıtılmalı ve soğutulmalıdır.
S: Kuvars difüzyon tüpleri için mevcut maksimum boyutlar nelerdir?
C: TOQUARTZ®, dış çapları 55 mm ila 550 mm arasında değişen, duvar kalınlıkları 2,5 mm ila 15 mm arasında olan difüzyon tüpleri üretebilir. Büyük çaplı borular için standart maksimum uzunluğumuz 3500 mm'dir, ancak özel gereksinimlere göre özel uzunluklar üretebiliriz. Aşırı büyük çaplar (>550mm) veya özel konfigürasyonlar için lütfen fizibilite değerlendirmesi için mühendislik ekibimizle iletişime geçin. Boyutsal toleranslar çap için ±0,5% ve et kalınlığı için ±10% olarak korunur ve kritik uygulamalar için gelişmiş hassasiyet mevcuttur.
S: Büyük kuvars tüpler için nakliye ve taşıma gereksinimleri nelerdir?
C: Büyük çaplı kuvars difüzyon tüpleri, nakliye sırasında hasarı önlemek için özel paketleme ve taşıma prosedürleri gerektirir. TOQUARTZ, uluslararası nakliye sırasında tüpleri sabitlemek için süspansiyon montajlı ve şok emici malzemelere sahip özel tasarlanmış ahşap kasalar kullanır. Her tüp ayrı ayrı koruyucu köpüğe sarılır ve kontaminasyonu önlemek için plastikle kapatılır. Uzunluğu 2 metreyi veya çapı 300 mm'yi aşan tüpler için özel nakliye düzenlemeleri öneriyoruz. Lojistik ekibimiz, uluslararası siparişler için gümrük belgeleri de dahil olmak üzere tüm nakliye ayrıntılarını koordine eder. Teslim alındıktan sonra, tüpler hala ambalaj içindeyken incelenmeli ve kuruluma kadar yastıklı destekler üzerinde yatay olarak saklanmalıdır.
Teknik danışmanlık ve fiyatlandırma için mühendislik ekibimizle iletişime geçin. Uygulama gereksinimleriniz için en uygun özellikleri seçmenize yardımcı olacağız.
Türkçe 
English 
Русский 
العربية 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil