- Ev
- /
- Uygulamalar
- /
- Yarı İletken Kuvars Cam
- /
- Özel Süreç Optimize Kuvars Aşındırma...
Yarı İletken Plazma Odaları için Özel Proses Optimize Kuvars Aşındırma Halkaları-TOQUARTZ®
Kuvars Aşındırma Yüzüğünün Özellikleri
TOQUARTZ® yarı iletken kuvars halkaları, plazma aşındırma ekipmanı için özel olarak tasarlanmıştır ve zorlu yarı iletken üretim ortamlarında istikrarlı proses koşulları ve uzun hizmet ömrü sağlayan olağanüstü özellikler sunar.
Malzeme Saflığı
99,99% SiO₂ saflığında (99,995%'ye kadar mevcut) birinci sınıf kuvarsdan üretilmiştir ve kritik yarı iletken proseslerinde potansiyel kontaminasyonu en aza indirir.
Termal Kararlılık
Minimum termal genleşme (katsayı: 0,5×10-⁶/K) ile 1600°C'ye kadar aşırı sıcaklıklara dayanır ve plazma aşındırma işlemlerinde termal döngü sırasında boyutsal kararlılık sağlar.
Süreç Uyumluluğu
ICP, RIE ve DRIE sistemleri dahil olmak üzere yarı iletken aşındırma işlemleri için özel olarak tasarlanmıştır ve çeşitli hazne konfigürasyonları için optimize edilmiş boyutlara sahiptir.
- Sert yarı iletken aşındırıcılara karşı dayanıklıdır
- Son derece düşük sürtünme katsayısı
- Düzgün aşındırma odası sızdırmazlığı sağlar
Kuvars Aşındırma Halkasının Teknik Özellikleri ve Boyutları
TOQUARTZ® kuvars aşındırma halkaları, kontrollü fiziksel, kimyasal ve termal özelliklere sahip yarı iletken işleme ekipmanı için gereken hassas özelliklere göre üretilir.
Kuvars Aşındırma Halkasının Teknik Özellikleri
| Mülkiyet | Değer | Notlar |
| Malzeme | Yüksek Saflıkta Kuvars | 99,99% SiO₂ standart (99,995%'ye kadar mevcut) |
| Yoğunluk | 2,2 g/cm³ | ±0,02 g/cm³ |
| Eğilme Dayanımı | 48 MPa | Oda sıcaklığında |
| Elastik Modül | 72 GPa | Young modülü |
| Poisson Oranı | 0.14-0.17 | – |
| Basınç Dayanımı | 1100 MPa | Oda sıcaklığında |
| Moh'un Sertliği | 5.5-6.5 | – |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı (Uzun süreli) | 1100°C | Sürekli çalışma |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı (Kısa süreli) | 1350°C | Aralıklı maruziyet |
| Termal İletkenlik | 1,4 W/m-K | 20°C'de |
| Termal Genleşme Katsayısı | 5.5×10-⁷/°C | 20-1000°C aralığı |
| Spesifik Direnç | 7×10⁷ Ω-cm | 20°C'de |
| Yüzey Pürüzlülüğü | Ra≤0,8μm | Standart kaplama |
Erimiş Kuvars Aşındırma Yüzük Ölçü Tablosu
| Model | Şartname | Dış Çap (mm) | Kalınlık (mm) | Saflık (%) |
| AT-TAZ-ER001 | 2 inç | 50.8 | 3 | 99.99 |
| AT-TAZ-ER002 | 4 inç | 101.6 | 4 | 99.99 |
TOQUARTZ® Yarı İletken Aşındırma Zorluklarını Çözüyor
Kuvars Halkalar ile
Yüksek Hacimli Yarı İletken Fabrikalarında Kuvars Aşındırma Halkaları: Maliyetli Üretim Hattı Kesintilerini Önleme
Temel Avantajlar
-
Planlı Yenileme Programı Desteği
TOQUARTZ, 3-6 aylık fab bakım pencereleriyle hizalanmış sabit döngülü teslimatı destekler. -
Acil Durum Yerine Getirme <48 Hours
Standart kuvars aşındırma halkaları, arıza süresini önlemek için 48 saat içinde dünya çapında gönderilebilir. -
Toplu Tutarlılık Oranı ≥ 99,7%
Partiler arasında boyutsal ve malzeme tutarlılığı, planlanmamış montaj hatalarının sıfır olmasını sağlar.
TOQUARTZ® çözümü
7/24 çalışan ABD merkezli bir 12 inç DRAM fabrikası, planlanmamış aşındırma halkası arızalarından kaynaklanan $220.000/gün kayıp bildirdi.
TOQUARTZ® 90 günlük bir ikmal planı ve acil durum stok tamponu uyguladı.
6 ay içinde duruş süreleri 83% azaldı ve halka ile ilgili proses kesintileri ortadan kalktı.
Fabrika şu anda tek halka tedarikçisi olarak TOQUARTZ ile aşındırma modülünde 99,9% çalışma süresi oranını koruyor.
Özel Ekipman Üreticileri için Erimiş Kuvars Aşındırma Halkaları: Tam Boyutsal Gereksinimlerin Karşılanması
Temel Avantajlar
-
±0,08 mm OD/ID toleransı
TOQUARTZ, OEM'e özel hazne tasarımları için dış/iç çaplarda ±0,08 mm tolerans sağlar. -
Delik Konumu Doğruluğu ≤ ±0,1 mm
Montaj delikleri, 100 mm açıklık boyunca ≤ ±0,1 mm konumsal sapma ile CNC ile delinmiştir. -
Partiden Partiye Sapma < 0,05 mm
Montaj tekrarlanabilirliğini sağlamak için partiler arasındaki boyutsal sapma 0,05 mm'nin altında kontrol edilir.
TOQUARTZ® çözümü
Bir Alman OEM, 6 asimetrik montaj deliği ve ±0,1 mm toleransa sahip 6 inçlik kuvars halkalara ihtiyaç duyuyordu.
Önceki tedarikçiler delik hizasızlığı ve kenar talaşlanması nedeniyle 12% ret oranına sahipti.
TOQUARTZ® 0% reddi ile 300 halka teslim etti ve <0.03mm deviation verified by CMM reports.
The OEM reduced assembly rework time by 40% and signed a 2-year supply agreement.
İleri Proses Geliştirme için Kuvars Cam Aşındırma Halkaları: Malzeme Saflık Gereksinimleri
Temel Avantajlar
-
Metalik Safsızlık ≤ 10ppb
TOQUARTZ kuvars halkalar, gelişmiş düğüm Ar-Ge'si için ≤10ppb toplam metalik safsızlıklar ile sertifikalandırılmıştır. -
CF₄/O₂ Plazma Dayanıklılığı ≥ 72 saat
Halkalar 800°C'de CF₄/O₂ plazmaya 72 saat maruz kaldıktan sonra yapısal bütünlüğünü korur. -
Yüzey Partikül Sayısı < 5 adet/cm²
Temizleme sonrası partikül sayısı ISO Sınıf 5 koşulları altında 5 adet/cm² (≥0,3μm) altında kontrol edilir.
TOQUARTZ® çözümü
3nm mantık düğümleri geliştiren bir Japon Ar-Ge laboratuvarı, CF₄ tabanlı aşındırma için ultra saf kuvars halkalara ihtiyaç duyuyordu.
TOQUARTZ® ≤8ppb metal içerikli halkalar tedarik etti ve <3 pcscm² surface particles.
72 saat plazma maruziyetinden sonra yapısal bozulma veya kontaminasyon tespit edilmemiştir.
Laboratuvar, önceki tedarikçilere kıyasla partikül kaynaklı kusurlarda 92%'lik bir azalma olduğunu bildirdi.
Kuvars Aşındırma Yüzükleri için TOQUARTZ® Özelleştirme Hizmetleri
Özel Tasarım Yetenekleri
-
Boyutsal Özelleştirme
Özel oda tasarımınıza göre uyarlanmış özel dış/iç çaplar, kalınlıklar ve kenar profilleri. -
Montaj Özellikleri
Doğru hizalama ve kurulumu sağlamak için hassas delinmiş montaj delikleri, yuvalar, çentikler veya diğer özellikler. -
Montaj Özellikleri
Doğru hizalama ve kurulumu sağlamak için hassas delinmiş montaj delikleri, yuvalar, çentikler veya diğer özellikler. -
Yüzey İşlemleri
Belirli yüzey pürüzlülüğü gereksinimlerini karşılamak için ateşle parlatma, taşlama veya kimyasal temizleme dahil olmak üzere özel yüzey kaplamaları.
Özel Sipariş Süreci
-
Gereksinim Analizi
Çizimleri, teknik özellikleri veya numuneleri gönderin. Mühendislerimiz teknik gereksinimleri gözden geçirecek ve tartışacaktır. -
Tasarım Onayı
Üretim başlamadan önce onay için ayrıntılı çizimler sunuyoruz. -
Prototip Geliştirme
Karmaşık tasarımlar için test ve doğrulama amacıyla prototip numuneler üretebiliriz. -
Üretim ve Kalite Kontrol
Titiz denetim ve testler tüm spesifikasyonların karşılanmasını sağlar. -
Teslimat ve Destek
Eksiksiz dokümantasyon ve teknik destek ile hızlı sevkiyat.
Kuvars Aşındırma Halkasının Kullanım ve Bakım Yönergeleri
Yarı iletken aşındırma uygulamalarında performansı ve hizmet ömrünü en üst düzeye çıkarmak için kuvars proses halkalarının doğru kullanımı, kurulumu ve bakımı çok önemlidir.
Taşıma ve Kurulum
- Kontaminasyonu önlemek için kuvars halkaları daima pudrasız temiz oda eldivenleriyle tutun
- Montajdan önce talaş, çatlak veya yüzey kusurları olup olmadığını inceleyin
- Montaj yüzeylerinin temiz ve partikülsüz olduğundan emin olun
- Eşit basınç dağılımı sağlamak için montaj donanımını çapraz bir düzende kademeli olarak sıkın
- Stres noktaları oluşturabilecek ve kırılmalara yol açabilecek aşırı sıkmadan kaçının
- Kurulum sırasında asla doğrudan kuvars yüzeylerde metal aletler kullanmayın
Bakım ve Değiştirme
- Proses koşullarına göre düzenli bir denetim programı oluşturun
- Erozyon, renk değişikliği veya boyutsal değişiklik belirtilerini izleyin
- Tipik değiştirme aralığı: 500-1000 işlem saati (uygulamaya göre değişir)
- Planlanmamış arıza sürelerini önlemek için proaktif bir değiştirme programı geliştirin
- Gerekirse yalnızca onaylı yarı iletken sınıfı çözücüler kullanarak temizleyin
- Termal şoka neden olabilecek ani sıcaklık değişimlerinden kaçının
Depolama Önerileri
- Kullanıma hazır olana kadar orijinal ambalajında saklayın
- Temiz, kuru ve nemi kontrollü bir ortamda muhafaza edin
- İdeal saklama koşulları: 20-25°C, 40-60% bağıl nem
- Birden fazla halka arasında ayırıcı olarak yumuşak, tüy bırakmayan malzemeler kullanın
- Ağır eşyaları kuvars bileşenlerin üzerine istiflemekten kaçının
Kuvars Aşındırma Halkaları Teknik Yardıma mı İhtiyacınız Var?
Neden TOQUARTZ ile Ortak Olmalısınız?
Doğrudan Fabrika Avantajı
Doğrudan bir üretici olarak, çok sayıda ara bağlantıyı ortadan kaldırabiliriz.
Mühendislik Uzmanlığı
Teknik ekip, malzeme seçiminden tasarım optimizasyonuna kadar müşterilere rehberlik eder ve teknik özellikleri çıktılara dönüştürür.
Esnek Üretim
Acil teslim tarihlerini karşılamak için küçük parti uzmanlığı ve prototipleme titizliği ile standart ve özel siparişleri ele alma.
Kalite
Güvence
Sevkiyat öncesi 3 aşamalı doğrulama:
1. boyutsal doğruluk,
2. malzeme saflığı,
3. performans eşi̇kleri̇
Küresel Tedarik Zinciri
Endüstriyel merkezlere (DE/US/JP/KR öncelikli) izlenebilir kilometre taşlarıyla güvenilir küresel lojistik.
Yeniden Üretilen Ürünler
Doğrudan fabrika yeteneklerine sahip uzman bir üretici olarak TOQUARTZ, spesifikasyon ve uygulama süreci boyunca mühendislik desteği ile hem standart hem de özel kuvars çözümleri sunar.
SSS
S: Yarı iletken üretiminde kuvars aşındırma halkası ne için kullanılır?
C: Kuvars aşındırma halkaları (kuvars proses halkaları olarak da adlandırılır) yarı iletken üretiminde kullanılan plazma aşındırma ekipmanının kritik bileşenleridir. Plazma odası ile aşındırılan alt tabaka arasında ara parça görevi görerek plazmanın tutulmasına ve yönlendirilmesine, proses homojenliğinin korunmasına ve kirlenmenin önlenmesine yardımcı olurlar. Yüksek saflıkları, termal kararlılıkları ve kimyasal dirençleri sayesinde yonga plakası aşındırma işlemlerinde kullanılan agresif plazma ortamlarına dayanmak için idealdirler.
S: Kuvars halka plazma aşındırma işlemlerini nasıl iyileştirir?
C: Kuvars halkalar plazma aşındırma işlemlerini çeşitli şekillerde iyileştirir:
(1) Hazne içinde hassas aralık ve hizalama sağlayarak tutarlı bir plazma ortamının korunmasına yardımcı olurlar,
(2) Yüksek saflıkları, yarı iletken cihaz performansını tehlikeye atabilecek metal kontaminasyonunu önler,
(3) Termal kararlılıkları, sıcaklık dalgalanmaları sırasında boyutsal tutarlılık sağlar;
(4) Elektriksel yalıtım özellikleri plazma dağılımını kontrol etmeye yardımcı olur.
Bu avantajlar toplu olarak gelişmiş aşındırma homojenliğine, daha yüksek proses verimine ve daha tutarlı cihaz performansına katkıda bulunur.
S: Yarı iletken aşındırmada kuvars halkalar için malzeme gereksinimleri nelerdir?
C: Yarı iletken aşındırma için kuvars halkalar katı malzeme gereksinimlerini karşılamalıdır:
(1) Kontaminasyonu önlemek için yüksek saflıkta (tipik olarak 99,99% SiO₂ veya daha yüksek),
(2) 1600°C'ye kadar proses sıcaklıklarına dayanmak için mükemmel termal stabilite,
(3) Aşındırıcı gazlara ve plazmaya karşı üstün kimyasal direnç,
(4) Boyutsal kararlılık için düşük termal genleşme katsayısı,
(5) Minimum kusur veya kalıntı ile tutarlı malzeme özellikleri,
(6) Tipik olarak ±0,1 mm veya daha iyi olan hassas boyut toleransları.
Bu gereksinimler proses güvenilirliğini sağlar ve yonga plakası üretiminde verim kayıplarını önler.
S: Kuvars halkalarınız flor bazlı aşındırma işlemleriyle uyumlu mu?
C: Evet, kuvars aşındırma halkalarımız yarı iletken üretiminde yaygın olarak kullanılan flor bazlı aşındırma işlemleriyle uyumludur. Yüksek saflıktaki kuvars formülasyonumuz CF₄, SF₆, NF₃ ve CHF₃ gibi florlu gazlara karşı mükemmel direnç sağlar. Tüm kuvarslar flor plazma ortamlarında bir miktar kademeli erozyona uğrayacak olsa da, TOQUARTZ halkaları standart ticari kuvarslardan tipik olarak 20-30% daha düşük erozyon oranlarıyla üstün dayanıklılık gösterir. Özellikle agresif flor prosesleri için, hizmet ömrünü en üst düzeye çıkarmak üzere optimize edilmiş bileşimler ve kalınlıklar önerebiliriz.
S: Kuvars aşındırma halkaları seramik alternatiflerine kıyasla nasıldır?
C: Kuvars aşındırma halkaları ve seramik alternatiflerinin (tipik olarak alümina veya alüminyum nitrür) her birinin farklı avantajları vardır: Kuvars üstün saflık (99,99%+ SiO₂), optik izleme için mükemmel şeffaflık, daha düşük partikül üretimi ve çok düşük termal genleşme sunar. Seramikler tipik olarak daha iyi mekanik mukavemet, daha yüksek termal iletkenlik ve bazı durumlarda belirli plazma kimyasallarına karşı daha iyi direnç sağlar. Seçim proses gereksinimlerine bağlıdır - kuvars genellikle yüksek saflık, optik netlik ve minimum termal genleşme gerektiren uygulamalar için tercih edilirken, seramikler daha fazla yapısal güç veya termal yönetim gerektiren uygulamalar için seçilebilir.
Teknik danışmanlık ve fiyatlandırma için mühendislik ekibimizle iletişime geçin. Uygulama gereksinimleriniz için en uygun özellikleri seçmenize yardımcı olacağız.
Türkçe 
English 
Русский 
العربية 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil