- Ev
- /
- Uygulamalar
- /
- Yarı İletken Kuvars Cam
- /
- Özel Atmosfer sızdırmaz Kuvars Fırın...
Yarı İletken Fırınlar için Özel Atmosfer Sızdırmaz Kuvars Fırın Kapısı -TOQUARTZ®
Kuvars Fırın Kapısının Özellikleri
TOQUARTZ® tarafından üretilen kuvars fırın kapakları, endüstriyel fırınlardaki yüksek sıcaklık uygulamaları için tasarlanmış hassas mühendislik ürünü bileşenlerdir. Bu kritik bileşenler, zorlu ortamlarda optimum performans sağlayan termal, mekanik ve kimyasal özelliklerin benzersiz bir kombinasyonunu sunar.
Yüksek Sıcaklık Dayanımı
Deformasyon veya bozulma olmadan 1600°C'ye kadar çalışma sıcaklıklarına dayanır, bu da onu yarı iletken ve fotovoltaik üretimdeki yüksek sıcaklık prosesleri için ideal hale getirir.
Termal Şok Direnci
Termal döngüye ve ani sıcaklık değişimlerine karşı mükemmel direnç, çatlamayı önler ve zorlu termal ortamlarda çalışma ömrünü uzatır.
Düşük Termal Genleşme
Termal genleşme katsayısı 5,5×10-⁷/K olan kuvars fırın kapakları, sıcaklık dalgalanmaları sırasında boyutsal kararlılığı koruyarak güvenilir sızdırmazlık ve proses bütünlüğü sağlar.
- Yarı iletken proses aşındırıcılarına karşı dayanıklıdır
- Yarı iletken sınıfı 99,99% SiO2
- Özelleştirilebilir Boyutlar
Kuvars Fırın Kapağı Teknik Özellikleri
TOQUARTZ® kuvars fırın kapakları, zorlu yüksek sıcaklık uygulamalarında optimum performans sağlamak için hassas spesifikasyonlara göre üretilmektedir. Aşağıdaki teknik veriler, ürünlerimizin fiziksel, kimyasal ve termal özellikleri hakkında ayrıntılı bilgi sağlar.
| Mülkiyet | Değer | Birim |
| Malzeme | Yüksek saflıkta kuvars cam | – |
| SiO₂ İçeriği | ≥99.99 | % |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 1600 | °C |
| Termal Genleşme Katsayısı | 5.5×10-⁷ | /K |
| Termal İletkenlik | 1.3 | W/(m-K) |
| Yoğunluk | 2.2 | g/cm³ |
| Çekme Dayanımı | 50 | MPa |
| Boyutsal Tolerans | ±0.2 | mm |
| Yüzey İşlemi | Yangın cilalı | – |
| Kimyasal Direnç | Asitlere, alkalilere ve flor gazlarına karşı dayanıklı | – |
TOQUARTZ® Kuvars Fırın Kapıları ile Kritik Zorlukları Çözüyor
Fotovoltaik Üretimde Kuvars Fırın Kapıları
Temel Avantajlar
-
Atmosfer tutma doğruluğu ±1,5% içinde
Düzgün doping profilleri için 950°C difüzyon sırasında dopant gaz konsantrasyonu stabilitesini korur. -
Doping homojenliği sapması <2% across 156mm wafers
Yüksek verimli solar hatlarda tutarlı tabaka direnci ve hücre verimliliği sağlar. -
Alümina kapılara kıyasla 85% ile azaltılmış kontaminasyon riski
Yüksek saflıkta kuvars, metal iyonu difüzyonunu önleyerek silikon gofret bütünlüğünü korur.
TOQUARTZ® çözümü
Kore'deki bir Tier-1 güneş pili üreticisi, fırın uçlarındaki gaz sızıntısının neden olduğu tutarsız katkılama nedeniyle 2,8% verim kaybı bildirdi.
TOQUARTZ® optimize edilmiş O-ring olukları ve 99,99% SiO₂ saflığı ile özel kuvars fırın kapıları tedarik etti. Kurulum sonrasında verim 2,4% arttı ve dopant gazı kullanımı 11% düşerek malzeme maliyetlerinde ayda $18.000'den fazla tasarruf sağlandı.
Yarı İletken İşlemede Erimiş Kuvars Fırın Kapıları
Temel Avantajlar
-
Parçacık üretimi <0.1 pcs/cm²/hour under 1200°C
Sınıf 100 temiz oda oksidasyon proseslerinde kontaminasyonu en aza indirir. -
Boyutsal kayma <0.05mm after 500 thermal cycles
Hızlı tavlama ve oksidasyon döngüsü sırasında sızdırmazlık bütünlüğünü korur. -
Cl₂ ve HCl'ye karşı 1000 ppm'e kadar korozyon direnci
Agresif yarı iletken gaz ortamlarında yapısal stabilite sağlar.
TOQUARTZ® çözümü
ABD'deki bir yarı iletken fabrikası, HCl oksidasyonu sırasında seramik kapı korozyonu nedeniyle 2 ay içinde 4 plansız kapanma yaşadı.
TOQUARTZ®, gelişmiş kimyasal direnç ve boyutsal kararlılığa sahip kuvars fırın kapakları sağladı. Duruş süresi 92% azaldı, üretim kaybında $380.000 tasarruf sağlandı ve bakım sıklığı 60% azaldı.
Laboratuvar Araştırma Uygulamalarında Kuvars Cam Fırın Kapıları
Temel Avantajlar
-
400-800nm'de optik geçirgenlik >90%
Kristalleşme ve reaksiyon süreçlerinin gerçek zamanlı görsel olarak izlenmesini sağlar. -
0,2 mm tolerans ile çok portlu entegrasyon
Kompakt laboratuvar kurulumlarında termokupl, gaz girişi ve örnekleme portlarını destekler. -
Özel geri dönüş süresi <18 days for R&D projects
Hızlı prototipleme ve teslimat ile deneysel zaman çizelgelerini hızlandırır.
TOQUARTZ® çözümü
Bir Japon üniversitesi laboratuvarı, zamana duyarlı bir kristal büyütme çalışması için çift görüş açısına ve 3 gaz portuna sahip bir kuvars fırın kapısına ihtiyaç duyuyordu. Standart tedarikçiler 6-8 hafta süre verdi.
TOQUARTZ® 17 gün içinde tamamen özelleştirilmiş bir ünite teslim etti. Proje finansman dönüm noktasına ulaştı ve laboratuvar deneysel verimde 30%'lik bir iyileşme bildirdi.
TOQUARTZ® Erimiş Silika Fırın Kapısı için Özelleştirme Hizmetleri
Mühendislik ve Tasarım
- Teknik resim dönüşümü ve optimizasyonu
- Karmaşık geometriler için 3D modelleme
- Özel uygulamalar için malzeme seçimi
- Optimum performans için tasarım danışmanlığı
Üretim Kabiliyetleri
- Özel boyutlar ve duvar kalınlıkları
- Özel sızdırmazlık yüzeyi konfigürasyonları
- Görüş veya erişim portlarının entegrasyonu
- Özel sızdırmazlık gereksinimleri için O-ring yiv tasarımları
Hızlandırılmış Hizmetler
- Tasarım doğrulama için hızlı prototipleme
- Test için küçük seri üretim
- Acil yedek üretim
- Stoktaki ürünler için 24 saat kargo
Kuvars Fırın Kapağı Kullanım Kılavuzları
Kuvars fırın kapaklarının doğru kullanımı, kurulumu ve bakımı, hizmet ömrünü en üst düzeye çıkarmak ve yüksek sıcaklık uygulamalarında optimum performans sağlamak için çok önemlidir. Hasarı önlemek ve kuvars bileşenlerinizin çalışma ömrünü uzatmak için bu yönergeleri izleyin.
Taşıma ve Depolama
- Yüzey kontaminasyonunu önlemek için kuvars fırın kapaklarını tutarken temiz, pudrasız eldivenler giyin
- Orijinal ambalajında veya temiz, yastıklı yüzeylerde olası darbelerden uzakta saklayın
- Depolama ortamını kontrollü sıcaklık ve nemde tutun (40-60% RH)
- Depolama sırasında hidroflorik aside (HF) maruz kalmaktan kaçının
- Montajdan önce mikro çatlak veya hasar olup olmadığını inceleyin
Kurulum Prosedürü
- Montajdan önce montaj yüzeylerini iyice temizleyin
- Proses gazlarıyla uyumlu uygun yüksek sıcaklık O-ringleri veya contaları kullanın
- Sabitleme sırasında eşit basınç uygulayın - stres noktaları oluşturabilecek aşırı sıkmadan kaçınınSabitleme sırasında eşit basınç uygulayın - stres noktaları oluşturabilecek aşırı sıkmadan kaçının
- Montaj donanımı için önerilen tork spesifikasyonlarına uyun
- Çalışma sırasında termal genleşme için yeterli boşluk bırakın
Sıcaklık Yönetimi
- Maksimum nominal sıcaklığa uyun (standart kuvars kapılar için 1200°C)
- Isıtma oranlarını şu şekilde kontrol edin <100°C/hour during initial warm-up to prevent thermal shock
- Lokalize stresi önlemek için kapı boyunca sıcaklık homojenliğini sağlayın
- Fırın sistemlerini kapatırken kademeli soğutmaya izin verin
- Soğutma sistemleri veya ısı alıcıları ile doğrudan temastan kaçının
Bakım ve Temizlik
- Sızdırmazlık yüzeylerini düzenli olarak tortu veya hasar açısından inceleyin
- Yüksek saflıkta izopropil alkol veya aseton ve tüy bırakmayan mendillerle temizleyin
- İnatçı birikintiler için seyreltik asit çözeltileri (HF hariç) kullanın ve ardından iyice durulayın
- O-ringleri ve contaları üreticinin programına göre değiştirin
- Bileşen ömrünü ve performansını izlemek için bakım geçmişini belgeleyin
Yedek Göstergeler
- Görünür mikro çatlaklar veya yüzey devitrifikasyonu
- Süreç atmosferini korumada zorluk
- Azalan süreç performansı veya verim
- Artan gaz tüketimi veya basınç dalgalanmaları
Fırın Bileşenleriniz için Mühendislik Desteğine mi İhtiyacınız Var?
ve özel ortamınızda optimum performans sağlamak için tasarım optimizasyonu.
Neden TOQUARTZ ile Ortak Olmalısınız?
Doğrudan Fabrika Avantajı
Doğrudan bir üretici olarak, çok sayıda ara bağlantıyı ortadan kaldırabiliriz.
Mühendislik Uzmanlığı
Teknik ekip, malzeme seçiminden tasarım optimizasyonuna kadar müşterilere rehberlik eder ve teknik özellikleri çıktılara dönüştürür.
Esnek Üretim
Acil teslim tarihlerini karşılamak için küçük parti uzmanlığı ve prototipleme titizliği ile standart ve özel siparişleri ele alma.
Kalite
Güvence
Sevkiyat öncesi 3 aşamalı doğrulama:
1. boyutsal doğruluk,
2. malzeme saflığı,
3. performans eşi̇kleri̇
Küresel Tedarik Zinciri
Endüstriyel merkezlere (DE/US/JP/KR öncelikli) izlenebilir kilometre taşlarıyla güvenilir küresel lojistik.
Yeniden Üretilen Ürünler
Doğrudan fabrika yeteneklerine sahip uzman bir üretici olarak TOQUARTZ, spesifikasyon ve uygulama süreci boyunca mühendislik desteği ile hem standart hem de özel kuvars çözümleri sunar.
SSS
S: Kuvars fırın kapısı ne için kullanılır?
C: Kuvars fırın kapakları, sabit iç sıcaklık ve atmosfer koşullarını korurken yüksek sıcaklık fırınlarının uçlarını kapatmak için kullanılır. Yarı iletken üretiminde, fotovoltaik üretimde ve proses bütünlüğü ve kontaminasyon kontrolünün çok önemli olduğu laboratuvar araştırmalarında kritik bileşenlerdir. Kapaklar, hassas gaz bileşiminin korunmasına ve ısı kaybının önlenmesine yardımcı olurken bazı konfigürasyonlarda prosesin izlenmesine de olanak tanır.
S: Bir difüzyon fırınında kuvars fırın kapısı nasıl değiştirilir?
C: Bir difüzyon fırınında bir kuvars fırın kapağını değiştirmek için:
1. Termal şoku önlemek için fırının tamamen soğuduğundan emin olun
2. Kapıya bağlı gaz hatlarını veya izleme ekipmanını ayırın
3. Düşmesini önlemek için kapıyı desteklerken montaj donanımını çıkarın
4. Eski kapıyı ısıtma elemanlarına temas ettirmeden dikkatlice çıkarın
5. Montaj yüzeyini iyice temizleyin
6. O-ringleri veya contaları inceleyin ve değiştirin
7. Uygun montaj donanımını kullanarak yeni kuvars kapıyı takın
8. Eşit basınç sağlamak için bağlantı elemanlarını çapraz bir şekilde sıkın
9. Gaz hatlarını ve izleme ekipmanını yeniden bağlayın
10. Proses gazlarınız için uygun bir yöntem kullanarak sızıntı testi yapın
S: Kuvars fırın kapıları yüksek sıcaklık döngüsüne dayanabilir mi?
C: Evet, kuvars fırın kapakları yüksek sıcaklık döngüsüne dayanacak şekilde özel olarak tasarlanmıştır. Düşük termal genleşme katsayıları (5,5×10-⁷/K), ısıtma ve soğutma döngüleri sırasında termal şok ve boyutsal değişikliklere karşı oldukça dirençli olmalarını sağlar. Uygun kuvars kapılar, ısıtma ve soğutma hızlarının kontrol edilmesi koşuluyla (genellikle ilk ısıtma ve son soğutma aşamalarında <100°C/saat olarak önerilir) tipik olarak oda sıcaklığı ile 1600°C'ye kadar çalışma sıcaklıkları arasında binlerce termal döngüye dayanabilir. Optimum döngü performansı için, eşit ısıtma/soğutma ve minimum termal genleşmeye izin verecek uygun montaj gereklidir.
S: Bir kuvars fırın kapısı için maksimum sıcaklık nedir?
C: Standart yüksek saflıkta kuvars fırın kapakları 1600°C'ye kadar sürekli çalışma sıcaklıklarına dayanabilir. Pratik maksimum sıcaklık, aşağıdakiler de dahil olmak üzere çeşitli faktörlere bağlıdır:
1. Maruz kalma süresi (sürekli ya da aralıklı)
2. Sıcaklık değişim oranı (termal şok direnci)
3. Montaj sırasında mekanik stres
4. Alkali kirleticilerin varlığı (yumuşama noktasını düşürebilir)
1600°C'ye yaklaşan sıcaklıklarda kuvars zamanla devitrifiye olmaya başlar ve mekanik bütünlüğü tehlikeye atabilecek kristal yapılar oluşturur. 1600°C'nin üzerinde sıcaklık gerektiren uygulamalar için özel formülasyonlar veya alternatif malzemeler gerekebilir.
S: Bir tüp fırın için özel bir kuvars fırın kapısı nasıl sipariş edilir?
C: Bir tüp fırın için özel bir kuvars fırın kapısı sipariş etmek için aşağıdaki bilgileri sağlayın:
1. Fırın borunuzun dış çapı ve et kalınlığı
2. Gerekli sızdırmazlık yöntemi (O-ring, flanşlı bağlantı, vb.)
3. İhtiyaç duyulan tüm bağlantı noktaları (gaz girişleri/çıkışları, termokupl erişimi, vb.)
4. Sıcaklık aralığı ve döngü gereksinimleri
5. Proses atmosferi bileşimi (özellikle aşındırıcı gazlar mevcutsa)
6. Mevcut kurulumun teknik çizimleri veya fotoğrafları (varsa)
7. Tasarımı optimize etmeye yardımcı olacak uygulama açıklaması
TOQUARTZ, gereksinimlerinize göre özel bir tasarım geliştirebilir, onay için teknik çizimler sağlayabilir ve özel tasarımlar için tipik 2-3 haftalık teslim süreleriyle kesin özelliklere göre üretim yapabilir.
Teknik danışmanlık ve fiyatlandırma için mühendislik ekibimizle iletişime geçin. Uygulama gereksinimleriniz için en uygun özellikleri seçmenize yardımcı olacağız.
Türkçe 
English 
Русский 
العربية 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil