- Ev
- /
- Uygulamalar
- /
- Yarı İletken Kuvars Cam
- /
- Özel İşleme Entegre Kuvars Asit...
Yarı İletken ve PV Uygulamaları için Özel Proses Entegreli Kuvars Asit Temizleme Tankı -TOQUARTZ®
Yarı iletken gofret temizleme, fotovoltaik hücre aşındırma ve HF, HCl ve HNO₃'ya karşı olağanüstü korozyon direnci gerektiren laboratuvar kimyasal işleme uygulamaları için tasarlanmıştır.
Kuvars Asit Temizleme Tankının Özellikleri
Ultra Yüksek Saflık
99,99% SiO₂ saflığı, kritik yarı iletken proseslerinde minimum kontaminasyon sağlar. Sıkı kalite kontrol ve temiz oda işleme, safsızlıkları ve partikül kontaminasyonunu en aza indirir.
Kimyasal Direnç
HF, HCl, HNO₃ dahil tüm asitlere ve yarı iletken ıslak işlemede kullanılan diğer agresif kimyasallara karşı olağanüstü direnç. Konsantre asitlere uzun süre maruz kaldıktan sonra bile malzemede bozulma olmaz.
Yüksek Termal Kararlılık
Uzun süreli kullanım için 1100°C'ye ve kısa süreli uygulamalar için 1300°C'ye kadar çalışma sıcaklığı aralığı. Düşük termal genleşme katsayısı (5,5×10-⁷/°C) sıcaklık dalgalanmaları sırasında boyutsal stabilite sağlar.
Optik Şeffaflık
Mükemmel optik şeffaflık (≥93% iletim), çalışma sırasında sürecin izlenmesine ve görsel denetime olanak tanır. Proses kontrolü ve otomasyon için optik sensörlerle entegrasyon sağlar.
-
Ultra düşük iyonik kirlenme
serbest bırakma
-
Termal-asit altında kararlı SiO₂ matrisi
bisiklet
-
Görsel netlik için
in-situ reaksiyon izleme
Kuvars Kimyasal Temizleme Tankı Teknik Özellikleri
Kuvars Cam Asit Temizleme Tankı Teknik Özellikleri
| Mülkiyet | Değer |
| Malzeme Bileşimi | Yüksek saflıkta kuvars (≥99,99% SiO₂) |
| Yoğunluk | 2,2 g/cm³ |
| Eğilme Dayanımı | 48 MPa |
| Elastik Modül | 72 GPa |
| Poisson Oranı | 0.14-0.17 |
| Basınç Dayanımı | 1100 MPa |
| Bükülme Dayanımı | 67 MPa |
| Mohs Sertliği | 5.5-6.5 |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı (Uzun süreli) | 1100°C |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı (Kısa süreli) | 1300°C |
| Termal İletkenlik | 1,4 W/m-K |
| Kırılma İndisi | 1.4585 |
| Termal Genleşme Katsayısı | 5.5×10-⁷/°C |
| Spesifik Direnç | 7×10⁷ Ω-cm |
| Optik İletim (1mm kalınlık, 280-780nm) | ≥93% |
Özelleştirilmiş Erimiş Kuvars Asit Temizleme Tankı Boyutları
TOQUARTZ® müşteri gereksinimlerine göre özel spesifikasyonları karşılayabilir. Detaylı boyutsal özellikler ve özel boyutlandırma seçenekleri için mühendislik ekibimizle iletişime geçin.
TOQUARTZ® Kuvars Asit Banyosu Kabı ile Kritik Zorlukları Çözme
Yarı İletken Gofret İşleme için Kuvars Asit Temizleme Tankları
Temel Avantajlar
-
Ultra düşük iyonik kirlilik salınımı
TOQUARTZ® kuvars tankları serbest bırakma <0.1 ppb of Na⁺, K⁺, and Al³⁺ ions after 72h HF/HCl exposure at 80°C. -
Karışık asit maruziyeti altında yüzey bozulması yok
Yüzey pürüzlülüğü (Ra) kalır <0.02μm after 96h in HNO₃/HF/HCl mixture at 100°C. -
Termal-asit döngüsü altında kararlı SiO₂ matrisi
100°C aside daldırma ve ortam soğutmasının 50 döngüsünden sonra mikro çatlak yayılımı gözlenmemiştir.
TOQUARTZ® çözümü
Bir Japon 300mm yonga plakası fabrikası, 48 saat HF/HCl kullanımından sonra yerel kuvars tanklarından metal iyon kontaminasyonu (>0,5 ppb Al³⁺) bildirmiş ve bu da 3,2% yonga plakası verim kaybına yol açmıştır.
TOQUARTZ® doğrulanmış asit temizleme tankları tedarik etti <0.1 ppb ion leaching (SGS test), reducing wafer surface contamination by 87% and restoring yield to 99.1% within 2 weeks of deployment.
PV Hücre Temizliği ve Tekstüre için Kuvars Kimyasal Temizleme Tankı
Temel Avantajlar
-
100 saat sonra asit kaynaklı yüzey çukurlaşması yok
TOQUARTZ® tankları 90°C'de 10% HNO₃ içinde 100 saat sonra sıfır görünür korozyon gösterir. -
85°C'de alkalin tekstüre altında kararlı
85°C'de NaOH/KOH çözeltisinde 72 saat sonra SiO₂ dökülmesi veya renk değişikliği olmaz. -
Asit banyosu pH stabilitesini korur
pH kayması <0.2 over 48h in HF/HNO₃ mix, ensuring consistent etching rate.
TOQUARTZ® çözümü
Borosilikat tanklar kullanan bir Alman PV modül hattı, asit banyosu pH'ının 24 saat içinde >0,5'e kaydığını gördü, bu da düzensiz tekstüre ve 5% hücre verimliliğinde düşüşe neden oldu.
TOQUARTZ® kuvars tankları 48 saat boyunca pH stabilitesini ±0,2 aralığında tutarak homojen dağlama işlemine olanak sağlamış ve 3 üretim partisinde ortalama hücre verimliliğini 18,3%'den 19,1%'ye yükseltmiştir.
Araştırma Laboratuvarları için Kuvars Asit Banyosu Kapları
Temel Avantajlar
-
98% laboratuvar sınıfı asitler ve çözücülerle uyumludur
TOQUARTZ® tankları HF, aqua regia ve perklorik asit dahil 30'dan fazla reaktifte kararlı olarak test edilmiştir. -
In-situ reaksiyon izleme için görsel netlik
≥93% ışık geçirgenliği (280-780nm) kolorimetrik reaksiyonların gerçek zamanlı gözlemlenmesini sağlar. -
Eser analizde tespit edilebilir sızıntı yok
<0.05 ppb total leachables after 48h in 10% HCl at 60°C (ICP-MS verified).
TOQUARTZ® çözümü
HF/HCl'de eser metal analizi yapan bir Kanada üniversitesi laboratuvarı, erimiş silika tanklarından >0,3 ppb arka plan Al kontaminasyonu rapor etmiştir.
TOQUARTZ® asit banyolu kaplara geçtikten sonra, ICP-MS taban çizgisi <0.05 ppb, enabling accurate detection of sub-ppb analytes and improving experimental reproducibility by 92%.
Kuvars Cam Asit Temizleme Tankı için TOQUARTZ® Özelleştirme Hizmetleri
Tasarım Özelleştirme
- Hassas toleranslarla özel boyutlar
- Proses entegrasyonu için özel giriş/çıkış konfigürasyonları
- Çok aşamalı işleme için iç bölmeler veya odalar
- Gelişmiş yapısal bütünlük için güçlendirilmiş kenarlar veya köşeler
- Termal veya yapısal gereksinimlere göre özel duvar kalınlığı
- Ekipman uyumluluğu için entegre montaj özellikleri
Malzeme Özellikleri
- Standart yüksek saflıkta kuvars (99,99% SiO₂)
- Işığa duyarlı uygulamalar için opak kuvars seçenekleri
- Gelişmiş kimyasal direnç için yüzey işlemleri
- Kritik sızdırmazlık uygulamaları için hassas parlatılmış yüzeyler
- Gelişmiş mekanik mukavemet için ateşle parlatılmış kenarlar
- Düzenlemeye tabi sektörler için özel malzeme sertifikasyonları
Özel Geliştirme Süreci
Gereksinim Analizi
- TOQUARTZ'ın teknik ekibi, özel proses gereksinimlerinizi, kimyasal ortamınızı, sıcaklık aralıklarınızı ve boyutsal kısıtlamalarınızı anlamak için sizinle birlikte çalışır.
Tasarım Önerisi
- Gereksinimlerinize göre ayrıntılı teknik çizimler ve şartnameler geliştiriyor, genellikle değerlendirilmek üzere birden fazla tasarım seçeneği sunuyoruz.
Prototip Geliştirme
- Karmaşık veya yeni tasarımlar için, tam ölçekli üretimden önce proses ortamınızda test ve doğrulama için prototip üniteler üretebiliriz.
Üretim
- Onaylanan tasarımlar, boyutsal doğruluk ve malzeme bütünlüğünü sağlamak için üretim süreci boyunca sıkı kalite kontrolü ile üretime geçer.
Kalite Doğrulama
- Her bitmiş tank, şartnamelerin gerektirdiği şekilde boyutsal doğrulama, görsel denetim ve malzeme testi dahil olmak üzere kapsamlı bir denetimden geçer.
Kuvars Asit Temizleme Tankı Kullanım Kılavuzları
Taşıma ve Kurulum
- Kırılmalara neden olabilecek darbelerden veya ani sıcaklık değişikliklerinden kaçınmak için dikkatli taşıyın.
- Ağırlığı eşit olarak dağıtmak için uygun destek armatürlerini kullanarak düz, sabit yüzeylere kurun.
- Montaj sırasında, metal yüzeylerle doğrudan teması önlemek için PTFE veya uyumlu contalar kullanın.
- Isıtmalı işlemler sırasında termal genleşme için tankın etrafında en az 5 mm boşluk bırakın.
- Giriş/çıkış bağlantıları için yalnızca kuvars bileşenler için tasarlanmış uyumlu bağlantı parçaları kullanın.
Çalışma Koşulları
- Uzun süreli kullanım için 1100°C veya kısa süreli uygulamalar için 1300°C maksimum çalışma sıcaklığını aşmayın.
- Termal şoku önlemek için sıcaklık artış hızlarını 5°C/dakika altında tutun.
- Isıtmalı uygulamalarda, lokal gerilimi önlemek için eşit ısıtma dağılımı sağlayın.
- Alkali çözeltilerle kullanırken, performansı önemli ölçüde düşürebilecek potasyum veya sodyum bileşikleriyle yüksek sıcaklıklarda temastan kaçının.
- Islak işleme uygulamalarında optimum sızdırmazlık bütünlüğü için, tüm bağlantı noktalarının belirtilen toleransları koruduğunu doğrulayın.
Bakım ve Temizlik
- Kullandıktan sonra, kimyasal kalıntıları gidermek için deiyonize su ile iyice durulayın.
- Kalıcı kirleticiler için uygun çözücüler kullanın ve ardından deiyonize suda ultrasonik temizlik yapın.
- Özellikle akışkan bağlantı noktalarında mikro çatlaklar veya yüzey bozulması olup olmadığını düzenli olarak kontrol edin.
- Yüzey bütünlüğünü korumak ve kontaminasyonu önlemek için temiz, tozsuz ortamlarda saklayın.
- Uzun süreli depolama için açıklıkları temiz PTFE veya polietilen malzemelerle kapatın.
Kuvars Asit Temizleme Tankları ile İlgili Teknik Yardıma mı İhtiyacınız Var?
Neden TOQUARTZ ile Ortak Olmalısınız?
Doğrudan Fabrika Avantajı
Doğrudan bir üretici olarak, çok sayıda ara bağlantıyı ortadan kaldırabiliriz.
Mühendislik Uzmanlığı
Teknik ekip, malzeme seçiminden tasarım optimizasyonuna kadar müşterilere rehberlik eder ve teknik özellikleri çıktılara dönüştürür.
Esnek Üretim
Acil teslim tarihlerini karşılamak için küçük parti uzmanlığı ve prototipleme titizliği ile standart ve özel siparişleri ele alma.
Kalite
Güvence
Sevkiyat öncesi 3 aşamalı doğrulama:
1. boyutsal doğruluk,
2. malzeme saflığı,
3. performans eşi̇kleri̇
Küresel Tedarik Zinciri
Endüstriyel merkezlere (DE/US/JP/KR öncelikli) izlenebilir kilometre taşlarıyla güvenilir küresel lojistik.
Yeniden Üretilen Ürünler
Doğrudan fabrika yeteneklerine sahip uzman bir üretici olarak TOQUARTZ, spesifikasyon ve uygulama süreci boyunca mühendislik desteği ile hem standart hem de özel kuvars çözümleri sunar.
SSS
S: Kuvars asit temizleme tanklarının dayanabileceği maksimum sıcaklık nedir?
C: TOQUARTZ® kuvars asit temizleme tankları sürekli uzun süreli çalışma için 1100°C'ye kadar ve kısa süreli uygulamalar için 1350°C'ye kadar sıcaklıklara dayanabilir. Termal stabilite, 5,5×10-⁷/°C'lik düşük termal genleşme katsayısı ile termal döngü sırasında bile boyutsal tutarlılık sağlar.
S: Ne tür asitler kuvars tanklarınızla uyumludur?
C: TOQUARTZ® kuvars asit temizleme tankları, hidroflorik asit (HF), hidroklorik asit (HCl), nitrik asit (HNO₃), sülfürik asit (H₂SO₄), fosforik asit (H₃PO₄) ve çeşitli asit karışımları dahil olmak üzere yarı iletken ve fotovoltaik üretimde kullanılan neredeyse tüm asitlerle uyumludur. Yüksek sıcaklıklarda konsantre asitlere uzun süre maruz kaldıktan sonra bile yapısal bütünlüklerini ve saflıklarını korurlar.
S: Asit temizleme tanklarınızda kullanılan kuvars malzemenin saflık seviyesi nedir?
C: TOQUARTZ® standart kuvars asit temizleme tankları ≥99,99% SiO₂ içeren yüksek saflıkta kuvarsdan üretilmektedir. Bu saflık seviyesi, kritik yarı iletken ve fotovoltaik proseslerde minimum kontaminasyon sağlar. Malzeme son derece düşük seviyelerde alkali ve metalik safsızlıklara sahiptir, bu da onu kontaminasyon kontrolünün proses verimi ve performansı için çok önemli olduğu uygulamalar için ideal hale getirir.
S: Hizmet ömrünü en üst düzeye çıkarmak için kuvars asit temizleme tanklarını nasıl temizlemeli ve bakımını yapmalıyım?
C: Kuvars asit temizleme tanklarının hizmet ömrünü en üst düzeye çıkarmak için: 1) Her kullanımdan sonra DI su ile iyice durulayın, 2) İnatçı kalıntılar için uygun çözücüler kullanın ve ardından ultrasonik temizlik yapın, 3) Rampa hızlarını 5°C/dakika altında tutarak termal şoktan kaçının, 4) Mekanik darbeyi önlemek için dikkatli taşıyın, 5) Bağlantı noktaları kapalı olarak temiz ortamlarda saklayın ve 6) Mikro çatlaklar veya yüzey bozulması açısından düzenli olarak inceleyin. Uygun bakımla, kuvars tanklar zorlu yarı iletken ortamlarda yıllarca güvenilir hizmet sağlayabilir.
S: Yarı iletken uygulamaları için kuvars asit temizleme tankları PTFE veya PFA tanklarına kıyasla nasıldır?
C: PTFE ve PFA mükemmel kimyasal direnç sunarken, kuvars asit temizleme tankları yarı iletken uygulamaları için birkaç belirgin avantaj sağlar: 1) Üstün sıcaklık direnci (floropolimerler için ~260°C'ye karşılık 1100°C'ye kadar), 2) Termal döngü altında daha iyi boyutsal kararlılık, 3) Hassas geometrileri korumak için daha yüksek sertlik, 4) Proses izleme için daha fazla şeffaflık ve 5) Daha düşük partikül oluşumu ve gaz çıkışı. Kuvars, gelişmiş yarı iletken üretiminde yaygın olan yüksek sıcaklıklı asit prosesleri için özellikle avantajlıdır.
Teknik danışmanlık ve fiyatlandırma için mühendislik ekibimizle iletişime geçin. Uygulama gereksinimleriniz için en uygun özellikleri seçmenize yardımcı olacağız.
Türkçe 
English 
Русский 
العربية 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil