Что такое кварцевая посуда? Сырье, свойства и области применения

Лаборатории и производственные предприятия по всему миру полагаются на материал, который большинство людей не замечает, — однако без него точные науки зашли бы в тупик в самые решающие моменты.

К изделиям из плавленого кварца относятся сосуды, трубки, тигли и оптические компоненты, изготовленные из аморфного диоксида кремния, который отличается от обычного стекла исключительной термической стабильностью, широким спектральным пропусканием и непревзойденной химической инертностью. В таких областях, как производство полупроводников, аналитическая химия, высокотемпературные исследования и фотонные системы, этот класс материалов применяется там, где не существует коммерчески жизнеспособных альтернатив.

Происхождение сырья является наиболее значимым фактором, определяющим эксплуатационные характеристики плавленого кварца. Способна ли трубка диффузионной печи выдержать циклические перепады температур до 1 100 °C или будет ли кювета для УФ-спектрофотометрии надежно пропускать излучение на длине волны 200 нм — все это почти полностью зависит от решений, принятых на этапе закупки кремнезема и плавки, то есть задолго до того, как стеклянная посуда поступит на лабораторный стол.

---

Два вида сырья, из которых изготавливают изделия из кварцевого стекла

Среди всех факторов, определяющих эксплуатационные характеристики плавленого кварца, происхождение сырья играет наиболее решающую роль, устанавливая абсолютные пределы чистоты, оптических характеристик и термической стойкости ещё до начала любых этапов формования или отделки.

Вся категория изделия из плавленого кварцевого стекла происходит из двух принципиально разных источников сырья: природного кристалла кварца и синтетического диоксида кремния. При плавлении оба материала образуют аморфную, некристаллическую структуру SiO₂, однако различия в составе примесей, содержании гидроксильных групп и достижимых уровнях чистоты между ними достаточно существенны, чтобы отнести их к разным категориям по эксплуатационным характеристикам для применения в условиях повышенных требований.

Природный кристалл кварца — происхождение, чистота и структурные ограничения

Природный кристалл кварца образуется в течение геологических эпох в результате гидротермальных процессов, причем месторождения самого высокого качества сосредоточены в Бразилии, на Мадагаскаре и в некоторых регионах Китая. Добываемые кристаллы, отобранные для использования в оптической и промышленной отраслях, относятся к категории «ласкас» — это крупные, визуально прозрачные фрагменты с минимальным количеством включений — и составляют лишь небольшую долю от общего объема добычи кварцевой руды.

Чистота SiO₂ в природном кварце, используемом для производства стеклянной посуды, обычно составляет от 99,9% и 99,99%, а оставшаяся часть занимается следовыми субституционными примесями, включая алюминий (Al³⁺), железо (Fe²⁺/Fe³⁺), титан (Ti⁴⁺) и литий (Li⁺). Эти элементы попадают в кристаллическую решётку в процессе геологической кристаллизации и не могут быть полностью удалены с помощью физической сортировки или стандартной кислотной промывки. Уже при концентрациях, составляющих всего несколько частей на миллион, примеси алюминия и щелочных металлов снижают вязкость при высоких температурах и приводят к появлению полос поглощения в УФ-диапазоне, что напрямую ограничивает предельные эксплуатационные характеристики натурального плавленого кварца в областях применения, требующих высокой чистоты и оптических свойств.

Природный кварц также обладает важной структурной особенностью: кристалличностью. В добытом виде кварц представляет собой кристаллическое твердое тело с упорядоченной решеткой Si–O–Si. При плавлении этой кристаллической структуры при температурах выше 1 710 °C она превращается в неупорядоченную аморфную стеклянную сеть, характерную для плавленого кварца — это превращение является необратимым при обычных условиях обработки.

Синтетический диоксид кремния — объяснение методов химического осаждения из паровой фазы и пламенного сплавления

Синтетический плавленый кварц полностью устраняет ограничения, связанные с геологическими примесями, благодаря получению диоксида кремния из химических исходных веществ высокой чистоты. В промышленных масштабах используются два основных способа производства, и каждый из них позволяет получить материал с различным содержанием гидроксильных групп (OH), что напрямую влияет на его оптические и тепловые характеристики.

Сайт метод химического осаждения из паровой фазы (CVD) — а именно гидролиз в пламени — заключается в сгорании тетрахлорида кремния (SiCl₄) или кремнийорганических соединений, таких как октаметилциклотетрасилоксан (OMCTS), в кислородно-водородном пламени. В результате реакции образуются ультрамелкие частицы сажи SiO₂, которые осаждаются на вращающийся сердечник, а затем спекаются в прозрачную стеклянную заготовку. Чистота продукта этого процесса превышает 99,9999% SiO₂, причем содержание металлических примесей измеряется в диапазоне доли частиц на миллиард. Однако при использовании водородного пламени в стеклянную матрицу вводится значительное количество OH, в результате чего образуется вещество, классифицируемое как «влажный» синтетический диоксид кремния при концентрации OH, как правило, в диапазоне от 800 до 1 200 ppm.

Сайт метод пламенного синтеза (типа Верней) расплавляет порошок SiO₂ высокой чистоты непосредственно в кислородно-водородной горелке, уплотняя материал в виде монокристалла. Электрическое плавление в вакууме или инертной атмосфере — используется для производства «сухой» синтетический диоксид кремния — исключает воздействие водорода и снижает содержание OH до уровня ниже 1 ppm. Это различие в содержании OH не является чисто формальным: кремнезем с высоким содержанием гидроксильных групп поглощает инфракрасное излучение с длиной волны примерно 2 730 нм, в результате чего сухие марки становятся обязательными для применения в оптике ближнего инфракрасного диапазона, тогда как влажные марки обеспечивают превосходную прозрачность в УФ-диапазоне благодаря более низкому содержанию металлических примесей.

Плавленый кварц и плавленое кремнезем — различие, которое действительно имеет значение

Термины «плавленый кварц» и «плавленый кремнезем» во многих каталогах продукции используются как синонимы, однако в материаловедении и высокоточном производстве они обозначают два материала, различающихся по химическому составу и эксплуатационным характеристикам. Прежде чем выбирать какой-либо компонент для применения в сложных условиях, крайне важно разъяснить это различие.

Плавленый кварц получают путем плавления природного кристалла кварца. Его чистота ограничивается уровнем геологических примесей, содержание OH в нём умеренное (обычно 150–300 ppm), а граница пропускания УФ-излучения приходится примерно на 250 нм из-за остаточных металлических поглотителей. Кварцевое стекло, напротив, получают из синтетических прекурсоров SiO₂ и достигают степени чистоты, характерной для металлов, в диапазоне менее ppb, при этом границы пропускания в УФ-диапазоне простираются до 150–180 нм в зависимости от содержания OH и марки.

Оба материала обладают одинаковой аморфной сетчатой структурой SiO₂, одинаковой приблизительной температурой размягчения (1 665 °C) и одинаковым коэффициентом теплового расширения, равным примерно 0,55 × 10⁻⁶/°C. Различия заключаются в спектральных характеристиках и риске загрязнения — параметрах, которые становятся решающими при обработке пластин полупроводникового качества и УФ-спектроскопических измерениях, где даже следовые металлические примеси или смещение границы пропускания в УФ-диапазоне делают компонент непригодным для использования.

Плавленой кварц против плавленого кремнезема — основные отличия

Недвижимость	Сплавленный кварц (натуральный)	Плавленый кварц (синтетический)
SiO₂ Чистота (%)	99,9 – 99,99	99.9999+
Содержание OH (ppm)	150 - 300	<1 (в сухом состоянии) / 800–1 200 (в мокром состоянии)
УФ-отсечка (нм)	~250	~150-180
Металлические примеси	Низкий (диапазон в ppm)	Сверхнизкий (менее 1 ppb)
Основное сырье	Кристалл кварца, добытый в шахте	SiCl₄ / органосилан
Типичный уровень приложений	Промышленные, общие лабораторные	Полупроводники, УФ-оптика

---

Физические и химические свойства, отличающие изделия из кварцевого стекла

Понимание того, из чего изготавливается кварцевая посуда, даёт лишь частичное представление о ней — только знание измеримых физических и химических свойств, обусловленных её аморфной структурой SiO₂, позволяет точно объяснить, почему она занимает незаменимое место везде, где стеклянные материалы эксплуатируются на пределе своих эксплуатационных возможностей.

Ни одно из свойств в отдельности не объясняет широкое применение плавленого кварца в столь разнообразных отраслях промышленности. Скорее, именно сочетание крайней термической стабильности, широкого диапазона оптической пропускаемости — от ультрафиолетового до ближнего инфракрасного излучения — и устойчивости к химически агрессивным средам делает этот класс материалов категорически превосходящим боросиликатные и натриево-известковые альтернативы в условиях эксплуатации с высокими требованиями к характеристикам. Каждое из этих свойств усиливает преимущества остальных, и все вместе они определяют диапазон эксплуатационных характеристик, в рамках которого работает кварцевая посуда.

Термические характеристики — рабочая температура и устойчивость к термическим ударам

Сплавленный кварц выдерживает непрерывную эксплуатацию при температурах до примерно 1 100 °C, с температурой размягчения 1 665 °C — эти показатели выводят его далеко за пределы возможностей боросиликатного стекла, которое размягчается при температуре около 820 °C. Кратковременные скачки температуры до 1 300 °C допустимы без катастрофических деформаций при условии, что механические нагрузки минимальны.

Устойчивость плавленого кварца к термическим ударам напрямую обусловлена его исключительно низким коэффициентом теплового расширения (CTE), составляющим примерно 0.55 × 10-⁶/°C — что примерно в шесть раз ниже, чем у боросиликатного стекла (3,3 × 10⁻⁶/°C), и почти в четырнадцать раз ниже, чем у стандартного натриево-кальциевого стекла (7,5 × 10⁻⁶/°C). Когда трубка из плавленого кварца извлекается из печи, работающей при температуре 1 000 °C, и попадает в атмосферу, температурный градиент поперек стенки создаёт пропорционально меньшие растягивающие напряжения по сравнению с любыми коммерчески доступными альтернативами из стекла, что значительно снижает вероятность разрушения при быстрых термоциклах. Такое поведение, характеризующееся низким КТЭ, является структурным следствием аморфной сети Si–O–Si, которая компенсирует изменения температуры за счет деформации сети, а не расширения решетки.

При использовании трубчатых печей кварцевые реакционные трубки регулярно подвергаются циклическим перепадам температуры от комнатной до 1 000 °C несколько раз в день на протяжении всего срока службы, исчисляемого годами — при таких нагрузках боросиликатные детали вышли бы из строя в течение нескольких дней.

Оптическая прозрачность в ультрафиолетовом, видимом и инфракрасном диапазонах длин волн

Спектральное окно пропускания плавленого кварца простирается от примерно от 150 нм в вакуумном ультрафиолете до 3 500 нм в среднем инфракрасном диапазоне, охватывая диапазон, к которому не приближается ни одно из распространенных оксидных стекол. Боросиликатное стекло, для сравнения, становится практически непрозрачным при температуре ниже примерно 310 нм, что делает его непригодным для УФ-спектроскопии, УФ-фотохимии и оптики лазеров глубокого УФ-диапазона.

В пределах этого диапазона эффективность передачи в значительной степени зависит от содержания OH. Мокрые синтетические сорта кремнезема обеспечивают эффективную пропускаемость в УФ-диапазоне вплоть до 160–180 нм, благодаря сверхнизкому содержанию металлических примесей, но демонстрируют сильную полосу поглощения, центр которой находится примерно на 2 730 нм вызванные колебаниями растяжения связи Si–OH. Сухие синтетические сорта кремнезема подавляют эту полосу за счет снижения содержания OH до уровня ниже 1 ppm, что обеспечивает широкополосную пропускаемость в ближнем инфракрасном диапазоне за счет слегка повышенной границы отсечки в УФ-диапазоне. Таким образом, выбор сорта с подходящим содержанием OH для конкретного диапазона длин волн — это не просто уточнение, а фундаментальное решение, определяющее технические характеристики. Для УФ-Вид-спектрофотометрии в диапазоне длин волн ниже 250 нм только высокочистый синтетический плавленый кварц с низким содержанием металлических примесей обеспечивает надежную и воспроизводимую пропускаемость базовой линии.

Природный плавленый кварц занимает промежуточное положение: он обеспечивает достаточную пропускаемость в видимом диапазоне и в ближнем ультрафиолете, благодаря чему подходит для проведения лабораторных работ при высоких температурах, где оптические характеристики уступают по важности термической и химической стойкости.

Химическая стойкость к воздействию кислот, растворителей и технологических жидкостей высокой чистоты

Сплавленный кварц демонстрирует исключительную стойкость практически ко всем неорганическим кислотам при повышенных температурах. Соляная кислота (HCl), серная кислота (H₂SO₄), азотная кислота (HNO₃) и фосфорная кислота (H₃PO₄) — в том числе в концентрированных формах при температурах, приближающихся к 300 °C, — вызывают незначительное поверхностное растворение или выщелачивание загрязняющих веществ из кварцевой посуды. Эта химическая инертность обусловлена полностью сшитой сетью Si–O–Si, в которой в большинстве лабораторных условий отсутствуют связи, легко поддающиеся гидролизу в кислой водной среде.

Основной химической уязвимостью плавленого кварца является воздействие фтористоводородная кислота (HF) а также горячими концентрированными растворами щелочей (NaOH, KOH) при температуре выше примерно 100 °C. ФХ вступает в прямую реакцию с диоксидом кремния с образованием растворимого гексафторкремниевая кислота (H₂SiF₆)¹, в то время как горячие щелочи способствуют растворению сетчатой структуры под действием гидроксида. Оба механизма воздействия хорошо изучены и учитываются в лабораторных протоколах — кварц никогда не рекомендуется использовать для потоков, содержащих фтористоводород, или при процедурах сильного щелочного разложения.

При анализе микроэлементов вклад загрязнения со стороны стенок кварцевой посуды на несколько порядков ниже, чем со стороны боросиликатного стекла, где бор, натрий и алюминий вымываются в кислые растворы в измеримых концентрациях. При подготовке проб для ICP-MS и ICP-OES это различие в вкладе фонового бланка поддается непосредственному измерению и имеет аналитическое значение.

Термические и химические свойства изделий из кварцевого стекла

Недвижимость	Плавленый кварц	Боросиликатное стекло	Стакан с содовой
Температура непрерывного использования (°C)	1,100	500	300
Температура размягчения (°C)	1,665	820	730
CTE (×10-⁶/°C)	0.55	3.3	7.5
УФ-отсечка (нм)	~250 (натуральное) / ~150 (синтетическое)	~310	~320
Сопротивление ВЧ	Бедный	Бедный	Бедный
Устойчивость к горячим кислотам	Превосходно	Хорошо	Умеренный
Устойчивость к воздействию горящих щелочей	Бедный	Умеренный	Бедный

---

Кварцевая посуда и боросиликатное стекло — сравнение по отдельным свойствам

По объему боросиликатное стекло составляет большую часть общей лабораторной стеклянной посуды, однако плавленый кварц неизменно вытесняет его везде, где температурные режимы, спектральная пропускаемость или пределы допустимого загрязнения выходят за пределы возможностей боросиликатного стекла.

Термический потолок является наиболее очевидным отличительным признаком. Боросиликатное стекло размягчается при температуре примерно 820 °C, а стандартные лабораторные сорта рассчитаны на непрерывную эксплуатацию при температурах до примерно 500 °C. Кварцевая посуда выдерживает непрерывную эксплуатацию при температуре 1 100 °C и кратковременное воздействие температуры до 1 300 °C — это более чем двукратный запас прочности по сравнению с боросиликатным стеклом. Этот разрыв не является постепенным; он носит категорический характер, что позволяет разделить эти два материала на отдельные области применения в любом технологическом процессе, протекающем при температуре выше 600 °C.

Спектральная пропускаемость представляет собой столь же решающее различие. Боросиликатное стекло достаточно хорошо пропускает видимый и ближний ультрафиолетовый свет, но становится непрозрачным при длине волны ниже примерно 310 нм. Любое применение, требующее пропускания УФ-излучения — спектрофотометрия в диапазоне ниже 300 нм, УФ-фотокатализ, оптика эксимерных лазеров — требует использования плавленого кварца или синтетического плавленого кремнезема, для которых боросиликат не является функциональной заменой.

Химическая чистота и выщелачиваемость завершить сравнение. Боросиликатное стекло выделяет в горячие кислотные растворы измеримые концентрации бора, натрия и кремния — это источник загрязнения, который недопустим при анализе микроэлементов на уровне концентраций ниже ppb. Плавленый кварц вносит пренебрежимо малое ионное загрязнение даже в самые агрессивные кислотные среды, сохраняя целостность пробы в аналитических процессах, где подавление фонового сигнала является основной аналитической задачей.

---

Распространенные виды кварцевой посуды и особенности их конструкции

Из плавленного кварца изготавливают целый ряд стандартных форм сосудов и компонентов, каждая из которых разработана с учетом конкретных функциональных требований, а не эстетических соображений.

• Кварцевые тигли представляют собой толстостенные цилиндрические или конические открытые сосуды, используемые для высокотемпературного плавления, прокаливания и расплавления материалов. Толщина стенок обычно составляет от 2 до 5 мм в зависимости от объема и тепловой нагрузки, а объем лабораторных моделей варьируется от 10 мл до нескольких литров.

• Кварцевые мензурки и колбы Они повторяют форму стандартной лабораторной посуды из боросиликата, но изготавливаются с более жесткими допусками на равномерность толщины стенок и имеют ободок, обработанный методом огненной полировки, что позволяет свести к минимуму выделение частиц. Варианты с плоским и круглым дном используются для кислотного разложения и приготовления растворов.

• Кварцевые трубки представляют собой одну из наиболее массовых форм продукции, выпускаемую с наружным диаметром от 1 мм до более 300 мм и толщиной стенок, рассчитанной с учетом давления и термических нагрузок. Прямые трубы, отводы и фланцевые узлы изготавливаются из трубного заготовки, полученной методом волочения или центробежного литья.

• Кварцевые стержни, диски и пластины используются в качестве элементов структурной, оптической и электрической изоляции, а не в качестве сосудов. Стержни выполняют функцию перемешивающих элементов или опор для суспенторов; диски и пластины служат в качестве окон, подложек и крышек в конструкциях печей и реакторов.

• Кварцевые испарительные чашки Имеют плоские профили с большим диаметром, оптимизированные для выпаривания растворителя и растворения твердых образцов в кислоте при повышенных температурах. Их большое соотношение поверхности к объему ускоряет выпаривание при контролируемом нагреве.

Эти формы обладают одной определяющей структурной особенностью: отсутствием какого-либо кристаллического порядка в стеклянной матрице. Независимо от формы все компоненты из плавленого кварца являются аморфными, изотропными и не содержат границ зерен, которые в противном случае создавали бы участки, подверженные преимущественному термическому и химическому воздействию.

---

Применение кварцевой посуды в производстве полупроводников

В процессе производства полупроводников материалы подвергаются воздействию сочетания экстремальных температур, требований к сверхвысокой чистоте и агрессивных химических веществ, что исключает практически все альтернативы стеклу — благодаря чему плавленый кварц занимает центральное место в современной инфраструктуре обработки полупроводниковых пластин как с конструктивной, так и с химической точки зрения.

На предприятии по производству кремниевых пластин кварцевая посуда и компоненты на основе кварца используются практически на каждом этапе термической и мокрой химической обработки. Требования к чистоте в данном контексте относятся не к лабораторному, а к полупроводниковому уровню: загрязнение металлами даже в концентрациях, выражающихся однозначными числами в частях на триллион на поверхности пластин может повлиять на время жизни носителей заряда, привести к появлению дефектов в оксиде затвора и снизить выход готовой продукции. Поэтому каждый кварцевый компонент, контактирующий с пластинами или технологическими газами, должен соответствовать строгим техническим требованиям, выходящим за рамки стандартного промышленного плавленого кварца и относящимся к классам «полупроводникового» и «электронного» качества.

Трубки и лодочные узлы диффузионных печей в производстве полупроводниковых пластин

Трубки для диффузионных печей представляют собой наиболее массовое и наиболее требовательное с точки зрения термических нагрузок применение кварцевой посуды в производстве полупроводников. В этих трубках большого диаметра — как правило, с наружным диаметром от 150 до 300 мм и длиной до 1 500 мм — размещаются кремниевые пластины во время термического окисления, диффузии легирующих примесей, и отжига, проводимых при температурах от 800 °C до 1 200 °C в контролируемой атмосфере кислорода, азота или водорода.

Кварц, используемый для изготовления диффузионных трубок для полупроводников, должен соответствовать требованиям к чистоте, предъявляемым к материалам электронного назначения, при этом общее содержание металлических примесей не превышает 20 частей на миллиард, а на передовых производственных площадках — 5 ppb для критически важных элементов, включая железо, медь, никель и алюминий. Один-единственный атом железа, диффундирующий из загрязненной стенки трубы печи в кремниевую пластину при температуре 1 000 °C, создает глубокое ловушечное состояние, которое заметно снижает время жизни носителей меньшинства — дефект, напрямую связанный с качеством материала. Лодки для пластин (держатели, в которых пластины располагаются в вертикальных или горизонтальных массивах внутри трубы) изготавливаются аналогичным образом из высокочистого плавленого кварца, причем геометрия пазов обрабатывается с допуском на уровне микронов для обеспечения равномерного расстояния между пластинами и воспроизводимого распределения потока газа.

Срок службы труб печей на производственных предприятиях тщательно отслеживается, поскольку длительные термические циклы постепенно приводят к девитрификации — явлению поверхностной кристаллизации, проявляющемуся в виде молочно-мутного помутнения, — что повышает риск выпадения твердых частиц и требует плановой замены труб.

Лотки для травления в мокрой камере и технологические емкости, устойчивые к воздействию химических веществ

Станции влажной химической обработки — известные в полупроводниковом производстве как «влажные столы» — используют погружные резервуары, переливные водосливы и переходные лотки, изготовленные из плавленого кварца, для последовательного погружения пластин в химические ванны. Эти Очистка RCA-разъемов² Эта последовательность, разработанная в лабораториях RCA и по-прежнему являющаяся основой подготовки поверхности кремния, предусматривает последовательную обработку пластин растворами SC-1 (NH₄OH/H₂O₂/H₂O), SC-2 (HCl/H₂O₂/H₂O) и растворов разбавленной HF при температурах от 25 °C до 80 °C.

Кварцевые резервуары и держатели выдерживают полную химическую обработку по методу RCA, не вызывая ионного загрязнения к чистящим растворам — требование, которое исключает большинство полимерных материалов для резервуаров при повышенных температурах из-за газовыделения и вымывания металлических добавок. В смесях серной кислоты и перекиси водорода (SPM или раствор «пиранья») при температурах свыше 120 °C кварц демонстрирует превосходную химическую стойкость по сравнению с PTFE, который размягчается и деформируется под длительным термическим и окислительным воздействием в таких условиях. Механическая жесткость кварца при рабочей температуре также обеспечивает точность размеров пазов держателя пластин, предотвращая контакт пластин друг с другом во время химического погружения — контакт, который привел бы к перекрестному загрязнению и потере выхода.

Компоненты кварцевых мокрых столов, предназначенных для использования в чистых помещениях, изготавливаются с поверхностной обработкой, характеристики которой определяются значениями Ra, как правило, не превышающими 0,8 мкм, что позволяет свести к минимуму прилипание частиц и облегчить полное химическое промывание между этапами технологического процесса.

Кварцевые компоненты в камерах для химического осаждения из газовой фазы (CVD) и эпитаксиального осаждения

Процессы химического осаждения из паровой фазы (CVD) и эпитаксиального роста требуют использования кварцевых компонентов, которые одновременно выдерживают высокие температуры, воздействие коррозионных газов-прекурсоров и обеспечивают полное отсутствие металлических примесей в выращиваемой пленке. Кварцевые реакционные трубки, вкладыши и компоненты подложки используются в реакторах низкодавления CVD (LPCVD), реакторах атмосферного давления CVD (APCVD) и реакторах для эпитаксиального осаждения кремния, работающих в диапазоне температур от 600 °C до 1 200 °C.

В системах LPCVD, предназначенных для осаждения нитрида кремния из дихлорсилана (SiH₂Cl₂) и аммиака (NH₃) или для осаждения поликремния из силана (SiH₄), кварцевая трубка служит основной реакционной камерой. Трубка должна оставаться химически инертной по отношению к прекурсорам осаждения, газам-носителям и реагентам для обратного травления включая хлор и HCl, используемые для очистки на месте между циклами осаждения. Любая реакция между стенкой трубки и технологическими реагентами приведет к попаданию оксида кремния или примесей в формирующуюся пленку. В камерах эпитаксиального осаждения трубки с кварцевой облицовкой и колпаки создают чистый, теплопрозрачный корпус вокруг подложки и суспентора, позволяя инфракрасным нагревательным лампам — как правило, вольфрамово-галогенным — передавать энергию через кварцевые стенки с минимальными потерями на поглощение.

Кварцевая посуда в полупроводниковых технологических процессах

Процесс	Кварцевый компонент	Рабочая температура (°C)	Степень чистоты
Термическое окисление	Диффузионная трубка	900-1,100	Электронный класс
Диффузия легирующих примесей	Труба печи + лодочка для пластин	800-1,200	Электронный класс
RCA — влажная чистка	Погружной резервуар, держатель	25–80	Полупроводниковый класс
Полоска SPM	Технологическая емкость	120-150	Полупроводниковый класс
LPCVD	Пробирка для реакции	600-900	Высокая степень чистоты
Эпитаксиальный рост	Стеклянный колпак, вставная трубка	900–1 200	Электронный класс

---

Кварцевая посуда для аналитической химии и спектроскопических измерений

Аналитическая химия предъявляет к стеклянной посуде двойные требования: спектральную прозрачность во всем диапазоне измерительных длин волн и химическую инертность, достаточную для сохранения концентраций аналитов на уровне ультраследов — именно это сочетание постоянно побуждает разработчиков приборов и методов обращаться к плавленому кварцу.

Связь между оптическими свойствами и аналитическими характеристиками является прямой и поддается количественной оценке. Емкость, поглощающая УФ-излучение на измерительной длине волны, вносит систематическую погрешность в каждое показание оптической плотности; колба для разложения, из которой в кислотную матрицу выщелачиваются кремний, бор или натрий, повышает аналитический бланк и ухудшает пределы обнаружения. Плавленый кварц одновременно устраняет оба этих вида нарушений, что объясняет его обязательное использование в УФ-спектрофотометрии и при подготовке проб на содержание микроэлементов — областях, где достоверность анализа зависит от поведения каждого материала, контактирующего с пробой.

Кюветы для УФ-Вид-спектрофотометрии — почему использование кварца оптического качества является обязательным условием

УФ-Вис-спектрофотометрия позволяет количественно определять концентрацию поглощающих веществ путем измерения ослабления света, проходящего через раствор-образец, в диапазоне длин волн, как правило, от 190 до 900 нм. Кювета — пробировальная ячейка, через которую проходит луч — должна быть прозрачной во всём этом диапазоне; любое поглощение со стороны самого материала кюветы вносит погрешность базовой линии, которая напрямую влияет на каждый расчёт концентрации.

Стандартные кюветы из оптического стекла обеспечивают достаточную пропускаемость в диапазоне длин волн выше примерно 340 нм, охватывая видимый диапазон и длинноволновый ближний УФ-диапазон. При длине волны ниже 310 нм боросиликатное стекло поглощает излучение настолько сильно, что становится практически непрозрачным, в результате чего стеклянные кюветы не подходят для измерения ароматических соединений, нуклеиновых кислот (пик поглощения при 260 нм), белков (пик поглощения при 280 нм) и обширного класса неорганических ионов, демонстрирующих поглощение в УФ-диапазоне за счет переноса заряда. Кюветы из плавленого кварца обеспечивают прозрачность, превышающую Пропускание 80% при длине волны 200 нм в виде синтетических сортов высокой чистоты, что обеспечивает надежность измерений во всем диапазоне глубокого УФ.

Стандартные аналитические кварцевые кюветы изготавливаются с длиной пути прохождения света 10,000 ± 0,010 мм, допуск, обеспечиваемый благодаря прецизионной шлифовке и полировке оптических окон. Отклонения от этой длины пути напрямую приводят к пропорциональным погрешностям в расчетах по закону Бера-Ламберта. Для кювет из синтетического плавленого кварца оптического качества дополнительно указывается однородность показателя преломления по всей площади окна, что позволяет исключить влияние артефактов, связанных с направлением луча, на кажущуюся оптическую плотность — это требование не имеет значения для стеклянных кювет, но является критически важным для кювет, используемых с источниками УФ-излучения высокой яркости или в количественных исследованиях в области структурной биологии.

Сосуды для переваривания и колбы для кислотного растворения, предназначенные для анализа микроэлементов

Анализ микроэлементов методами ICP-MS и ICP-OES требует растворения проб в минеральных кислотах — как правило, в концентрированной HNO₃, HCl или смесях HNO₃/HCl — при температурах от 80 °C до 250 °C в течение времени от нескольких минут до нескольких часов. Сосуд, используемый на этом этапе разложения, является элементом всего аналитического процесса, наиболее подверженным риску загрязнения.

В сосудах для разложения из боросиликатного стекла выделяется бор в концентрациях 50–500 мкг/л в растворы горячей азотной кислоты, что приводит к уровню загрязнения, имеющему аналитическое значение в экологических и биологических пробах, где бор сам по себе является аналитом. Выщелачивание натрия и алюминия из стеклянной посуды еще больше усложняет матрицу и повышает аналитический бланк для этих элементов. Сосуды из плавленого кварца вносят в раствор кремний (в виде кремниевой кислоты) в измеримых концентрациях в горячих кислотных средах, не содержащих фтористоводородной кислоты, однако кремний не является аналитом в большинстве рабочих процессов ИСП и легко учитывается. Для всех остальных элементов вклад заготовки из кварцевой матрицы пренебрежимо мал и составляет менее 1 мкг/л, что позволяет достичь пределов обнаружения, недостижимых при использовании стеклянной посуды или даже сосудов из высококачественного ПТФЭ для тех элементов, в случае которых добавки в ПТФЭ приводят к загрязнению.

При геохимическом анализе образцов горных пород и минералов — в этой области точный анализ редкоземельных элементов, переходных металлов и элементов платиновой группы в концентрациях порядка нг/г является стандартной практикой — кварцевые сосуды для разложения считаются минимально допустимым материалом для кислотного растворения в открытых сосудах при атмосферном давлении.

Характеристики кварцевой посуды при проведении аналитических измерений

Приложение	Ключевое требование	Технические характеристики кварца	Ограничения в отношении альтернативных материалов
УФ-Вис в диапазоне 200–280 нм	Коробка передач >80%	Синтетический плавленый кварц	Непрозрачный боросиликат <310 нм
УФ-Вис в диапазоне 280–900 нм	Коробка передач >90%	Натуральный плавленый кварц	Стекло подходит, но не защищает от ультрафиолета
Разложение проб для ICP-MS	Пустое поле <0,1 мкг/л	Кварцевая колба высокой чистоты	Боросиликат выделяет B, Na, Al
Разложение методом ICP-OES	Пустое поле <1 мкг/л	Кварцевая колба Эрленмейера	ПТФЭ подходит, но с ограничением по температуре
Флуоресценция при длине волны <300 нм	Отсутствие фоновой флуоресценции	Плавленый кварц УФ-класса	Стекло флуоресцирует в ультрафиолетовом диапазоне

---

Кварцевая посуда в высокотемпературном синтезе и термических исследованиях

Помимо применения в полупроводниковой и аналитической отраслях, столь же высокие требования к материалам возникают в области высокотемпературного синтеза, термического анализа и фотохимических исследований — условиях, в которых сочетание экстремальных температур, реактивных сред и ограничений по оптическому доступу окончательно исключает возможность использования традиционных стеклянных материалов.

Исследовательские лаборатории, занимающиеся синтезом материалов, термической характеристикой и фотохимическими экспериментами, подвергают стеклянную посуду нагрузкам, которые отличаются от стандартных условий, применяемых в полупроводниковой и аналитической отраслях, но при этом не менее суровы. В рамках одного экспериментального протокола температура может циклически изменяться от криогенных значений до 1 200 °C; состав атмосферы варьируется от инертных газов (аргона и азота) до окисляющего кислорода и слабовосстановительных смесей водорода; а фотохимические реакторы требуют стенок сосудов, пропускающих ультрафиолетовое излучение и одновременно выдерживающих термические и химические нагрузки. Плавленый кварц удовлетворяет этому сочетанию требований во всех трех контекстах.

Использование трубчатых печей и тиглей в синтезе материалов

Трубчатые печи являются основным инструментом термической обработки в химии твёрдого тела, керамике и синтезе наноматериалов. Стандартная горизонтальная трубчатая печь оснащена реакционной трубкой из плавленого кварца с наружным диаметром 50–100 мм и нагреваемой длиной 600–1 200 мм, через которую во время синтеза, отжига или экспериментов по фазовому превращению при температурах, как правило, в диапазоне от 400 °C до 1 100 °C.

Кварцевые реакционные пробирки выдерживают непрерывную работу при температуре 1 100 °C в окислительной (O₂, воздух), инертной (Ar, N₂) и слабовосстановительной (5% H₂/N₂) атмосферах без заметной реакции с газовой фазой, что делает их совместимыми с подавляющим большинством протоколов твердофазного синтеза. Углеродные нанотрубки, выращенные методом химического осаждения из паровой фазы, порошки оксидов металлов, синтезированные путем термического разложения, и тонкопленочные материалы, отжигаемые при контролируемых парциальных давлениях, — все они зависят от сохранности кварцевой трубки в этих условиях. Кварцевый тигель, помещенный внутрь такой трубки, служит непосредственным контейнером для реактивных исходных материалов, изолируя образец от стенки трубки и позволяя гравиметрически отслеживать изменения массы в ходе термически управляемых реакций.

Кварцевые тигли для высокотемпературного синтеза имеют толщину стенок 2–4 мм и выпускаются объёмом от 10 мл до 500 мл. Их термостойкость до 1 100 °C охватывает диапазоны плавления и спекания большинства оксидов, фосфатов и силикатов переходных металлов — хотя расплавленные оксиды и фториды щелочных металлов агрессивно воздействуют на кварц и требуют использования альтернативных материалов, таких как платина или оксид алюминия.

Приборы для термического анализа и реакционные сосуды в научно-исследовательских учреждениях

Приборы для термогравиметрического анализа (ТГА) и дифференциальной сканирующей калориметрии (ДСК) требуют использования держателей образцов и защитных элементов, которые сохраняют стабильность размеров и химических свойств во всём рабочем диапазоне приборов, который в высокотемпературных конфигурациях обычно составляет от −150 °C до 1 600 °C. Пробирки из плавленого кварца, подвесные трубки и защитные экраны для весов используются во всех высокотемпературных приборах ТГА в качестве как конструктивных, так и защитных элементов.

В системах ТГА образец в тигле подвешивается на кварцевой подвесной трубке внутри зоны печи, что позволяет изолировать механизм прецизионных весов от потока горячего газа. Труба должна демонстрировать нулевую ползучесть при рабочей температуре — это требование исключает использование боросиликатного стекла при температурах выше 500 °C — и должна равномерно пропускать газовую атмосферу к образцу без вступления в реакцию. Для экспериментов ТГА, проводимых в реактивных атмосферах, включая SO₂, пары HCl или пар воды при повышенных температурах, химическая инертность кварца по отношению к этим веществам (при температурах ниже примерно 1 000 °C и за исключением HF) делает его стандартным материалом для трубок при проектировании приборов.

В экспериментах с использованием высокотемпературного автоклава и герметичных ампул — когда исходные материалы помещаются в герметичную кварцевую трубку под действием парциального давления и нагреваются для стимулирования роста кристаллов или фазового перехода — кварцевая ампула одновременно выполняет функции сосуда под давлением, реакционной камеры и оптической ячейки для наблюдения, если эксперимент требует мониторинга в режиме in situ.

Стеклянная посуда из кварца в фотохимических и УФ-активированных реакционных системах

Для проведения фотохимических исследований требуются реакторы, в которых источник ультрафиолетового или видимого света освещает реагирующий раствор или газовую фазу с минимальным ослаблением света стенками реактора. Реакторы из плавленого кварца — цилиндрические сосуды, реакторы с погружной камерой и проточные ячейки с плоским окном — выполняют эту функцию в таких областях, как фотокатализ, синтез с использованием ультрафиолетового излучения, а также актинометрия³ эксперименты, в которых необходимо знать или регулировать точную дозу фотонов, подаваемую в реакционный объем.

Реактор с погружной колбой, изготовленный из плавленого кварца, позволяет ртутной лампе, излучающей свет с длинами волн 254 нм, 313 нм и 365 нм, освещать окружающее реакционное кольцо с пренебрежимо малым поглощением со стороны стенок — Потери при прохождении через кварцевую стенку толщиной 2 мм при длине волны 254 нм для сортов высокой чистоты, как правило, не превышают 5%. Реакторы из боросиликатного стекла при использовании той же лампы пропускают практически нулевую энергию при длине волны 254 нм, ограничивая реакцию теми фотонами, которые проникают через пороговое значение 310 нм для боросиликатного стекла. В экспериментах по фотокаталитическому разложению, в которых катализатор TiO₂ активируется фотонами с длиной волны менее 365 нм, выбор между кварцевыми и стеклянными реакторами приводит к категорически разным значениям флюенса фотонов на поверхности катализатора — переменной, которая полностью определяет данные о скорости реакции.

Использование кварцевой посуды в исследованиях, связанных с высокими температурами и фотохимией

Приложение	Кварцевый компонент	Диапазон температур (°C)	Используемое ключевое свойство
Твердофазный синтез	Пробирка для реакции	400–1 100	Термическая стабильность, инертность газа
Плавка в оксидном тигле	Тигель	800–1 100	Химическая инертность, термостойкость
Анализ TGA	Опорная трубка, уравновешивающий щиток	25–1 500	Отсутствие ползучести, химическая инертность
Синтез в герметичной ампуле	Ампула с плавким предохранителем	200-900	Устойчивость к давлению, оптический доступ
УФ-фотокатализ	Реактор с погружным колодцем	10-80	Пропускание УФ-излучения в диапазоне 254–365 нм
Фотохимический синтез	Проточная ячейка, сосуд с плоским окном	0–100	Широкополосная УФ-прозрачность

---

Применение прецизионной кварцевой посуды в оптике и фотонике

На передовых рубежах оптической инженерии, где длины волн простираются в область глубокого ультрафиолета, а плотности мощности подвергают испытанию порог повреждения любого материала, прецизионные детали из плавленого кварца выполняют функции, с которыми не может справиться ни одно другое оксидное стекло — функции, при которых однородность показателя преломления, пропускание ультрафиолета и устойчивость к лазерному повреждению должны соответствовать допускам, измеряемым в частях на миллион.

Для применения в фотонике и лазерной технике требуются материалы, свойства которых выходят за рамки стандартных лабораторных сортов. Однородность показателя преломления в диапазоне апертуры 100 мм должно контролироваться с точностью лучше, чем 1 × 10⁻⁶, в наиболее требовательных литографических и интерферометрических приложениях; двулучепреломление — анизотропия показателя преломления, вызванная напряжением, — должна быть сведена к значению менее 2 нм/см в компонентах оптического качества, чтобы предотвратить ухудшение поляризации в лазерных системах. Эти технические характеристики достижимы только при использовании синтетического плавленого кварца, полученного с помощью строго контролируемых процессов пламенного гидролиза или плазменного CVD, с последующими циклами отжига, предназначенными для снятия остаточного напряжения в стеклянной решетке.

Окна для УФ-лазеров и оптика для направления луча в системах высокой мощности

Эксимерные лазеры, работающие на длинах волн ArF (193 нм) и KrF (248 нм), служат основными источниками света в фотолитографии при производстве интегральных схем и в УФ-микротехнологии. Каждый оптический элемент на пути прохождения луча — окна, светоделители, линзы и гомогенизаторы — должен пропускать излучение на этих длинах волн с минимальным поглощением, рассеянием или индуцированным поглощением, вызванным предыдущим воздействием УФ-излучения.

Синтетический плавленый кварц с содержанием OH свыше 800 ppm указывается для оптики с длинами волн 193 нм и 248 нм, поскольку стекло с высоким содержанием OH демонстрирует превосходную устойчивость к лазерному уплотнению — необратимому уплотнению стеклянной решетки, вызванному поглощением фотонов глубокого УФ-излучения, которое приводит к сдвигу показателя преломления и смещению фокальной точки в течение миллионов лазерных импульсов. При энергиях импульсов, типичных для серийных литографических сканеров (примерно 5–10 мДж/см² на импульс при частоте повторения 4 000–6 000 Гц), на линзовые элементы в течение всего срока их эксплуатации подаются совокупные флюенсы, превышающие 10⁹ Дж/см². Только синтетический плавленый кварц с высоким содержанием OH сохраняет стабильность показателя преломления и коэффициент пропускания при таких уровнях облучения — это требование стало движущей силой разработки специализированных материалов из диоксида кремния литографического качества с строго контролируемыми показателями содержания примесей и групп OH, отличающихся от стандартных оптических марок.

В импульсных лазерных системах на основе Nd:YAG, генерирующих гармоники с длинами волн 532 нм, 355 нм и 266 нм, окна и линзы из плавленого кварца заменяют стандартные стеклянные компоненты на этапах генерации и передачи ультрафиолетовых гармоник, где основным критерием выбора является не однородность, а порог повреждения.

Изготовление преформ для оптических волокон и волноводы на основе диоксида кремния

Оптическое волокно — среда передачи, лежащая в основе глобальной телекоммуникационной инфраструктуры, — изготавливается из преформ из плавленого кварца сверхвысокой чистоты, получаемых методами химического осаждения из газовой фазы (CVD). Преформа представляет собой цилиндрический стеклянный стержень с точно рассчитанным профилем показателя преломления, из которого при температуре около 2 000 °C вытягивают волокно, получая нити с наружным диаметром 125 мкм и диаметром сердцевины 8–62,5 мкм в зависимости от типа волокна.

Плавленый кварц, используемый для изготовления заготовок телекоммуникационных волокон, должен обеспечивать затухание ниже 0,18 дБ/км при длине волны 1 550 нм — техническое требование, согласно которому общее содержание OH в области сердцевины должно быть ниже 0,1 ppb, поскольку обертон поглощения OH при 2 730 нм вызывает измеримое затухание на длине волны 1 383 нм («водяной пик»), что ухудшает характеристики плотного мультиплексирования по длине волны (DWDM) в волокнах старых марок. Современные марки волокон с низким «водяным пиком», соответствующие требованиям стандарта IEC 60793-2-50, тип B1.3, обеспечивают затухание, связанное с OH, на длине волны 1 383 нм на уровне ниже 0,4 дБ/км благодаря процессам внешнего осаждения из паровой фазы (OVD), которые строго исключают попадание влаги во время осаждения сажи и спекания.

Трубки из кварцевой подложки — полые цилиндры из сверхчистого плавленого кремнезема — служат в качестве исходного оправки для изготовления преформ методами модифицированного химического осаждения из паровой фазы (MCVD) и плазменного CVD (PCVD), при которых на внутреннюю стенку трубки последовательно наносятся слои легированного SiO₂, после чего она сжимается в твердый стержень-преформу. Допуски на размеры этих трубок-оснований напрямую определяют геометрию сердцевины и оболочки готового волокна, при этом допуски на наружный диаметр не превышают ±0,5 мм, а равномерность толщины стенки по всей длине трубы обеспечивается на уровне, превосходящем показатели марки 1%.

Технические характеристики изделий из кварцевого стекла и плавленого кремнезема для применения в оптике

Приложение	Диапазон длин волн	Требуется указать содержание OH	Основные оптические характеристики
Линзы для ArF-литографии	193 нм	>800 ppm (в влажном состоянии)	Δn < 1×10⁻⁶, двулучепреломление < 2 нм/см
Лазерная оптика KrF	248 нм	>600 ppm	Порог лазерного повреждения >5 Дж/см²
Nd:YAG, 4-я гармоника	266 нм	>400 ppm	Пропускание УФ-излучения >85%
Лабораторная оптика для УФ-Вис-спектроскопии	200–800 нм	150-400 стр.	Равномерность передачи ±1%
Оптико-волоконный сердечник телекоммуникационного кабеля	1 310–1 550 нм	<0,1 ppb	Затухание <0,18 дБ/км при длине волны 1 550 нм
Трубка подложки MCVD	Н/Д (конструкция)	<1 ppm (в сухом состоянии)	Допуск по наружному диаметру ±0,5 мм

---

Почему кварцевая посуда остается незаменимой в критически важных областях применения

Ни один из альтернативных материалов не способен одновременно обеспечить все эксплуатационные характеристики плавленого кварца в температурном, оптическом и химическом аспектах.

Полимеры и фторпласты по химической инертности не уступают кварцу или превосходят его во многих кислотных средах, однако теряют свои свойства при температурах выше 260 °C и непроницаемы для ультрафиолетового излучения. Керамика на основе оксида алюминия и оксида циркония выдерживает более высокие рабочие температуры, но непрозрачна во всех значимых оптических диапазонах длин волн и механически хрупка при толщине стенок, необходимой для конструкции труб и сосудов. Боросиликатное стекло превосходно подходит для большинства стандартных лабораторных задач, однако достигает жестких пределов своих возможностей при 500 °C, 310 нм и пороговых значениях загрязнения на уровне следов, которые кварц преодолевает без каких-либо компромиссов.

Ни один другой материал, из которого можно изготавливать трубы, сосуды и оптические окна пригодных размеров, не обладает одновременно следующими свойствами: температура непрерывной эксплуатации 1 100 °C, спектральная пропускаемость в диапазоне от 150 нм до 3 500 нм, содержание металлических примесей на уровне менее одного частицы на миллиард (ppb) и устойчивость ко всем минеральным кислотам, за исключением фтористоводородной (HF). Именно сочетание этих свойств — а не какое-либо отдельное из них — является причиной того, что изделия из плавленого кварца занимают незаменимое место в процессах обработки полупроводниковых пластин, УФ-аналитических измерениях, исследованиях высокотемпературных материалов и прецизионных фотонных системах. Там, где требуется одновременное наличие всех этих свойств, плавленый кварц — это не просто предпочтительный выбор: это обязательное условие для материала.

---

Заключение

Эксплуатационные характеристики изделий из плавленого кварцевого стекла обусловлены аморфной сетью SiO₂ — структурой, получаемой либо путем плавления природного кварца, либо методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) синтетического кремнезема; каждый из этих методов обеспечивает свои особенности по чистоте и оптическим характеристикам, подходящие для различных уровней применения. Термическая стабильность до 1 100 °C, спектральный диапазон от ультрафиолета до инфракрасного излучения и химическая инертность по отношению к минеральным кислотам в совокупности определяют диапазон эксплуатационных характеристик, не имеющий аналогов среди коммерчески доступных стеклянных материалов. В таких областях, как производство полупроводников, аналитическая спектроскопия, высокотемпературный синтез и лазерная фотоника, эти свойства определяют функциональные требования, которые альтернативные материалы не могут удовлетворить одновременно — благодаря чему плавленый кварц становится незаменимым классом материалов везде, где важны точность, чистота и термический запас.

---

ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ

В чем разница между плавленым кварцем и плавленым кварцем?
Плавленой кварц получают путем плавления природного кристалла кварца, в результате чего получается SiO₂ с чистотой 99,9–99,99%, содержанием OH 150–300 ppm и пределом пропускания УФ-излучения около 250 нм. Плавленый кремнезем изготавливают из синтетических химических прекурсоров, таких как SiCl₄, достигая степени чистоты выше 99,9999% с пределом пропускания УФ-излучения в диапазоне 150–180 нм. Оба материала представляют собой аморфный SiO₂ с одинаковыми температурами размягчения и коэффициентами теплового расширения, однако их спектральные характеристики и степень загрязнения существенно различаются.

При какой температуре кварцевая посуда выходит из строя?
Плавленой кварц выдерживает непрерывную эксплуатацию при температурах до 1 100 °C и допускает кратковременное воздействие температур до примерно 1 300 °C без катастрофической деформации. Его температура размягчения составляет 1 665 °C. Длительное использование при температурах выше 1 100 °C способствует девитрификации — поверхностной кристаллизации, которая повышает хрупкость и приводит к образованию частиц, — поэтому в полупроводниковой промышленности и научных исследованиях трубки и сосуды заменяют до того, как девитрификация станет заметной.

Можно ли использовать кварцевую посуду с фтористоводородной кислотой?
Кварцевая посуда несовместима с фтористоводородной кислотой (HF) любой концентрации. HF вступает в прямую реакцию с диоксидом кремния с образованием растворимой гексафторкремниевой кислоты, которая быстро разъедает и истончает стенки кварцевой посуды. Для технологических процессов, в которых используется HF, стандартными альтернативами являются сосуды из PTFE, перфторалкокси (PFA) или фторированного этиленпропилена (FEP).

Почему в УФ-спектрофотометрии необходимо использовать кварцевые кюветы?
Кюветы из боросиликатного и оптического стекла становятся практически непрозрачными при длине волны ниже примерно 310 нм, поглощая измерительный луч и вызывая значительные нестабильные погрешности базовой линии. Кюветы из плавленого кварца пропускают излучение выше 80% при 200 нм, что позволяет проводить точные измерения поглощения для нуклеиновых кислот при 260 нм, белков при 280 нм и ароматических соединений во всем диапазоне глубокого УФ. Сорта синтетического плавленого кварца обеспечивают надежную пропускаемость до примерно 180 нм для самых требовательных задач УФ-спектроскопии.

---

Ссылки: