- Главная
- /
- Приложения
- /
- Полупроводниковое кварцевое стекло
- /
- Подгонянная термостабильная кварцевая ваф...
Кварцевые пластины с термостабильной поверхностью для полупроводников и солнечных батарей -TOQUARTZ®
Кварцевые лодочки на кремниевых пластинах отличаются термостойкостью до 1100°C, превосходной коррозионной стойкостью и высоким удельным электрическим сопротивлением (7×10⁷ Ω-см).
Особенности лодки из кварцевых пластин
Материальное превосходство
- Высокая чистота: Содержание SiO₂ до 99,995% обеспечивает минимальное загрязнение в критических процессах
- Превосходная прочность: Прочность на изгиб до 350 МПа, выдерживает нагрузки при транспортировке
- Химическая стабильность: Устойчивость к кислотам, щелочам, расплавленным солям и фторированным газам
Тепловые характеристики
- Стабильность при высоких температурах: Сохраняет структурную целостность при температуре 1100°C для непрерывной работы
- Низкое тепловое расширение: Коэффициент 5,5×10-⁷/°C сводит к минимуму коробление при термоциклировании
- Теплопроводность: 120-160 Вт/м-К для эффективного теплообмена во время обработки
Практические преимущества
- Увеличенный срок службы: Низкая интенсивность износа продлевает срок службы в производственных условиях
- Электрическая изоляция: Высокое удельное сопротивление (7×10⁷ Ω-см) предотвращает электрические помехи
- Оптические свойства: Коэффициент преломления 1,4585 для специальных применений
- Минимизация допантной интерференции
- Выравнивание без деформаций
- Устойчивость к термоциклированию
Технические характеристики лодки из кварцевой пластины
Технические характеристики лодки из кварцевого стекла
Физические свойства
| Недвижимость | Значение | Единица |
| Плотность | 2.2 | г/см3 |
| Прочность на изгиб | 48 | МПа |
| Модуль упругости | 72 | ГПа |
| Коэффициент Пуассона | 0.14-0.17 | – |
| Прочность на сжатие | 1100 | МПа |
| Прочность на изгиб | 67 | МПа |
| Твердость по шкале Мооса | 5.5-6.5 | – |
Тепловые свойства
| Недвижимость | Значение | Единица |
| Максимальная рабочая температура (длительная) | 1100 | °C |
| Максимальная рабочая температура (кратковременно) | 1300 | °C |
| Теплопроводность | 1.4 | Вт/м-К |
| Коэффициент теплового расширения | 5.5×10-⁷ | /°C |
Оптические и электрические свойства
| Недвижимость | Значение | Единица |
| Показатель преломления | 1.4585 | – |
| Специфическая устойчивость | 7×10⁷ | Ω-см |
Индивидуальные размеры лодки из плавленого кварца
Компания TOQUARTZ® может разработать индивидуальные спецификации в соответствии с требованиями заказчика. Свяжитесь с нашей командой инженеров для получения подробной информации о размерах и вариантах нестандартных размеров.
TOQUARTZ® решает критические задачи с помощью лодок на кварцевых пластинах
Лодки для подложек из кварцевого стекла для процессов диффузии полупроводников
Ключевые преимущества
-
Стабильность размеров при 1100°C
Вафельные лодки TOQUARTZ® поддерживают <0.15mm deformation after 100 cycles at 1100°C in diffusion furnaces. -
Ультранизкий уровень ионного загрязнения
ICP-MS тестирование подтверждает уровни ионов Na⁺, K⁺ и Fe³⁺ ниже 0,1 ppm, что сводит к минимуму легирующие помехи. -
Управление параллельностью слотов
Отклонение параллельности между пазами контролируется в пределах 0,05 мм в конфигурациях с 25 пазами.
раствор TOQUARTZ®
Американскому интегратору полупроводникового оборудования требовались кварцевые лодочки для 8-дюймовых пластин, которые могли бы сохранять структурную целостность и предотвращать загрязнение при диффузии при температуре 1030°C. Лодочки предыдущего поставщика деформировались после 60 циклов, что приводило к смещению пластин и снижению выхода продукции.
Компания TOQUARTZ® применила двухступенчатый процесс отжига и протокол кислотного выщелачивания, что позволило получить лодки, сохранившие стабильность размеров после 120+ циклов без обнаружения ионных остатков.
Лодки для плавленых кварцевых пластин для производства солнечных элементов
Ключевые преимущества
-
Устойчивость к термоциклированию
Лодки TOQUARTZ® выдерживают более 200 термических циклов (20-1100°C) без образования микротрещин. -
Высокая равномерность пазов при массовой загрузке
Отклонение шага пазов контролируется в пределах ±0,03 мм на 100-щелевых носителях солнечных пластин. -
Выравнивание без деформаций
Отклонение плоскостности после цикла не превышает 0,2 мм после 180 циклов в системах поточной диффузии.
раствор TOQUARTZ®
Польский производитель солнечных модулей столкнулся с проблемой поломки и смещения пластин при высокопроизводительной диффузии из-за деформации щелей в существующих кварцевых лодках.
Компания TOQUARTZ® изменила геометрию пазов с помощью моделирования методом конечных элементов и усилила базовую конструкцию. После 180 термических циклов лодки сохранили выравнивание в пределах 0,2 мм, что позволило сократить поломку пластин на 27% и повысить эффективность ячеек в разных партиях.
Лодки из плавленого кварца для исследовательских целей
Ключевые преимущества
-
Совместимость с нестандартными пластинами
Поддерживаются пластины диаметром от 2 до 8 дюймов со смешанными конфигурациями слотов для гибридных экспериментов. -
Быстрое прототипирование Точность
Обработка пазов с ЧПУ обеспечивает повторяемость мелкосерийных заказов. -
Адаптивность геометрии
Поддержка асимметричных или частичных слотов для проведения тепловых исследований с упором на края.
раствор TOQUARTZ®
Немецкой университетской лаборатории потребовались кварцевые лодочки для прототипа процесса, включающего 6-дюймовые пластины с асимметричными зонами нагрева и нестандартным расстоянием между щелями.
Компания TOQUARTZ® применила 5-осевую обработку с ЧПУ и цифровое картирование пазов, чтобы удовлетворить уникальные требования лаборатории к геометрии и тепловому профилю. Лодки прошли внутренние тесты на выравнивание и позволили лаборатории провести 3 эксперимента без разрушения конструкции или отклонения пазов.
Услуги TOQUARTZ® по индивидуальному заказу для лодок с пластинами из кварцевого стекла
Настройка размеров
- Нестандартные параметры длины, ширины и высоты
- Специальная толщина стенок для обеспечения тепловых требований
- Допуски на размеры могут быть указаны иначе или потребованы пользователем.
Специальный дизайн
Характеристики
- Количество слотов на заказ от 5 до 200+ позиций
- Изменяемое расстояние между щелями для пластин различной толщины
- Специализированная геометрия пазов для защиты кромок
Оптимизация производительности
- Полированные поверхности для уменьшения образования частиц
- Шлифованная поверхность для улучшения тепловых характеристик
- Специальные протоколы очистки для сверхвысокой чистоты
Процесс индивидуального проектирования
Сбор требований и технические консультации
- Мы начинаем со сбора подробных данных о применении, включая размер пластин, количество щелей, тип печи и тепловые условия. Клиенты могут предоставить чертежи или проконсультироваться непосредственно с нашей командой кварцевых инженеров.
Проектирование и моделирование лодок на кварцевых пластинах
- Наши инженеры создают 2D/3D CAD-модели изготовленных на заказ лодок для кварцевых пластин, используя FEM-анализ тепловых напряжений и оптимизацию геометрии щелей для обеспечения стабильности размеров и тепловых характеристик.
Изготовление и проверка прототипов
- Мы изготавливаем прототип, используя обработку на станках с ЧПУ и прецизионные пазовые инструменты. Перед утверждением каждая изготовленная на заказ лодка из кварцевых пластин проходит проверку размеров, испытания на тепловой удар и проверку выравнивания пазов.
Производство и доставка партий
- После утверждения прототипа мы начинаем серийное производство с полной документацией по контролю качества. Стандартное время выполнения заказа составляет 15-20 рабочих дней. Для срочных проектов возможно ускоренное производство лодок на кварцевых пластинах.
Руководство по использованию лодки для кварцевых пластин
Процедуры обращения
- Работайте в чистых перчатках, чтобы избежать загрязнения и отпечатков пальцев, которые могут вызвать дефекты при высоких температурах.
- Избегайте ударов и падений, так как кварц, несмотря на свою высокую термостойкость, подвержен сколам и трещинам.
- Используйте специальные подставки для хранения с мягкими контактными площадками, чтобы предотвратить появление царапин, когда они не используются.
- Перевозите лодочки из кварцевых пластин в защитной упаковке, чтобы свести к минимуму риск их повреждения.
Управление температурой
- Не превышайте максимальную рабочую температуру 1100°C при длительном использовании или 1350°C при кратковременных операциях.
- Избегайте быстрого термоциклирования; для предотвращения теплового шока рекомендуется скорость темпа не более 5-8°C в минуту.
- Дайте достаточное время на охлаждение перед обработкой или очисткой, чтобы предотвратить разрушение под воздействием термического напряжения.
- Используйте печи с температурной калибровкой для предотвращения непреднамеренного перегрева сверх установленных пределов.
Химическая совместимость
- Кварц - кислотный материал; избегайте контакта с щелочными соединениями (соединениями натрия/калия, водным стеклом) при высоких температурах.
- Совместим с большинством кислот, но фтористоводородная кислота (HF) вытравливает кварц, поэтому ее следует избегать.
- Избегайте загрязнения металлами, которые могут вызвать девитрификацию (кристаллизацию) кварца при высоких температурах.
- Для очистки используйте соответствующие растворители/кислоты в соответствии с требованиями вашего технологического процесса; обратитесь к нашим техническим специалистам за конкретными рекомендациями.
Обслуживание и уборка
- Регулярно проверяйте на наличие трещин, сколов или девитрификации, которые могут нарушить целостность конструкции.
- Очистка с помощью ультразвуковых ванн с соответствующими химическими веществами для конкретных загрязнений.
- Для удаления стойких отложений может подойти раствор пираньи (H₂SO₄:H₂O₂) или методы очистки RCA (ознакомьтесь с правилами безопасности).
- Документируйте циклы использования, чтобы предвидеть необходимость замены до того, как произойдет поломка.
Для получения рекомендаций по работе с конкретным применением или помощи в устранении неисправностей обратитесь в нашу службу технической поддержки, которая может предоставить индивидуальные рекомендации, основанные на конкретных параметрах процесса.
Нужна инженерная поддержка для удовлетворения потребностей в лодках для кварцевых пластин?
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы обсудить ваши требования к лодкам для кварцевых пластин.
Почему стоит сотрудничать с TOQUARTZ
Прямое преимущество фабрики
Являясь прямым производителем, мы можем отказаться от многочисленных промежуточных звеньев.
Инженерная экспертиза
Техническая команда сопровождает клиентов от выбора материала до оптимизации конструкции, воплощая спецификации в готовые изделия.
Гибкое производство
Выполнение стандартных и индивидуальных заказов с помощью опыта работы с мелкими партиями и тщательного создания прототипов для соблюдения сроков.
Качество
Обеспечение
Трехступенчатая проверка перед отгрузкой:
1. точность размеров,
2. чистота материала ,
3. пороговые значения производительности
Глобальная цепочка поставок
Надежная глобальная логистика в промышленные центры (приоритет DE/US/JP/KR) с отслеживаемыми сроками.
Восстановленные продукты
Как специализированный производитель с прямыми заводскими возможностями, TOQUARTZ предлагает как стандартные, так и индивидуальные кварцевые решения с инженерной поддержкой на протяжении всего процесса спецификации и реализации.
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
Вопрос: Что означает определение лодки из кварцевых пластин?
О: Лодка для кварцевых пластин - это высокочистый кварцевый держатель, используемый для удержания и транспортировки кремниевых пластин во время операций высокотемпературной термической обработки при производстве полупроводников и солнечных батарей. Эти лодочки имеют точно обработанные пазы для поддержания постоянного расстояния между пластинами и их позиционирования.
В: Каковы основные области применения лодок на кварцевых пластинах?
О: Лодочки для кварцевых пластин в основном используются в процессах диффузии и окисления полупроводников, производстве солнечных элементов, светодиодов и исследованиях материалов, где критически важными требованиями являются высокая температурная стабильность и чистота материала.
В: Почему кварц является предпочтительным материалом для вафельных лодок?
О: Высокочистый кварц предпочтителен для лодочек для пластин благодаря своей исключительной термостабильности, минимальному тепловому расширению, химической инертности и высокой чистоте (обычно 99,995% SiO₂), которая предотвращает загрязнение при высокотемпературной обработке.
В:Какую максимальную температуру может выдержать лодка из кварцевых пластин?
О: Кварцевые пластины TOQUARTZ® могут выдерживать длительные рабочие температуры до 1100°C и кратковременное воздействие до 1300°C. Предельная температура кварцевых пластин определяется их температурой размягчения и началом девитрификации (кристаллизации).
Вопрос: Предоставляете ли вы техническую поддержку при проектировании лодок на кварцевых пластинах?
О: Да, команда инженеров TOQUARTZ® оказывает всестороннюю поддержку при проектировании, чтобы оптимизировать вашу лодку для кварцевых пластин для конкретных условий обработки. Мы можем предложить модификации для улучшения тепловых характеристик, механической стабильности и срока службы.
Свяжитесь с нашей командой инженеров для получения технической консультации и определения цены. Мы поможем вам выбрать оптимальные характеристики для ваших требований.
Русский 
English 
العربية 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe