- Главная
- /
- Приложения
- /
- Полупроводниковое кварцевое стекло
- /
- Кварцевая печь с атмосферным уплотнением...
Кварцевые дверцы для печей полупроводников с атмосферным уплотнением -TOQUARTZ®
Особенности дверцы кварцевой печи
Кварцевые дверцы для печей производства TOQUARTZ® - это прецизионные компоненты, разработанные для высокотемпературного применения в промышленных печах. Эти критически важные компоненты обладают уникальным сочетанием тепловых, механических и химических свойств, которые обеспечивают оптимальную работу в сложных условиях.
Устойчивость к высоким температурам
Выдерживает рабочие температуры до 1600°C без деформации и разрушения, что делает его идеальным для высокотемпературных процессов в производстве полупроводников и фотоэлектрических приборов.
Устойчивость к тепловому удару
Отличная устойчивость к термоциклированию и резким перепадам температур, предотвращающая растрескивание и продлевающая срок службы в сложных температурных условиях.
Низкое тепловое расширение
Благодаря коэффициенту теплового расширения 5,5×10-⁷/K дверцы кварцевых печей сохраняют стабильность размеров при перепадах температур, обеспечивая надежную герметизацию и целостность процесса.
- Выдерживает воздействие агрессивных веществ полупроводникового процесса
- SiO2 полупроводникового качества 99.99%
- Настраиваемые размеры
Технические характеристики дверцы кварцевой печи
Двери для кварцевых печей TOQUARTZ® изготавливаются в соответствии с точными техническими условиями, обеспечивающими оптимальную работу в сложных высокотемпературных условиях. Приведенные ниже технические данные содержат подробную информацию о физических, химических и термических свойствах нашей продукции.
| Недвижимость | Значение | Единица |
| Материал | Высокочистое кварцевое стекло | – |
| Содержание SiO₂ | ≥99.99 | % |
| Максимальная рабочая температура | 1600 | °C |
| Коэффициент теплового расширения | 5.5×10-⁷ | /K |
| Теплопроводность | 1.3 | Вт/(м-К) |
| Плотность | 2.2 | г/см³ |
| Прочность на разрыв | 50 | МПа |
| Допуск на размеры | ±0.2 | мм |
| Отделка поверхности | Огненная полировка | – |
| Химическая стойкость | Устойчивость к кислотам, щелочам и фторсодержащим газам | – |
TOQUARTZ® решает важнейшие задачи с помощью кварцевых топочных дверей
Кварцевые дверцы печей в фотоэлектрическом производстве
Ключевые преимущества
-
Точность удержания в атмосфере в пределах ±1,5%
Поддерживает стабильность концентрации легирующего газа во время диффузии при 950°C для получения равномерных профилей легирования. -
Отклонение равномерности легирования <2% across 156mm wafers
Обеспечивает постоянное сопротивление листа и эффективность ячеек в высокопроизводительных солнечных линиях. -
Риск загрязнения снижен благодаря использованию 85% по сравнению с алюминиевыми дверями
Высокочистый кварц предотвращает диффузию ионов металлов, сохраняя целостность кремниевых пластин.
раствор TOQUARTZ®
Производитель солнечных элементов первого уровня в Корее сообщил о потере выхода 2,8% из-за непоследовательного легирования, вызванного утечкой газа на концах печи.
Компания TOQUARTZ® поставила на заказ дверцы кварцевых печей с оптимизированными кольцевыми канавками и чистотой SiO₂ 99,99%. После установки выход продукции увеличился на 2,4%, а расход легирующего газа снизился на 11%, что позволило сэкономить более $18 000 в месяц на материальных затратах.
Двери печей для плавленого кварца в производстве полупроводников
Ключевые преимущества
-
Генерация частиц <0.1 pcs/cm²/hour under 1200°C
Минимизирует загрязнение в процессах окисления в чистых помещениях класса 100. -
Дрейф размеров <0.05mm after 500 thermal cycles
Сохраняет целостность уплотнения при быстром отжиге и циклическом окислении. -
Коррозионная стойкость к Cl₂ и HCl до 1000 ppm
Обеспечивает стабильность структуры в агрессивных газовых средах полупроводников.
раствор TOQUARTZ®
На одной из полупроводниковых фабрик в США за 2 месяца произошло 4 незапланированных остановки из-за коррозии керамических дверей в процессе окисления HCl.
Компания TOQUARTZ® поставляет кварцевые дверцы для печей с повышенной химической стойкостью и стабильностью размеров. Время простоя сократилось на 92%, что позволило сэкономить $380 000 рублей на потерях производства и снизить частоту технического обслуживания на 60%.
Двери печей из кварцевого стекла в лабораторных исследованиях
Ключевые преимущества
-
Оптическое пропускание >90% при 400-800 нм
Обеспечивает визуальный контроль процессов кристаллизации и реакции в режиме реального времени. -
Многопортовая интеграция с допуском ±0,2 мм
Поддержка термопар, впускных отверстий для газа и портов для отбора проб в компактных лабораторных установках. -
Время выполнения заказа <18 days for R&D projects
Ускорение сроков проведения экспериментов за счет быстрого создания прототипов и доставки.
раствор TOQUARTZ®
Лаборатории японского университета требовалась дверца кварцевой печи с двумя смотровыми окнами и 3 газовыми отверстиями для проведения срочного исследования роста кристаллов. Стандартные поставщики предлагали 6-8 недель.
Компания TOQUARTZ® поставила полностью настроенную установку за 17 дней. Проект был завершен, и лаборатория сообщила о повышении производительности эксперимента на 30%.
Услуги TOQUARTZ® по индивидуальному заказу для дверцы печи из плавленого кварца
Проектирование и дизайн
- Преобразование и оптимизация технических чертежей
- 3D-моделирование сложных геометрических форм
- Выбор материала для конкретного применения
- Консультации по дизайну для оптимальной производительности
Производственные возможности
- Нестандартные размеры и толщина стенок
- Специализированные конфигурации уплотнительных поверхностей
- Интеграция смотровых окон или портов доступа
- Конструкции кольцевых канавок для особых требований к уплотнениям
Ускоренное обслуживание
- Быстрое создание прототипов для проверки конструкции
- Мелкосерийное производство для тестирования
- Производство срочной замены
- Круглосуточная доставка товаров, имеющихся в наличии
Рекомендации по использованию дверцы кварцевой печи
Правильное обращение, установка и обслуживание дверей кварцевых печей необходимы для увеличения срока службы и обеспечения оптимальной производительности в высокотемпературных условиях. Следуйте этим рекомендациям, чтобы предотвратить повреждения и продлить срок службы кварцевых компонентов.
Обработка и хранение
- При работе с дверцами кварцевых печей надевайте чистые неопудренные перчатки, чтобы предотвратить загрязнение поверхности.
- Хранить в оригинальной упаковке или на чистой, мягкой поверхности вдали от возможных воздействий.
- Поддерживайте условия хранения при контролируемой температуре и влажности (40-60% RH)
- Избегайте воздействия фтористоводородной кислоты (HF) во время хранения
- Перед установкой проверьте на наличие микротрещин или повреждений
Процедура установки
- Перед установкой тщательно очистите монтажные поверхности
- Используйте соответствующие высокотемпературные уплотнительные кольца или прокладки, совместимые с технологическими газами
- Прикладывайте равномерное давление при фиксации - избегайте чрезмерной затяжки, которая может создать точки напряженияПрикладывайте равномерное давление при фиксации - избегайте чрезмерной затяжки, которая может создать точки напряжения
- Соблюдайте рекомендуемые значения крутящего момента для крепежных деталей
- Обеспечьте достаточный зазор для теплового расширения во время работы
Управление температурой
- Соблюдайте максимальную номинальную температуру (1200°C для стандартных кварцевых дверей)
- Регулируйте скорость нагрева, чтобы <100°C/hour during initial warm-up to prevent thermal shock
- Обеспечение равномерности температуры по всей двери для предотвращения локального напряжения
- Обеспечьте постепенное охлаждение при отключении печных систем
- Избегайте прямого контакта с системами охлаждения или радиаторами
Обслуживание и уборка
- Регулярно проверяйте уплотнительные поверхности на наличие отложений или повреждений
- Очищайте с помощью высокоочищенного изопропилового спирта или ацетона и безворсовых салфеток
- Для удаления стойких отложений используйте разбавленные растворы кислот (кроме HF) с последующим тщательным ополаскиванием.
- Заменяйте уплотнительные кольца и прокладки в соответствии с графиком производителя
- Документирование истории обслуживания для отслеживания срока службы и производительности компонентов
Сменные индикаторы
- Видимые микротрещины или девитрификация поверхности
- Сложности с поддержанием атмосферы процесса
- Снижение производительности процесса или выхода продукции
- Повышенный расход газа или перепады давления
Нужна инженерная поддержка для компонентов вашей печи?
и оптимизация конструкции для обеспечения оптимальной производительности в конкретной среде.
Почему стоит сотрудничать с TOQUARTZ
Прямое преимущество фабрики
Являясь прямым производителем, мы можем отказаться от многочисленных промежуточных звеньев.
Инженерная экспертиза
Техническая команда сопровождает клиентов от выбора материала до оптимизации конструкции, воплощая спецификации в готовые изделия.
Гибкое производство
Выполнение стандартных и индивидуальных заказов с помощью опыта работы с мелкими партиями и тщательного создания прототипов для соблюдения сроков.
Качество
Обеспечение
Трехступенчатая проверка перед отгрузкой:
1. точность размеров,
2. чистота материала ,
3. пороговые значения производительности
Глобальная цепочка поставок
Надежная глобальная логистика в промышленные центры (приоритет DE/US/JP/KR) с отслеживаемыми сроками.
Восстановленные продукты
Как специализированный производитель с прямыми заводскими возможностями, TOQUARTZ предлагает как стандартные, так и индивидуальные кварцевые решения с инженерной поддержкой на протяжении всего процесса спецификации и реализации.
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
Вопрос: Для чего используется дверца кварцевой печи?
О: Кварцевые дверцы печей используются для герметизации торцов высокотемпературных печей и поддержания стабильной внутренней температуры и атмосферы. Они являются важнейшими компонентами в производстве полупроводников, фотоэлектрической продукции и лабораторных исследованиях, где важны целостность процесса и контроль загрязнения. Дверцы помогают поддерживать точный состав газа и предотвращают потери тепла, а в некоторых конфигурациях позволяют контролировать процесс.
Вопрос: Как заменить дверцу кварцевой печи в диффузионной печи?
A: Для замены дверцы кварцевой печи в диффузионной печи:
1. Убедитесь, что печь полностью остыла, чтобы предотвратить тепловой удар
2. Отсоедините все газовые линии или контрольное оборудование, прикрепленное к двери
3. Снимите крепеж, поддерживая дверь, чтобы предотвратить ее падение
4. Осторожно извлеките старую дверь, не касаясь нагревательных элементов
5. Тщательно очистите монтажную поверхность
6. Проверьте и замените уплотнительные кольца или прокладки
7. Установите новую кварцевую дверь, используя соответствующее крепежное оборудование
8. Затягивайте крепежные элементы крест-накрест, чтобы обеспечить равномерное давление
9. Подключите газовые линии и контрольное оборудование
10. Проверьте наличие утечек с помощью метода, соответствующего технологическим газам
В: Могут ли двери кварцевых печей выдерживать циклическое воздействие высоких температур?
О: Да, дверцы кварцевых печей специально разработаны для того, чтобы выдерживать циклическое воздействие высоких температур. Низкий коэффициент теплового расширения (5,5×10-⁷/K) делает их очень устойчивыми к тепловому удару и изменению размеров во время циклов нагрева и охлаждения. Правильно подобранные кварцевые двери обычно выдерживают тысячи термических циклов между комнатной температурой и рабочей температурой до 1600°C, при условии, что скорость нагрева и охлаждения контролируется (обычно рекомендуется <100°C/час на этапах начального нагрева и конечного охлаждения). Для оптимальной работы в циклическом режиме необходимы равномерный нагрев/охлаждение и правильный монтаж, обеспечивающий минимальное тепловое расширение.
Вопрос: Какова максимальная температура для дверцы кварцевой печи?
О: Стандартные дверцы высокочистых кварцевых печей могут выдерживать непрерывную рабочую температуру до 1600°C. Практическая максимальная температура зависит от нескольких факторов, включая:
1. Продолжительность воздействия (непрерывное или прерывистое)
2. Скорость изменения температуры (устойчивость к тепловому удару)
3. Механическое напряжение при монтаже
4. Наличие щелочных загрязнений (которые могут снижать температуру умягчения)
При температурах, приближающихся к 1600°C, кварц со временем начинает девитрифицироваться, образуя кристаллические структуры, которые могут нарушить механическую целостность. Для применений, требующих температур выше 1600°C, могут потребоваться специальные составы или альтернативные материалы.
Вопрос: Как заказать на заказ дверцу кварцевой печи для трубчатой печи?
О: Чтобы заказать на заказ кварцевую топочную дверцу для трубчатой печи, предоставьте следующую информацию:
1. Внешний диаметр и толщина стенки печной трубы
2. Требуемый способ уплотнения (уплотнительное кольцо, фланцевое соединение и т.д.)
3. Любые необходимые порты (входы/выходы газа, доступ к термопаре и т.д.)
4. Температурный диапазон и требования к цикличности
5. Состав атмосферы процесса (особенно при наличии агрессивных газов)
6. Технические чертежи или фотографии текущей установки (при наличии)
7. Описание приложения, помогающее оптимизировать конструкцию
TOQUARTZ может разработать индивидуальный дизайн на основе ваших требований, предоставить технические чертежи для утверждения и изготовить по точным спецификациям с типичным сроком выполнения 2-3 недели для индивидуальных дизайнов.
Свяжитесь с нашей командой инженеров для получения технической консультации и определения цены. Мы поможем вам выбрать оптимальные характеристики для ваших требований.
Русский 
English 
العربية 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe