- Главная
- /
- Типы
- /
- Кварцевые детали на заказ
- /
- Пользовательские высокой чистоты кварц ...
Кварцевые фланцы высокой чистоты для полупроводникового и лабораторного оборудования -TOQUARTZ®
Особенности кварцевых фланцев
Кварцевые фланцы TOQUARTZ® разработаны для обеспечения исключительной производительности в сложных промышленных и лабораторных условиях, где химическая стойкость, термостойкость и точность соединений являются важнейшими требованиями.
Высокая чистота материала
Фланцы TOQUARTZ® изготавливаются из высокочистого кварца, содержащего до 99,995% SiO₂, что обеспечивает минимальное загрязнение в таких чувствительных областях, как обработка полупроводников.
- Чистота варьируется от 99,9% до 99,995%.
- Низкое содержание металлических примесей
- Подходит для сверхчистых применений
Химическая стойкость
Кварцевые фланцы TOQUARTZ® демонстрируют исключительную устойчивость к воздействию кислот, щелочей, расплавленных солей и фторированных газов. Это делает их идеальными для использования в агрессивных химических средах, где стандартные материалы быстро приходят в негодность.
- Устойчивость к фтористоводородной кислоте до определенных концентраций
- Стабильность в растворах как сильных кислот, так и щелочей
- Инертен к большинству органических растворителей и химических веществ
Тепловые свойства
Благодаря высокой термической стабильности и низкому коэффициенту теплового расширения наши кварцевые фланцы сохраняют структурную целостность и герметичность даже при резких изменениях температуры.
- Максимальная продолжительная рабочая температура 1600°C
- Низкий коэффициент теплового расширения (5,5×10-⁷/K)
- Отличная устойчивость к термоударам по сравнению с другими видами керамики
-
До 99.995%
SiO₂ Чистота
-
Низкая металлическая
содержание примесей
-
Нестандартные геометрии
доступно
Технические характеристики и размеры кварцевых фланцев
TOQUARTZ® предлагает как стандартные, так и заказные кварцевые фланцы для удовлетворения специфических требований. Наши производственные возможности позволяют нам изготавливать фланцы с точными размерами и жесткими допусками.
Технические характеристики фланцев из плавленого кварца
Физические свойства
| Параметр | Значение |
| Плотность | 2,2 г/см³ |
| Коэффициент теплового расширения | 5.5 × 10-7/K |
| Теплопроводность | 1,4 Вт/м-К |
| Максимальная рабочая температура | 1600°C |
| Устойчивость к тепловому удару | Превосходно |
Химические свойства
| Параметр | Значение |
| Содержание SiO2 | 99,9% - 99,995% |
| Устойчивость к кислотам | Превосходно (за исключением ВЧ) |
| Устойчивость к щелочам | До 300°C |
| Поглощение воды | Нил |
| Газопроницаемость | Очень низкий |
Таблица размеров фланцев из кварцевого стекла
| Модель | Внешний диаметр (мм) | Внутренний диаметр (мм) | Высота (мм) | Чистота SiO2 (%) |
| AT-SY-FL001 | 10 | 5 | 4 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL002 | 20 | 12 | 3 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL003 | 80 | 52.8 | 5 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL004 | 105 | 82.5 | 8 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL005 | 115 | 92.5 | 5 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL006 | 152 | 102.8 | 7 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL007 | 195 | 154 | 6 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL008 | 275 | 165 | 10 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL009 | 300 | 230 | 7.5 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL010 | 300 | 230 | 15 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL011 | 335 | 265 | 7.5 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL012 | 335 | 265 | 15 | 99.9-99.99 |
TOQUARTZ® решает лабораторные задачи с помощью кварцевых фланцев
Кварцевые фланцы для оборудования полупроводникового производства
Ключевые преимущества
-
Сверхнизкое содержание металлических примесей (<10 ppm)
Обеспечивает отсутствие ионного загрязнения в процессах плазменного травления и CVD. -
Плоскостность размеров ≤0,02 мм для уплотнительных поверхностей
Поддерживает целостность вакуума в высокоточных полупроводниковых камерах. -
Термическая стабильность до 1600°C при деформации <0,5%
Выдерживает многократное термоциклирование в условиях диффузионной печи.
раствор TOQUARTZ®
Американской полупроводниковой компании требовались кварцевые фланцы для системы LPCVD при 1100°C с допуском <±0,05 мм и общим содержанием металлов <15 ppm. Компания TOQUARTZ поставила 120 единиц продукции в течение 18 дней, обеспечив плоскостность 0,02 мм и чистоту SiO₂ 99,995%. После установки клиент сообщил о нулевом количестве отказов уплотнений за 6 месяцев непрерывной работы.
Фланцы из плавленого кварца для лабораторного оборудования и исследований
Ключевые преимущества
-
UV-Vis пропускание >90% при 200-800 нм
Обеспечивает оптический мониторинг in-situ в камерах для фотохимических реакций. -
Шероховатость поверхности Ra ≤0,4 мкм на уплотнительных поверхностях
Минимизирует выделение газов и утечки в высоковакуумных лабораторных установках. -
Нестандартный микрофланец ID до 3 мм
Поддержка компактных аналитических приборов и микрофлюидных систем.
раствор TOQUARTZ®
Немецкой университетской лаборатории потребовалось 30 заказных кварцевых фланцев с ID 5 мм и Ra ≤0,5 мкм для высоковакуумной спектроскопической системы. Компания TOQUARTZ выполнила поставку в течение 14 рабочих дней. Испытания на скорость утечки показали <1×10-⁹ мбар-л/с, что превышает требования лаборатории к сверхвысокому вакууму и снижает риск загрязнения образцов на 80%.
Кварцевое стекло Кварцевые фланцы для оборудования химической обработки
Ключевые преимущества
-
Устойчивость к ВЧ-излучению подтверждена до концентрации 5% при 80°C
Подходит для систем влажного травления и очистки на основе фтора. -
Скорость выщелачивания SiO₂ <0,01 мг/см²-ч в 10% HCl при 100°C
Предотвращает загрязнение при высокочистом химическом синтезе. -
Структурная целостность сохраняется после 1000 термических циклов (25-900°C)
Обеспечивает долговременную надежность в условиях реакторов периодического действия.
раствор TOQUARTZ®
Польскому интегратору химических реакторов требовались кварцевые фланцы для системы, работающей с 10% HCl при 100°C с еженедельным термоциклированием. Компания TOQUARTZ поставила 60 фланцев с подтвержденной скоростью выщелачивания <0,01 мг/см²-ч и стабильностью размеров после 1000 циклов. Клиент сообщил о нулевой замене фланцев через 9 месяцев, сократив время простоя в обслуживании на 40%.
Услуги TOQUARTZ® по индивидуальному заказу для фланцев из плавленого кварца
Возможности индивидуального проектирования
- Нестандартные размеры с наружным диаметром от 5 мм до 500 мм
- Специальные геометрические формы, включая многопортовые фланцы и асимметричные конструкции
- Интеграция с другими кварцевыми компонентами (трубками, камерами и т.д.)
- Обработка поверхности, включая огневую полировку, шлифовку и кислотное травление
- Выбор марки материала в зависимости от требований применения
Индивидуальный процесс
-
Техническая консультация
Наши инженеры обсуждают ваши требования к применению и помогают определить оптимальные спецификации для кварцевых фланцев. -
Дизайн и черчение
Мы создаем подробные технические чертежи на основе ваших спецификаций или образцов с учетом инженерных решений для оптимизации производства. -
Разработка прототипа
Для новых конструкций мы можем изготовить опытные образцы для тестирования и проверки перед полным производством. -
Производство и контроль качества
Каждый фланец, изготовленный на заказ, проходит тщательную проверку на соответствие всем установленным требованиям к размерам и материалам.
Рекомендации по применению кварцевых фланцев
Правильная установка и обращение с кварцевыми фланцами необходимы для обеспечения оптимальной производительности и долговечности. Следующие рекомендации помогут вам максимально увеличить ценность ваших изделий TOQUARTZ и свести к минимуму риск их повреждения.
Рекомендации по установке
- Используйте соответствующие материалы прокладок (PTFE, Viton или другие совместимые эластомеры) в зависимости от температурных требований.
- Для равномерного распределения давления при затягивании болтов по схеме "звезда" прикладывайте равномерный крутящий момент.
- Избегайте чрезмерного затягивания: кварц прочен, но может расколоться при чрезмерном локальном давлении.
- При работе в условиях высоких температур учитывайте тепловое расширение всех компонентов и используйте соответствующие механизмы компенсации.
Обработка и хранение
- Перед установкой проверьте фланцы на наличие сколов или трещин; даже небольшие дефекты могут привести к поломке под вакуумом или давлением.
- Хранить в чистых, сухих условиях с соответствующими прокладками между компонентами для предотвращения повреждений при контакте.
- Работайте в чистых перчатках, чтобы предотвратить загрязнение поверхности, особенно при работе с высокочистыми материалами.
- Для очистки в большинстве случаев используйте соответствующие растворители (ацетон, изопропиловый спирт) с последующим ополаскиванием деионизированной водой.
2. При использовании в вакууме регулярно проверяйте чистоту и целостность уплотнительных поверхностей для поддержания надлежащего уровня вакуума.
3. По возможности избегайте быстрого термоциклирования; постепенное изменение температуры продлит срок службы компонентов.
4. Заменяйте прокладки при сборке, а не используйте их повторно, особенно в критических случаях.
Нужна техническая помощь по кварцевым фланцам?
Позвольте нам помочь вам найти оптимальное решение с кварцевым фланцем для вашего конкретного применения.
Почему стоит сотрудничать с TOQUARTZ
Прямое преимущество фабрики
Являясь прямым производителем, мы можем отказаться от многочисленных промежуточных звеньев.
Инженерная экспертиза
Техническая команда сопровождает клиентов от выбора материала до оптимизации конструкции, воплощая спецификации в готовые изделия.
Гибкое производство
Выполнение стандартных и индивидуальных заказов с помощью опыта работы с мелкими партиями и тщательного создания прототипов для соблюдения сроков.
Качество
Обеспечение
Трехступенчатая проверка перед отгрузкой:
1. точность размеров,
2. чистота материала ,
3. пороговые значения производительности
Глобальная цепочка поставок
Надежная глобальная логистика в промышленные центры (приоритет DE/US/JP/KR) с отслеживаемыми сроками.
Восстановленные продукты
Как специализированный производитель с прямыми заводскими возможностями, TOQUARTZ предлагает как стандартные, так и индивидуальные кварцевые решения с инженерной поддержкой на протяжении всего процесса спецификации и реализации.
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
В: Каковы температурные ограничения кварцевых фланцев?
О: Кварцевые фланцы TOQUARTZ® могут выдерживать длительные рабочие температуры до 1600°C без разрушения. Практический верхний предел зависит от конкретного применения, особенно в отношении тепловых градиентов и механических напряжений. Для применения при температурах выше 1000°C мы рекомендуем обсудить ваши конкретные требования с нашей командой инженеров.
В: Чем кварцевые фланцы отличаются от металлических фланцев для вакуумных систем?
О: Кварцевые фланцы имеют ряд преимуществ перед металлическими фланцами в конкретных областях применения: они не выделяют газов в вакууме, обладают отличной химической стойкостью, не загрязняют чувствительные процессы и обеспечивают электроизоляцию. Однако, как правило, они требуют более аккуратного обращения и установки, чем металлические фланцы, и для достижения надлежащего уплотнения очень важен правильный выбор прокладок.
В: Какие прокладочные материалы рекомендуются для кварцевых фланцев?
О: Оптимальный материал прокладки зависит от условий эксплуатации. Для высокотемпературных применений (до 300°C) хорошо подходит Viton или аналогичные фторэластомеры. Для сверхвысокого вакуума или более высоких температур рекомендуются прокладки из ПТФЭ или расширенного ПТФЭ. Для экстремальных температур (800°C+) могут потребоваться специализированные прокладки из керамического волокна или металлические уплотнения с соответствующими буферными материалами. Наша техническая команда может предоставить конкретные рекомендации в зависимости от требований к температуре, давлению и химическому воздействию.
В: Могут ли кварцевые фланцы выдерживать давление?
О: Кварцевые фланцы в основном предназначены для работы в вакууме или при низком давлении. Хотя кварц обладает высокой прочностью на сжатие (до 1100 МПа), его прочность на растяжение гораздо ниже. При проектировании фланцев, работающих под давлением, необходимо тщательно учитывать это ограничение. Как правило, наши стандартные фланцы рассчитаны на вакуум и небольшое положительное давление (до 2-3 бар), но для конкретных требований к давлению могут быть разработаны специальные конструкции.
Вопрос: Совместимы ли кварцевые фланцы со стандартами фланцев KF/QF, CF или ISO?
О: Да, мы можем изготовить кварцевые фланцы, которые по размерам совместимы со стандартными вакуумными фланцевыми системами, включая KF/QF (быстрый фланец), CF (ConFlat) и стандарты ISO. Эти фланцы обычно требуют дополнительных компонентов (например, металлических адаптеров или зажимов) для завершения соединения со стандартными металлическими вакуумными системами. В таких случаях мы тесно сотрудничаем с клиентами, чтобы обеспечить правильную интеграцию кварцевых компонентов с существующим оборудованием.
Свяжитесь с нашей командой инженеров для получения технической консультации и определения цены. Мы поможем вам выбрать оптимальные характеристики для ваших требований.