- Главная
- /
- Приложения
- /
- Полупроводниковое кварцевое стекло
- /
- Кварцевое травление, оптимизированное под конкретный процесс...
Кварцевые травящие кольца для полупроводниковых плазменных камер - TOQUARTZ®, оптимизированные под конкретный процесс
Особенности кварцевого кольца для травления
Полупроводниковые кварцевые кольца TOQUARTZ® разработаны специально для оборудования плазменного травления и обладают исключительными свойствами, обеспечивающими стабильные условия процесса и длительный срок службы в сложных условиях производства полупроводников.
Чистота материала
Изготовлен из кварца высшего сорта с чистотой SiO₂ 99,99% (возможно изготовление с чистотой до 99,995%), что сводит к минимуму возможное загрязнение в критических полупроводниковых процессах.
Термическая стабильность
Выдерживает экстремальные температуры до 1600°C с минимальным тепловым расширением (коэффициент: 0,5×10-⁶/K), обеспечивая стабильность размеров при термоциклировании в процессах плазменного травления.
Совместимость процессов
Разработан специально для процессов травления полупроводников, включая системы ICP, RIE и DRIE, с оптимизированными размерами для различных конфигураций камер.
- Стойкость к агрессивным полупроводниковым травителям
- Чрезвычайно низкий коэффициент трения
- Обеспечивает надлежащее уплотнение камеры травления
Технические характеристики и размеры кольца для травления кварца
Кварцевые травильные кольца TOQUARTZ® производятся в соответствии с точными спецификациями, необходимыми для оборудования по обработке полупроводников, и отличаются контролируемыми физическими, химическими и термическими свойствами.
Технические характеристики кольца для травления кварца
| Недвижимость | Значение | Примечания |
| Материал | Кварц высокой чистоты | Стандарт 99,99% SiO₂ (возможна поставка до 99,995%) |
| Плотность | 2,2 г/см³ | ±0,02 г/см³ |
| Прочность на изгиб | 48 МПа | При комнатной температуре |
| Модуль упругости | 72 ГПа | Модуль Юнга |
| Коэффициент Пуассона | 0.14-0.17 | – |
| Прочность на сжатие | 1100 МПа | При комнатной температуре |
| Твердость по шкале Мооса | 5.5-6.5 | – |
| Максимальная рабочая температура (длительная) | 1100°C | Непрерывная работа |
| Максимальная рабочая температура (кратковременная) | 1350°C | Прерывистое воздействие |
| Теплопроводность | 1,4 Вт/м-К | При 20°C |
| Коэффициент теплового расширения | 5.5×10-⁷/°C | Диапазон 20-1000°C |
| Специфическая устойчивость | 7×10⁷ Ω-см | При 20°C |
| Шероховатость поверхности | Ra≤0,8 мкм | Стандартная отделка |
Таблица размеров кольца с травлением из плавленого кварца
| Модель | Технические характеристики | Внешний диаметр (мм) | Толщина (мм) | Чистота (%) |
| AT-TAZ-ER001 | 2-дюймовый | 50.8 | 3 | 99.99 |
| AT-TAZ-ER002 | 4-дюймовый | 101.6 | 4 | 99.99 |
TOQUARTZ® решает проблемы травления полупроводников
с кварцевыми кольцами
Кварцевые травящие кольца на крупносерийных полупроводниковых заводах: Предотвращение дорогостоящих простоев производственных линий
Ключевые преимущества
-
Поддержка программы плановой замены
TOQUARTZ поддерживает поставки с фиксированным циклом, согласованные с 3-6-месячными окнами технического обслуживания. -
Скорая помощь в <48 Hours
Стандартные кольца для кварцевого травления могут быть отправлены по всему миру в течение 48 часов, чтобы избежать простоев. -
Коэффициент согласованности партии ≥ 99,7%
Согласованность размеров и материалов в разных партиях гарантирует отсутствие незапланированных сбоев при подгонке.
раствор TOQUARTZ®
Американская 12-дюймовая фабрика DRAM, работающая круглосуточно, сообщила о потерях в $220 000 в день из-за незапланированных отказов кольца травления.
Компания TOQUARTZ® внедрила скользящий 90-дневный план пополнения запасов и буфер аварийного запаса.
В течение 6 месяцев количество простоев сократилось на 83%, а связанные с кольцами перерывы в технологическом процессе были устранены.
В настоящее время на фабрике поддерживается коэффициент безотказной работы модуля травления 99,9%, а компания TOQUARTZ является единственным поставщиком колец.
Кольца для травления из плавленого кварца для производителей оборудования на заказ: Точные требования к размерам
Ключевые преимущества
-
±0,08 мм Допуск на OD/ID
TOQUARTZ обеспечивает допуск ±0,08 мм по внешнему/внутреннему диаметру для создания камер по заказу OEM-производителей. -
Точность положения отверстия ≤ ±0,1 мм
Монтажные отверстия просверлены на ЧПУ с отклонением от заданного положения ≤ ±0,1 мм в диапазоне 100 мм. -
Отклонение от партии к партии < 0,05 мм
Размерные отклонения в партиях контролируются на уровне 0,05 мм для обеспечения повторяемости сборки.
раствор TOQUARTZ®
Немецкому OEM-производителю требовались 6-дюймовые кварцевые кольца с 6 асимметричными монтажными отверстиями и допуском ±0,1 мм.
У предыдущих поставщиков процент брака составлял 12% из-за несоосности отверстий и сколов кромок.
TOQUARTZ® поставил 300 колец с отбраковкой 0% и <0.03mm deviation verified by CMM reports.
The OEM reduced assembly rework time by 40% and signed a 2-year supply agreement.
Кольца для травления кварцевого стекла для разработки передовых процессов: Требования к чистоте материала
Ключевые преимущества
-
Металлические примеси ≤ 10ppb
Кварцевые кольца TOQUARTZ сертифицированы на содержание ≤10ppb общих металлических примесей для передовых узлов R&D. -
CF₄/O₂ Выносливость плазмы ≥ 72 ч
Кольца сохраняют структурную целостность после 72-часового воздействия плазмы CF₄/O₂ при температуре 800°C. -
Количество частиц на поверхности < 5 шт/см²
Количество частиц после очистки контролируется на уровне менее 5 шт/см² (≥0,3 мкм) в условиях класса 5 по ISO.
раствор TOQUARTZ®
Японской научно-исследовательской лаборатории, разрабатывающей 3-нм логические узлы, потребовались сверхчистые кварцевые кольца для травления на основе CF₄.
TOQUARTZ® поставляет кольца с содержанием металла ≤8ppb и <3 pcscm² surface particles.
После 72 часов воздействия плазмы не было обнаружено структурной деградации или загрязнения.
Лаборатория сообщила о снижении количества дефектов, вызванных частицами, на 92% по сравнению с предыдущими поставщиками.
Услуги TOQUARTZ® по изготовлению колец с травлением кварца на заказ
Возможности индивидуального проектирования
-
Настройка размеров
Нестандартные внешний/внутренний диаметры, толщина и профили кромок, разработанные с учетом особенностей конструкции вашей камеры. -
Особенности монтажа
Точно просверленные монтажные отверстия, пазы, выемки и другие элементы для обеспечения правильного выравнивания и установки. -
Особенности монтажа
Точно просверленные монтажные отверстия, пазы, выемки и другие элементы для обеспечения правильного выравнивания и установки. -
Обработка поверхности
Специальная отделка поверхности, включая огневую полировку, шлифовку или химическую очистку для удовлетворения особых требований к шероховатости поверхности.
Процесс индивидуального заказа
-
Анализ требований
Предоставьте чертежи, спецификации или образцы. Наши инженеры рассмотрят и обсудят технические требования. -
Подтверждение дизайна
Перед началом производства мы предоставляем подробные чертежи для утверждения. -
Разработка прототипа
Для сложных конструкций мы можем изготовить опытные образцы для тестирования и проверки. -
Производство и контроль качества
Строгий контроль и испытания гарантируют соблюдение всех технических требований. -
Доставка и поддержка
Быстрая доставка, полная документация и техническая поддержка.
Рекомендации по использованию и обслуживанию кольца для травления кварца
Правильное обращение, установка и обслуживание кварцевых технологических колец необходимы для обеспечения максимальной производительности и срока службы при травлении полупроводников.
Обработка и установка
- Во избежание загрязнения всегда работайте с кварцевыми кольцами в неопудренных перчатках для чистых помещений
- Перед установкой проверьте, нет ли сколов, трещин или дефектов поверхности.
- Убедитесь, что монтажные поверхности чистые и не содержат частиц
- Постепенно затягивайте крепежные элементы крест-накрест, чтобы обеспечить равномерное распределение давления
- Избегайте чрезмерного затягивания, которое может создать точки напряжения и привести к переломам
- Никогда не используйте металлические инструменты непосредственно на кварцевых поверхностях во время установки
Обслуживание и замена
- Составьте график регулярных проверок в зависимости от условий процесса
- Следите за признаками эрозии, обесцвечивания или изменения размеров
- Типичный интервал замены: 500-1000 часов работы (зависит от области применения)
- Разработайте график упреждающей замены для предотвращения незапланированных простоев
- При необходимости очищайте с помощью только одобренных полупроводниковых растворителей.
- Избегайте резких перепадов температуры, которые могут вызвать тепловой удар
Рекомендации по хранению
- Хранить в оригинальной упаковке до готовности к использованию
- Хранить в чистом, сухом помещении с контролируемой влажностью
- Идеальные условия хранения: 20-25°C, относительная влажность 40-60%
- Используйте мягкие, безворсовые материалы в качестве разделителей между несколькими кольцами
- Не ставьте тяжелые предметы на кварцевые компоненты.
Нужна техническая помощь по кольцам кварцевого травления?
Почему стоит сотрудничать с TOQUARTZ
Прямое преимущество фабрики
Являясь прямым производителем, мы можем отказаться от многочисленных промежуточных звеньев.
Инженерная экспертиза
Техническая команда сопровождает клиентов от выбора материала до оптимизации конструкции, воплощая спецификации в готовые изделия.
Гибкое производство
Выполнение стандартных и индивидуальных заказов с помощью опыта работы с мелкими партиями и тщательного создания прототипов для соблюдения сроков.
Качество
Обеспечение
Трехступенчатая проверка перед отгрузкой:
1. точность размеров,
2. чистота материала ,
3. пороговые значения производительности
Глобальная цепочка поставок
Надежная глобальная логистика в промышленные центры (приоритет DE/US/JP/KR) с отслеживаемыми сроками.
Восстановленные продукты
Как специализированный производитель с прямыми заводскими возможностями, TOQUARTZ предлагает как стандартные, так и индивидуальные кварцевые решения с инженерной поддержкой на протяжении всего процесса спецификации и реализации.
ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ
Вопрос: Для чего используется кварцевое травящее кольцо в производстве полупроводников?
О: Кварцевые травящие кольца (также называемые кварцевыми технологическими кольцами) являются важнейшими компонентами оборудования для плазменного травления, используемого в производстве полупроводников. Они служат в качестве разделителей между плазменной камерой и травящейся подложкой, помогая удерживать и направлять плазму, поддерживать однородность процесса и предотвращать загрязнение. Высокая чистота, термическая стабильность и химическая стойкость делают их идеальными для работы в агрессивных плазменных средах, используемых в процессах травления полупроводниковых пластин.
Вопрос: Как кварцевое кольцо улучшает процессы плазменного травления?
О: Кварцевые кольца улучшают процессы плазменного травления несколькими способами:
(1) Они помогают поддерживать постоянную среду плазмы, обеспечивая точное расстояние и выравнивание внутри камеры,
(2) Высокая чистота этих материалов предотвращает загрязнение металлами, которое может ухудшить характеристики полупроводниковых приборов,
(3) Их термическая стабильность обеспечивает постоянство размеров при колебаниях температуры;
(4) Их электроизоляционные свойства помогают контролировать распределение плазмы.
Все эти преимущества в совокупности способствуют улучшению равномерности травления, повышению производительности процесса и более стабильной работе устройств.
Вопрос: Какие требования предъявляются к материалам для кварцевых колец при травлении полупроводников?
A: Кварцевые кольца для травления полупроводников должны отвечать строгим требованиям к материалам:
(1) Высокая чистота (обычно 99,99% SiO₂ или выше) для предотвращения загрязнения,
(2) Отличная термическая стабильность, позволяющая выдерживать температуру процесса до 1600°C,
(3) Превосходная химическая стойкость к коррозионным газам и плазме,
(4) Низкий коэффициент теплового расширения для стабильности размеров,
(5) Соответствующие свойства материала с минимальными дефектами или включениями,
(6) Точные допуски на размеры, обычно ±0,1 мм или лучше.
Эти требования обеспечивают надежность процесса и предотвращают потери производительности при производстве пластин.
Вопрос: Совместимы ли ваши кварцевые кольца с процессами травления на основе фтора?
О: Да, наши кварцевые травильные кольца совместимы с процессами травления на основе фтора, обычно используемыми в производстве полупроводников. Наша высокочистая кварцевая формула обеспечивает превосходную устойчивость к фторированным газам, таким как CF₄, SF₆, NF₃ и CHF₃. Хотя любой кварц подвергается некоторой постепенной эрозии в среде плазмы фтора, кольца TOQUARTZ демонстрируют превосходную долговечность со скоростью эрозии, которая обычно на 20-30% ниже, чем у стандартного коммерческого кварца. Для особо агрессивных фторсодержащих процессов мы можем порекомендовать оптимизированные составы и толщину для максимального увеличения срока службы.
В: Чем кварцевые кольца для травления отличаются от керамических?
О: Кварцевые травящие кольца и керамические альтернативы (как правило, глинозем или нитрид алюминия) имеют свои преимущества: Кварц обеспечивает превосходную чистоту (99,99%+ SiO₂), отличную прозрачность для оптического мониторинга, меньшее образование частиц и очень низкое тепловое расширение. Керамика обычно обеспечивает лучшую механическую прочность, более высокую теплопроводность и, в некоторых случаях, лучшую устойчивость к определенным химическим процессам плазмы. Выбор зависит от технологических требований - кварц обычно предпочтителен для приложений, требующих высокой чистоты, оптической прозрачности и минимального теплового расширения, в то время как керамика может быть выбрана для приложений, требующих большей структурной прочности или терморегулирования.
Свяжитесь с нашей командой инженеров для получения технической консультации и определения цены. Мы поможем вам выбрать оптимальные характеристики для ваших требований.
Русский 
English 
العربية 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe