Главная
/
Типы
/
Кварцевая бутылка
/
Кварцевый источник, изготовленный по индивидуальному проекту...

99.995% SiO₂ кварцевая бутылка с трубками для входа и выхода газа для систем химического осаждения из паровой фазы

Изготовленный на заказ кварцевый барботер с прецизионным впускным отверстием для систем подачи газа для атомно-слоевого осаждения

Высокотемпературный кварцевый контейнер для источника металлоорганических прекурсоров в системах MOCVD

Лабораторная бутылка с кварцевым источником сверхвысокой чистоты для производства полупроводников

Прецизионная бутылка с кварцевым источником для контролируемого осаждения из паровой фазы с нестандартными размерами

Изготовленные на заказ бутылки с кварцевым источником для систем CVD/ALD -TOQUARTZ®

TOQUARTZ® предлагает бутылки с высокочистым кварцевым источником (до 99,995% SiO₂), разработанные специально для применения в CVD, ALD и MOCVD. Наши бутылки для прекурсоров отличаются превосходной термической стабильностью (до 1200°C), превосходной химической стойкостью и точным контролем размеров. Эти кварцевые контейнеры являются важнейшими компонентами систем химического осаждения из паровой фазы и другого современного оборудования для обработки материалов.

Нет MOQ

Индивидуальный дизайн

Прямой завод

Техническая поддержка

Особенности бутылок с кварцевым источником

Бутылки для источников из высокочистого кварца TOQUARTZ® разработаны специально для приложений, требующих точной доставки прекурсоров при химическом осаждении из паровой фазы (CVD), атомно-слоевом осаждении (ALD) и смежных процессах. Каждый из них изготовлен из высококачественного кварцевого материала, что гарантирует стабильную работу в сложных условиях.

Свойства материала

Высокочистый кварцевый материал (до 99,995% SiO₂) для минимального загрязнения в полупроводниковой промышленности и при исследовании материалов
Устойчивость к тепловому удару, способность выдерживать резкие перепады температуры без образования трещин
Химическая стойкость к кислотам, щелочам, расплавленным солям и фторсодержащим газам, используемым в процессах осаждения
Высокая температурная стабильность до 1200°C, идеально подходит для высокотемпературного CVD и синтеза материалов

Особенности конструкции

Прецизионные впускные и выпускные трубки для контролируемого потока газа и образования пузырьков в системах доставки прекурсоров
Высокопрозрачная конструкция позволяет легко контролировать уровень прекурсоров и пузырьков во время работы
Возможна поставка нестандартных фитингов, включая соединения со стеклом, компрессионные фитинги или специализированные соединения для интеграции с существующими системами
Размерная точность ±0,1 мм для критически важных компонентов, обеспечивающая надежную работу и совместимость системы

Бутылки с источником плавленого кварца TOQUARTZ®

Технические характеристики бутылки с кварцевым источником

Бутылки с кварцевым источником TOQUARTZ® производятся в соответствии с точными техническими характеристиками, чтобы удовлетворить высокие требования процессов CVD, ALD и MOCVD. Ниже приведены подробные технические параметры наших бутылок с кварцевым источником.

Физические свойства

Параметр	Значение / Описание
Плотность	2,2 г/см³ - Обеспечивает механическую стабильность в условиях вакуума и термоциклирования
Максимальная рабочая температура	1200°C - Подходит для высокотемпературного испарения прекурсоров в CVD/MOCVD
Устойчивость к тепловому удару	∆T ≥ 900°C - Выдерживает быстрый нагрев/охлаждение в импульсных циклах ALD
Коэффициент теплового расширения	5,5 × 10-⁷ /°C (20-800°C) - минимизирует напряжение во время температурных перепадов
Теплопроводность	1,4 Вт/м-К (при 20°C) - Обеспечивает равномерное распределение тепла в зонах прекурсоров

Химические свойства

Параметр	Значение / Описание
Содержание SiO₂	≥99.99% - Предотвращает загрязнение металлами в суб-10-нм полупроводниковых процессах
Общее количество микроэлементов	<10 ppm - проверено GDMS для сверхчистых сред осаждения
Устойчивость к кислотам	Превосходно (кроме HF) - Совместим с галоидными прекурсорами, такими как TiCl₄, WF₆
Устойчивость к щелочам	Хорошо работает при температуре ниже 600°C - Подходит для работы с прекурсорами, чувствительными к основанию

Оптические свойства

Параметр	Значение / Описание
Показатель преломления	1,458 (при 589,3 нм) - Позволяет визуально контролировать уровень прекурсоров
УФ-передача	>80% (200-2000 нм) - поддерживает оптический контроль и УФ-диагностику процессов
ИК-передача	Хорошо работает до 3,5 мкм - Позволяет осуществлять ИК-нагрев и мониторинг в системах MOCVD

Примечание: Мы предлагаем индивидуальные спецификации для удовлетворения ваших специфических требований. Свяжитесь с нашей командой инженеров для консультации.

TOQUARTZ® решает лабораторные задачи с помощью бутылок с кварцевым источником

Бутылки с кварцевым источником для полупроводникового производства

В производстве полупроводников для систем доставки прекурсоров требуются контейнеры исключительно высокой чистоты, чтобы предотвратить загрязнение, которое может повлиять на характеристики устройства. В процессах CVD и эпитаксиального роста используются кварцевые бутылки для хранения и доставки металлоорганических соединений и других химически активных веществ. Эти процессы протекают при повышенных температурах, и для них требуются емкости, способные сохранять свою структурную целостность при работе с коррозионными материалами.

Ключевые преимущества

Ультранизкое содержание следовых металлов
Общее количество металлических примесей < 5 ppb, подтвержденное GDMS, что гарантирует отсутствие ионного загрязнения в процессах 7 нм.
Высокотемпературная стабильность размеров
Дрейф размеров < 0,03 мм после отжига при 1000°C в течение 24 часов, что очень важно для эпитаксиальной однородности.
Совместимость с галоидными газами
Доказанная устойчивость к TiCl₄, WF₆ и BCl₃ без девитрификации поверхности после 200 циклов.

раствор TOQUARTZ®

Американский производитель полупроводниковых изделий столкнулся с проблемой снижения выхода продукции на 12% из-за загрязнения прекурсоров в процессе CVD на основе TiCl₄. Компания TOQUARTZ поставила кварцевые бутылки для источников с <5 ppb impurity levels and halide-resistant polish. Yield improved by 9.4%, saving $27,000/month in wafer scrap.

Бутылки с прекурсором из плавленого кварца для исследований и разработок

Научно-исследовательским институтам и университетским лабораториям требуются гибкие, высококачественные контейнеры для CVD-прекурсоров для проведения экспериментальных работ. Этим учреждениям часто требуются небольшие партии изготовленных на заказ кварцевых бутылей для доставки прекурсоров ALD, которые можно изменять по мере проведения исследований. Их работа часто связана с тестированием новых материалов и процессов, для которых требуются специализированные сосуды с уникальной геометрией.

Ключевые преимущества

Быстрое изготовление прототипов
Кварцевые барботеры на заказ поставляются за 12 рабочих дней с момента утверждения чертежа до отгрузки.
Изготовление сложных геометрических форм
Достигнут допуск ±0,1 мм на 3D-изогнутых впускных трубах с толщиной стенки 2,5 мм.
Нет MOQ для пользовательских конструкций
Поддерживаются заказы по 1 штуке для 7 различных конфигураций ALD-прекурсоров в одной партии.

раствор TOQUARTZ®

Европейской университетской лаборатории требовались 3 уникальных кварцевых барботера для ALD новых 2D-материалов. Компания TOQUARTZ выполнила все три проекта в течение 2 недель, что позволило команде выполнить условия гранта Horizon 2020 и получить 120 000 евро в качестве дальнейшего финансирования.

Бутылки с источником из кварцевого стекла для производства современных материалов

Производителям современных материалов, выпускающим OLED-компоненты, фотогальванические элементы и специализированные покрытия, требуются крупносерийные, стабильные кварцевые контейнеры для CVD-прекурсоров. Такие производства работают непрерывно и требуют надежных систем доставки прекурсоров, которые минимизируют время простоя и максимизируют выход продукции. В производственных процессах часто используются токсичные и коррозийные химические вещества, которые необходимо надежно удерживать и доставлять.

Ключевые преимущества

Повторяемость размеров от партии к партии
Вариации OD < ±0,05 мм при производстве 200 единиц продукции, проверено лазерной микрометрией.
Увеличение срока службы при воздействии химических веществ
Сохраняет структурную целостность после 500 часов воздействия POCl₃ при температуре 950°C.
Круглосуточная отправка стандартных SKU
Модели объемом 500 и 1500 мл поставляются в течение 24 часов, что снижает риск простоя линии.

раствор TOQUARTZ®

Корейский поставщик OLED-материалов столкнулся с простоем в течение 6 часов в месяц из-за отказа барботера при поставке POCl₃. Компания TOQUARTZ заменила исходные бутылки на высокопрочные кварцевые блоки, увеличив срок службы на 3,2× и сократив время простоя на 83%, что позволило сэкономить $18,000/месяц потерянной продукции.

Услуги TOQUARTZ® по персонализации бутылок для кварцевых источников

Компания TOQUARTZ® специализируется на разработке и изготовлении специальных кварцевых бутылок с источниками, отвечающих вашим конкретным требованиям в области CVD, ALD или MOCVD. Наша команда инженеров работает непосредственно с вашим техническим персоналом для разработки решений по доставке прекурсоров, которые оптимизируют ваш процесс осаждения.

Консультация по дизайну

Наша команда инженеров анализирует ваши технологические требования и предоставляет технические чертежи для изготовления бутылок с кварцевым источником. Мы можем модифицировать существующие конструкции или создать совершенно новые конфигурации для оптимизации доставки прекурсоров.

Разработка прототипа

Мы производим функциональные прототипы заказных бутылок с кварцевым источником для ALD-прекурсоров с быстрым сроком исполнения. Протестируйте свои дизайнерские концепции, прежде чем приступить к серийному производству. Обычно прототипы изготавливаются за 2-3 недели.

Производство продукции

После завершения разработки вашего дизайна мы переходим к серийному производству с жестким контролем качества. Мы поддерживаем единые технические характеристики всех партий и предлагаем гибкие объемы производства.

Параметры настройки

Нестандартные емкости от 500 мл до 5 000 мл
Специальная конструкция впускных труб для оптимального образования пузырьков
Индивидуальные фитинги, совместимые с вашей существующей системой
Многокамерные конфигурации для сложных процессов
Модифицированная толщина стенок для определенных тепловых профилей
Интеграция с системами контроля температуры

Готовы оптимизировать свою систему доставки прекурсоров?

Бутылки с кварцевыми источниками высокой чистоты для сложных задач,
TOQUARTZ® предлагает высококачественные решения с инженерной поддержкой и быстрыми сроками исполнения.

Свяжитесь с нашим инженером

Почему стоит сотрудничать с TOQUARTZ

Прямое преимущество фабрики

Являясь прямым производителем, мы можем отказаться от многочисленных промежуточных звеньев.

Инженерная экспертиза

Техническая команда сопровождает клиентов от выбора материала до оптимизации конструкции, воплощая спецификации в готовые изделия.

Гибкое производство

Выполнение стандартных и индивидуальных заказов с помощью опыта работы с мелкими партиями и тщательного создания прототипов для соблюдения сроков.

Качество
Обеспечение

Трехступенчатая проверка перед отгрузкой:
1. точность размеров,
2. чистота материала ,
3. пороговые значения производительности

Глобальная цепочка поставок

Надежная глобальная логистика в промышленные центры (приоритет DE/US/JP/KR) с отслеживаемыми сроками.

Восстановленные продукты

Как специализированный производитель с прямыми заводскими возможностями, TOQUARTZ предлагает как стандартные, так и индивидуальные кварцевые решения с инженерной поддержкой на протяжении всего процесса спецификации и реализации.

Кварцевые бутылки для CVD/ALD систем - TOQUARTZ®

Химически инертные кварцевые бутылки для реактивов с широким горлом для обработки образцов-TOQUARTZ®

Бутылка для реактивов из нереактивного кварца с завинчивающейся крышкой для высокочистых применений-TOQUARTZ®

Кварцевая лабораторная бутылка для сбора химических отходов-TOQUARTZ®

Кварцевые колбы Эрленмейера без загрязнений для научных исследований и разработок - TOQUARTZ®

Оптимизированная для процесса 4-горлая кварцевая колба Флоренса с круглым дном для контролируемых реакций-TOQUARTZ®

ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ

Вопрос: Для чего в CVD используется бутылка с кварцевым источником?

О: Кварцевая бутылка-источник в CVD (химическое осаждение из паровой фазы) используется для содержания и доставки химических веществ-прекурсоров, которые формируют осаждаемую пленку. Конструкция из высокочистого кварца предотвращает загрязнение, обеспечивая контролируемое испарение или барботирование газа-носителя через прекурсор для его транспортировки в реакционную камеру.

Вопрос: Можно ли использовать бутылки с кварцевым источником с коррозионными прекурсорами?

О: Да, высокочистый кварц обладает превосходной устойчивостью к большинству агрессивных химических веществ, включая сильные кислоты (кроме HF), основания с температурой ниже 600°C и галогенные соединения, обычно используемые в качестве прекурсоров. Такая химическая устойчивость предотвращает загрязнение прекурсора и обеспечивает стабильное качество осаждения.

Вопрос: Какую температуру могут выдерживать бутылки с кварцевым источником?

О: Кварцевые бутылки для источников TOQUARTZ® выдерживают длительные рабочие температуры до 1200°C. Материал сохраняет свою структурную целостность и химическую инертность при таких температурах, что делает его идеальным для высокотемпературной доставки прекурсоров в процессах CVD и ALD.

В: Можно ли использовать бутылки с кварцевым источником с твердыми прекурсорами?

О: Да, бутылки с кварцевыми источниками могут быть разработаны специально для твердых прекурсоров. Такие конструкции обычно имеют более широкие отверстия для загрузки, специальные зоны нагрева для контроля сублимации и газовые потоки, предназначенные для эффективного переноса сублимированного прекурсора в реакционную камеру.

Вопрос: Можно ли изготовить бутылки с кварцевым источником на заказ для конкретных систем ALD?

О: Да, компания TOQUARTZ® специализируется на разработке индивидуальных конструкций бутылок с кварцевым источником для доставки прекурсоров ALD, которые точно соответствуют спецификациям системы. Мы можем создать индивидуальные конфигурации впускных отверстий, системы распределения газа, зоны нагрева и типы соединений, чтобы оптимизировать подачу прекурсоров для ваших конкретных требований к процессу ALD.

Свяжитесь с нашей командой инженеров для получения технической консультации и определения цены. Мы поможем вам выбрать оптимальные характеристики для ваших требований.

Изготовленные на заказ бутылки с кварцевым источником для систем CVD/ALD -TOQUARTZ®