200nm 이하의 석영 디스크에서 최적의 자외선 투과를 보장하는 순도 수준은 무엇인가요?

석영 디스크 자외선 투과 순도는 심자외선 애플리케이션에서 매우 중요한 역할을 합니다. 200nm 이하의 최적의 성능을 위해 자외선 용융 석영은 총 금속 불순물이 5ppm 미만인 최소 99.995% 용융 실리카에 도달해야 합니다. 극소량의 크롬이나 구리도 상당한 흡수 손실을 유발할 수 있으므로 엄격한 원소별 관리가 필수적입니다. 과학자들은 이러한 순도 기준에 따라 광학 윈도우 시트 소재를 선택하여 자외선 범위에서 높은 투과율을 보장합니다.

주요 내용

• 석영 디스크는 200nm 미만의 최적의 UV 투과율을 위해 99.995% SiO₂ 순도 이상, 총 금속 불순물 5ppm 미만이어야 합니다.

• 크롬이나 구리와 같은 소량의 불순물도 자외선 투과율을 크게 감소시킬 수 있으므로 엄격한 관리가 필수적입니다.

• 용융 실리카의 전자 밴드 갭은 150nm까지 자외선을 투과할 수 있어 일반 유리보다 성능이 뛰어납니다.

• 제조업체는 ICP-MS 및 분광광도계와 같은 고급 방법을 사용하여 쿼츠 디스크의 순도와 성능을 검증합니다.

• 용융 실리카의 낮은 OH 함량을 유지하는 것은 높은 자외선 투과율과 흡수 손실을 방지하는 데 매우 중요합니다.

쿼츠 광학에서 200nm 이하 자외선 투과율의 기본은 무엇인가요?

석영 디스크는 심자외선 애플리케이션에서 중요한 역할을 하지만 모든 소재가 200nm 이하의 빛을 투과할 수 있는 것은 아닙니다. 용융 실리카 유리의 물리적 및 화학적 특성을 이해하면 이 소재가 이러한 까다로운 용도에 탁월한 이유를 설명하는 데 도움이 됩니다. 이 섹션에서는 자외선 투과 광학 석영이 심자외선 범위에서 뛰어난 성능을 발휘하는 이유를 살펴봅니다.

용융 실리카의 전자 밴드 갭 및 자외선 투과 한계

용융 실리카의 전자 밴드 갭은 자외선 투과에 대한 근본적인 한계를 설정합니다. 용융 실리카의 밴드 갭은 약 8.3eV로, 흡수가 급격히 증가하기 전에 거의 150nm까지 자외선을 투과할 수 있습니다. 이러한 특성 덕분에 용융 실리카 유리는 300nm 이하의 자외선을 차단하는 일반 유리보다 성능이 뛰어납니다.

밴드 갭은 낮은 에너지를 가진 광자만 통과할 수 있는 장벽 역할을 하므로 높은 에너지를 가진 광자는 흡수됩니다. 따라서 용융 실리카는 분광학 및 포토리소그래피와 같이 깊은 자외선이 필요한 응용 분야를 가능하게 합니다.

핵심 포인트:

• 용융 실리카의 8.3eV 밴드 갭은 150nm까지 자외선을 투과할 수 있습니다.

• 일반 유리는 300nm 이하의 자외선을 흡수하기 때문에 깊은 자외선 광학기기에는 사용이 제한됩니다.

• 밴드 갭은 쿼츠 디스크의 UV 차단을 직접 결정합니다.

깊은 자외선 파장에서 석영 유리의 광자 흡수 메커니즘

용융 실리카의 광자 흡수는 광자 에너지가 밴드 갭을 초과하여 전자가 더 높은 에너지 상태로 점프할 때 발생합니다. 200nm 이하에서는 작은 불순물이나 결함도 새로운 에너지 레벨을 도입하여 흡수를 증가시키고 투과율을 감소시킬 수 있습니다. 이러한 민감도 때문에 고성능 UV 광학에는 순도 제어가 필수적입니다.

이러한 원소는 깊은 자외선을 흡수하는 국부적인 상태를 만들기 때문에 제조업체는 금속 불순물을 최소화해야 합니다. 철, 티타늄 또는 크롬이 존재하면 낮은 농도에서도 상당한 전송 손실이 발생할 수 있습니다.

메커니즘	원인	자외선 투과에 미치는 영향
대역 갭 흡수	광자 에너지 > 8.3eV	150nm 이하로 전송률 급감
불순물 흡수	금속 이온 또는 결함	200nm 이하로 흡수율 증가

석영 디스크의 UV 투명성을 위한 비정질 구조의 이점

용융 실리카 유리의 비정질 구조는 자외선 투명성에 있어 독특한 이점을 제공합니다. 이 구조는 입자 경계가 없고 원자 배열이 균일하여 빛의 산란과 흡수를 줄여줍니다. 그 결과 용융 실리카는 1mm 두께에서 90% 이상의 자외선 및 가시광선을 투과합니다.

반면 결정질 석영은 입자 경계와 더 많은 결함을 포함하고 있어 빛을 산란시키고 투과율을 낮춥니다. 용융 실리카의 원자 단위 균일성은 까다로운 UV 애플리케이션에서 일관된 성능을 보장합니다.

핵심 포인트:

• 비정질 용융 실리카 유리는 결함이 최소화되고 입자 경계가 없습니다.

• 이 구조는 1mm 두께에서 90% 이상의 자외선 투과를 가능하게 합니다.

• 결정질 석영은 산란과 흡수가 증가하여 자외선 투과량이 적습니다.

금속 불순물은 어떻게 200nm 이하에서 자외선 흡수 손실을 발생시키나요?

금속 불순물은 다음에서 자외선 투과를 줄이는 데 중요한 역할을 합니다. 쿼츠 디스크특히 200nm 이하의 파장에서는 더욱 그렇습니다. 이러한 불순물은 결정 구조에 결함을 일으켜 UV 광자를 흡수하는 새로운 에너지 상태를 생성합니다. 각 불순물의 특정 효과를 이해하면 과학자들이 심층 자외선 응용 분야에 적합한 용융 실리카를 선택하는 데 도움이 됩니다.

Fe, Ti, Al 불순물의 특징적인 자외선 흡수 대역

철, 티타늄, 알루미늄은 각각 석영 유리에서 고유한 흡수 밴드를 생성합니다. 이러한 밴드는 불순물 원자가 결정 격자에서 실리콘을 대체하여 재료가 자외선과 상호 작용하는 방식을 변경하기 때문에 나타납니다. 이러한 불순물이 존재하면 눈에 보이는 색상 변화와 자외선 흡수가 증가합니다.

다음 표는 각 불순물이 흡수 스펙트럼에 미치는 영향을 보여줍니다. 및 석영 유리의 착색:

불순물	자외선 흡수 대역 특성
철(Fe)	자수정 착색과 관련하여, 특히 Si4+를 대체하는 Fe3+ 이온을 통한 착색과 관련이 있습니다.
티타늄(Ti)	흡수 스펙트럼에 영향을 미쳐 석영 유리의 색상 변화에 기여합니다.
알루미늄(Al)	석영 유리의 착색 및 흡수 특성에 영향을 미치며, 종종 철 및 티타늄과 함께 사용됩니다.

이러한 흡수 대역은 깊은 자외선 범위에서 직접적으로 전송 손실을 유발합니다. 불순물이 많을수록 손실이 커집니다.

금속 불순물 농도로 인한 전송 손실 계산하기

과학자들은 용융 실리카의 불순물 농도를 측정하여 자외선 투과 손실을 추정할 수 있습니다. 각 불순물에는 알려진 소멸 계수가 있으며, 이는 자외선을 얼마나 강하게 흡수하는지를 설명합니다. 비어-램버트 법칙을 적용하면 특정 파장에서 얼마나 많은 빛이 손실될지 예측할 수 있습니다.

예를 들어 1ppm의 철이 함유된 석영 디스크는 190nm에서 최대 3%의 투과율을 잃을 수 있습니다. 티타늄과 알루미늄도 비슷한 영향을 미치지만 그 영향은 농도와 파장에 따라 달라집니다. 정확한 불순물 측정을 통해 제조업체는 품질을 관리하고 높은 UV 성능을 보장할 수 있습니다.

• 핵심 포인트:

  • 불순물 농도가 높을수록 전송 손실이 증가합니다.

  • 비어-램버트 법칙은 용융 실리카의 자외선 흡수를 예측하는 데 도움이 됩니다.

  • 정밀한 불순물 제어로 안정적인 딥 UV 성능을 보장합니다.

전이 금속이 석영 유리의 깊은 자외선 흡수에 미치는 영향

철과 티타늄과 같은 전이 금속은 다른 불순물보다 자외선 흡수에 훨씬 더 강한 영향을 미칩니다. 이러한 금속은 순수한 용융 실리카가 일반적으로 투과하는 200nm 이하의 파장을 가진 광자를 흡수하는 국소 에너지 상태를 생성합니다. 이러한 금속이 있으면 매우 낮은 농도에서도 자외선 투과율을 몇 퍼센트까지 줄일 수 있습니다.

과학적 연구에 따르면 Al 및 Fe와 같은 금속 불순물은 다음을 유발합니다. 결정 격자의 결함. 이러한 결함으로 인해 석영은 큰 광학 밴드 갭으로 인해 순수한 SiO2가 흡수할 수 없는 파장의 자외선을 흡수할 수 있습니다. 이러한 흡수는 심부 자외선 애플리케이션에서 상당한 투과 손실을 초래합니다.

트랜지션 메탈	결함 생성	200nm 이하의 자외선 흡수	전송 손실의 원인
철(Fe)	예	예	예
티타늄(Ti)	예	예	예

전이 금속은 용융 실리카에서 최적의 자외선 투과를 위해 제어해야 할 가장 중요한 불순물입니다.

200nm 미만 애플리케이션에서 전송 손실을 최소화하는 중요한 실리카 순도 수준은 무엇입니까?

석영 디스크 자외선 투과 순도는 광학 창 시트를 통과하는 자외선 깊이의 정도를 직접적으로 결정합니다. 용융 실리카에 적합한 순도 수준을 선택하면 분광학 및 포토리소그래피에서 높은 투과율과 신뢰할 수 있는 성능을 보장할 수 있습니다. 이 섹션에서는 200nm 이하의 최상의 결과를 보장하는 순도 임계값과 검증 방법에 대해 설명합니다.

ICP-MS 분석 및 광학 등급 순도 검증 방법

제조업체는 용융 실리카의 미량 불순물을 측정하기 위해 ICP-MS 분석을 사용하여 석영 디스크의 광학 등급을 검증합니다. 이 분석법은 1ppm 이하의 매우 낮은 농도에서 금속 원소를 검출하여 재료가 높은 투과율에 대한 엄격한 순도 표준을 충족하는지 확인합니다. 정확한 불순물 측정으로 일관된 성능의 광학 창 시트 소재를 생산할 수 있습니다.

ICP-MS 결과는 쿼츠 디스크의 자외선 투과 순도에 영향을 줄 수 있는 철, 티타늄, 알루미늄과 같은 각 불순물의 농도를 보여줍니다. 그런 다음 분광광도계 테스트는 특정 파장에서 디스크를 통과하는 빛의 양을 측정하여 실제 자외선 투과율을 확인합니다. 이 두 가지 방법을 함께 사용하면 재료 품질에 대한 완전한 그림을 얻을 수 있습니다.

테스트 방법	측정 대상	중요한 이유
ICP-MS	미량의 금속 불순물	높은 투과율을 위한 순도 보장
분광광도계	자외선 투과율	광학 윈도우 시트 성능 확인

쿼츠 디스크 순도 선택의 비용 대비 성능 균형

석영 디스크 자외선 투과 순도는 불순물 수준이 감소함에 따라 향상되지만 용융 실리카의 비용은 최고 등급에서 급격히 상승합니다. 190nm 미만의 애플리케이션의 경우 제조업체는 ≥99.995% SiO₂ 및 총 금속 5ppm 미만을 권장하며, 190-200nm 애플리케이션은 ≥99.985% SiO₂ 및 최대 10ppm의 금속을 사용할 수 있습니다. 이러한 균형을 통해 사용자는 과도한 지출 없이 필요에 맞는 광학 윈도우 시트를 선택할 수 있습니다.

다음 표는 다양한 자외선 범위에 대한 실제 순도 임계값과 성능에 미치는 영향을 강조합니다:

불순물 유형	190nm 미만의 임계값	190-200nm 임계값
SiO₂ 순도	≥ 99.995%	≥ 99.985%
총 금속	< 5ppm	< 10ppm
Fe	< 3ppm	< 5ppm
Ti	< 1ppm	< 3ppm
Al	< 3ppm	< 5ppm

올바른 순도 수준을 선택하면 높은 투과율을 보장하는 동시에 각 광학 윈도우 시트 애플리케이션의 비용을 관리할 수 있습니다.

고순도 자외선 분광학 응용 분야를 위한 OH 함량 요구 사항

용융 실리카에 수산기(OH)가 존재하면 석영 디스크의 자외선 투과 순도가 특히 200nm 이하로 떨어질 수 있습니다. OH 그룹은 자외선을 흡수하고 전체 흡수를 증가시켜 정확한 분광학에 필요한 높은 투과율을 낮춥니다. 제조업체는 각 광학 윈도우 시트의 성능을 유지하기 위해 OH 함량을 제어합니다.

OH 함량이 10ppm 미만인 석영 디스크는 흡수를 최소화하고 정밀한 스펙트럼 분석을 지원하기 때문에 고순도 애플리케이션에 선호됩니다. OH 함량이 높으면 탈석화가 발생하여 광학 윈도우 시트의 무결성과 정확성이 모두 저하될 수 있습니다. 다음 표에는 권장되는 OH 함량 제한과 그 영향이 요약되어 있습니다:

OH 콘텐츠 수준	권장 사항	성능에 미치는 영향
10ppm 미만	고순도 애플리케이션에 선호	흡수 효과 최소화 및 정확한 스펙트럼 분석 지원
더 높은 수준	권장하지 않음	튜브 무결성 및 분석 정확도 저하를 유발하는 탈리화 가속화

용융 실리카의 낮은 OH 함량을 유지하면 까다로운 분광학 및 광학 윈도우 시트 용도에서 석영 디스크의 자외선 투과 순도를 높게 유지할 수 있습니다.

미량 원소는 단순한 순도 지표를 넘어 200nm 이하 광학 성능에 어떤 영향을 미칠까요?

미량 원소는 딥 UV 애플리케이션에서 쿼츠 디스크의 작동 방식을 극적으로 바꿀 수 있습니다. 과학자들은 단순한 순도 수치 이상의 방식으로 광학 성능에 영향을 미치기 때문에 이러한 원소를 연구합니다. 각 미량 원소의 기능을 이해하면 200nm 미만 전송에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하는 용융 실리카를 선택하는 데 도움이 됩니다.

크롬과 구리 불순물의 자외선 흡수 영향 차이

크롬과 구리는 용융 실리카에서 강한 자외선 흡수를 유발하는 미량 원소로 두드러집니다. 이러한 금속은 190nm와 185nm 근처에서 강력한 흡수 대역을 생성하여 1ppm 이하의 농도에서도 광학 성능을 저하시킬 수 있습니다. 연구자들은 0.5ppm의 크롬이 190nm에서 최대 4%까지 투과율을 감소시킬 수 있다는 사실을 발견했습니다.

구리는 또한 깊은 자외선 범위로 확장되는 흡수 꼬리를 통해 상당한 효과를 발휘합니다. 두 원소 모두 실리카 매트릭스와 상호 작용하여 UV 광자를 가두는 국부적인 에너지 상태를 형성합니다. 이 과정에서 고정밀 애플리케이션의 경우 전송 손실이 측정 가능하게 됩니다.

핵심 포인트:

• 크롬과 구리는 매우 낮은 농도에서 강한 자외선 흡수를 유발합니다.

• 이러한 미량 원소는 광학 성능을 몇 퍼센트까지 저하시킬 수 있습니다.

• 미량 금속이 제어된 용융 실리카는 더 깊은 자외선 투과를 지원합니다.

딥 UV 쿼츠 애플리케이션을 위한 원소별 불순물 한계

각 미량 원소에 대해 엄격한 제한을 설정하면 쿼츠 디스크에서 높은 광학 성능을 유지하는 데 도움이 됩니다. 제조업체는 ICP-MS 분석 데이터를 사용하여 딥 UV 작업에 허용되는 수준을 정의합니다. 예를 들어, 과도한 흡수를 방지하기 위해 크롬은 0.5ppm 이하, 구리는 1ppm 이하로 유지하는 것이 좋습니다.

원소별 제한을 통해 사용자는 가장 문제가 되는 불순물을 타겟팅할 수 있습니다. 이 접근 방식은 용융 실리카가 분광학 및 포토리소그래피의 요구 사항을 충족하도록 보장합니다. 과학자들은 이러한 한계에 의존하여 석영 디스크가 까다로운 환경에서 어떻게 작동할지 예측합니다.

요소	권장 한도(ppm)	광학 성능에 미치는 영향
크롬	< 0.5	190nm에서 강한 흡수 방지
구리	< 1	185nm에서 전송 손실 감소
Iron	< 2	자외선 흡수 최소화

제조업체는 이러한 제한을 사용하여 딥 UV 쿼츠 디스크의 생산 및 품질 관리를 안내합니다.

자외선 가시광선 흡수 스펙트럼에 대한 희토류 원소 기여도

세륨 및 네오디뮴과 같은 희토류 원소는 광학 성능에 영향을 미칠 수 있지만 일반적으로 전이 금속보다는 그 영향이 덜 심각합니다. 이러한 원소는 자외선 가시 스펙트럼에서 날카로운 흡수선을 생성하여 민감한 애플리케이션의 측정에 영향을 줄 수 있습니다. 과학자들은 용융 실리카가 분광학에 적합한 상태로 유지되도록 희토류 수준을 모니터링합니다.

대부분의 고순도 용융 실리카에는 희토류 원소가 0.5ppm 미만으로 함유되어 있습니다. 이 낮은 농도는 흡수를 최소화하고 안정적인 광학 성능을 지원합니다. 연구자들은 분광광도계를 사용하여 원치 않는 흡수가 있는지 확인합니다.

희토류 원소	일반적인 농도(ppm)	자외선 가시광선 흡수에 미치는 영향
Cerium	< 0.5	미세한 날카로운 흡수 라인
네오디뮴	< 0.5	광학 성능에 미치는 영향 최소화
프라세오디뮴	< 0.5	미미한 영향

희토류 함량을 신중하게 제어하면 딥 UV 용융 실리카 애플리케이션에 필요한 높은 기준을 유지할 수 있습니다.

딥 UV 애플리케이션을 위한 고순도 쿼츠 디스크의 최적화된 제조 공정은 무엇일까요?

제조업체는 첨단 공정을 사용하여 딥 UV 애플리케이션을 위한 탁월한 순도의 석영 디스크를 제작합니다. 생산의 각 단계는 오염을 최소화하고 광학 성능을 극대화하는 것을 목표로 합니다. 이러한 최적화된 방법을 통해 쿼츠 디스크는 과학 및 산업용으로 엄격한 기준을 충족합니다.

UV 쿼츠 디스크의 우수한 순도를 위한 증기상 합성

증기상 합성은 고순도 석영 디스크 생산의 주요 방법으로 각광받고 있습니다. 이 공정은 통제된 환경에서 초순수 실리콘 화합물을 사용하여 금속 불순물을 최소화한 용융 실리카를 형성합니다. 그 결과 기존의 용융 기술로 달성할 수 있는 순도보다 더 높은 수준의 석영을 얻을 수 있습니다.

엔지니어들은 금속 불순물 함량이 2ppm 미만인 석영 디스크를 일관되게 제공하기 때문에 증기상 합성을 선호합니다. 이 디스크는 185~200nm에서 85% 이상의 자외선 투과율을 보이며 2×10^-6 이상의 광학적 균일성을 유지합니다. 내방사선성도 15년 이상 지속되므로 장기간 사용해도 안정적으로 사용할 수 있습니다.

특징	가치
금속 불순물 함량	<2ppm
자외선 투과율(185-200nm)	≥85%
광학 균일성	2×10^-6보다 우수
내방사선 저항	15년 이상

제조업체는 증기상 합성을 통해 딥 UV 광학 시스템의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

디스크 제작 중 오염을 방지하는 클린룸 컨트롤

클린룸 제어는 제조 과정에서 석영 순도를 유지하는 데 중요한 역할을 합니다. 작업자들은 먼지와 금속으로 인한 오염을 방지하기 위해 엄격한 공기 여과 및 입자 모니터링이 이루어지는 환경에서 작업합니다. 연마에서 연마에 이르는 모든 단계에는 특수 장비와 고순도 화학물질이 사용됩니다.

기술자는 탈이온수 및 비금속 도구 사용을 포함하는 프로토콜을 따릅니다. 이러한 조치는 알루미늄, 철 또는 나트륨과 같은 불순물이 유입될 위험을 줄여줍니다. 고온 염소 처리 공정은 또한 전문가의 취급이 필요한 통제된 분위기 를 사용하여 오염을 방지합니다.

핵심 포인트:

• 클린룸 제어를 통해 연마 및 연마 중 오염을 방지합니다.

• 작업자는 고순도 화학물질과 비금속 도구를 사용합니다.

• 제어된 대기는 중요한 불순물로부터 쿼츠 디스크를 보호합니다.

엄격한 클린룸 관행은 제조업체가 딥 UV 쿼츠 디스크에 필요한 고순도를 달성하는 데 도움이 됩니다.

최종 순도 검증을 위한 화학 및 광학 테스트 결합

제조업체는 화학 및 광학 테스트를 통해 쿼츠 디스크의 순도를 검증합니다. ICP-MS 분석은 1ppm 이하의 미량 금속 불순물을 검출하여 디스크가 엄격한 표준을 충족하는지 확인합니다. 분광광도계 테스트는 자외선 투과율을 측정하여 각 디스크가 광학 시스템에서 예상대로 작동하는지 확인합니다.

품질 관리 팀은 고급 연삭 및 연마 기술을 사용하여 균일한 두께와 매끄러운 표면을 확인합니다. 레이저 커팅은 정확한 크기를 제공하고 가장자리를 매끄럽게 처리하여 안전성과 사용성을 향상시킵니다. 이러한 단계를 통해 각 디스크가 딥 UV 애플리케이션에 필요한 사양에 부합하도록 보장합니다.

테스트 방법	목적	결과
ICP-MS 분석	미량 불순물 감지	화학적 순도 확인
분광광도계	자외선 투과율 측정	광학 성능 검증
정밀 마감	균일한 두께와 가장자리 보장	애플리케이션 표준과 일치

통합 테스트를 통해 순도와 성능이 검증된 쿼츠 디스크만 과학 및 산업 사용자에게 공급됩니다.

자외선 투과율이 높은 석영 디스크는 최소 99.995%의 SiO₂ 순도와 총 금속 불순물이 5ppm 미만이어야 합니다. 제조업체는 높은 자외선 투과율을 달성하기 위해 재료 품질과 공정 단계를 모두 관리해야 합니다. 화학적 및 광학적 검증을 통해 각 디스크가 엄격한 기준을 충족하는지 확인합니다.

쿼츠 유형	265nm 이하의 자외선 투과	200nm까지 자외선 투과
저급 석영	대폭 하락	N/A
광학 등급 쿼츠	85% 이상	예

광학 등급 석영을 선택하고 클린룸 조건을 유지하면 까다로운 애플리케이션에서 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다.

자주 묻는 질문

200nm 미만의 자외선 투과에 가장 적합한 순도 수준은 무엇인가요?

99.995% SiO₂ 이상이고 총 금속 불순물이 5ppm 미만인 석영 디스크는 200nm 이하에서 최고의 UV 투과율을 제공합니다. 이 고순도는 딥 UV 애플리케이션에서 최소한의 흡수와 안정적인 성능을 보장합니다.

크롬과 구리 같은 미량 금속이 왜 그렇게 중요한가요?

크롬과 구리는 1ppm 이하의 수준에서도 자외선을 매우 강하게 흡수합니다. 이러한 금속은 투과율을 몇 퍼센트까지 감소시킬 수 있으므로 고정밀 광학 용도의 경우 엄격한 관리가 필수적입니다.

핵심 포인트:

• 미량 금속은 강한 자외선 흡수를 유발합니다.

• 소량이라도 전송률을 낮춥니다.

• 엄격한 제한으로 광학 성능을 보호합니다.

제조업체는 쿼츠 디스크 순도를 어떻게 확인하나요?

제조업체는 미량 금속을 측정하기 위해 ICP-MS를 사용하고 자외선 투과를 테스트하기 위해 분광광도계를 사용합니다. 이러한 방법을 통해 각 디스크가 딥 UV 작업에 대한 엄격한 순도 및 성능 표준을 충족하는지 확인합니다.

쿼츠 디스크에서 OH 콘텐츠의 역할은 무엇인가요?

일반적으로 10ppm 이하의 낮은 OH 함량은 높은 자외선 투과율을 유지하는 데 도움이 됩니다. OH 수치가 높으면 흡수율이 높아져 사용 중 디스크가 손상될 수 있습니다.

OH 콘텐츠	자외선 투과에 미치는 영향
< 10ppm	높은 전송률 유지
> 10ppm 이상	흡수력 증가

천연 석영을 딥 UV 애플리케이션에 사용할 수 있나요?

천연 석영은 일반적으로 금속 불순물이 더 많이 포함되어 있습니다. 따라서 자외선 투과율이 200nm 이하로 감소합니다. 합성 용융 실리카는 훨씬 더 높은 순도와 더 나은 광학 성능을 제공하기 때문에 딥 UV에 선호됩니다.