맞춤형 석영 도가니 | 200개 이상의 구성

정밀 엔지니어링: SiC/Al₂O₃ 코팅 옵션을 통한 ±0.1mm 공차

품질 보증: 0.1ppm 미만의 불순물에 대해 100% GD-MS 테스트 완료

산업별 맞춤 기능

고순도 용융 실리카 도가니는 단결정 성장을 위한 1680°C 폴리실리콘 용융을 가능하게 하여 태양광 등급 실리콘 잉곳에서 산소 함량 12ppm 미만을 달성합니다.

불소화 반응과 산 소화에 필수적인 200°C에서 500시간 이상 작동하는 40% 불산 노출을 견디는 HF 내성 쿼츠 보트는 불소화 반응과 산 소화에 필수적입니다.

뚜껑이 있는 기밀 실험실 도가니는 10-⁶ mbar 진공 상태에서 희토류 합금 합성을 용이하게 하여 실험실 등급의 합성물에서 0.1% 미만의 불순물 수준을 유지합니다.

거울 연마 도가니(Ra ≤0.2μm)는 보석 및 촉매 변환기 생산에 중요한 백금 그룹 금속을 1750°C에서 0.03g 미만의 재료 손실로 처리합니다.

진공 등급 도가니 플레이트는 1300°C에서 ±3°C의 균일성으로 인코넬 718 초합금을 어닐링하여 터빈 부품의 경도를 HRC 45에 도달합니다.

제작

용융 석영 도가니는 핵심 산업 전반의 극한 온도 재처리, 반응성 화학 테스트 및 정밀 금속 가공에 없어서는 안 될 필수 요소입니다.

애싱 공정, 반응성 화학 테스트, 용융 실리카 용기에 담긴 귀금속 또는 비귀금속의 정밀 처리에 최적화되어 있습니다.

맞춤형 솔루션 서비스

반도체 제조, 고순도 화학 반응 및 극한 온도 애플리케이션에 사용되는 용융 석영 도가니에 최적화된 모든 프로세스입니다.

▊빠른 열 순환: 1000°C/분 가열 속도 견딤

▊화학적 불활성: 98% H₂SO₄ @500°C와 호환 가능

▊배치 일관성: 1000개 이상의 유닛에서 <2% 변동성

1

디자인 사양

허용 오차 요구 사항이 ±0.5mm인 CAD/STP 파일을 제출합니다;

▌표준 용량: 5mL-50L;

ΔT 1000°C에서 열충격 내성 검증 ▌열충격 내성 검증

2

재료 선택

99.999% 용융 실리카 표준 ▌99.999% 용융 실리카 표준
(대안: 중요하지 않은 애플리케이션의 경우 99.99%)

두께 옵션: 1.5-12mm

▌OH 함량 제어: <8ppm(저수산화물 등급)

3

정밀 성형

CNC 가공: ±0.1mm 치수 정확도 ▌CNC 가공: ±0.1mm 치수 정확도

▌최대 크기: Φ600×800mm

다중 캐비티 도가니 보트를 위한 레이저 정렬 ▌레이저 정렬

4

표면 처리

▌표준: 산성 연마(40% HF, 30분 주기)

▌선택 사항: 1250°C에서 불 연마

파티클 수. ▌파티클 수: <50 particlescm² (>0.3μm)

5

품질 검증

헬륨 누출 테스트: <1×10⁻⁶ mbar·L/s

▌열 순환: 1700°C ↔ 25°C, 50회 사이클

계측 보고서: 동심도를 포함한 15개 이상의 매개변수 <0.2mm

매개변수제품업계 평균
최대 작동 온도1750°C1650-1700°C
열 충격 저항ΔT 1100°C(물 담금질)ΔT 800-900°C
순도 수준99.999% SiO₂99.95-99.99% SiO₂
금속 불순물<5ppm(ICP-MS 테스트 완료)15-30ppm
치수 허용 오차±0.1mm(레이저 스캔)±0.3mm
표면 거칠기Ra 0.4μm(3단계 광택)Ra 1.2-1.8μm
내산성48시간(40% HF, 25°C)24-36시간
OH 콘텐츠<8ppm15-25ppm
주기 수명300+ 가열(1700°C)150-200 히트
진공 성능5×10-⁷ mbar(헬륨 누출 테스트)1×10-⁵ mbar

석영 도가니의 범용 유지보수 및 취급

극한 산업 응용 분야를 위한 용융 실리카 용기
 

1. 청소 프로토콜

 
사용 후 산성 세척: 60°C에서 30분간 5% HF + 15% HNO₃ 사용
헹굼수 순도: 18.2mΩ-cm 탈이온수
건조 중: 120°C 오븐에서 2시간 동안 10% RH 미만 사용
 
산업별 포커스:
태양광: 800°C에서 베이크 아웃하여 실리콘 잔여물(<0.01mg/cm²)을 제거합니다.
화학 처리: 취급 시 40% HF 내성 장갑 필수
금속 정제: 아세톤 초음파 세척(40kHz, 30분)
 
 

2. 열 순환 관리

 
최대 가열/냉각 속도: 600°C 이하 10°C/분, 600°C 이상 5°C/분
ΔT 충격 한계: 1200°C(예: 30초 이내에 1700°C → 500°C)
어닐링 빈도: 1150°C/4시간에서 50회 열 사이클마다
 
산업별 포커스:
유리 제조: 제어된 탈석화 모니터링(<1% 결정 성장)
에너지: ±5°C 그라데이션 제어를 위한 적외선 서모그래피
보석류: 금 합금 로딩 전 300°C로 예열
 
 

3. 보관 조건

 
습도 제어: <30% RH, 건조제 팩 포함
온도 안정성: 15-25°C의 열 구배 방지
스태킹: 5mm 폼 분리대를 사용한 비접촉식 보관
 
산업별 포커스:
실험실: 마이크로 도가니를 위한 클래스 1000 클린룸 스토리지
 
 

4. 처리 절차

 
장갑 재질: 니트릴/바이톤®(맨손 접촉 금지)
리프팅 도구: 압력 제한이 5N/cm² 미만인 석영 팁 집게
ESD 제어: 1×10⁶-10⁹ Ω 정전기 방지 매트
 
산업별 포커스:
채굴: 충격 흡수 운송 프레임(15G 충격 등급)
광학: 자외선 차단 스토리지로 태양 광화 방지
 
 

5. 검사 및 재사용 기준

 
벽 두께 허용 오차: 초음파 테스트를 통한 ±0.2mm
표면 결함: 스크래치 3개/cm² 이상(깊이 0.1mm 이상)이면 불합격
최대 사이클: 1700°C에서 300회 또는 1200°C에서 500회
 
산업별 포커스:
제약: TOC 분석(<0.1mg/L 추출물)
연구: 표면 무결성 사전 실험의 SEM 검증
 
 

6. 수명 종료 폐기

 
파쇄: 매립에 안전한 5mm 미만의 파편
산 재활용: 실리카 회수를 위한 98% H₂SO₄ 분해
열분해: 유기 오염 제거를 위한 1000°C/12시간
 
산업별 포커스:
전자공학 전자: 도핑된 도가니를 위한 이온 주입 중화
고순도: 전자 등급 용매를 사용한 3중 헹굼

석영 도가니의 구성 및 특성

 
머티리얼 구성
순도: 99.99-99.999% 용융 실리카(SiO₂)
           <고온 안정성을 위한 8ppm 미만의 하이드 록실 (OH) 함량
           <0.1ppm 금속 불순물(Fe, Al, Ca)
 
 밀도: 2.2g/cm³(낮은 열 질량)
 
 두께 옵션: 1.5-12mm(ΔT 1200°C 열 충격 저항에 맞게 사용자 지정 가능)
 
 기하학적 구조: 원통형/테이퍼형 디자인(5mL~50L 용량)
 
 

주요 속성

▌열 성능
최대 작동 온도: 1700°C(단기), 1250°C(연속)
열팽창 계수(CTE): 0.55×10-⁶/°C
열 전도성: 1.4W/m-K
 
▌내화학성
200°C에서 40% HF, 98% H₂SO₄ 및 아쿠아 레지아를 견딥니다.
500시간 산 노출 후 <0.01% 체중 감소
 
▌기계적 안정성
압축 강도: 1100 MPa
표면 경도: 모스 7
 
▌광학적 선명도
92% 투과율(190-2500nm 파장 범위)
오염을 최소화하는 Ra ≤0.2μm 연마 표면
 
진공 호환성 ▌진공 호환성
헬륨 누출률: <1×10-⁹ mbar-L/s
가스 배출 속도: <5×10-⁸ Torr-L/s/cm²

자주 묻는 질문

Q: 초크랄스키 공정에서 도가니는 몇 번의 열충격 사이클을 견딜 수 있습니까?

A: ΔT 1200°C(1700°C → 500°C)에서 균열 없이 300회 이상의 사이클을 검증했습니다.

A: <1×10-⁹ mbar-L/s의 헬륨 누출률은 ASTM E499를 통해 검증되었습니다.

A: 0.55×10-⁶/°C CTE는 900°C→200°C 사이클 동안 0.2mm 미만의 변형을 보장합니다.

A: Ra ≤0.2μm 연마 표면은 접착력을 0.1μg/cm² 미만으로 감소시킵니다.

A: OH 제어 실리카(<8ppm)는 결정 성장을 <0.5%로 제한합니다.

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