중요한 공정 환경을 위한 첨단 성능의 반도체 석영 유리
까다로운 반도체 애플리케이션을 위해 제작된 TOQUARTZ®는 탁월한 신뢰성과 사용자 지정 유연성을 갖춘 고급 성능의 쿼츠 부품을 제공합니다.
- 중요한 프로세스를 위해 구축
- 일관된 치수 정확도
- MOQ 친화적인 맞춤 주문
반도체 석영 유리란 무엇인가요?
반도체 석영 유리 는 반도체 제조 공정을 위해 특별히 설계된 고순도 석영 부품을 말합니다. 이 특수 석영 부품은 순도가 최대 99.995%인 초고순도 이산화규소(SiO₂)로 제작되어 중요한 반도체 제조 환경에 필요한 탁월한 열 안정성, 내화학성, 치수 정밀도를 제공합니다.
반도체 등급 석영 유리의 주요 특성
반도체 등급 석영 유리는 웨이퍼 처리, 열처리 및 화학 물질 노출이라는 극한의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.
순도, 안정성, 내구성의 고유한 조합으로 고정밀 반도체 환경에서 일관된 성능을 보장합니다.
열 안정성
반도체 공정의 극한 온도를 견뎌냅니다.
- 최대 온도: 1600°C+
- 내열 충격성: 우수
- 팽창 계수: 5.5×10-⁷ /°C
- 빠른 가열 사이클에서도 안정적
내화학성
산, 염기 및 반응성 가스에 대한 내성이 있습니다.
- HF, HCl, H₂SO₄ 내성
- 알칼리 부식: <0.01% loss
- 불소 가스 호환
- 용융 염과 반응 없음
전기 절연
높은 유전체 강도와 저항률을 제공합니다.
- 저항률: >10⁷ Ω-cm
- 유전체 강도: 40kV/mm
- 낮은 유전체 손실 계수
- 플라즈마 환경에 이상적
당사가 제공하는 반도체 석영 유리의 제품 범위
토쿼츠의 전체 제품군 살펴보기 반도체 석영 유리 부품 고성능 웨이퍼 처리, 열처리 및 화학물질 취급을 위해 설계되었습니다.
반도체 제조 분야의 애플리케이션
반도체 석영 유리 부품 웨이퍼 제조부터 최종 테스트에 이르기까지 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 중요한 역할을 합니다. 정밀하게 설계된 쿼츠 제품은 가장 까다로운 반도체 환경의 다양한 응용 분야를 지원합니다.
열처리 애플리케이션
반도체 석영 부품 를 포함한 실리콘 웨이퍼의 고온 공정에 필수적입니다:
- 대구경 석영 튜브를 사용한 산화 공정
- 고순도 석영 튜브를 사용한 확산 공정
- 석영로 도어를 활용한 어닐링 공정
- 석영 도가니를 사용한 실리콘 결정 성장
웨이퍼 처리 애플리케이션
TOQUARTZ® 쿼츠 웨이퍼 캐리어 그리고 프로세스 구성 요소 는 중요한 웨이퍼 취급 및 처리를 위해 설계되었습니다:
화학 기상 증착
용융 실리카 성분 는 반도체 제조에서 박막의 증착을 제어하는 데 매우 중요합니다:
- 석영 공정 튜브를 사용하는 반응 챔버
- 맞춤형 석영 제작을 사용한 가스 흐름 구성 요소
연구 및 개발
반도체용 쿼츠 맞춤형 부품 연구를 통해 고급 프로세스 개발 및 테스트가 가능합니다:
- 맞춤형 쿼츠 부품을 사용한 공정 개발
- 특수 쿼츠 구성 요소를 사용한 소규모 배치 테스트
맞춤형 반도체 석영 유리 솔루션
고객의 요구에 맞춘 맞춤형 서비스
TOQUARTZ®는 다음을 전문으로 제작합니다. 반도체 석영 유리 기술 사양과 정확히 일치하는 구성 요소를 제공합니다. 엔지니어링 팀은 설계부터 납품까지 종합적인 지원을 제공하여 고객의 고유한 요구 사항에 맞는 최적의 솔루션을 보장합니다.
엔지니어링 지원
TOQUARTZ®의 숙련된 엔지니어가 귀사의 팀과 협력하여 중요한 사양을 유지하면서 제조 가능성을 위해 설계를 최적화합니다. 재료 선택, 치수 조정 및 공정 호환성을 지원할 수 있습니다.
신속한 프로토타이핑
프로토타입 및 소량 주문의 빠른 처리를 전문으로 하며, 샘플을 1~2주 이내에 배송합니다. 이를 통해 전체 생산 전에 맞춤형 쿼츠 구성 요소를 테스트하고 검증할 수 있습니다.
유연한 제조
TOQUARTZ®는 소량 맞춤 주문과 대량 생산 모두 가능합니다. 당사의 유연한 제조 역량을 통해 제한적인 MOQ를 부과하지 않고도 고객의 특정 수량 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
드로잉부터 배송까지
도면 및 사양
기술 도면이나 샘플을 보내주세요. CAD 파일, PDF 또는 치수가 포함된 손 스케치 등 다양한 형식이 허용됩니다.
기술 상담
유니티 엔지니어가 고객의 요구사항을 검토하고 실현 가능성, 재료 선택, 가능한 최적화에 대한 피드백을 제공합니다.
견적 및 프로토타입
가격 및 일정이 포함된 자세한 견적을 받아보세요. 승인 후 정식 생산 전에 검증을 위한 프로토타입을 제작합니다.
생산 및 배송
승인을 받으면 종합적인 품질 관리를 통해 전체 생산을 완료한 후 안전한 포장 및 국제 배송을 진행합니다.
TOQUARTZ® 반도체 석영 유리의 보증
우리의 반도체 석영 유리 구성 요소는 업계 표준을 충족하거나 능가하는 탁월한 성능 특성을 제공하여 가장 까다로운 반도체 환경에서도 안정적인 작동을 보장합니다.
TOQUARTZ®와 업계 표준 비교
| 속성 | 업계 표준 | TOQUARTZ® 성능 | 혜택 |
| SiO₂ 순도 | 99.90% | 최대 99.995% | 민감한 반도체 공정의 오염 위험 최소화 |
| 온도 저항 | 1100-1300°C | 최대 1600°C+ | 가장 까다로운 고온 애플리케이션에 적합 |
| 치수 허용 오차 | ±0.2mm | ±0.1mm 표준 | 정밀 장비의 착용감과 기능 향상 |
| 표면 거칠기 | Ra ≤ 1.2μm | Ra ≤ 0.8μm | 더 매끄러운 표면으로 공정 제어 개선 및 입자 생성 감소 |
| 리드 타임(사용자 지정) | 6~8주 | 2~3주 | 신속한 장비 설정 및 생산 중단 시간 감소 |
품질 인증 및 표준
ISO 9001 인증
TOQUARTZ® 제조 공정은 ISO 9001 품질 관리 표준을 준수하여 일관된 제품 품질과 고객 만족을 보장합니다. 이 인증은 다음과 같은 당사의 노력을 입증합니다:
- 엄격한 품질 관리 절차
- 지속적인 프로세스 개선
- 고객 중심 관리 시스템
- 포괄적인 문서화 및 추적성
REACH 규정 준수
TOQUARTZ® 반도체 석영 제품은 유럽연합의 REACH 규정(화학물질의 등록, 평가, 허가 및 제한)을 준수하여 안전성을 보장합니다:
- 고위험성 우려 물질(SVHC)로부터의 자유
- 공급망 전반의 안전한 취급
- 환경 책임 제조
- 규정 준수를 위한 문서
RoHS 준수
TOQUARTZ® 제품은 전자 및 전기 장비에 특정 유해 물질의 사용을 제한하는 RoHS(유해 물질 제한 지침) 요건을 충족합니다:
- 납, 수은, 카드뮴 및 기타 제한 물질 무함유
- 환경 친화적인 제조 공정
- 요청 시 문서 제공
- 글로벌 전자제품 공급망과 호환
반도체 석영 유리에 대한 자주 묻는 질문
Q: 반도체 등급 석영 유리 부품의 최대 작동 온도는 얼마인가요?
A: TOQUARTZ® 반도체 석영은 최대 1100°C의 연속 온도와 최대 1600°C의 간헐적 노출을 견딜 수 있어 확산 및 산화 공정에 이상적입니다.
Q: 쿼츠 순도는 반도체 제조 성능에 어떤 영향을 미치나요?
A: SiO₂ 순도(≥99.995%)가 높을수록 오염 위험이 줄어들고 내화학성이 향상되며 초청정 반도체 환경과의 호환성이 보장됩니다.
Q: 반도체 툴에 사용되는 석영 부품에는 어떤 표면 처리가 가능합니까?
A: 화염 연마, 기계식 연마, 샌드블라스팅, 화학적 에칭을 제공합니다. 스트레스와 오염을 줄이기 위해 어닐링 및 초음파 세척도 가능합니다.
Q: TOQUARTZ 제품은 LPCVD 및 PECVD 시스템과 호환됩니까?
A: 물론입니다. 당사의 석영 튜브, 웨이퍼 보트 및 소스 보틀은 실리콘 질화물, 폴리실리콘 및 산화물 증착을 위한 LPCVD/PECVD 시스템에서 널리 사용됩니다.
Q: 고객 도면을 기반으로 맞춤형 반도체 석영 유리 부품을 제작할 수 있나요?
A: 예, 복잡한 형상과 여러 부품으로 구성된 어셈블리를 포함하여 CAD 도면, 2D 스케치 또는 실제 샘플을 통한 완벽한 맞춤형 제작을 지원합니다.
Q: TOQUARTZ는 반도체 석영 유리 부품의 품질과 일관성을 어떻게 보장하나요?
A: 당사는 ISO 9001 표준을 준수하고 치수 검사, 재료 순도 테스트를 수행하며 COA, COC 및 치수 보고서를 포함한 전체 문서를 제공합니다.
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