단결정 실리콘 성장을 위한 고순도 용융 석영 초크랄스키 도가니 -TOQUARTZ®
퓨즈드 쿼츠 초크랄스키 도가니의 기술적 특징
TOQUARTZ® 용융 석영 초크랄스키 도가니는 전기 아크 방식으로 제조되어 단결정 실리콘 생산에 필수적인 탁월한 순도 및 성능 특성을 보장합니다. 이 특수 도가니는 여러 결정 풀링 사이클에서 일관된 결과를 제공합니다.
열 안정성
뛰어난 내열 충격성으로 최대 1600°C의 온도를 견디며 실리콘 용융 및 크리스탈 풀링 공정 전반에 걸쳐 구조적 무결성을 유지합니다.
고순도 구성
99.99% SiO2 순도, 미량 원소 제어로 실리콘 결정 성장 중 오염 위험을 최소화합니다.
내화학성
용융 실리콘, 불소 가스 및 결정 성장 애플리케이션에서 흔히 발생하는 기타 가혹한 환경으로 인한 부식에 대한 내성이 뛰어납니다.
일관된 벽 두께
균일한 열 분포는 크리스탈 품질에 영향을 줄 수 있는 온도 변화를 방지합니다.
- 뛰어난 열 안정성
- 고순도 구성
- 일관된 벽 두께
용융 석영 초크랄스키 도가니의 치수 및 기술 사양
융합 석영 초크랄스키 도가니의 크기
| 모델 | 크기(인치) | OD(mm) | 높이 - H(mm) | 두께 - T(mm) | 표준 반경 - R(mm) | 표준 반경 - r(mm) | 간격(mm) | SiO2 순도(%) | ||
| W1 | W2 | W3 | ||||||||
| AT-SY-GG1001 | 14 | 355.6(±2.0) | 사용자 지정 가능 | 8.5(±2.0) | 10.5(±2.0) | 8.5(±2.0) | 381 | 89 | ≤5 | 99.99 |
| AT-SY-GG1002 | 16 | 406.5(±2.5) | 9.0(±2.0) | 11.0(±2.0) | 9.0(±2.0) | 406 | 76 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1003 | 18 | 457.0(±2.5) | 9.5(±2.0) | 11.5(±2.0) | 9.5(±2.0) | 500 | 120 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1004 | 20 | 505.0(±3.0) | 10.0(±2.0) | 11.0(±2.0) | 10.0(±2.0) | 508 | 90 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1005 | 22 | 555.0(±3.0) | 11.0(±2.0) | 12.0(±2.0) | 11.0(±2.0) | 558 | 130 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1006 | 24 | 607.0(±3.0) | 12.0(±2.0) | 13.0(±2.0) | 12.0(±2.0) | 609 | 120 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1007 | 25 | 632.0(±3.0) | 11.0(±2.0) | 11.0(±2.0) | 14.0(±2.0) | 635 | 120 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1008 | 26 | 655.0(±3.0) | 12.0(±2.5) | 14.5(±2.5) | 12.0(±2.5) | 669 | 120 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1009 | 28 | 710.0(±3.0) | 12.0(±2.5) | 16.0(±2.5) | 12.0(±2.5) | 710 | 120 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1010 | 30 | 758.0(±3.0) | 13.5(±2.0) | 13.5(±2.0) | 19.0(±3.0) | 760 | 120 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1011 | 32 | 810.0(±3.0) | 14.0(±2.5) | 23.0(±2.5) | 14.0(±2.5) | 810 | 160 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1012 | 36 | 912.0(±3.0) | 18.0(±2.5) | 26.0(±2.5) | 18.0(±2.5) | 910 | 180 | 99.99 | ||
| AT-SY-GG1013 | 40 | 1016.0(±3.0) | 20.0(±3.0) | 30.0(±3.0) | 20.0(±3.0) | 1016 | 186 | 99.99 | ||
용융 석영 초크랄스키 도가니의 기술 사양
물리적 속성 | |
| 밀도 | 2.21g/cm2 |
| 모스 경도 | 6.5 |
| 압축 강도 | 1100 MPa |
| 인장 강도 | 50 MPa |
| 굽힘 강도 | 67 MPa |
열 속성 | |||
| 속성 | 100°C | 500°C | 1100°C |
| 열팽창(10-⁷/°C) | 5.11 | 5.65 | 5.48 |
| 열 전도성 W/(m*°C) | 1.47 | 1.84 | 2.68 |
| 비열 J/(Kg*°C) | 772 | 1052 | — |
순도 사양
| Fe | Mg | Mn | K | Li | Co | Ni | Cu | Na | B | Ti | Ca | Ai |
| 1.2 | 0.4 | 0.1 | 2 | 0.5 | ＜0.02 | 0.03 | 0.57 | 2.3 | 0.8 | 0.1 | 0.8 | 16 |
단결정 실리콘 생산의 중요한 과제 극복하기
태양열 등급 실리콘 생산을 위한 용융 석영 초크랄스키 도가니
주요 이점
- 벽면 변형 유지 <0.3mm after 6-hour exposure at 1600°C in CZ furnaces.
- 평균 버블 밀도 <0.5/cm³ ensures minimal melt contamination during long pulling cycles.
- CTE 편차 <2% across batches ensures predictable thermal behavior in automated CZ systems.
- 전기 아크 융합 공정은 벽 두께 분포에서 98% 이상의 균일성을 달성합니다(초음파 스캔으로 측정).
TOQUARTZ® 솔루션
폴란드의 한 태양광 잉곳 제조업체는 긴 CZ 사이클 동안 도가니 벽의 변형으로 인해 결정 직경이 일정하지 않다고 보고했습니다.
TOQUARTZ®는 검증된 아크 퓨즈 도가니를 공급합니다. <0.3mm deformation at 1600°C, stabilizing their pulling process and reducing ingot rejection rate by 12%.
연구 개발 애플리케이션을 위한 융합 석영 초크랄스키 도가니
주요 이점
- 맞춤형 치수 유연성: 특수 연구 장비의 비표준 크기를 수용합니다.
- 소량 배치 기능: 연구 수량에 대한 최소 주문량 요구 사항이 없습니다.
- 기술 상담: 특수한 애플리케이션 요구 사항에 대한 엔지니어링 지원.
- 신속한 프로토타이핑: 개념 증명 테스트를 위한 샘플 도가니의 빠른 배송.
TOQUARTZ® 솔루션
미국 주요 대학의 연구실은 이전에 조달한 도가니가 필요한 ±0.2mm 공차를 유지할 수 없어 중요한 재료 연구에 차질을 빚는 등 18%의 불량률에 직면했습니다.
TOQUARTZ®는 일관된 치수 정확도를 갖춘 맞춤형 설계 도가니를 제공하고 특정 연구 매개변수에 대한 최적의 도가니 사양에 대한 기술 지침을 제공함으로써 이 문제를 해결했습니다.
결정 성장 장비 제조업체를 위한 용융 석영 초크랄스키 도가니
주요 이점
- 50개 이상의 유닛에서 ±0.2mm 이내의 OD 공차를 유지하여 CZ 퍼니스 모듈과의 플러그 앤 플레이 호환성을 보장합니다.
- 표준 R/r 반경 편차 <1.5mm enables seamless seating in graphite susceptor assemblies.
- 도면당 ±0.5mm까지 조정 가능한 간격(도가니-히터 간)으로 정밀한 열 모델링을 지원합니다.
- 열 전도성 변화 <3% across production lots ensures stable heat transfer in simulation-based furnace designs.
TOQUARTZ® 솔루션
일본의 한 CZ 용광로 OEM은 도가니 바닥 반경이 일정하지 않아 정렬 불량 문제에 직면했습니다.
TOQUARTZ®는 R/r 편차가 있는 도가니를 제공합니다. <1.5mm, eliminating the need for furnace baseplate re-machining and reducing assembly time by 22%.
TOQUARTZ® 용융 석영 초크랄스키 도가니 맞춤화 서비스
맞춤형 엔지니어링 기능
차원 사용자 지정
외경, 내경, 높이, 벽 두께, 바닥 반경을 정확한 사양에 맞게 수정합니다.
특수 벽면 프로파일
벽 두께를 위에서 아래로 맞춤 변경하여 열 분포를 최적화합니다.
표면 처리 옵션
불 연마, 기계식 연마 또는 질감이 있는 표면을 포함한 특수 내부 및 외부 마감.
머티리얼 구성 조정
사용 가능한 순도 범위 내에서 특정 애플리케이션을 위한 SiO2 함량 및 미량 원소를 미세 조정합니다.
기술 도면 지원
사양 개발 및 도면 개선 지원.
사용자 지정 프로세스
기술 요구 사항 제출
고객은 상세한 기술 도면, 치수 사양 또는 애플리케이션 설명을 제출하여 프로세스를 시작합니다. 엔지니어링 팀은 입력된 정보를 검토하여 실현 가능성을 평가하고 중요한 설계 제약 조건을 파악합니다.
엔지니어링 평가 및 피드백
48시간 이내에 TOQUARTZ® 엔지니어가 제조 가능성, 공차 한계 및 재료 호환성에 대한 피드백을 제공합니다. 필요한 경우 열 또는 구조적 성능을 개선하기 위해 최적화된 설계 조정을 제안합니다.
사양 확인
기술 매개변수에 대한 상호 합의 후 제품 사양서를 최종 확정합니다. 여기에는 치수 도면, 재료 등급, 표면 마감, 특수 취급 또는 포장 요구 사항이 포함됩니다.
견적 및 리드 타임 제안
단가, 툴링 비용(해당되는 경우), 예상 리드 타임 등 확인된 사양에 따라 정식 견적이 발행됩니다. 반복 주문의 경우 일괄 가격 책정 및 배송 일정 옵션을 제공합니다.
샘플 제작 및 검증
치수 및 성능 검증을 위해 1~3개의 샘플 도가니를 제작합니다. 고객은 대량 생산을 진행하기 전에 적합성을 확인하기 위해 열 사이클링 또는 용융 테스트를 수행할 수 있습니다.
배치 제조 및 배송
샘플 승인을 받으면 엄격한 공정 관리 하에 본격적인 생산이 시작됩니다. 완성된 도가니는 검사 후 고객 요구 사항에 따라 포장되어 추적 가능한 문서 및 재료 인증서(선택 사항)와 함께 배송됩니다.
맞춤 주문에 필요한 정보
치수 사양 또는 도면
OD, ID, 높이, 벽 두께, 바닥 반경 등의 치수가 표시된 상세한 2D 또는 3D 도면을 제출해 주세요. 도면을 사용할 수 없는 경우 공차 예상치가 포함된 전체 치수 표를 제출해도 됩니다.
애플리케이션 컨텍스트 및 크리스탈 유형
사용 목적(예: 단결정 실리콘, 사파이어, GaAs) 및 결정 풀링 방법(예: CZ, FZ)을 설명합니다. 이를 통해 최적의 성능을 위해 적합한 소재 등급과 표면 처리를 추천할 수 있습니다.
작동 조건
최대 작동 온도, 열 순환 빈도, 각 성장 주기의 예상 기간을 표시하세요. 해당되는 경우 대기 유형(아르곤, 진공 등) 및 화학물질 노출 위험을 포함하세요.
장비 인터페이스 요구 사항
서셉터 맞춤, 간격 공차 및 장착 제약 조건을 포함하여 도가니가 퍼니스 시스템과 인터페이스하는 방법을 지정하세요. 도가니가 자동 로딩 시스템과 통합되어야 하는 경우 해당 요구 사항을 강조하세요.
수량 및 배송 일정
원하는 배송 일정과 함께 필요한 샘플 수와 생산 단위를 명시하세요. 긴급한 프로젝트의 경우, 우선순위를 정하여 신속한 샘플링 및 일괄 생산 옵션을 제공합니다.
품질 및 문서화 기대치
재료 추적성, 불순물 분석 또는 치수 검사 보고서와 같은 특정 문서가 필요한 경우 알려주세요. 요청 시 RoHS 선언 또는 REACH 규정 준수도 제공할 수 있습니다.
용융 석영 초크랄스키 도가니 사용 지침
설치 전 검사
- 사용하기 전에 도가니에 칩, 균열 또는 표면 결함이 있는지주의 깊게 검사하십시오.
- 치수 사양이 장비 요구 사항과 일치하는지 확인
- 필요한 경우 분말이 없는 장갑을 사용하여 초순수 이소프로필 알코올로 세척합니다.
설치 절차
- 오염을 방지하기 위해 가루가 묻지 않는 깨끗한 장갑으로만 도가니를 취급하세요.
- 지지 구조가 올바르게 정렬되고 이물질이 없는지 확인합니다.
- 스트레스 집중을 방지하기 위해 설치 시 고른 압력 적용
- 도가니와 발열체 사이의 적절한 간격 확인
온도 관리
- 열 쇼크를 방지하기 위해 권장 가열 및 냉각 속도(일반적으로 시간당 50~100°C)를 따르세요.
- 작동 중 일관된 온도 분포 유지
- 도가니 수명을 연장하기 위해 사용 후 서서히 식히기
스토리지 권장 사항
- 오염 가능성이 있는 곳에서 멀리 떨어진 깨끗하고 건조한 환경에 보관하세요.
- 보관 시 정품 포장 또는 보풀이 없는 소재 사용
- 습기 흡수를 방지하기 위해 일관된 기후 조건 유지
- 서비스 수명 추적을 위한 사용 내역이 포함된 라벨
유지 관리 및 청소
- 적절한 화학 공정을 사용하여 실리콘 잔여물을 제거합니다.
- 표면 무결성을 손상시킬 수 있는 기계적 긁힘 방지
- 재사용 전에 미세한 균열이 있는지 정기적으로 검사하기
- 문서 사용 주기를 통한 교체 시기 예측
중요 참고 사항
열충격은 도가니 조기 고장의 주요 원인입니다. 항상 권장 온도 상승 속도를 따르고 급격한 온도 변화를 피하세요. 국제결정성장협회의 연구에 따르면 가열/냉각을 제어하면 도가니 수명이 최대 40%까지 연장되는 것으로 나타났습니다.
실리콘 크리스탈 생산을 최적화할 준비가 되셨나요?
엔지니어링 팀은 전문적인 안내와 맞춤형 솔루션을 제공할 준비가 되어 있습니다.
토쿼츠와 파트너 관계를 맺어야 하는 이유
직접 공장 이점
직접 제조업체로서 수많은 중간 단계를 생략할 수 있습니다.
엔지니어링 전문성
기술팀은 재료 선택부터 디자인 최적화까지 고객을 안내하고 사양을 결과물로 변환합니다.
유연한 제조
소량 전문성과 엄격한 프로토타입 제작을 통해 표준 및 맞춤형 주문을 처리하여 긴급한 마감 기한을 맞출 수 있습니다.
품질
보증
배송 전 3단계 유효성 검사:
1. 치수 정확도,
2. 재료 순도 ,
3. 성능 임계값
글로벌 공급망
추적 가능한 마일스톤을 통해 산업 허브로의 안정적인 글로벌 물류(DE/US/JP/KR 우선순위)를 제공합니다.
삭제된 제품
직접 공장 역량을 갖춘 전문 제조업체인 TOQUARTZ는 사양 및 구현 프로세스 전반에 걸쳐 엔지니어링 지원을 통해 표준 및 맞춤형 쿼츠 솔루션을 모두 제공합니다.
자주 묻는 질문
Q: TOQUARTZ® 퓨즈드 쿼츠 초크랄스키 도가니의 최대 작동 온도는 얼마입니까?
A: TOQUARTZ® 용융 석영 조크랄스키 도가니는 최대 1600°C의 온도를 견딜 수 있어 실리콘 용융 용도에 적합합니다.
Q: TOQUARTZ® 도가니는 일반적으로 몇 번의 결정 성장 사이클을 견딜 수 있습니까?
A: 작동 조건에 따라 다르지만, 일반적으로 권장 매개변수 내에서 작동하는 경우 도가니는 여러 번의 크리스탈 풀링 사이클을 지원합니다.
Q: 배송 중 도가니를 보호하기 위해 어떤 포장을 사용하나요?
A: 도가니는 보푸라기가 없는 소재로 개별 포장하고 맞춤형 폼 인서트로 고정하며 손상을 방지하기 위해 강화 용기에 넣어 배송합니다.
Q: 주문할 때 도가니 요구 사항을 어떻게 지정해야 하나요?
A: 치수(내경/외경, 높이, 벽 두께), 수량, 적용 세부 사항, 표면 마감 또는 구성 요구 사항과 같은 특수 요구 사항을 입력합니다.
Q: 긴급한 요구 사항을 위한 긴급 제조 옵션을 제공하나요?
A: 예, 중요한 일정 요구 사항에 대해 신속한 제조를 제공하며, 일반적으로 리드 타임을 30~50% 단축하는 러시 옵션을 제공합니다.
기술 상담 및 가격 책정은 엔지니어링 팀에 문의하세요. 애플리케이션 요구 사항에 맞는 최적의 사양을 선택할 수 있도록 도와드리겠습니다.
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