석영 용광로 도어의 특징
TOQUARTZ®에서 제조한 석영 용광로 도어는 산업용 용광로의 고온 응용 분야를 위해 설계된 정밀 엔지니어링 부품입니다. 이러한 핵심 부품은 열적, 기계적, 화학적 특성의 고유한 조합을 통해 까다로운 환경에서 최적의 성능을 보장합니다.
고온 내성
최대 1600°C의 작동 온도를 변형이나 성능 저하 없이 견딜 수 있어 반도체 및 태양광 제조의 고온 공정에 이상적입니다.
열 충격 저항
열 순환 및 급격한 온도 변화에 대한 내성이 뛰어나 까다로운 열 환경에서도 균열을 방지하고 작동 수명을 연장합니다.
낮은 열 팽창
5.5×10-⁷/K의 열팽창 계수를 가진 석영 용광로 도어는 온도 변동 시 치수 안정성을 유지하여 안정적인 밀봉과 공정 무결성을 보장합니다.
- 반도체 공정의 부식성 물질을 견뎌냅니다.
- 반도체 등급 99.99% SiO2
- 사용자 지정 가능한 치수
석영로 도어의 기술 사양
TOQUARTZ® 석영로 도어는 정밀한 사양에 따라 제조되어 까다로운 고온 응용 분야에서 최적의 성능을 보장합니다. 다음 기술 데이터는 당사 제품의 물리적, 화학적 및 열적 특성에 대한 자세한 정보를 제공합니다.
| 속성 | 가치 | 단위 |
| 재료 | 고순도 석영 유리 | – |
| SiO₂ 함량 | ≥99.99 | % |
| 최대 작동 온도 | 1600 | °C |
| 열팽창 계수 | 5.5×10-⁷ | /K |
| 열 전도성 | 1.3 | W/(m-K) |
| 밀도 | 2.2 | g/cm³ |
| 인장 강도 | 50 | MPa |
| 치수 허용 오차 | ±0.2 | mm |
| 표면 마감 | 불 연마 | – |
| 내화학성 | 산, 알칼리 및 불소 가스에 대한 내성 | – |
TOQUARTZ® 석영로 도어로 중요한 과제 해결
태양광 제조의 석영로 도어
주요 이점
-
대기 유지 정확도 ±1.5% 이내
균일한 도핑 프로파일을 위해 950°C 확산 동안 도펀트 가스 농도 안정성을 유지합니다. -
도핑 균일성 편차 <2% across 156mm wafers
처리량이 많은 태양광 라인에서 일관된 시트 저항과 셀 효율을 보장합니다. -
85%가 알루미나 도어 대비 오염 위험 감소
고순도 석영은 금속 이온 확산을 방지하여 실리콘 웨이퍼의 무결성을 보존합니다.
TOQUARTZ® 솔루션
한국의 한 티어1 태양전지 제조업체는 용광로 끝단에서 가스 누출로 인한 일관성 없는 도핑으로 인해 2.8%의 수율 손실이 발생했다고 보고했습니다.
TOQUARTZ®는 최적화된 O-링 홈과 99.99% SiO₂ 순도를 갖춘 맞춤형 석영로 도어를 공급했습니다. 설치 후 수율이 2.4% 향상되고 도펀트 가스 사용량이 11% 감소하여 재료비가 월 $18,000 이상 절감되었습니다.
반도체 공정의 용융 석영로 도어
주요 이점
-
파티클 생성 <0.1 pcs/cm²/hour under 1200°C
클래스 100 클린룸 산화 공정에서 오염을 최소화합니다. -
차원 드리프트 <0.05mm after 500 thermal cycles
빠른 어닐링 및 산화 사이클 동안 씰링 무결성을 유지합니다. -
최대 1000ppm의 Cl₂ 및 HCl에 대한 내식성
가혹한 반도체 가스 환경에서 구조적 안정성을 보장합니다.
TOQUARTZ® 솔루션
미국의 한 반도체 팹에서는 염산(HCl) 산화 중 세라믹 도어 부식으로 인해 2개월 동안 4번의 예기치 않은 가동 중단을 경험했습니다.
내화학성과 치수 안정성이 강화된 석영 용광로 도어를 공급한 TOQUARTZ®. 가동 중지 시간이 92% 감소하여 $380,000의 생산 손실이 절감되고 유지보수 빈도가 60% 감소했습니다.
실험실 연구 애플리케이션의 석영 유리로 도어
주요 이점
-
400-800nm에서 90% 이상의 광 투과율
결정화 및 반응 과정을 실시간으로 시각적으로 모니터링할 수 있습니다. -
허용 오차 ±0.2mm의 멀티 포트 통합
소형 실험실 설정에서 열전대, 가스 주입구 및 샘플링 포트를 지원합니다. -
사용자 지정 처리 시간 <18 days for R&D projects
신속한 프로토타입 제작 및 제공으로 실험 일정을 단축합니다.
TOQUARTZ® 솔루션
일본의 한 대학 연구실에서는 시간에 민감한 결정 성장 연구를 위해 듀얼 뷰포트와 3개의 가스 포트가 있는 석영로 도어가 필요했습니다. 표준 공급업체는 6~8주의 견적을 제시했습니다.
TOQUARTZ®는 17일 만에 완전 맞춤형 장치를 납품했습니다. 이 프로젝트는 자금 조달 목표를 달성했으며, 연구소는 실험 처리량이 30% 향상되었다고 보고했습니다.
용융 실리카로 도어용 TOQUARTZ® 커스터마이징 서비스
엔지니어링 및 디자인
- 기술 도면 변환 및 최적화
- 복잡한 형상을 위한 3D 모델링
- 특정 애플리케이션을 위한 재료 선택
- 최적의 성능을 위한 설계 컨설팅
제조 역량
- 사용자 지정 치수 및 벽 두께
- 특수 씰링 표면 구성
- 뷰포트 또는 액세스 포트 통합
- 특정 씰링 요구 사항을 위한 O링 그루브 디자인
신속 서비스
- 디자인 검증을 위한 신속한 프로토타이핑
- 테스트를 위한 소량 생산
- 긴급 교체 제조
- 재고 품목의 경우 24시간 배송
석영로 도어 사용 지침
석영로 도어를 올바르게 취급, 설치 및 유지보수하는 것은 서비스 수명을 극대화하고 고온 응용 분야에서 최적의 성능을 보장하는 데 필수적입니다. 다음 지침을 준수하여 석영 부품의 손상을 방지하고 작동 수명을 연장하세요.
취급 및 보관
- 석영로 문을 다룰 때는 표면 오염을 방지하기 위해 가루가 없는 깨끗한 장갑을 착용합니다.
- 원래 포장에 넣어 보관하거나 충격이 닿지 않는 깨끗하고 패딩 처리된 표면에 보관하세요.
- 온도와 습도가 제어된 보관 환경 유지(40-60% RH)
- 보관 중 불화수소산(HF)에 노출되지 않도록 주의하세요.
- 설치 전 미세 균열이나 손상 여부를 검사하세요.
설치 절차
- 설치 전 마운팅 표면을 깨끗하게 청소하세요.
- 공정 가스와 호환되는 적절한 고온 오링 또는 개스킷을 사용하십시오.
- 고정할 때 고른 압력 적용 - 응력 지점을 만들 수 있는 과도한 조임은 피하세요고정할 때 고른 압력 적용 - 응력 지점을 만들 수 있는 과도한 조임은 피하세요.
- 하드웨어 장착 시 권장 토크 사양을 따르세요.
- 작동 중 열팽창을 위한 충분한 여유 공간 확보
온도 관리
- 최대 정격 온도 준수(표준 석영 도어의 경우 1200°C)
- 난방 속도를 다음과 같이 제어합니다. <100°C/hour during initial warm-up to prevent thermal shock
- 국부적인 스트레스를 방지하기 위해 도어 전체의 온도 균일성 보장
- 용광로 시스템 전원을 끌 때 점진적인 냉각 허용
- 냉각 시스템이나 방열판과의 직접적인 접촉을 피하세요.
유지 관리 및 청소
- 씰링 표면의 침전물이나 손상 여부를 정기적으로 검사합니다.
- 고순도 이소프로필 알코올 또는 아세톤과 보푸라기가 없는 물티슈로 닦아주세요.
- 잘 지워지지 않는 침전물의 경우 묽은 산성 용액(HF 제외)을 사용한 후 철저히 헹굽니다.
- 제조업체의 일정에 따라 O링과 개스킷을 교체합니다.
- 유지 관리 이력을 문서화하여 구성 요소 수명 및 성능 추적
교체 표시기
- 눈에 보이는 미세 균열 또는 표면 탈석화
- 프로세스 분위기 유지의 어려움
- 프로세스 성능 또는 수율 저하
- 가스 소비량 또는 압력 변동 증가
퍼니스 구성 요소에 대한 엔지니어링 지원이 필요하신가요?
및 설계 최적화를 통해 특정 환경에서 최적의 성능을 보장합니다.
토쿼츠와 파트너 관계를 맺어야 하는 이유
직접 공장 이점
직접 제조업체로서 수많은 중간 단계를 생략할 수 있습니다.
엔지니어링 전문성
기술팀은 재료 선택부터 디자인 최적화까지 고객을 안내하고 사양을 결과물로 변환합니다.
유연한 제조
소량 전문성과 엄격한 프로토타입 제작을 통해 표준 및 맞춤형 주문을 처리하여 긴급한 마감 기한을 맞출 수 있습니다.
품질
보증
배송 전 3단계 유효성 검사:
1. 치수 정확도,
2. 재료 순도 ,
3. 성능 임계값
글로벌 공급망
추적 가능한 마일스톤을 통해 산업 허브로의 안정적인 글로벌 물류(DE/US/JP/KR 우선순위)를 제공합니다.
삭제된 제품
직접 공장 역량을 갖춘 전문 제조업체인 TOQUARTZ는 사양 및 구현 프로세스 전반에 걸쳐 엔지니어링 지원을 통해 표준 및 맞춤형 쿼츠 솔루션을 모두 제공합니다.
자주 묻는 질문
Q: 석영로 도어는 어떤 용도로 사용되나요?
A: 석영 퍼니스 도어는 고온 퍼니스의 끝을 밀봉하는 동시에 내부 온도와 대기 조건을 안정적으로 유지하는 데 사용됩니다. 이는 공정 무결성과 오염 제어가 필수적인 반도체 제조, 태양광 생산 및 실험실 연구에서 중요한 구성 요소입니다. 도어는 정확한 가스 구성을 유지하고 열 손실을 방지하는 동시에 일부 구성에서는 공정 모니터링이 가능합니다.
Q: 확산로에서 석영로 도어를 교체하는 방법은 무엇입니까?
A: 확산로에서 석영로 도어를 교체합니다:
1. 열 충격을 방지하기 위해 용광로가 완전히 식었는지 확인합니다.
2. 문에 연결된 가스 라인이나 모니터링 장비를 모두 분리합니다.
3. 도어를 지지하면서 장착 하드웨어를 제거하여 낙하를 방지합니다.
4. 발열체에 닿지 않도록 조심스럽게 기존 도어를 꺼냅니다.
5. 장착 표면을 깨끗하게 청소합니다.
6. O링 또는 개스킷 점검 및 교체
7. 적절한 장착 하드웨어를 사용하여 새 쿼츠 도어를 설치합니다.
8. 패스너를 십자 패턴으로 조여 압력을 균일하게 유지합니다.
9. 가스 라인 및 모니터링 장비 재연결
10. 공정 가스에 적합한 방법을 사용하여 누출을 테스트합니다.
Q: 석영 용광로 도어가 고온 사이클을 견딜 수 있습니까?
A: 예, 석영로 도어는 고온 사이클을 견딜 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 열팽창 계수(5.5×10-⁷/K)가 낮아 가열 및 냉각 사이클 중 열 충격과 치수 변화에 대한 내성이 뛰어납니다. 적절한 석영 도어는 일반적으로 가열 및 냉각 속도가 제어되는 경우(일반적으로 초기 가열 및 최종 냉각 단계에서 시간당 100°C 미만 권장) 실온과 작동 온도 사이에서 최대 1600°C까지 수천 번의 열 사이클을 견딜 수 있습니다. 최적의 사이클링 성능을 위해서는 균일한 가열/냉각과 열팽창을 최소화할 수 있는 적절한 마운팅이 필수적입니다.
Q: 석영로 도어의 최대 온도는 얼마인가요?
A: 표준 고순도 석영 용광로 도어는 최대 1600°C의 연속 작동 온도를 견딜 수 있습니다. 실제 최대 온도는 다음과 같은 여러 요인에 따라 달라집니다:
1. 노출 시간(지속적 또는 간헐적)
2. 온도 변화율(내열 충격성)
3. 장착 중 기계적 스트레스
4. 알칼리 오염 물질의 존재(연화점을 낮출 수 있음) 4.
1600°C에 근접하는 온도에서 석영은 시간이 지남에 따라 탈석화되기 시작하여 기계적 무결성을 손상시킬 수 있는 결정 구조를 형성합니다. 1600°C 이상의 온도가 필요한 애플리케이션의 경우 특수 배합 또는 대체 재료가 필요할 수 있습니다.
Q: 튜브 퍼니스용 석영 퍼니스 도어를 맞춤 주문하려면 어떻게 해야 하나요?
A: 튜브 퍼니스용 석영 퍼니스 도어를 맞춤 주문하려면 다음 정보를 제공하세요:
1. 용광로 튜브의 외경 및 벽 두께
2. 필요한 씰링 방법(O링, 플랜지 연결 등)
3. 필요한 모든 포트(가스 주입구/배출구, 열전대 액세스 등)
4. 온도 범위 및 사이클링 요구 사항
5. 공정 대기 구성(특히 부식성 가스가 있는 경우)
6. 현재 설정의 기술 도면 또는 사진(가능한 경우)
7. 디자인 최적화에 도움이 되는 애플리케이션 설명
TOQUARTZ는 고객의 요구 사항에 따라 맞춤형 디자인을 개발하고, 승인을 위한 기술 도면을 제공하며, 맞춤형 디자인의 경우 통상 2~3주의 리드 타임으로 정확한 사양에 따라 제조할 수 있습니다.
기술 상담 및 가격 책정은 엔지니어링 팀에 문의하세요. 애플리케이션 요구 사항에 맞는 최적의 사양을 선택할 수 있도록 도와드리겠습니다.
한국어 
English 
Русский 
العربية 
Deutsch 
Español 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe