석영 확산로 튜브의 주요 특징
TOQUARTZ® 석영 확산로 튜브는 고순도 용융 실리카로 설계되어 정밀 열처리 응용 분야에 필수적인 탁월한 성능 특성을 제공합니다. 이러한 특징은 까다로운 반도체 및 태양전지 제조 환경에서도 신뢰성을 보장합니다.
열 안정성
1100°C에서 연속 작동 및 최대 1350°C의 단기간 노출을 최소한의 변형으로 견뎌냅니다. 열팽창 계수(5.5×10-⁷/°C)가 매우 낮아 급격한 온도 변화 시 균열을 방지합니다.
내화학성
반도체 공정에 일반적으로 사용되는 산, 알칼리, 용융 염 및 할로겐 가스에 대한 내성이 뛰어납니다. 고온의 가혹한 화학적 환경에서도 구조적 무결성을 유지합니다.
정밀 치수 제어
직경 및 벽 두께에 대해 ±0.2mm의 표준 정밀도로 엄격한 공차로 제조됩니다. 최적의 씰링 및 가스 흐름 특성이 필요한 중요 애플리케이션을 위해 ±0.1mm의 향상된 정밀도를 제공합니다.
- 고순도 99.99% SiO₂ 함량
- 280-780nm 파장 내에서 1mm 두께의 경우 ≥93% 전송
- 7×10⁷ Ω-cm의 전기 저항
용융 석영 확산로 튜브의 사양
TOQUARTZ® 석영 확산로 튜브는 고온 처리 환경에서 최적의 성능을 보장하는 정밀한 기술 사양에 따라 제조됩니다. 각 튜브는 치수 정확도와 재료 특성을 검증하기 위해 엄격한 품질 관리 테스트를 거칩니다.
머티리얼 속성
| 속성 | 가치 |
| 1. 물리적 속성 | |
| 밀도 | 2.2g/cm3 |
| 굴곡 강도 | 48 MPa |
| 탄성 계수 | 72 GPa |
| 푸아송 비율 | 0.14-0.17 |
| 압축 강도 | 1100 MPa |
| 굽힘 강도 | 67 MPa |
| 모스 경도 | 5.5-6.5 |
| 2. 열 및 광학 특성 | |
| 최대 작동 온도(장기) | 1100°C |
| 최대 작동 온도(단기) | 1350°C |
| 열 전도성 | 1.4 W/m-K |
| 열팽창 계수 | 5.5×10-⁷ /°C |
| 굴절률 | 1.4585 |
| 특정 저항 | 7×10⁷ Ω-cm |
| 전송(280-780nm) | ≥93%(두께 1mm) |
표준 치수
| 모델 | 외경(mm) | 내경(mm) | 벽 두께(mm) | 길이(mm) | SiO₂ 콘텐츠(%) |
| AT-SY-XG001 | 55 | 50 | 2.5 | 1500-2000 | 99.99 |
| AT-SY-XG002 | 90 | 83 | 3.5 | 1500-2000 | 99.99 |
| AT-SY-XG003 | 200 | 190 | 5 | 2000-3500 | 99.99 |
| AT-SY-XG004 | 330 | 314 | 8 | 2000-3500 | 99.99 |
| AT-SY-XG005 | 430 | 410 | 10 | 2000-3500 | 99.99 |
| AT-SY-XG006 | 550 | 520 | 15 | 2000-3500 | 99.99 |
치수 허용 오차
| 외경(mm) | 외경(%) | 두께(%) | 원형도(%) | 최대 곡률(%) | 끝면 평탄도(mm) | 끝면 직각도(mm) |
| 200≤φ＜250 | ±0.5 | ±10 | ±0.5 | 0.3 | ±0.1 | ±0.5 |
| φ≥250 | ±0.5 | ±10 | ±0.5 | 0.3 | ±0.1 | ±0.5 |
TOQUARTZ® 석영 확산로 튜브로 과제 해결
반도체 제조의 석영 확산로 튜브
주요 이점
-
300mm 웨이퍼 배치 전반에 걸쳐 최적화된 가스 흐름 균일성
내부 진원도 허용 오차 ≤0.3%는 도핑 및 산화 과정에서 일관된 가스 분포를 보장합니다. -
1200°C 연속 작동 시 치수 안정성
벽 두께 편차가 ≤±0.2mm로 장주기 어닐링에서 열 변형을 방지합니다. -
클린룸 환경에서의 입자 생성 감소
표면 거칠기 Ra ≤0.8μm는 고순도 처리 시 미세 입자 흘림을 최소화합니다.
TOQUARTZ® 솔루션
미국의 한 반도체 팹에서 300mm 배치 확산에서 가스 흐름 난류로 인해 12% 웨이퍼 수율 손실이 발생했다고 보고했습니다. TOQUARTZ®는 향상된 진원도와 ±0.2mm 벽 공차를 가진 석영 확산 튜브를 공급했습니다. 구현 후 수율 손실은 3%로 감소했습니다. 고객은 2개월 이내에 4개의 확산 라인 모두에서 TOQUARTZ 튜브를 표준화했습니다.
태양 전지 생산에 사용되는 용융 석영 확산로 튜브
주요 이점
-
300회 이상의 열 순환 내구성
튜브는 1000°C에서 300회 이상의 인/붕소 도핑 사이클을 거친 후에도 구조적 무결성을 유지합니다. -
진공 무결성을 위한 기밀 플랜지 설계
맞춤형 플랜지 씰링은 다음을 달성합니다. <10⁻³ mbar leak rate, verified by helium leak testing. -
안정적인 증착을 위한 벽 두께 균일성
두께 편차가 ≤±0.15mm로 LPCVD 시 균일한 실리콘 질화물 코팅을 보장합니다.
TOQUARTZ® 솔루션
한국의 한 태양광 모듈 공장은 120 사이클 후 튜브 고장에 직면하여 월 18시간의 다운타임을 초래했습니다. TOQUARTZ®는 최적화된 벽면 분포와 플랜지 씰링을 갖춘 강화 석영 튜브를 공급했습니다. 튜브 수명이 320사이클로 연장되어 가동 중단 시간이 월 4시간으로 감소했습니다. 고객은 한 분기 내에 주문량을 40%까지 확대했습니다.
연구 응용 분야의 용융 실리카 확산로 튜브
주요 이점
-
사용자 지정 사양의 경우 3주 소요되는 MOQ 없음
실험실 규모의 설정을 위해 ±0.1mm로 조정된 ID/OD 허용 오차로 단일 단위 주문을 지원합니다. -
CVD 유연성을 위한 멀티 인렛 및 포트 통합
사용자 도면을 기준으로 튜브당 최대 4개의 가스 주입구와 2개의 열전대 포트를 지원합니다. -
실험적 반복을 위한 신속한 프로토타이핑
근무일 기준 18일 만에 프로토타입을 제공하므로 새로운 열 공정을 빠르게 검증할 수 있습니다.
TOQUARTZ® 솔루션
유럽의 한 대학 연구실에서는 새로운 CVD 설정을 위해 280mm OD의 2포트 쿼츠 튜브가 필요했습니다. 현지 공급업체는 5단위 이상의 MOQ로 10주 리드 타임을 제시했습니다. TOQUARTZ®는 19일 만에 단일 유닛 프로토타입을 ±0.1mm 공차로 납품했습니다. 이 연구소는 일정보다 6주 앞서 보조금 마일스톤을 완료하고 3가지 변형을 재주문했습니다.
석영 확산로 튜브용 TOQUARTZ® 맞춤형 옵션
TOQUARTZ®는 고객의 특정 공정 요구 사항을 충족하기 위해 석영 확산로 튜브에 대한 광범위한 맞춤화 기능을 제공합니다. 당사의 엔지니어링 팀은 고객과 직접 협력하여 고객의 고유한 애플리케이션에 맞게 성능을 최적화하는 솔루션을 개발합니다.
최종 마무리 옵션
- 플랜지 엔드(표준 또는 맞춤형 디자인)
- 접지 조인트 연결
- 불로 연마한 끝
- 구슬 끝
- 입구가 있는 폐쇄형/밀폐형 끝단
구조적 수정
- 여러 가스 주입구
- 열전대 포트
- 내부 배플
- 다중 영역 구성
- 동심원 튜브 디자인
표면 처리
- 지면/서리가 낀 표면
- 고광택 내부 표면
- 불투명 섹션
- 눈금 표시
- 특수 코팅
사용자 지정 프로세스
-
요구 사항 분석
기술 사양, 프로세스 매개변수, 운영 환경을 분석합니다. -
디자인 및 엔지니어링
당사의 엔지니어는 고객의 승인을 위해 세부 도면과 생산 사양을 개발합니다. -
프로토타입 제작
정식 생산 전에 테스트 및 검증을 위해 샘플을 제작합니다. -
생산 및 품질 관리
포괄적인 품질 관리 및 문서화를 통한 완벽한 프로덕션.
용융 석영 확산로 튜브 사용 지침
석영 확산로 튜브의 올바른 취급, 설치 및 유지 관리는 성능과 작동 수명을 극대화하는 데 필수적입니다. 이 지침을 따르면 열처리 애플리케이션에서 손상을 방지하고 일관된 결과를 보장하는 데 도움이 됩니다.
취급 및 설치
- 석영 튜브를 다룰 때는 오염과 지문을 방지하기 위해 항상 깨끗하고 가루가 묻지 않는 장갑을 착용하세요.
- 운송 및 설치 시 기계적 스트레스를 방지하기 위해 전체 길이에 걸쳐 튜브를 지지합니다.
- 지지대가 적절한 정렬을 유지하고 열팽창을 수용하는지 확인합니다.
- 응력 집중을 방지하기 위해 플랜지 연결부를 조일 때 균일한 토크를 적용하세요.
- 작동 온도 범위에 맞는 호환 가능한 씰링 재료를 사용하세요.
청소 및 유지 관리
- 불산, 염산 또는 질산 혼합물과 같은 묽은 산성 용액(농도 5% 미만)을 사용하여 세척하세요.
- 과도한 에칭이나 부적절한 세척을 방지하기 위해 산 세척 시간을 엄격하게 제어합니다.
- 산 세척 후에는 탈이온수로 깨끗이 헹구어 표면의 잔여 산을 모두 제거합니다.
- 산성 세척 폐수를 폐기하기 전에 환경 규정을 준수하도록 적절히 처리하세요.
- 유지보수가 필요할 수 있는 침전물, 변색 또는 미세 균열이 있는지 정기적으로 검사하세요.
온도 관리 가이드라인
- 직경 200mm 이하 튜브의 경우: 최대 5°C/min 최대 1100°C
- 직경 200mm 이상 튜브의 경우: 최대 3°C/min 최대 1100°C
- 1100°C 이상: 최대 2°C/분으로 속도 감소
- 작동 온도에서 800°C까지: 최대 3°C/분
- 800°C ~ 500°C: 최대 5°C/분
- 500°C 미만: 자연 냉각 허용
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토쿼츠와 파트너 관계를 맺어야 하는 이유
직접 공장 이점
직접 제조업체로서 수많은 중간 단계를 생략할 수 있습니다.
엔지니어링 전문성
기술팀은 재료 선택부터 디자인 최적화까지 고객을 안내하고 사양을 결과물로 변환합니다.
유연한 제조
소량 전문성과 엄격한 프로토타입 제작을 통해 표준 및 맞춤형 주문을 처리하여 긴급한 마감 기한을 맞출 수 있습니다.
품질
보증
배송 전 3단계 유효성 검사:
1. 치수 정확도,
2. 재료 순도 ,
3. 성능 임계값
글로벌 공급망
추적 가능한 마일스톤을 통해 산업 허브로의 안정적인 글로벌 물류(DE/US/JP/KR 우선순위)를 제공합니다.
삭제된 제품
직접 공장 역량을 갖춘 전문 제조업체인 TOQUARTZ는 사양 및 구현 프로세스 전반에 걸쳐 엔지니어링 지원을 통해 표준 및 맞춤형 쿼츠 솔루션을 모두 제공합니다.
자주 묻는 질문
Q: 쿼츠 확산 튜브는 어떤 용도로 사용되나요?
A: 석영 확산 튜브는 반도체 제조, 태양전지 생산 및 고온 열처리 애플리케이션을 위한 실험실 환경에서 사용됩니다. 도핑, 어닐링, 산화, 화학 기상 증착(CVD) 등의 공정을 위한 제어된 환경을 제공합니다. 고순도, 열 안정성 및 내화학성 덕분에 오염 제어와 정밀한 온도 관리가 필수적인 이러한 중요한 애플리케이션에 이상적입니다.
Q: 반도체 공정에 사용되는 석영 튜브의 순도는 얼마입니까?
A: 반도체 공정 애플리케이션의 경우 일반적으로 순도 99.99% SiO₂ 이상의 석영 튜브가 필요합니다. TOQUARTZ 확산 튜브는 금속 불순물을 10억 분의 1 수준으로 제어하여 최대 99.995% SiO₂ 순도를 제공합니다. 이러한 높은 순도는 미량의 불순물도 디바이스 성능을 저하시킬 수 있는 반도체 웨이퍼 공정에서 오염을 방지하는 데 필수적입니다. 태양 전지 제조 또는 일반 실험실 사용과 같이 덜 중요한 애플리케이션의 경우 순도가 99.99%인 튜브로도 충분합니다.
Q: 쿼츠 확산 튜브의 온도 제한은 어떻게 되나요?
A: TOQUARTZ® 확산 튜브는 최대 1100°C의 온도에서 연속 작동 및 최대 1350°C의 단기간 노출을 견딜 수 있습니다. 실제 온도 한계는 튜브 치수, 벽 두께, 지지대 구성, 가열/냉각 속도 등 여러 요인에 따라 달라집니다. 직경이 큰 튜브는 처짐이나 변형을 방지하기 위해 더 낮은 최대 온도가 필요할 수 있습니다. 1200°C 이상에서 작동해야 하는 애플리케이션의 경우, 튜브 설계 및 재료 선택을 최적화하기 위해 엔지니어링 팀과 상담하는 것이 좋습니다. 모든 튜브는 열 충격을 방지하고 작동 수명을 연장하기 위해 제어된 속도(일반적으로 3~5°C/분)로 가열 및 냉각해야 합니다.
Q: 쿼츠 확산 튜브에 사용할 수 있는 최대 치수는 얼마인가요?
A: TOQUARTZ®는 외경이 55mm ~ 550mm이고 벽 두께가 2.5mm ~ 15mm인 확산 튜브를 제조할 수 있습니다. 대구경 튜브의 표준 최대 길이는 3500mm이지만 특정 요구 사항에 따라 맞춤형 길이를 생산할 수 있습니다. 직경이 매우 크거나(550mm 이상) 특수한 구성의 경우 엔지니어링 팀에 문의하여 타당성 평가를 받으시기 바랍니다. 치수 공차는 직경의 경우 ±0.5%, 벽 두께의 경우 ±10%로 유지되며 중요한 애플리케이션을 위해 향상된 정밀도를 사용할 수 있습니다.
Q: 대형 쿼츠 튜브의 배송 및 취급 요건은 어떻게 되나요?
A: 대구경 석영 확산 튜브는 운송 중 손상을 방지하기 위해 특수 포장 및 취급 절차가 필요합니다. TOQUARTZ는 국제 배송 시 튜브를 안전하게 보호하기 위해 서스펜션 마운팅과 충격 흡수 소재가 포함된 맞춤형 목재 상자를 사용합니다. 각 튜브는 오염을 방지하기 위해 개별적으로 보호용 폼으로 포장하고 플라스틱으로 밀봉합니다. 길이 2m 또는 직경 300mm가 넘는 튜브의 경우 특수 화물 운송을 권장합니다. 물류팀은 해외 주문의 경우 통관 서류를 포함한 모든 배송 세부 정보를 조정합니다. 수령 후 튜브는 포장 상태 그대로 검사하고 설치 전까지 패딩 처리된 지지대 위에 수평으로 보관해야 합니다.
기술 상담 및 가격 책정은 엔지니어링 팀에 문의하세요. 애플리케이션 요구 사항에 맞는 최적의 사양을 선택할 수 있도록 도와드리겠습니다.
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