플랜지 석영 유리 튜브의 주요 특징
TOQUARTZ® 플랜지형 석영 유리 튜브는 고순도 석영 소재로 제조되어 까다로운 실험실 및 산업 분야에 필요한 탁월한 열, 화학 및 광학적 특성을 제공합니다. 각 튜브는 엄격한 품질 관리를 거쳐 중요한 환경에서 일관된 성능을 보장합니다.
내열성
최대 1200°C의 온도를 견디며 연속 작동이 가능하고 최대 1450°C의 단기 노출 내성을 갖췄습니다. 1730°C의 연화점은 고온 애플리케이션에 상당한 열 마진을 제공합니다.
내화학성
불산을 제외한 모든 화학 물질에 거의 불활성이며 세라믹보다 30배, 스테인리스 스틸보다 150배 더 뛰어난 내산성을 자랑합니다. 높은 온도에서도 화학적 안정성을 유지합니다.
정밀 플랜지 설계
각 튜브는 최적의 밀봉과 다른 구성 요소와의 연결을 위해 세심하게 형성된 플랜지가 특징입니다. 정밀 플랜지는 가스 흐름 시스템과 진공 애플리케이션에 필수적인 안전하고 누출이 없는 연결을 제공합니다.

- 불산을 제외한 모든 화학 물질에 거의 불활성입니다.
- 균열 없는 빠른 온도 변화
- UV 스펙트럼 투과율>80%
플랜지 석영 유리 튜브의 사양
TOQUARTZ® 플랜지형 석영 유리 튜브는 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 치수와 구성으로 제공됩니다. 모든 사양은 일관된 성능을 보장하기 위해 엄격한 품질 관리 프로세스를 통해 검증됩니다.
머티리얼 속성
속성 | 가치 |
1. 물리적 속성 | |
재료 | 고순도 용융 석영(≥99.99% SiO₂) |
밀도 | 2.2g/cm³ |
인장 강도 | ≥ 50 MPa |
굴곡 강도 | 최대 350MPa |
열팽창 계수 | 5.5 × 10-⁷ /°C |
2. 열 전도성 | 1.3-1.4 W/(m-K) |
열 속성 | |
최대 작동 온도(연속) | 1200℃ |
최대 작동 온도(단기) | 1450℃ |
연화 포인트 | 1730℃ |
열 충격 저항 | 우수(급격한 온도 변화에도 균열 없이 견딜 수 있음) |
3. 광학 속성 | |
가시광선 투과율 | ≥ 93% |
자외선 투과율(254nm) | ≥ 80% |
굴절률(589.3nm) | 1.4585 |
4. 전기적 특성 | |
체적 저항(20°C) | ≥ 10¹⁸ Ω-cm |
유전체 강도 | 25-40 kV/mm |
맞춤형 치수
모델 | 외경(mm) | 플랜지 외경(mm) | 길이(mm) | SiO₂ 콘텐츠(%) | 참고 |
AT-FLG-SY01 | 사용자 지정 | 사용자 지정 | 사용자 지정 | 99.99 | 한쪽 끝 밀봉 / 양쪽 끝 개방 |
TOQUARTZ® 플랜지형 석영 유리관으로 과제 해결
고온 실험실 반응을 위한 플랜지형 석영 유리관
주요 이점
-
열 응력 하에서의 플랜지 씰링 무결성
25°C~1100°C에서 50회 이상의 열 사이클 후에도 누수 없는 밀봉 상태를 유지합니다. -
오염 없는 표면 마감
표면 거칠기 Ra ≤ 0.4μm는 산성 증기 테스트에서 화학 잔류물이 남는 것을 줄여줍니다. -
산성도가 높은 환경에서의 치수 안정성
<0.02% dimensional change after 72h exposure to HCl vapor at 900°C.
TOQUARTZ® 솔루션
독일의 한 대학 실험실에서는 이전에 950°C의 산성 증기 테스트에서 붕규산 튜브를 사용했는데, 플랜지 변형과 누출로 인해 18%의 고장이 발생했습니다. TOQUARTZ® 플랜지 석영 튜브로 전환한 후 60주기 동안 0% 누출을 달성하고 시료 오염을 92%까지 줄여 3주 동안 중단 없이 테스트를 진행할 수 있었습니다.
CVD 및 반도체 공정용 플랜지형 석영 유리관
주요 이점
-
초저금속 이온 오염
알, 나, 케이 콘텐츠 < 반도체 수준의 순도를 보장하는 ICP-MS로 확인된 1ppm 미만입니다. -
플랜지 평탄도 공차 ≤ ±0.05mm
자동화된 CVD 챔버 어셈블리에서 균일한 가스 흐름과 밀봉을 보장합니다. -
열 순환 내구성 1000 사이클 이상
1000x 200°C-1000°C 열 사이클 후에도 미세 균열이 형성되지 않습니다(ASTM C1525 기준).
TOQUARTZ® 솔루션
일본의 한 반도체 OEM은 CVD 튜브의 미세 누출로 인해 12% 웨이퍼 수율 손실에 직면했습니다. TOQUARTZ®는 플랜지 평탄도가 0.05mm 이하이고 불순물 수준이 검증된 맞춤형 플랜지 튜브를 제공했습니다. <1ppm. Yield loss dropped to <1.5%, and maintenance intervals extended from 3 to 9 months.
산업용 난방 및 가공용 플랜지형 석영 유리관
주요 이점
-
플랜지 기계적 강도 ≥ 45MPa
플랜지 균열이나 뒤틀림 없이 1150°C에서 24시간 연중무휴로 작동하는 용광로를 견뎌냅니다. -
1.5m 이상 벽 두께 균일성 ±0.1mm
열 핫스팟을 방지하고 긴 튜브 용광로에서 고른 열 분배를 보장합니다. -
주기적 부하에서의 피로 저항
모의 퍼니스 테스트에서 10,000번의 열 사이클(ΔT = 800°C) 후에도 구조적 고장이 발생하지 않았습니다.
TOQUARTZ® 솔루션
미국의 한 열처리 장비 제조업체는 4~6개월마다 알루미나 튜브에서 플랜지 균열이 발생한다고 보고했습니다. 강화된 플랜지 형상과 ±0.1mm 벽 공차를 갖춘 TOQUARTZ® 플랜지 석영 튜브를 채택한 후 튜브 수명이 18개월로 늘어나 연간 가동 중단 시간이 72시간 단축되었습니다.
플랜지형 석영 유리관용 TOQUARTZ® 맞춤형 서비스
TOQUARTZ®는 고객의 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞는 맞춤형 플랜지 석영 튜브 제조를 전문으로 합니다. 당사의 엔지니어링 팀은 고객과 긴밀히 협력하여 고유한 기술적 과제를 해결하는 솔루션을 개발합니다.
맞춤형 디자인 기능
-
맞춤형 플랜지 구성
특정 연결 요구 사항을 위한 표준, 접지 유리 또는 특수 설계 -
다중 플랜지 설계
복잡한 설정을 위한 여러 액세스 포인트 또는 연결 플랜지가 있는 튜브 -
통합 구성 요소
배플, 샘플 홀더 또는 특수 내부 기능이 내장된 튜브 -
맞춤형 표면 처리
특정 광학 또는 밀봉 요구 사항을 위한 불 연마, 연마 또는 특수 표면 마감 처리
사용자 지정 프로세스
-
기술 상담
유니티 엔지니어가 애플리케이션 요구 사항을 검토하고 최적의 설계에 대한 기술적 의견을 제공합니다. -
설계 및 도면 승인
제작 전 검토 및 승인을 위해 상세한 기술 도면을 작성합니다. -
프로토타입 개발(선택 사항)
복잡한 디자인의 경우 테스트 및 검증을 위해 프로토타입 샘플을 제작할 수 있습니다. -
생산 및 품질 관리
치수 정확도와 재료 품질을 보장하기 위해 엄격한 품질 관리 절차로 제조합니다.
플랜지형 석영 유리관 사용 지침
성능을 극대화하고 서비스 수명을 연장하려면 플랜지형 석영 유리관을 올바르게 취급하고 설치하는 것이 필수적입니다. 다음 가이드라인은 설치, 운영 및 유지 관리에 대한 모범 사례를 제공합니다.
설치 권장 사항
-
균일한 압력 분배:
플랜지와 결합 표면 사이에 적절한 개스킷(PTFE, 흑연 또는 실리콘)을 사용하여 압력이 고르게 분산되도록 합니다. -
제어된 조임:
플랜지를 고정할 때 별 모양으로 토크 제어 조임을 사용하여 균열을 유발할 수 있는 응력 집중을 방지하세요. -
지원 요구 사항:
고온에서 처짐을 방지하기 위해 500mm를 초과하는 수평 설치의 경우 튜브 길이를 따라 적절한 지지대를 제공하세요. -
열팽창 허용치:
가열 및 냉각 주기 동안 열팽창을 수용하도록 마운팅 시스템을 설계하세요.
청소 및 유지 관리
-
권장 청소:
묽은 알코올, 아세톤 또는 전용 석영 세정제를 사용하세요. 불산은 석영 유리를 에칭하고 손상시킬 수 있으므로 피하세요. -
예치금 제거:
잘 지워지지 않는 침전물의 경우 과산화수소와 수산화암모늄(SC-1 용액)이 함유된 과산화수소가 유기 오염 물질에 효과적일 수 있습니다. -
검사 일정:
씰링 무결성을 손상시킬 수 있는 칩, 균열 또는 오염이 있는지 플랜지 표면을 정기적으로 검사합니다.
열 관리
-
난방 속도:
최적의 열충격 저항성을 위해 벽이 두꺼운 튜브(3mm 이상)의 경우 가열 초기 20분 동안 가열 속도를 분당 10°C로 제한합니다. -
온도 균일성:
국부적인 응력을 방지하기 위해 튜브 둘레를 균일하게 가열합니다. -
냉각 고려 사항:
가능하면 자연 냉각을 권장합니다. 강제 냉각이 필요한 경우 균일하게 적용해야 합니다.
스토리지 권장 사항
-
스토리지 환경:
오염을 방지하기 위해 습도가 조절되고 먼지가 없는 깨끗한 환경에 보관하세요. -
보호:
보관 및 취급 시 플랜지 표면을 보호하기 위해 보호용 엔드캡이나 커버를 사용하세요. -
처리:
항상 깨끗한 장갑을 끼고 취급하여 기름과 오염 물질이 표면에 쌓이지 않도록 주의하세요.
플랜지 쿼츠 튜브 요구 사항에 대해 논의할 준비가 되셨나요?
토쿼츠와 파트너 관계를 맺어야 하는 이유
직접 공장 이점
직접 제조업체로서 수많은 중간 단계를 생략할 수 있습니다.
엔지니어링 전문성
기술팀은 재료 선택부터 디자인 최적화까지 고객을 안내하고 사양을 결과물로 변환합니다.
유연한 제조
소량 전문성과 엄격한 프로토타입 제작을 통해 표준 및 맞춤형 주문을 처리하여 긴급한 마감 기한을 맞출 수 있습니다.
품질
보증
배송 전 3단계 유효성 검사:
1. 치수 정확도,
2. 재료 순도 ,
3. 성능 임계값
글로벌 공급망
추적 가능한 마일스톤을 통해 산업 허브로의 안정적인 글로벌 물류(DE/US/JP/KR 우선순위)를 제공합니다.
삭제된 제품
직접 공장 역량을 갖춘 전문 제조업체인 TOQUARTZ는 사양 및 구현 프로세스 전반에 걸쳐 엔지니어링 지원을 통해 표준 및 맞춤형 쿼츠 솔루션을 모두 제공합니다.
자주 묻는 질문
Q: 플랜지형 석영 유리 튜브의 최대 작동 온도는 얼마인가요?
A: TOQUARTZ® 플랜지형 석영 튜브는 최대 1200°C의 온도에서 연속적으로 사용할 수 있습니다. 단기 사용의 경우 최대 1450°C의 온도까지 견딜 수 있습니다. 이 소재는 약 1730°C의 연화점을 가지고 있어 고온 애플리케이션에 상당한 안전 마진을 제공합니다.
Q: TOQUARTZ® 플랜지 석영 튜브의 화학적 순도는 얼마입니까?
A: 당사의 표준 플랜지형 석영 튜브는 99.99% SiO₂ 함량의 고순도 용융 석영을 사용하여 제조됩니다. 주요 불순물(Al, Na, K, Li 등)은 일반적으로 낮은 ppm 범위입니다. 더 높은 순도가 필요한 응용 분야의 경우, 자세한 성분 분석을 제공할 수 있으며 최대 99.995% SiO₂ 순도의 특수 소재를 공급할 수 있습니다.
Q: 플랜지형 석영 튜브를 밀봉할 때 개스킷에 권장되는 재료는 무엇입니까?
A: 고온용(최대 260°C)의 경우 PTFE(테프론) 개스킷을 권장합니다. 최대 450°C의 온도에서는 흑연 개스킷이 적합합니다. 특수 고온 실리콘은 최대 300°C까지 사용할 수 있습니다. 매우 높은 온도(450°C 이상)의 경우, 특정 용도에 따라 세라믹 섬유 개스킷 또는 적절한 코팅이 된 금속 C링이 적합할 수 있습니다.
Q: 플랜지형 석영 튜브를 진공 애플리케이션에 사용할 수 있습니까?
A: 예, TOQUARTZ® 플랜지 석영 튜브는 진공 애플리케이션에 적합합니다. 적절한 개스킷과 밀봉 방법을 사용하면 10-⁶ Torr까지 진공 무결성을 유지할 수 있습니다. 초고진공 애플리케이션의 경우 특수 플랜지 설계 및 준비 방법이 필요할 수 있습니다. 당사의 기술팀은 진공 시스템을 위한 최적의 구성에 대한 지침을 제공할 수 있습니다.
Q: 애플리케이션에 맞는 올바른 플랜지 치수를 지정하려면 어떻게 해야 하나요?
A: 최적의 씰링 및 호환성을 위해 플랜지 외경, 플랜지 두께, 플랜지 표면 스타일(평면, 테이퍼 또는 접지), 일치하는 특정 연결 표준 등의 사양을 제공하는 것이 좋습니다. 저희 기술팀이 고객의 운영 조건과 연결 요구사항에 따라 추천을 도와드릴 수 있습니다.
기술 상담 및 가격 책정은 엔지니어링 팀에 문의하세요. 애플리케이션 요구 사항에 맞는 최적의 사양을 선택할 수 있도록 도와드리겠습니다.