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반도체 및 실험실 장비를 위한 맞춤형 고순도 석영 플랜지 -TOQUARTZ®

진공 챔버, 화학 반응기 및 반도체 애플리케이션을 위한 순도 99.99%의 TOQUARTZ® 산업용 쿼츠 플랜지입니다. 탁월한 내식성, 최대 1600°C의 열 안정성, 정밀한 치수 정확도로 중요한 연결 요건을 충족합니다.
MOQ 없음
맞춤형 디자인
팩토리 다이렉트
기술 지원

석영 플랜지의 특징

TOQUARTZ® 석영 플랜지는 내화학성, 열 안정성 및 정밀 연결이 중요한 요구 사항인 까다로운 산업 및 실험실 애플리케이션에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다.

높은 재료 순도

TOQUARTZ® 플랜지는 최대 99.995% SiO₂를 함유한 고순도 석영으로 제조되어 반도체 공정과 같은 민감한 애플리케이션에서 오염을 최소화합니다.

내화학성

TOQUARTZ® 석영 플랜지는 산, 염기, 용융 염 및 불소 가스에 대한 탁월한 안정성을 입증합니다. 따라서 표준 소재가 빠르게 열화되는 가혹한 화학 환경에 이상적입니다.

열 속성

높은 열 안정성과 낮은 열팽창 계수를 갖춘 당사의 석영 플랜지는 급격한 온도 변화에도 구조적 무결성과 밀봉 특성을 유지합니다.

밀봉 무결성을 보여주는 진공 챔버 시스템 내 석영 플랜지 설치 사례
TOQUARTZ® 퓨즈드 쿼츠 플랜지

석영 플랜지의 기술 사양 및 치수

TOQUARTZ®는 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 표준 및 맞춤형 쿼츠 플랜지를 모두 제공합니다. 당사의 제조 역량을 통해 정밀한 치수와 엄격한 공차를 가진 플랜지를 생산할 수 있습니다.

퓨즈드 쿼츠 플랜지의 기술 사양

물리적 속성

매개변수가치
밀도2.2g/cm³
열팽창 계수5.5 × 10-7/K
열 전도성1.4 W/m-K
최대 작동 온도1600°C
열 충격 저항우수

화학적 특성

매개변수가치
SiO2 콘텐츠99.9% ~ 99.995%
내산성우수(HF 제외)
알칼리 저항최대 300°C까지 사용 가능
수분 흡수Nil
가스 투과성매우 낮음

석영 유리 플랜지의 크기 차트

모델외경(mm)내경(mm)높이(mm)SiO2 순도(%)
AT-SY-FL001105499.9-99.99
AT-SY-FL0022012399.9-99.99
AT-SY-FL0038052.8599.9-99.99
AT-SY-FL00410582.5899.9-99.99
AT-SY-FL00511592.5599.9-99.99
AT-SY-FL006152102.8799.9-99.99
AT-SY-FL007195154699.9-99.99
AT-SY-FL0082751651099.9-99.99
AT-SY-FL0093002307.599.9-99.99
AT-SY-FL0103002301599.9-99.99
AT-SY-FL0113352657.599.9-99.99
AT-SY-FL0123352651599.9-99.99
참고: 특정 요구사항을 충족하는 맞춤형 사양을 제공합니다. 엔지니어링 팀에 문의하여 상담을 받으세요.

TOQUARTZ® 석영 플랜지로 실험실 과제 해결

반도체 제조 장비용 석영 플랜지

반도체 제조업체는 플라즈마 에칭 챔버, 확산로 및 CVD 시스템에 초순도 소재를 필요로 합니다. 이러한 공정에서는 부품이 극한의 온도와 부식성 화학물질에 노출되기 때문에 소재에 대한 중대한 문제가 발생합니다.

주요 이점

TOQUARTZ® 솔루션

미국 기반 반도체는 다음과 같은 1100°C LPCVD 시스템용 석영 플랜지가 필요했습니다. <±0.05mm tolerance and <15 ppm total metal content. TOQUARTZ delivered 120 units within 18 days, achieving 0.02mm flatness and 99.995% SiO₂ purity. Post-installation, the client reported zero seal failures over 6 months of continuous operation.

실험실 장비 및 연구용 퓨즈드 쿼츠 플랜지

연구 실험실과 분석 장비 제조업체는 시료 순도를 유지하고 다양한 실험 조건을 견딜 수 있는 신뢰할 수 있는 진공 시스템과 반응 챔버가 필요합니다.

주요 이점

TOQUARTZ® 솔루션

독일의 한 대학 연구실에서는 고진공 분광학 시스템을 위해 5mm ID, Ra ≤0.5μm의 맞춤형 쿼츠 플랜지 30개가 필요했습니다. TOQUARTZ는 영업일 기준 14일 이내에 배송했습니다. 누출률 테스트 결과 <1×10⁻⁹ mbar·L/s, exceeding the lab’s UHV requirements and reducing sample contamination risk by 80%.

화학 처리 장비용 석영 유리 석영 플랜지

부식성 물질을 취급하는 화학 처리업체는 열화에 견디고 오염을 방지하며 열악한 환경에서도 구조적 무결성을 유지하는 안정적인 연결 부품이 필요합니다.

주요 이점

TOQUARTZ® 솔루션

폴란드의 한 화학 반응기 통합업체는 100°C에서 10% 염산을 매주 열 순환하는 시스템을 위해 쿼츠 플랜지가 필요했습니다. TOQUARTZ는 침출 속도가 검증된 60개의 유닛을 공급했습니다. <0.01 mg/cm²·h and dimensional stability after 1000 cycles. The client reported zero flange replacements after 9 months, cutting maintenance downtime by 40%.

용융 실리카 플랜지를 위한 TOQUARTZ® 맞춤형 서비스

TOQUARTZ®는 고객의 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞는 맞춤형 쿼츠 플랜지 솔루션을 전문으로 합니다. 당사의 엔지니어링 팀은 고객과 직접 협력하여 고객의 기술 사양과 정확히 일치하는 부품을 개발합니다.

맞춤형 디자인 기능

사용자 지정 프로세스

석영 플랜지 사용 지침

최적의 성능과 수명을 보장하려면 쿼츠 플랜지의 올바른 설치와 취급이 필수적입니다. 다음 지침은 손상 위험을 최소화하면서 TOQUARTZ 제품의 가치를 극대화하는 데 도움이 됩니다.

설치 권장 사항

취급 및 보관

쿼츠 플랜지에 대한 기술 지원이 필요하신가요?

유니티 엔지니어링 팀은 재료 선택, 설계 최적화, 통합 과제에 대한 무료 상담을 제공합니다.
특정 용도에 맞는 최적의 쿼츠 플랜지 솔루션을 찾을 수 있도록 도와드리겠습니다.

토쿼츠와 파트너 관계를 맺어야 하는 이유

직접 공장 이점

직접 제조업체로서 수많은 중간 단계를 생략할 수 있습니다.

엔지니어링 전문성

기술팀은 재료 선택부터 디자인 최적화까지 고객을 안내하고 사양을 결과물로 변환합니다.

유연한 제조

소량 전문성과 엄격한 프로토타입 제작을 통해 표준 및 맞춤형 주문을 처리하여 긴급한 마감 기한을 맞출 수 있습니다.

품질
보증

배송 전 3단계 유효성 검사:
1. 치수 정확도,
2. 재료 순도 ,
3. 성능 임계값

글로벌 공급망

추적 가능한 마일스톤을 통해 산업 허브로의 안정적인 글로벌 물류(DE/US/JP/KR 우선순위)를 제공합니다.

자주 묻는 질문

Q: 석영 플랜지의 온도 제한은 어떻게 되나요?

A: TOQUARTZ® 석영 플랜지는 최대 1600°C의 연속 작동 온도를 성능 저하 없이 견딜 수 있습니다. 실제 상한은 특히 열 구배 및 기계적 응력과 관련하여 특정 용도에 따라 다릅니다. 1000°C 이상의 애플리케이션의 경우 엔지니어링 팀과 구체적인 요구 사항을 논의하는 것이 좋습니다.

A: 석영 플랜지는 진공 상태에서 가스를 배출하지 않고, 내화학성이 뛰어나며, 민감한 공정을 오염시키지 않고, 전기 절연성을 제공하는 등 특정 애플리케이션에서 금속 플랜지에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다. 하지만 일반적으로 금속 플랜지보다 취급과 설치에 더 세심한 주의가 필요하며, 적절한 개스킷을 선택하는 것이 적절한 밀봉을 달성하는 데 매우 중요합니다.

A: 최적의 개스킷 재질은 사용 조건에 따라 다릅니다. 고온(최대 300°C)의 경우 Viton 또는 이와 유사한 불소 탄성 중합체가 적합합니다. 초고진공 또는 더 높은 온도의 경우 PTFE 또는 확장 PTFE 개스킷을 사용하는 것이 좋습니다. 극한 온도(800°C 이상)의 경우 특수 세라믹 섬유 개스킷 또는 적절한 완충재를 사용한 금속 씰이 필요할 수 있습니다. 당사의 기술팀은 온도, 압력 및 화학물질 노출 요건에 따라 구체적인 권장 사항을 제공할 수 있습니다.

A: 석영 플랜지는 주로 진공 또는 저압 애플리케이션용으로 설계되었습니다. 석영은 압축 강도(최대 1100MPa)가 높지만 인장 강도는 훨씬 낮습니다. 내압 애플리케이션의 경우 설계 시 이러한 제한을 신중하게 고려해야 합니다. 일반적으로 당사의 표준 플랜지는 진공에서 약간의 양압(최대 2~3bar)에 적합하지만, 특정 압력 요구 사항에 맞게 특수 설계를 개발할 수 있습니다.

A: 예, KF/QF(퀵 플랜지), CF(ConFlat) 및 ISO 표준을 포함한 표준 진공 플랜지 시스템과 치수 호환이 가능한 쿼츠 플랜지를 제조할 수 있습니다. 이러한 플랜지는 일반적으로 표준 금속 진공 시스템과의 연결을 완료하기 위해 금속 어댑터 또는 클램프와 같은 추가 구성품이 필요합니다. 이러한 애플리케이션의 경우, 당사는 고객과 긴밀히 협력하여 석영 부품이 기존 장비와 제대로 통합되도록 합니다.

기술 상담 및 가격 책정은 엔지니어링 팀에 문의하세요. 애플리케이션 요구 사항에 맞는 최적의 사양을 선택할 수 있도록 도와드리겠습니다.

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