Les industries utilisent des tubes de quartz de grand diamètre pour des applications exigeantes dans la fabrication de semi-conducteurs, l'énergie photovoltaïque, le traitement chimique et l'optique avancée.
Le secteur des semi-conducteurs est en tête, représentant plus de 40% du marché en 2024, avec une forte demande de microélectronique, de fabrication de puces et d'électronique automobile.
Les applications chimiques, optiques et d'énergie solaire nécessitent également ces tubes pour répondre à des normes de sécurité et de pureté élevées.
Propriété | Description |
|---|---|
Résistance aux hautes températures | Résiste à des températures allant jusqu'à 1100 °C pendant des périodes prolongées |
Résistance à la corrosion | Résiste aux produits chimiques agressifs dans les environnements industriels |
Bonne stabilité thermique | Maintien de la structure en cas de changements rapides de température |
Bonne transmission de la lumière | Prise en charge des applications optiques et UV |
Bonne isolation électrique | Assure la sécurité dans les environnements à haute tension et à haute fréquence |
Les tubes de quartz de grand diamètre restent indispensables lorsque la stabilité thermique, la pureté et la sécurité sont essentielles pour obtenir des résultats cohérents.
Principaux enseignements
Les tubes de quartz de grand diamètre sont essentiels dans la fabrication des semi-conducteurs, car ils supportent des températures élevées et des normes de pureté strictes.
La sélection du bon diamètre de tube en fonction de la taille de la plaquette permet d'augmenter la capacité des lots et d'améliorer l'efficacité de la production.
Les tubes en quartz de haute pureté à faible teneur en hydroxyle empêchent toute contamination, garantissant ainsi un silicium de haute qualité pour les applications photovoltaïques.
Les ingénieurs doivent adapter les dimensions des tubes et les qualités des matériaux à des processus industriels spécifiques afin d'obtenir des performances et une sécurité optimales.
Des tubes de quartz plus grands offrent une meilleure stabilité thermique, réduisant les coûts énergétiques et augmentant la fiabilité dans les environnements exigeants.
Pourquoi les systèmes de traitement des plaquettes de semi-conducteurs nécessitent-ils des tubes à quartz d'un diamètre de 250 à 600 mm ?
La fabrication de semi-conducteurs fait appel à des tubes de quartz de grand diamètre pour traiter les plaquettes de silicium à des températures élevées. Ces tubes soutiennent des applications avancées telles que dépôt chimique en phase vapeurLes ingénieurs sélectionnent les diamètres des tubes en fonction de la taille des plaquettes, de la capacité des lots et des exigences strictes en matière de pureté afin de garantir la sécurité et de maximiser les rendements de production. Les ingénieurs sélectionnent les diamètres des tubes en fonction de la taille des plaquettes, de la capacité des lots et des exigences strictes en matière de pureté, afin de garantir la sécurité et de maximiser les rendements de production.
Exigences de mise à l'échelle de la taille de la plaquette par rapport au diamètre du tube
La taille des plaquettes détermine directement le diamètre minimum requis pour les tubes de quartz dans le traitement des semi-conducteurs. Lorsque les dimensions des plaquettes passent de 200 mm à 300 mm, le diamètre des tubes doit passer de 250 mm à 600 mm pour s'adapter à plusieurs plaquettes et maintenir un flux de gaz uniforme. Cette mise à l'échelle garantit que chaque plaquette reçoit un traitement thermique cohérent, ce qui est essentiel pour la qualité des dispositifs.
Les tubes de plus grand diamètre permettent aux fabricants de traiter davantage de plaquettes dans chaque lot, ce qui améliore le rendement et réduit le coût par plaquette. Par exemple, un lot de plaquettes de 300 mm peut nécessiter un tube de 450 à 500 mm, supportant jusqu'à 150 plaquettes par cycle. L'espace accru permet également de maintenir l'uniformité de la température à ±3°C, conformément aux normes ASTM C1279 pour les nœuds de semi-conducteurs avancés.
Points clés :
Le diamètre du tube doit correspondre à la taille de la plaquette pour un traitement optimal.
Des tubes plus grands permettent d'augmenter la capacité des lots et de mieux contrôler la température.
Une mise à l'échelle correcte favorise l'uniformité et un rendement élevé des appareils.
Économie de la capacité de production par lots pour la fabrication en grande série
Les fabricants choisissent des tubes de quartz de grand diamètre pour augmenter la capacité des lots et réduire les coûts de production. Un tube dimensionné pour des plaquettes de 300 mm peut traiter 2,5 fois plus de plaquettes par cycle qu'un tube dimensionné pour des plaquettes de 200 mm, réduisant ainsi le coût par plaquette de $28-35 à $12-15. Cet avantage économique favorise l'adoption de tubes plus grands dans les installations à grand volume.
La relation entre le diamètre du tube et la taille du lot est essentielle pour maximiser l'efficacité. Les installations qui passent à des plaquettes plus grandes voient leurs exigences en matière de diamètre de tube multipliées par quatre, mais l'investissement est rentabilisé par l'augmentation du débit et la réduction de la consommation d'énergie. Les ingénieurs doivent trouver un équilibre entre la taille des tubes et la dynamique du flux de gaz afin d'éviter les problèmes d'uniformité du procédé.
Diamètre du tube (mm) | Taille de la plaquette (mm) | Capacité des lots | Coût par plaquette ($) |
|---|---|---|---|
300 | 200 | 50-100 | 28-35 |
450-500 | 300 | 75-150 | 12-15 |
Exigences de pureté et de teneur en OH spécifiques au procédé
Les applications dans le domaine des semi-conducteurs exigent des tubes de quartz de grand diamètre d'une grande pureté et d'une teneur en OH contrôlée. Les processus avancés exigent des tubes dont la teneur en SiO₂ est supérieure à 99,995% et dont les impuretés métalliques sont inférieures à 1 ppm afin d'éviter la contamination et de garantir un rendement élevé des plaquettes de silicium. Une faible teneur en OH (<1 ppm) est cruciale pour les nœuds de dispositifs inférieurs à 10 nm, car elle minimise la dévitrification et prolonge la durée de vie du tube.
Les tubes en quartz offrent une résistance élevée à la température, à la corrosion et à la stabilité chimique, ce qui les rend idéaux pour les environnements de traitement difficiles. Leur faible dilatation thermique et leur point de fusion élevé leur permettent de supporter des cycles de chauffage rapides et des produits chimiques agressifs sans compromettre la sécurité ou les performances.
Quels procédés de fabrication photovoltaïque dépendent des dimensions des tubes de quartz de 300 à 500 mm ?
Utilisations pour la fabrication de panneaux photovoltaïques tubes de quartz de grand diamètre afin d'améliorer l'efficacité et la qualité des produits. Ces tubes jouent un rôle essentiel dans la production de polysilicium et la croissance du silicium monocristallin. Leurs propriétés uniques permettent de répondre à des applications exigeantes qui requièrent une résistance aux températures élevées, de la pureté et de la sécurité.
Mise à l'échelle du débit du réacteur Siemens en fonction du diamètre du tube
La production de polysilicium s'appuie sur des tubes de quartz de grand diamètre pour augmenter le débit des réacteurs. Un tube de 400 mm peut traiter jusqu'à 100 kg de polysilicium en un seul cycle, alors qu'un tube de 300 mm n'en traite que 60 kg. Cette différence permet de réduire la consommation d'énergie par kilogramme et d'augmenter le rendement global des installations produisant des milliers de tonnes chaque année.
Les tubes en quartz offrent une grande transparence, ce qui permet aux opérateurs de surveiller le processus en temps réel. Les parois épaisses assurent la résistance mécanique, évitant les défaillances sous pression et maintenant la sécurité. La stabilité chimique du quartz garantit la résistance à la corrosion, ce qui prolonge la durée de vie dans les environnements difficiles.
Description du problème | Solution fournie |
|---|---|
Les matériaux opaques bloquent l'observation | La grande transparence du quartz permet une surveillance en temps réel |
Les tubes ordinaires se brisent à haute température | Le quartz résiste jusqu'à 1270 °C et conserve sa pureté |
Les murs minces risquent d'échouer | Les parois épaissies améliorent la résistance mécanique et la sécurité |
Corrosion dans les environnements difficiles | La stabilité chimique du quartz prolonge sa durée de vie |
Exigences dimensionnelles du procédé Czochralski pour le contrôle de l'atmosphère
La croissance du silicium monocristallin utilise des tubes de quartz de grand diamètre pour créer une atmosphère contrôlée autour du creuset. Le diamètre du tube doit dépasser de 100 à 150 mm la taille du creuset pour maintenir un environnement inerte d'argon. Cet espace empêche la contamination par l'oxygène, qui peut réduire l'efficacité des cellules solaires en deçà des normes industrielles.
Le quartz de haute pureté est essentiel pour ces applications. Les impuretés métalliques doivent rester inférieures à 1 ppm, et le quartz ultra-haute pureté requiert moins de 0,1 ppm. Une faible teneur en hydroxyle, généralement inférieure à 5 ppm, permet d'éviter l'absorption d'énergie indésirable et favorise une génération optimale de porteurs photogénérés.
Points clés :
Des tubes de quartz de grand diamètre permettent de contrôler l'atmosphère pour la croissance des cristaux.
La pureté et la faible teneur en hydroxyle protègent la qualité du silicium.
Un dimensionnement adéquat permet d'éviter la contamination et d'obtenir un rendement élevé.
Corrélation entre la durée de vie et le diamètre du tube et la qualité du matériau
La durée de vie des tubes de quartz de grand diamètre dépend à la fois de la taille du tube et de la qualité du matériau. Les tubes d'un diamètre supérieur à 400 mm et fabriqués par fusion électrique durent 45% plus longtemps que les tubes plus petits ou ceux fabriqués par fusion à la flamme. Le contrôle de la teneur en hydroxyle minimise la dévitrification, réduisant le taux de croissance des couches de cristobalite et prolongeant les périodes opérationnelles.
Les tubes en quartz résistants aux températures élevées et à la corrosion supportent une utilisation continue dans la fabrication de produits photovoltaïques. Les installations font état d'une durée de vie de 24 à 30 mois pour les tubes de grand diamètre, contre 16 à 20 mois pour les plus petits. Cette amélioration permet de réduire les coûts de maintenance et d'augmenter la fiabilité de la production.
Résumé des points clés :
Les tubes de plus grand diamètre et le quartz de haute qualité prolongent la durée de vie.
Le contrôle de la teneur en hydroxyle réduit la dégradation du matériau.
Une durée de vie plus longue améliore la fiabilité et réduit les coûts.
Quels sont les systèmes de traitement thermique industriel à grande échelle qui utilisent des tubes en quartz de 200 à 400 mm ?
Les fours industriels utilisent des tubes de quartz de grand diamètre pour traiter le verre, les céramiques et les métaux à haute température. Ces tubes offrent des performances fiables dans des environnements exigeants où la stabilité thermique et la sécurité sont les plus importantes. Les ingénieurs sélectionnent les dimensions des tubes et les qualités des matériaux pour optimiser l'efficacité et la durabilité de chaque application.
Exigences en matière de traitement thermique rapide pour l'efficacité de la production
Les tubes de quartz de grand diamètre jouent un rôle essentiel dans les systèmes de traitement thermique rapide. Ces tubes supportent des changements de température rapides, ce qui permet aux fabricants de chauffer les matériaux rapidement et de réduire le temps de production. La capacité d'atteindre 900-1100°C en moins de 25 minutes améliore le rendement et réduit les coûts énergétiques.
Le quartz offre une résistance aux températures élevées et une bonne stabilité thermique, ce qui le rend idéal pour les cycles de chauffage répétés. Des données provenant d'installations de fours industriels montrent que les tubes en quartz peuvent réduire les dépenses énergétiques annuelles de $8.000-$15.000 par four par rapport à d'autres matériaux. Les tubes conservent également leur intégrité structurelle lors d'un chauffage rapide, ce qui permet d'obtenir une qualité de produit constante.
Points clés :
Les tubes de quartz de grand diamètre permettent des cycles de chauffage et de refroidissement rapides.
La résistance aux températures élevées et la stabilité thermique améliorent l'efficacité.
Les fabricants bénéficient de coûts énergétiques réduits et de performances fiables.
Sélection de la longueur et du diamètre de la zone de chauffe en fonction des dimensions de la pièce à usiner
Les ingénieurs adaptent le diamètre du tube et la longueur de la zone de chauffage à la taille de la pièce à usiner. Un tube d'un diamètre de 250 à 350 mm et d'une longueur supérieure à 2000 mm peut accueillir des pièces de grande taille et assurer une distribution uniforme de la température. Cette conception permet d'obtenir des résultats constants dans le recuit du verre et le frittage des céramiques.
L'épaisseur de la paroi des tubes de quartz de grand diamètre varie de 1 à 20 mm, en fonction des exigences de pression et de température. Les tubes dont l'épaisseur est optimisée assurent la stabilité et minimisent le poids, ce qui contribue à maintenir la sécurité et le contrôle des processus. Le coefficient de dilatation thermique reste minime, ce qui permet aux tubes de supporter des fluctuations de température drastiques sans se fissurer.
Spécifications | Détails |
|---|---|
Diamètre | 200-400mm |
Épaisseur de la paroi | 1mm~20mm, optimisé pour la stabilité |
Stabilité thermique | Jusqu'à 1100°C en continu, 1450°C brièvement |
Dilatation thermique | Minime, évite les fissures |
Traitement de l'atmosphère à l'hydrogène Exigences structurelles
Le traitement de l'atmosphère d'hydrogène exige des tubes résistant aux températures élevées et à la corrosion. Les tubes en quartz de grand diamètre offrent la protection nécessaire pour le traitement des gaz résistants aux acides à haute température. Les ingénieurs choisissent des épaisseurs de paroi de 10 à 12 mm avec des tolérances serrées pour éviter toute défaillance structurelle sous l'effet du vide et de la pression.
Le quartz résiste aux attaques chimiques et assure la sécurité dans les environnements difficiles. Les tubes peuvent fonctionner en continu à des températures allant jusqu'à 1200°C, ce qui est essentiel pour les processus de traitement thermique et de réduction des métaux. Une bonne stabilité thermique permet aux tubes de supporter une utilisation prolongée sans se déformer ni se fissurer.
Résumé des points clés :
Les tubes de quartz de grand diamètre protègent contre les contraintes chimiques et thermiques.
L'épaisseur de la paroi et la qualité du matériau garantissent la sécurité et la durabilité.
Les tubes permettent un traitement fiable des gaz résistants aux acides à haute température.
Pourquoi les fabricants d'optique et les systèmes de laboratoire spécifient-ils de grandes dimensions pour les tubes à quartz ?
Les systèmes de fabrication optique et de laboratoire s'appuient sur des tubes de quartz de grand diamètre pour la précision, la pureté et la performance. Ces tubes sont utilisés dans des applications critiques telles que la stérilisation aux UV et la croissance des cristaux. Leurs propriétés uniques garantissent des résultats sans défaut et une fiabilité à long terme dans des environnements exigeants.
Diamètre de la lampe UV requis pour le rendement de la stérilisation
Les ingénieurs choisissent des tubes de quartz de grand diamètre pour les lampes UV afin de maximiser le rendement de la stérilisation. Le diamètre du tube influe sur la dispersion de la lumière UV et donc sur l'intensité de l'irradiation sur la zone cible. Les tubes plus grands permettent un débit plus élevé dans le traitement des eaux industrielles et la stérilisation des surfaces, mais ils nécessitent également une conception minutieuse pour maintenir une désinfection efficace.
Des études montrent que Les lampes UV émettent de la lumière à partir d'une source ponctuellequi se propage dans toutes les directions. Cette dispersion signifie que l'augmentation du diamètre du tube peut réduire l'intensité réelle de l'irradiation, d'où l'importance de trouver un équilibre entre la taille et l'efficacité de la production. Les établissements choisissent souvent des tubes d'un diamètre compris entre 150 et 300 mm pour optimiser la couverture et l'intensité des applications de stérilisation.
Points clés :
Les tubes de plus grand diamètre augmentent le rendement de la stérilisation.
La diffusion de la lumière nécessite une sélection minutieuse du diamètre pour obtenir un résultat efficace.
La taille du tube a un impact sur la couverture et l'efficacité des applications des lampes UV.
Dimensionnement de la chambre de croissance des cristaux pour l'hébergement en creuset
Les tubes de quartz de grand diamètre servent de chambres de croissance pour les cristaux synthétiques et les matériaux optiques. Le tube doit être adapté à la taille du creuset et offrir suffisamment d'espace pour le contrôle de l'atmosphère et l'uniformité de la température. Les fabricants spécifient souvent des diamètres de 200 à 350 mm, en veillant à ce que la chambre dépasse le creuset de 100 à 150 mm pour obtenir des résultats optimaux.
Le tableau suivant résume les caractéristiques importantes des chambres de croissance de cristaux :
Fonctionnalité | Description |
|---|---|
La pureté | >99.98% |
Précision dimensionnelle | Une précision exceptionnelle pour une croissance précise des cristaux |
Longueur | Personnalisable de 50 mm à plus de 5 mètres |
Résistance extrême aux produits chimiques et aux chocs thermiques | |
Applications | Idéal pour les analyses de laboratoire, les systèmes de fibres optiques et les salles blanches |
Les fabricants obtiennent des rendements plus élevés et une meilleure qualité de cristaux en adaptant les dimensions des tubes aux exigences du processus. La bonne taille de chambre permet d'obtenir des environnements sans contamination et un contrôle constant de la température.
Exigences relatives aux matériaux de qualité optique pour un traitement sans défaut
La fabrication optique exige des tubes de quartz de grand diamètre d'une pureté et d'une transparence exceptionnelles. Ces tubes doivent répondre à des normes strictes en matière de teneur en SiO₂, de transmission de la lumière et de stabilité thermique. Une qualité optique élevée garantit un traitement sans défaut pour les analyses de laboratoire et les équipements optiques de pointe.
Les données montrent que les tubes dont la teneur en SiO₂ est supérieure à 99,99% et dont la transmittance est supérieure à 92% dans la bande UV à IR donnent des résultats supérieurs. L'inertie chimique et la faible dilatation thermique protègent contre l'exposition aux acides et aux alcalis, à l'exception de l'acide fluorhydrique. Ces propriétés garantissent des performances fiables dans les systèmes de fibres optiques et la chromatographie.
Points clés :
La pureté et la transparence élevées permettent un traitement sans défaut.
Des normes strictes concernant la teneur en SiO₂ et la transmission de la lumière garantissent la qualité.
L'inertie chimique et la stabilité thermique protègent contre les conditions difficiles.
Comment les ingénieurs doivent-ils adapter le diamètre des tubes aux exigences d'une application industrielle spécifique ?
Les ingénieurs doivent sélectionner des tubes de quartz de grand diamètre en fonction des besoins spécifiques de chaque processus industriel. Le diamètre du tube, l'épaisseur de la paroi et la qualité du matériau garantissent des performances optimales, une sécurité accrue et une longue durée de vie. L'adaptation minutieuse de ces paramètres permet un fonctionnement fiable dans des environnements où les températures, la pression et les gaz corrosifs sont élevés.
Méthodes de calcul du diamètre en fonction de l'application
La température du processus, la pression et l'exposition aux produits chimiques jouent un rôle essentiel dans la détermination du diamètre approprié des tubes de quartz. Les températures élevées peuvent entraîner des déformations, de sorte que les ingénieurs doivent tenir compte à la fois de l'environnement de fonctionnement et des performances d'isolation électrique requises. Par exemple, les fours à semi-conducteurs qui traitent des plaquettes à 1100°C ont besoin de tubes dont le diamètre est adapté à la taille du lot et aux exigences en matière de débit de gaz.
Les ingénieurs utilisent des formules et des normes industrielles pour calculer le diamètre minimal. Ils prennent en compte les dimensions de la pièce, l'espace libre pour un chauffage uniforme et les propriétés du tube isolant pour les hautes tensions et les hautes fréquences. Les tubes dont les diamètres intérieurs vont de 10 à 190 mm permettent des solutions sur mesure, prenant en charge une large gamme de conceptions de fours et d'applications de combustion de gaz résistant aux acides à haute température.
Points clés :
Le choix du diamètre dépend de la température, de la pression et de l'exposition aux produits chimiques.
Les calculs doivent tenir compte de la taille de la pièce et des exigences en matière d'isolation.
Des diamètres sur mesure permettent de répondre à diverses applications industrielles.
Épaisseur de la paroi Lignes directrices pour le calcul des structures
L'épaisseur de la paroi affecte directement la résistance mécanique et la durée de vie des tubes de quartz. Des parois plus épaisses assurent une plus grande intégrité structurelle et une meilleure résistance à la pression, ce qui est essentiel pour les processus impliquant des performances de tubes isolants à haute tension et à haute fréquence. Les parois plus minces supportent mieux les changements rapides de température, ce qui améliore la résistance aux chocs thermiques et le transfert de chaleur.
Les ingénieurs équilibrent ces facteurs en sélectionnant des épaisseurs de paroi qui correspondent aux exigences de chaque application. Par exemple, les tubes utilisés dans le traitement de l'atmosphère d'hydrogène nécessitent souvent une épaisseur de 10 à 12 mm avec des tolérances serrées pour éviter les défaillances sous vide ou sous pression. Le choix de l'épaisseur a également un impact sur les propriétés optiques, car des parois plus épaisses peuvent réduire légèrement la transmission des UV.
Aspect | Impact de l'épaisseur de la paroi |
|---|---|
Résistance mécanique | Meilleure intégrité et résistance à la pression |
Résistance aux chocs thermiques | Des parois plus fines permettent de mieux gérer les changements rapides |
Propriétés optiques | Des parois plus épaisses peuvent réduire la transmission des UV |
Transfert de chaleur | Les parois plus fines permettent un transfert de chaleur plus rapide |
Sélection de la qualité des matériaux en fonction de la plage de température de fonctionnement
La sélection des matériaux garantit la fiabilité des tubes de quartz dans des conditions extrêmes. Le quartz fondu standard convient à une utilisation industrielle générale jusqu'à 1050°C, tandis que le quartz fondu à faible teneur en OH et les qualités de pureté extrême excellent dans les environnements corrosifs et à haute température. Le quartz de haute pureté à faible teneur en hydroxyle offre des performances supérieures en matière d'isolation électrique et résiste à la dévitrification.
Les ingénieurs évaluent la température de fonctionnement, la fréquence des cycles thermiques et la compatibilité chimique lors du choix des matériaux. Des données d'essai certifiées, telles que l'ASTM C1525, guident les décisions pour les applications exigeant une sécurité et une durabilité accrues. Les grades de haute pureté et à faible teneur en hydroxyle conviennent à la fabrication de semi-conducteurs et à l'aérospatiale, où la durée de vie et les performances sont essentielles.
Tableau récapitulatif : Grades de matériaux pour les tubes en quartz
Type de grade | Température recommandée (°C) | Cycle maximal ΔT (°C) | Teneur en OH- (ppm) | Focus sur l'application |
|---|---|---|---|---|
Standard Fusible | 900-1050 | 700-800 | >100 | Industrie générale |
Fusible Low-OH | 1050-1200 | >1000 | <10 | Haute température/optique |
Extrême pureté | 1150-1250 | >1200 | <1 | UHV, semi-conducteur |
Les tubes de quartz de grand diamètre jouent un rôle essentiel dans la fabrication des semi-conducteurs, le traitement thermique, les produits pharmaceutiques, l'optique et l'électronique. Chaque application dépend de la taille du tube, de sa pureté et de la qualité du matériau afin d'obtenir une qualité et une sécurité élevées du produit. Une sélection appropriée des tubes permet de réduire les déchets de matériaux, d'améliorer l'efficacité du flux et de diminuer les coûts de remplacement. Lorsque les ingénieurs adaptent les spécifications des tubes aux besoins des procédés, ils aident les entreprises à accroître la fiabilité et à maintenir des résultats constants dans des environnements exigeants.
FAQ
Quelles sont les industries qui utilisent des tubes de quartz de grand diamètre, supérieur à 200 mm ?
Les industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque, du verre, de la céramique et de l'optique utilisent des tubes de quartz de grand diamètre. Ces secteurs ont besoin de tubes pour le traitement à haute température, la pureté et l'efficacité des lots. En 2024, les applications de semi-conducteurs représenteront plus de 40% de la demande totale.
Qu'est-ce qui détermine le diamètre correct du tube pour une application ?
Les ingénieurs choisissent le diamètre du tube en fonction de la taille de la pièce, de la capacité du lot et de la température du processus. Par exemple, un lot de plaquettes de 300 mm nécessite un tube de 450 à 500 mm. Un dimensionnement correct améliore le rendement et maintient l'uniformité de la température à ±3°C.
Quels sont les niveaux de pureté requis pour les applications avancées ?
Les procédés semi-conducteurs et optiques nécessitent des tubes de quartz d'une pureté de SiO₂ supérieure à 99,995%. Les impuretés métalliques doivent rester inférieures à 1 ppm. Une faible teneur en hydroxyle, souvent inférieure à 5 ppm, prolonge la durée de vie du tube et prévient la contamination.
Quelle est la durée de vie typique des tubes de quartz de grand diamètre ?
Les installations font état d'une durée de vie de 24 à 30 mois pour les tubes d'un diamètre supérieur à 400 mm. Les tubes de quartz à fusion électrique durent 45% de plus que les alternatives à fusion à la flamme. Le contrôle de la teneur en hydroxyle réduit la dévitrification, ce qui permet de prolonger les périodes d'exploitation.
Quelles sont les caractéristiques de sécurité des tubes de quartz de grand diamètre ?
Les tubes en quartz offrent une résistance aux températures élevées, une protection contre la corrosion et une isolation électrique. Les épaisseurs de paroi de 10 à 12 mm empêchent toute défaillance structurelle sous vide ou sous pression. Ces caractéristiques garantissent un fonctionnement sûr dans une atmosphère d'hydrogène et dans des environnements à haute tension.
