Leistungsstarkes Halbleiter-Quarzglas für kritische Prozessumgebungen
TOQUARTZ® wurde für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen entwickelt und bietet hochleistungsfähige Quarzkomponenten mit unübertroffener Zuverlässigkeit und Flexibilität bei der Anpassung.
- Gebaut für kritische Prozesse
- Konstante Maßhaltigkeit
- MOQ-freundliche kundenspezifische Aufträge
Was ist Halbleiterquarzglas?
Halbleiter Quarzglas bezieht sich auf hochreine Quarzkomponenten, die speziell für Halbleiterfertigungsprozesse entwickelt wurden. Diese speziellen Quarzteile werden aus hochreinem Siliziumdioxid (SiO₂) mit einem Reinheitsgrad von bis zu 99,995% hergestellt und bieten außergewöhnliche thermische Stabilität, chemische Beständigkeit und Maßgenauigkeit, die für kritische Halbleiterfertigungsumgebungen erforderlich sind.
Wichtige Eigenschaften von Quarzglas in Halbleiterqualität
Quarzglas in Halbleiterqualität wurde entwickelt, um den extremen Anforderungen der Waferverarbeitung, der thermischen Behandlung und der chemischen Belastung gerecht zu werden.
Seine einzigartige Kombination aus Reinheit, Stabilität und Langlebigkeit gewährleistet eine gleichbleibende Leistung in hochpräzisen Halbleiterumgebungen.
Thermische Stabilität
Hält extremen Temperaturen in Halbleiterprozessen stand.
- Maximale Temperatur: 1600°C+
- Temperaturwechselbeständigkeit: Ausgezeichnet
- Ausdehnungskoeffizient: 5,5×10-⁷ /°C
- Stabil in schnellen Heizzyklen
Chemische Beständigkeit
Beständig gegen Säuren, Basen und reaktive Gase.
- HF, HCl, H₂SO₄-beständig
- Alkalische Korrosion: <0.01% loss
- Kompatibel mit Fluorgasen
- Keine Reaktion mit geschmolzenen Salzen
Elektrische Isolierung
Bietet eine hohe Durchschlagsfestigkeit und einen hohen spezifischen Widerstand.
- Widerstandsfähigkeit: >10⁷ Ω-cm
- Durchschlagfestigkeit: 40 kV/mm
- Niedriger dielektrischer Verlustfaktor
- Ideal für Plasma-Umgebungen
Unsere Produktpalette an Halbleiter-Quarzglas
Entdecken Sie das gesamte TOQUARTZ-Angebot an Halbleiter-Quarzglas-Komponenten entwickelt für die Hochleistungs-Waferverarbeitung, die thermische Behandlung und die Handhabung von Chemikalien.
TOQUARTZ®-Quarzrohre, die bei der Diffusion und LPCVD eingesetzt werden, gewährleisten thermische Stabilität und präzise Passgenauigkeit in Halbleiteröfen.
Die Waferschiffchen und -halterungen sorgen für eine stabile, präzise Waferunterstützung bei der Hochtemperaturverarbeitung.
Hochreine Halbleiter-Quarz-Tiegel für das Schmelzen von Silizium mit ausgezeichneter thermischer und chemischer Beständigkeit.
Kundenspezifische Halbleiter-Quarzteile wie Ätzringe und Source Bottles für kritische Halbleiteranwendungen.
Anwendungen in der Halbleiterfertigung
Halbleiter-Quarzglas-Komponenten spielen während des gesamten Halbleiterherstellungsprozesses, von der Waferherstellung bis zur Endprüfung, eine entscheidende Rolle. Unsere präzisionsgefertigten Quarzprodukte unterstützen verschiedene Anwendungen in den anspruchsvollsten Halbleiterumgebungen.
Thermische Verarbeitung Anwendungen
Halbleiter-Quarz Teile sind bei der Hochtemperaturverarbeitung von Siliziumwafern unverzichtbar, unter anderem:
- Oxidationsverfahren unter Verwendung von Quarzrohren mit großem Durchmesser
- Diffusionsverfahren mit hochreinen Quarzrohren
- Glühverfahren unter Verwendung von Quarzofentüren
- Siliziumkristallzucht mit Quarztiegeln
Anwendungen für die Waferverarbeitung
TOQUARTZ® Quarz-Wafer-Träger und Prozesskomponenten sind für die Handhabung und Verarbeitung kritischer Wafer ausgelegt:
Chemische Gasphasenabscheidung
Komponenten aus Quarzglas sind entscheidend für die kontrollierte Abscheidung dünner Schichten bei der Halbleiterherstellung:
- Reaktionskammern mit Prozessrohren aus Quarz
- Gasdurchflusskomponenten unter Verwendung von kundenspezifisch hergestelltem Quarz
Forschung und Entwicklung
Kundenspezifische Quarzteile für Halbleiter Die Forschung ermöglicht eine fortgeschrittene Prozessentwicklung und -prüfung:
- Prozessentwicklung mit kundenspezifischen Quarzteilen
- Kleinserienprüfung mit speziellen Quarzkomponenten
Kundenspezifische Halbleiter-Quarzglas-Lösungen
Maßgeschneidert für Ihre Bedürfnisse
TOQUARTZ® ist spezialisiert auf die Herstellung von Halbleiter-Quarzglas Komponenten, die Ihren technischen Spezifikationen genau entsprechen. Unser Ingenieurteam bietet umfassende Unterstützung vom Entwurf bis zur Auslieferung, um optimale Lösungen für Ihre individuellen Anforderungen zu gewährleisten.
Technische Unterstützung
Die erfahrenen TOQUARTZ®-Ingenieure arbeiten mit Ihrem Team zusammen, um die Konstruktionen im Hinblick auf die Herstellbarkeit zu optimieren und gleichzeitig wichtige Spezifikationen einzuhalten. Wir können Sie bei der Materialauswahl, der Anpassung der Abmessungen und der Prozesskompatibilität unterstützen.
Schnelles Prototyping
Wir sind auf die schnelle Herstellung von Prototypen und Kleinserien spezialisiert und liefern Muster in nur 1-2 Wochen. So können Sie kundenspezifische Quarzkomponenten vor der vollständigen Produktion testen und validieren.
Flexible Fertigung
TOQUARTZ® nimmt sowohl kleine kundenspezifische Aufträge als auch große Produktionsserien an. Dank unserer flexiblen Fertigungskapazitäten können wir Ihre spezifischen Mengenanforderungen erfüllen, ohne Ihnen restriktive Mindestmengen vorzuschreiben.
Von der Zeichnung bis zur Lieferung
Zeichnung & Spezifikation
Schicken Sie uns Ihre technischen Zeichnungen oder Muster. Wir akzeptieren verschiedene Formate, darunter CAD-Dateien, PDF-Dateien oder sogar Handskizzen mit Abmessungen.
Technische Konsultation
Unsere Ingenieure prüfen Ihre Anforderungen und geben Ihnen Feedback zur Machbarkeit, Materialauswahl und möglichen Optimierungen.
Angebot & Prototyp
Sie erhalten ein detailliertes Angebot mit Preis und Zeitplan. Nach der Genehmigung stellen wir einen Prototyp zur Validierung her, bevor die Produktion beginnt.
Produktion & Lieferung
Nach der Freigabe führen wir eine vollständige Produktion mit umfassender Qualitätskontrolle durch, bevor wir die Produkte sicher verpacken und international versenden.
Zusicherung von TOQUARTZ®-Halbleiterquarzglas
Unser Halbleiter-Quarzglas Komponenten bieten außergewöhnliche Leistungsmerkmale, die die Industriestandards erfüllen oder übertreffen und einen zuverlässigen Betrieb in den anspruchsvollsten Halbleiterumgebungen gewährleisten.
TOQUARTZ® im Vergleich zu den Industriestandards
| Eigentum | Industriestandard | TOQUARTZ® Leistung | Nutzen Sie |
| SiO₂ Reinheit | 99.90% | Bis zu 99,995% | Minimales Kontaminationsrisiko für empfindliche Halbleiterprozesse |
| Temperaturbeständigkeit | 1100-1300°C | Bis zu 1600°C+ | Geeignet für die anspruchsvollsten Hochtemperaturanwendungen |
| Abmessungstoleranz | ±0,2mm | ±0,1mm Standard | Bessere Passform und Funktionalität von Präzisionsgeräten |
| Oberflächenrauhigkeit | Ra ≤ 1,2μm | Ra ≤ 0,8μm | Glattere Oberflächen für bessere Prozesskontrolle und geringere Partikelbildung |
| Vorlaufzeit (kundenspezifisch) | 6-8 Wochen | 2-3 Wochen | Schnelleres Einrichten der Ausrüstung und geringere Produktionsausfallzeiten |
Qualitätszertifizierungen und -standards
ISO 9001-Zertifizierung
Die TOQUARTZ®-Fertigungsprozesse entsprechen den ISO 9001-Qualitätsmanagementnormen und gewährleisten eine gleichbleibende Produktqualität und Kundenzufriedenheit. Diese Zertifizierung beweist unser Engagement für:
- Strenge Qualitätskontrollverfahren
- Kontinuierliche Prozessverbesserung
- Kundenorientierte Managementsysteme
- Umfassende Dokumentation und Rückverfolgbarkeit
REACH-Konformität
TOQUARTZ®-Halbleiterquarzprodukte entsprechen der REACH-Verordnung der Europäischen Union (Registrierung, Bewertung, Zulassung und Beschränkung chemischer Stoffe):
- Freiheit von besonders besorgniserregenden Stoffen (SVHCs)
- Sichere Handhabung in der gesamten Lieferkette
- Umweltverträgliche Herstellung
- Dokumentation für die Einhaltung von Vorschriften
RoHS-Konformität
TOQUARTZ®-Produkte erfüllen die Anforderungen der RoHS-Richtlinie (Restriction of Hazardous Substances), die die Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe in elektronischen und elektrischen Geräten einschränkt:
- Frei von Blei, Quecksilber, Cadmium und anderen eingeschränkten Substanzen
- Umweltfreundliche Herstellungsverfahren
- Dokumentation auf Anfrage erhältlich
- Kompatibel mit globalen Elektronik-Lieferketten
FAQs über Halbleiter-Quarzglas
F: Wie hoch ist die maximale Betriebstemperatur von Quarzglaskomponenten für die Halbleiterindustrie?
A: TOQUARTZ®-Halbleiterquarz hält Dauertemperaturen von bis zu 1100 °C und intermittierenden Temperaturen von bis zu 1600 °C stand und ist damit ideal für Diffusions- und Oxidationsprozesse.
F: Wie wirkt sich die Reinheit von Quarz auf die Leistung der Halbleiterherstellung aus?
A: Eine höhere SiO₂-Reinheit (≥99,995%) verringert das Kontaminationsrisiko, verbessert die chemische Beständigkeit und gewährleistet die Kompatibilität mit ultrareinen Halbleiterumgebungen.
F: Welche Oberflächenbehandlungen gibt es für Quarzteile, die in Halbleiterwerkzeugen verwendet werden?
A: Wir bieten Feuerpolieren, mechanisches Schleifen, Sandstrahlen und chemisches Ätzen an. Glühen und Ultraschallreinigung sind ebenfalls möglich, um Spannungen und Verunreinigungen zu reduzieren.
F: Sind TOQUARTZ-Produkte mit LPCVD- und PECVD-Anlagen kompatibel?
A: Auf jeden Fall. Unsere Quarzrohre, Waferboote und Quellflaschen werden häufig in LPCVD/PECVD-Anlagen für die Abscheidung von Siliziumnitrid, Polysilizium und Oxid verwendet.
F: Kann TOQUARTZ kundenspezifische Halbleiter-Quarzglasteile auf der Grundlage von Kundenzeichnungen herstellen?
A: Ja, wir unterstützen die vollständige kundenspezifische Fertigung nach CAD-Zeichnungen, 2D-Skizzen oder physischen Mustern, einschließlich komplexer Geometrien und mehrteiliger Baugruppen.
F: Wie stellt TOQUARTZ die Qualität und Konsistenz von Halbleiter-Quarzglas-Komponenten sicher?
A: Wir befolgen die ISO 9001-Normen, führen Maßprüfungen und Materialreinheitsprüfungen durch und stellen eine vollständige Dokumentation einschließlich COA, COC und Maßberichte zur Verfügung.
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