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Kundenspezifische Quarzglas-Quellflaschen für CVD/ALD-Systeme -TOQUARTZ®
Merkmale von Quarzglasflaschen
TOQUARTZ®-Quellflaschen aus hochreinem Quarzglas wurden speziell für Anwendungen entwickelt, die eine präzise Zufuhr von Ausgangsstoffen für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), die Atomlagenabscheidung (ALD) und verwandte Prozesse erfordern. Jede einzelne Flasche wird aus hochwertigem Quarzmaterial hergestellt, um eine gleichbleibende Leistung in anspruchsvollen Umgebungen zu gewährleisten.
Materialeigenschaften
- Hochreines Quarzmaterial (bis zu 99,995% SiO₂) für minimale Verunreinigungen bei Anwendungen in der Halbleiter- und Materialforschung
- Thermoschockbeständigkeit, die schnelle Temperaturschwankungen ohne Rissbildung übersteht
- Chemische Beständigkeit gegen Säuren, Laugen, geschmolzene Salze und fluorhaltige Gase, die bei Abscheidungsprozessen verwendet werden
- Hohe Temperaturstabilität bis zu 1200°C, ideal für Hochtemperatur-CVD- und Materialsyntheseanwendungen
Design-Merkmale
- Präzisionsgefertigte Einlass- und Auslassrohre für kontrollierten Gasfluss und Blasenbildung in Systemen zur Zuführung von Ausgangsstoffen
- Die hochtransparente Konstruktion ermöglicht eine einfache visuelle Überwachung der Vorläufersubstanzen und der Blasenbildung während des Betriebs
- Erhältlich mit kundenspezifischen Anschlüssen wie Schliffverbindungen, Klemmverschraubungen oder speziellen Anschlüssen zur Integration in bestehende Systeme
- Maßgenauigkeit von ±0,1 mm für kritische Komponenten, um zuverlässige Leistung und Systemkompatibilität zu gewährleisten
- 99.99% SiO₂ Reinheit
- Chemische Beständigkeit
- Präzisionsgelenke
Technische Daten der Quarzglasflasche
Physikalische Eigenschaften
| Parameter | Wert / Beschreibung |
| Dichte | 2,2 g/cm³ - Gewährleistet mechanische Stabilität unter Vakuum und Temperaturwechsel |
| Maximale Arbeitstemperatur | 1200°C - Geeignet für die Hochtemperaturverdampfung von Vorstufen bei CVD/MOCVD |
| Widerstandsfähigkeit gegen thermische Schocks | ∆T ≥ 900°C - Widersteht schnellem Aufheizen/Abkühlen in gepulsten ALD-Zyklen |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 5,5 × 10-⁷ /°C (20-800°C) - Minimiert die Belastung beim thermischen Hochfahren |
| Wärmeleitfähigkeit | 1,4 W/m-K (bei 20°C) - Unterstützt die gleichmäßige Wärmeverteilung in den Vorläuferzonen |
Chemische Eigenschaften
| Parameter | Wert / Beschreibung |
| SiO₂-Gehalt | ≥99.99% - Verhindert Metallverunreinigungen in Sub-10nm Halbleiterprozessen |
| Spurenelemente insgesamt | <10 ppm - Verifiziert durch GDMS für ultrareine Ablagerungsumgebungen |
| Säurebeständigkeit | Hervorragend (außer HF) - Kompatibel mit Halogenidvorläufern wie TiCl₄, WF₆ |
| Alkalibeständigkeit | Gut unter 600°C - Geeignet für die Handhabung basenempfindlicher Vorprodukte |
Optische Eigenschaften
| Parameter | Wert / Beschreibung |
| Brechungsindex | 1.458 (bei 589,3 nm) - Ermöglicht die visuelle Überwachung der Vorläuferniveaus |
| UV-Transmission | >80% (200-2000 nm) - Unterstützt optische Prüfung und UV-basierte Prozessdiagnose |
| IR-Übertragung | Gut bis zu 3,5 μm - Ermöglicht IR-Heizung und Überwachung in MOCVD-Anlagen |
TOQUARTZ® löst die Herausforderungen im Labor mit Quarzglasflaschen
Quarzglas-Source-Flaschen für die Halbleiterherstellung
Die wichtigsten Vorteile
-
Sehr geringer Gehalt an Spurenmetallen
Metallische Verunreinigungen insgesamt < 5 ppb, verifiziert durch GDMS, um sicherzustellen, dass keine Ionenkontamination in 7nm-Knotenprozessen auftritt. -
Dimensionsstabilität bei hohen Temperaturen
Maßabweichung < 0,03mm nach 1000°C Glühen für 24h, kritisch für die epitaktische Gleichmäßigkeit. -
Kompatibilität mit Halogenidgas
Nachgewiesene Beständigkeit gegen TiCl₄, WF₆ und BCl₃ ohne Oberflächenentglasung nach 200 Zyklen.
TOQUARTZ®-Lösung
Ein US-amerikanischer Halbleiter-OEM hatte mit 12% Ausbeuteverlusten zu kämpfen, die auf eine Verunreinigung der Ausgangsstoffe bei der TiCl₄-basierten CVD zurückzuführen waren. TOQUARTZ lieferte Quarzglasflaschen mit <5 ppb impurity levels and halide-resistant polish. Yield improved by 9.4%, saving $27,000/month in wafer scrap.
Quarzglas-Precursor-Flaschen für Forschung und Entwicklung
Die wichtigsten Vorteile
-
Schneller Prototyping-Durchlauf
Kundenspezifische Quarzblasen werden innerhalb von 12 Arbeitstagen von der Zeichnungsfreigabe bis zum Versand geliefert. -
Herstellung komplexer Geometrien
Erzielung einer Toleranz von ±0,1 mm bei 3D-gebogenen Einlassrohren mit einer Wandstärke von 2,5 mm. -
Kein MOQ für kundenspezifische Designs
Unterstützte 1-Stück-Bestellungen für 7 verschiedene ALD-Precursor-Konfigurationen in einer einzigen Charge.
TOQUARTZ®-Lösung
Ein europäisches Universitätslabor benötigte 3 einzigartige Quarz-Bubbler für die ALD von neuartigen 2D-Materialien. TOQUARTZ lieferte alle drei Entwürfe innerhalb von 2 Wochen und ermöglichte es dem Team, einen Meilenstein der Horizon 2020-Förderung zu erreichen und sich 120.000 € an weiterer Finanzierung zu sichern.
Quarzglasflaschen für die Produktion fortschrittlicher Materialien
Die wichtigsten Vorteile
-
Wiederholbarkeit der Dimensionen von Charge zu Charge
OD-Variation < ±0,05 mm über einen Produktionslauf von 200 Einheiten, geprüft durch Lasermikrometrie. -
Verlängerte Lebensdauer bei chemischer Belastung
Beibehaltung der strukturellen Integrität nach 500 Stunden POCl₃-Exposition bei 950°C. -
24-Stunden-Versand für Standard-SKUs
500ml und 1500ml Modelle werden innerhalb von 24 Stunden ausgeliefert, was das Risiko von Produktionsausfällen reduziert.
TOQUARTZ®-Lösung
Ein koreanischer Lieferant von OLED-Materialien hatte bei der Lieferung von POCl₃ Ausfallzeiten von 6 Stunden/Monat aufgrund von Bubbler-Ausfällen. TOQUARTZ ersetzte die Quellflaschen durch hochbelastbare Quarzeinheiten, wodurch sich die Lebensdauer um das 3,2-fache verlängerte und die Ausfallzeiten um 83% reduziert wurden, was Produktionsausfälle in Höhe von $18.000/Monat einsparte.
TOQUARTZ® Anpassungsdienste für Quarzglasflaschen
Design-Beratung
Unser Ingenieurteam analysiert Ihre Prozessanforderungen und erstellt technische Zeichnungen für kundenspezifische Quarzglasflaschen. Wir können bestehende Designs ändern oder völlig neue Konfigurationen erstellen, um die Abgabe von Ausgangsstoffen zu optimieren.
Entwicklung von Prototypen
Wir stellen funktionale Prototypen von kundenspezifischen Quarzglasflaschen für die Lieferung von ALD-Precursor mit kurzen Durchlaufzeiten her. Testen Sie Ihre Designkonzepte, bevor Sie sich auf Produktionsmengen festlegen, wobei die Lieferung von Prototypen in der Regel 2-3 Wochen dauert.
Produktion Fertigung
Sobald Ihr Entwurf fertiggestellt ist, gehen wir mit einer strengen Qualitätskontrolle in die Produktionsfertigung über. Wir halten die Spezifikationen über alle Chargen hinweg konstant und bieten flexible Produktionsmengen.
Anpassungsoptionen
- Kundenspezifische Kapazitäten von 500ml bis 5.000ml
- Spezialisierte Einlassrohre für optimierte Blasenbildung
- Sonderanfertigungen, die mit Ihrem bestehenden System kompatibel sind
- Mehrkammer-Konfigurationen für komplexe Prozesse
- Geänderte Wandstärke für spezifische thermische Profile
- Integration mit Temperaturkontrollsystemen
Verwendungsrichtlinien für Quarzglasflaschen
Die ordnungsgemäße Handhabung, Installation und Wartung von Quarzvorratsflaschen ist für die Gewährleistung einer optimalen Leistung und einer langen Lebensdauer bei CVD-, ALD- und anderen Abscheidungsprozessen unerlässlich. Die folgenden Richtlinien helfen Ihnen, den Wert Ihrer Quarz-Precursor-Zufuhrkomponenten zu maximieren.
Handhabung und Installation
- Tragen Sie beim Umgang mit Quarzglasflaschen immer saubere, puderfreie Handschuhe, um eine Kontamination zu vermeiden.
- Prüfen Sie vor dem Einbau in Ihr System alle Anschlüsse auf korrekten Sitz
- Wenden Sie beim Anziehen der Fittings einen gleichmäßigen Druck an und vermeiden Sie ein zu starkes Anziehen, das zu Rissen im Quarz führen könnte.
- Lassen Sie um die Flasche herum ausreichend Platz für die Wärmeausdehnung während der Heizzyklen
Betrieb und Wartung
- Führen Sie schrittweise Heiz- und Kühlzyklen durch, um einen Temperaturschock zu vermeiden (empfohlener Satz): <5°C/min)
- Verwenden Sie zur Reinigung nur zugelassene Lösungsmittel und Säuren, die mit hochreinem Quarz kompatibel sind.
- Regelmäßig auf Entglasung (Weißwerden des Quarzes) untersuchen, was auf die Notwendigkeit eines Austauschs hinweist
- Leere Flaschen in einer sauberen, trockenen Umgebung fern von Alkaliquellen lagern
2. Halten Sie beim Befüllen einen Freiraum von mindestens 1/3 ein, damit das Gas richtig sprudeln und sich ausdehnen kann.
3. Bei temperaturempfindlichen Ausgangsstoffen die Flasche vor dem Befüllen abkühlen
4. Nach dem Beladen ist das System vor dem Aufheizen mit Inertgas zu spülen, um Feuchtigkeit und Sauerstoff zu entfernen.
5. Befolgen Sie die Richtlinien für die Handhabung von Ausgangsstoffen, um eine vorzeitige Zersetzung oder Kontamination zu verhindern.
Sind Sie bereit, Ihr System zur Bereitstellung von Vorläufern zu optimieren?
TOQUARTZ® liefert hochwertige Lösungen mit technischer Unterstützung und kurzen Durchlaufzeiten.
Warum eine Partnerschaft mit TOQUARTZ
Vorteil der direkten Fabrik
Als direkter Hersteller können wir die zahlreichen Zwischenstufen ausschalten.
Technische Kompetenz
Das technische Team begleitet die Kunden von der Materialauswahl bis zur Designoptimierung und setzt die Spezifikationen in Ergebnisse um.
Flexible Fertigung
Bearbeitung von Standard- und kundenspezifischen Aufträgen mit Hilfe von Kleinserien und Prototyping, um dringende Fristen einzuhalten.
Qualität
Versicherung
3-Stufen-Validierung vor dem Versand:
1. Maßhaltigkeit,
2. Materialreinheit ,
3. Leistungsschwellen
Globale Lieferkette
Zuverlässige globale Logistik zu den industriellen Zentren (Priorität DE/US/JP/KR) mit nachvollziehbaren Meilensteinen.
Wiederverwertete Produkte
Als spezialisierter Hersteller mit direkten Fertigungsmöglichkeiten bietet TOQUARTZ sowohl Standard- als auch kundenspezifische Quarzlösungen mit technischer Unterstützung während des gesamten Spezifikations- und Implementierungsprozesses.
FAQ
F: Wofür wird eine Quarzglasflasche bei der CVD verwendet?
A: Bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) wird eine Quarzflasche verwendet, um die chemischen Ausgangsstoffe, die die abgeschiedene Schicht bilden, aufzunehmen und zuzuführen. Die Konstruktion aus hochreinem Quarzglas verhindert Verunreinigungen und ermöglicht gleichzeitig eine kontrollierte Verdampfung oder Durchströmung des Vorläufers mit Trägergas, um ihn in die Reaktionskammer zu transportieren.
F: Können Quarzglasflaschen mit ätzenden Grundstoffen verwendet werden?
A: Ja, hochreines Quarzglas bietet eine ausgezeichnete Beständigkeit gegen die meisten korrosiven Chemikalien, einschließlich starker Säuren (außer HF), Basen unter 600 °C und Halogenverbindungen, die üblicherweise als Ausgangsstoffe verwendet werden. Diese chemische Stabilität verhindert eine Verunreinigung des Ausgangsmaterials und gewährleistet eine gleichbleibende Abscheidungsqualität.
F: Welche Temperatur können Quarzglasflaschen vertragen?
A: TOQUARTZ®-Quarzglasflaschen können Dauerbetriebstemperaturen von bis zu 1200 °C standhalten. Das Material behält seine strukturelle Integrität und chemische Inertheit bei diesen Temperaturen bei und eignet sich daher ideal für Hochtemperaturanwendungen in CVD- und ALD-Prozessen, bei denen Ausgangsstoffe eingesetzt werden.
F: Können Quarzglasflaschen mit festen Vorläufern verwendet werden?
A: Ja, Quarzflaschen können speziell für feste Ausgangsstoffe entwickelt werden. Diese Konstruktionen weisen in der Regel breitere Öffnungen für die Beladung, spezielle Heizzonen zur Steuerung der Sublimation und Gasströmungswege auf, die den sublimierten Ausgangsstoff effizient in die Reaktionskammer leiten.
F: Können kundenspezifische Quarzflaschen für bestimmte ALD-Systeme entwickelt werden?
A: Ja, TOQUARTZ® ist spezialisiert auf kundenspezifische Quarzflaschen für die Zufuhr von ALD-Precursor, die den genauen Systemspezifikationen entsprechen. Wir können kundenspezifische Einlasskonfigurationen, Gasverteilungssysteme, Heizzonen und Anschlusstypen erstellen, um die Precursor-Zufuhr für Ihre spezifischen ALD-Prozessanforderungen zu optimieren.
Wenden Sie sich für technische Beratung und Preisgestaltung an unser Ingenieurteam. Wir helfen Ihnen bei der Auswahl der optimalen Spezifikationen für Ihre Anwendungsanforderungen.
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