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Kundenspezifische hochreine Quarzflansche für Halbleiter- und Laborgeräte -TOQUARTZ®
Merkmale von Quarzflanschen
TOQUARTZ®-Quarzflansche wurden entwickelt, um außergewöhnliche Leistungen in anspruchsvollen Industrie- und Laboranwendungen zu erbringen, bei denen chemische Beständigkeit, thermische Stabilität und Präzisionsverbindungen entscheidende Anforderungen sind.
Hohe Materialreinheit
TOQUARTZ®-Flansche werden aus hochreinem Quarz mit einem SiO₂-Gehalt von bis zu 99,995% hergestellt, was eine minimale Kontamination bei empfindlichen Anwendungen wie der Halbleiterverarbeitung gewährleistet.
- Erhältlich in Reinheitsgraden von 99,9% bis 99,995%
- Geringer Gehalt an metallischen Verunreinigungen
- Geeignet für ultra-reine Anwendungen
Chemische Beständigkeit
TOQUARTZ®-Quarzflansche weisen eine außergewöhnliche Stabilität gegenüber Säuren, Basen, geschmolzenen Salzen und fluorierten Gasen auf. Dies macht sie ideal für aggressive chemische Umgebungen, in denen Standardmaterialien schnell verderben würden.
- Beständigkeit gegen Flusssäure bis zu bestimmten Konzentrationen
- Stabilität sowohl in stark sauren als auch in alkalischen Lösungen
- Inert gegenüber den meisten organischen Lösungsmitteln und Chemikalien
Thermische Eigenschaften
Durch die hohe thermische Stabilität und den niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten behalten unsere Quarzflansche ihre strukturelle Integrität und Dichtungseigenschaften auch bei schnellen Temperaturschwankungen bei.
- Maximale Dauerbetriebstemperatur von 1600°C
- Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient (5,5×10-⁷/K)
- Ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit im Vergleich zu anderen Keramiken
-
Bis zu 99,995%
SiO₂ Reinheit
-
Niedrig metallisch
Störstellengehalt
-
Kundenspezifische Geometrien
verfügbar
Technische Daten und Abmessungen von Quarzflanschen
TOQUARTZ® bietet sowohl Standard- als auch kundenspezifische Quarzflansche an, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Unsere Fertigungskapazitäten ermöglichen uns die Herstellung von Flanschen mit präzisen Abmessungen und engen Toleranzen.
Technische Spezifikationen von Quarzglasflanschen
Physikalische Eigenschaften
| Parameter | Wert |
| Dichte | 2,2 g/cm³ |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 5.5 × 10-7/K |
| Wärmeleitfähigkeit | 1,4 W/m-K |
| Maximale Arbeitstemperatur | 1600°C |
| Widerstandsfähigkeit gegen thermische Schocks | Ausgezeichnet |
Chemische Eigenschaften
| Parameter | Wert |
| SiO2-Gehalt | 99,9% bis 99,995% |
| Säurebeständigkeit | Ausgezeichnet (außer bei HF) |
| Alkalibeständigkeit | Gut bis zu 300°C |
| Wasserabsorption | Null |
| Gasdurchlässigkeit | Sehr niedrig |
Größentabelle für Quarzglasflansche
| Modell | Äußerer Durchmesser (mm) | Innendurchmesser (mm) | Höhe (mm) | SiO2-Reinheit (%) |
| AT-SY-FL001 | 10 | 5 | 4 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL002 | 20 | 12 | 3 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL003 | 80 | 52.8 | 5 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL004 | 105 | 82.5 | 8 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL005 | 115 | 92.5 | 5 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL006 | 152 | 102.8 | 7 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL007 | 195 | 154 | 6 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL008 | 275 | 165 | 10 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL009 | 300 | 230 | 7.5 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL010 | 300 | 230 | 15 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL011 | 335 | 265 | 7.5 | 99.9-99.99 |
| AT-SY-FL012 | 335 | 265 | 15 | 99.9-99.99 |
TOQUARTZ® löst die Herausforderungen im Labor mit Quarzflanschen
Quarzflansche für Halbleiterfertigungsanlagen
Die wichtigsten Vorteile
-
Sehr geringer Gehalt an Metallverunreinigungen (<10 ppm)
Sorgt dafür, dass beim Plasmaätzen und bei CVD-Prozessen keine Ionenkontamination auftritt. -
Ebenheit der Dichtflächen ≤0,02 mm
Bewahrt die Vakuumintegrität in hochpräzisen Halbleiterkammern. -
Thermische Stabilität bis zu 1600°C mit <0,5% Verformung
Hält wiederholten Temperaturwechseln in Diffusionsöfen stand.
TOQUARTZ®-Lösung
Ein US-amerikanisches Halbleiterunternehmen benötigte Quarzflansche für ein 1100°C-LPCVD-System mit einer Toleranz von <±0,05 mm und einem Gesamtmetallgehalt von <15 ppm. TOQUARTZ lieferte 120 Einheiten innerhalb von 18 Tagen und erreichte eine Ebenheit von 0,02 mm und eine Reinheit von 99,995% SiO₂. Nach der Installation meldete der Kunde über einen Zeitraum von 6 Monaten im Dauerbetrieb keine Dichtungsausfälle.
Quarzglasflansche für Laborgeräte und Forschung
Die wichtigsten Vorteile
-
UV-Vis-Transmission >90% bei 200-800nm
Ermöglicht die optische in-situ Überwachung in photochemischen Reaktionskammern. -
Oberflächenrauhigkeit Ra ≤0,4μm an den Dichtflächen
Minimiert Ausgasungen und Leckagen in Hochvakuum-Laboreinrichtungen. -
Kundenspezifische Mikroflansch-ID von nur 3 mm
Unterstützt kompakte Analyseinstrumente und mikrofluidische Systeme.
TOQUARTZ®-Lösung
Ein deutsches Universitätslabor benötigte 30 kundenspezifische Quarzflansche mit 5mm ID und Ra ≤0,5μm für ein Hochvakuum-Spektroskopiesystem. TOQUARTZ lieferte innerhalb von 14 Arbeitstagen. Die Leckratenprüfung ergab <1×10-⁹ mbar-L/s, was die UHV-Anforderungen des Labors übertraf und das Risiko einer Probenkontamination um 80% reduzierte.
Quarzglas Quarzflansche für chemische Verarbeitungsanlagen
Die wichtigsten Vorteile
-
HF-Beständigkeit validiert bis zu einer Konzentration von 5% bei 80°C
Geeignet für Nassätz- und Reinigungssysteme auf Fluorbasis. -
SiO₂-Auslaugrate <0,01 mg/cm²-h in 10% HCl bei 100°C
Verhindert Verunreinigungen bei der Synthese hochreiner Chemikalien. -
Strukturelle Integrität bleibt nach 1000 thermischen Zyklen (25-900°C) erhalten
Gewährleistet langfristige Zuverlässigkeit in Batch-Reaktor-Umgebungen.
TOQUARTZ®-Lösung
Ein polnischer Chemiereaktor-Integrator benötigte Quarzflansche für ein System, das 10% HCl bei 100°C mit wöchentlichen Temperaturwechseln verarbeitet. TOQUARTZ lieferte 60 Einheiten mit einer nachgewiesenen Auslaugungsrate von <0,01 mg/cm²-h und Dimensionsstabilität nach 1000 Zyklen. Der Kunde meldete, dass nach 9 Monaten keine Flansche mehr ausgetauscht werden mussten, was die Ausfallzeiten für die Wartung um 40% reduzierte.
TOQUARTZ® Anpassungsdienste für Quarzglasflansche
Individuelle Gestaltungsmöglichkeiten
- Nicht standardisierte Abmessungen mit Außendurchmessern von 5 mm bis 500 mm
- Spezielle Geometrien, einschließlich Flansche mit mehreren Öffnungen und asymmetrische Ausführungen
- Integration mit anderen Quarzkomponenten (Rohre, Kammern, etc.)
- Oberflächenbehandlungen, einschließlich Feuerpolieren, Schleifen und Ätzen
- Auswahl der Materialqualität je nach Anwendungsanforderungen
Benutzerdefinierter Prozess
-
Technische Konsultation
Unsere Ingenieure besprechen Ihre Anwendungsanforderungen und helfen Ihnen, die optimalen Spezifikationen für Ihre Quarzflansche zu ermitteln. -
Design und Entwurfsplanung
Wir erstellen detaillierte technische Zeichnungen auf der Grundlage Ihrer Spezifikationen oder Muster, mit technischem Input zur Optimierung der Herstellbarkeit. -
Entwicklung von Prototypen
Für neue Entwürfe können wir Prototypmuster herstellen, die Sie vor der eigentlichen Produktion testen und validieren können. -
Produktion und Qualitätskontrolle
Jeder kundenspezifische Flansch wird einer strengen Prüfung unterzogen, um sicherzustellen, dass er alle spezifizierten Abmessungs- und Materialanforderungen erfüllt.
Verwendungsrichtlinien für Quarzflansche
Die ordnungsgemäße Installation und Handhabung von Quarzflanschen ist für eine optimale Leistung und Langlebigkeit unerlässlich. Die folgenden Richtlinien helfen Ihnen, den Wert Ihrer TOQUARTZ-Produkte zu maximieren und gleichzeitig das Risiko von Schäden zu minimieren.
Installationsempfehlungen
- Verwenden Sie geeignete Dichtungsmaterialien (PTFE, Viton oder andere kompatible Elastomere) je nach Temperaturanforderungen.
- Ziehen Sie die Schrauben mit einem gleichmäßigen Drehmoment sternförmig an, um eine gleichmäßige Druckverteilung zu gewährleisten.
- Vermeiden Sie ein zu starkes Anziehen; Quarz ist zwar widerstandsfähig, kann aber bei übermäßigem lokalem Druck reißen.
- Bei Hochtemperaturanwendungen ist die Wärmeausdehnung aller Komponenten zu berücksichtigen und es sind geeignete Kompensationsmechanismen zu verwenden.
Handhabung und Lagerung
- Prüfen Sie die Flansche vor dem Einbau auf Späne oder Risse; selbst kleine Defekte können unter Vakuum oder Druck zum Versagen führen.
- Lagern Sie das Gerät in einem sauberen, trockenen Raum mit einer geeigneten Unterlage zwischen den Komponenten, um Kontaktschäden zu vermeiden.
- Mit sauberen Handschuhen anfassen, um eine Kontamination der Oberfläche zu vermeiden, insbesondere bei hochreinen Anwendungen.
- Verwenden Sie für die meisten Anwendungen geeignete Lösungsmittel (Aceton, Isopropylalkohol), gefolgt von einer Spülung mit deionisiertem Wasser.
2. Bei Vakuumanwendungen sind die Dichtungsflächen regelmäßig auf Sauberkeit und Unversehrtheit zu prüfen, um ein angemessenes Vakuumniveau aufrechtzuerhalten.
3. Vermeiden Sie nach Möglichkeit schnelle Temperaturwechsel; allmähliche Temperaturänderungen verlängern die Lebensdauer der Komponenten.
4. Ersetzen Sie die Dichtungen beim Wiederzusammenbau, anstatt sie wiederzuverwenden, insbesondere bei kritischen Anwendungen.
Benötigen Sie technische Unterstützung bei Quarzflanschen?
Wir helfen Ihnen, die optimale Quarzflansch-Lösung für Ihre spezielle Anwendung zu finden.
Warum eine Partnerschaft mit TOQUARTZ
Vorteil der direkten Fabrik
Als direkter Hersteller können wir die zahlreichen Zwischenstufen ausschalten.
Technische Kompetenz
Das technische Team begleitet die Kunden von der Materialauswahl bis zur Designoptimierung und setzt die Spezifikationen in Ergebnisse um.
Flexible Fertigung
Bearbeitung von Standard- und kundenspezifischen Aufträgen mit Hilfe von Kleinserien und Prototyping, um dringende Fristen einzuhalten.
Qualität
Versicherung
3-Stufen-Validierung vor dem Versand:
1. Maßhaltigkeit,
2. Materialreinheit ,
3. Leistungsschwellen
Globale Lieferkette
Zuverlässige globale Logistik zu den industriellen Zentren (Priorität DE/US/JP/KR) mit nachvollziehbaren Meilensteinen.
Wiederverwertete Produkte
Als spezialisierter Hersteller mit direkten Fertigungsmöglichkeiten bietet TOQUARTZ sowohl Standard- als auch kundenspezifische Quarzlösungen mit technischer Unterstützung während des gesamten Spezifikations- und Implementierungsprozesses.
FAQ
F: Welches sind die Temperaturgrenzen von Quarzflanschen?
A: TOQUARTZ®-Quarzflansche können Dauerbetriebstemperaturen von bis zu 1600°C ohne Beeinträchtigung standhalten. Die praktische Obergrenze hängt von der jeweiligen Anwendung ab, insbesondere im Hinblick auf thermische Gradienten und mechanische Beanspruchungen. Bei Anwendungen über 1000°C empfehlen wir, Ihre spezifischen Anforderungen mit unserem Ingenieurteam zu besprechen.
F: Wie sind Quarzflansche im Vergleich zu Metallflanschen für Vakuumanwendungen?
A: Quarzflansche bieten bei bestimmten Anwendungen mehrere Vorteile gegenüber Metallflanschen: Sie gasen im Vakuum nicht aus, haben eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit, kontaminieren empfindliche Prozesse nicht und bieten eine elektrische Isolierung. Sie erfordern jedoch in der Regel eine sorgfältigere Handhabung und Installation als Metallflansche, und die Wahl der richtigen Dichtung ist für eine ordnungsgemäße Abdichtung entscheidend.
F: Welche Dichtungsmaterialien werden für Quarzflansche empfohlen?
A: Das optimale Dichtungsmaterial hängt von Ihren Betriebsbedingungen ab. Für Hochtemperaturanwendungen (bis zu 300°C) eignen sich Viton oder ähnliche Fluorelastomere. Für Ultra-Hochvakuum oder höhere Temperaturen werden PTFE- oder expandierte PTFE-Dichtungen empfohlen. Für extreme Temperaturen (800°C+) können spezielle Keramikfaserdichtungen oder Metalldichtungen mit geeigneten Puffermaterialien erforderlich sein. Unser technisches Team kann Ihnen spezifische Empfehlungen auf der Grundlage Ihrer Anforderungen an Temperatur, Druck und chemische Belastung geben.
F: Können Quarzflansche Druckanwendungen standhalten?
A: Quarzflansche sind in erster Linie für Vakuum- oder Niederdruckanwendungen konzipiert. Quarz hat zwar eine hohe Druckfestigkeit (bis zu 1100 MPa), seine Zugfestigkeit ist jedoch wesentlich geringer. Bei drucktragenden Anwendungen muss diese Einschränkung bei der Konstruktion sorgfältig berücksichtigt werden. Unsere Standardflansche sind in der Regel für Vakuum bis hin zu leichtem Überdruck (bis zu 2 bis 3 bar) ausgelegt, doch können spezielle Konstruktionen für besondere Druckanforderungen entwickelt werden.
F: Sind Quarzflansche mit KF/QF-, CF- oder ISO-Flanschnormen kompatibel?
A: Ja, wir können Quarzflansche herstellen, die maßlich mit Standard-Vakuumflanschsystemen kompatibel sind, einschließlich KF/QF (Schnellflansch), CF (ConFlat) und ISO-Normen. Diese Flansche erfordern in der Regel zusätzliche Komponenten (wie Metalladapter oder Klemmen), um den Anschluss an Standard-Vakuumsysteme aus Metall herzustellen. Bei diesen Anwendungen arbeiten wir eng mit unseren Kunden zusammen, um sicherzustellen, dass die Quarzkomponenten ordnungsgemäß in die vorhandene Ausrüstung integriert werden.
Wenden Sie sich für technische Beratung und Preisgestaltung an unser Ingenieurteam. Wir helfen Ihnen bei der Auswahl der optimalen Spezifikationen für Ihre Anwendungsanforderungen.