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Kundenspezifisch versiegelte geflanschte Quarzglasröhre für die thermische Verarbeitung - TOQUARTZ®
Hauptmerkmale der geflanschten Quarzglasröhre
TOQUARTZ® Quarzglasrohre mit Flansch werden aus hochreinem Quarzmaterial hergestellt und bieten außergewöhnliche thermische, chemische und optische Eigenschaften, die für anspruchsvolle Labor- und Industrieanwendungen erforderlich sind. Jedes Rohr wird einer strengen Qualitätskontrolle unterzogen, um eine gleichbleibende Leistung in kritischen Umgebungen zu gewährleisten.
Hitzebeständigkeit
Hält Temperaturen von bis zu 1200°C im Dauerbetrieb stand, mit einer kurzfristigen Belastungstoleranz von bis zu 1450°C. Der Erweichungspunkt von 1730°C bietet einen erheblichen thermischen Spielraum für Hochtemperaturanwendungen.
Chemische Beständigkeit
Nahezu inert gegenüber allen Chemikalien außer Flusssäure, mit 30-mal höherer Säurebeständigkeit als Keramik und 150-mal höherer als Edelstahl. Behält seine chemische Stabilität auch bei erhöhten Temperaturen bei.
Präzisionsflansch-Design
Jedes Rohr verfügt über einen sorgfältig geformten Flansch für eine optimale Abdichtung und Verbindung mit anderen Komponenten. Der Präzisionsflansch bietet sichere, leckdichte Verbindungen, die für Gasflusssysteme und Vakuumanwendungen entscheidend sind.
- Nahezu inert gegenüber allen Chemikalien außer Flusssäure
- Schnelle Temperaturwechsel ohne Rissbildung
- Durchlässigkeit des UV-Spektrums＞80%
Spezifikationen für geflanschte Quarzglasrohre
TOQUARTZ® geflanschte Quarzglasrohre sind in verschiedenen Abmessungen und Konfigurationen erhältlich, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Alle Spezifikationen werden durch strenge Qualitätskontrollprozesse überprüft, um eine gleichbleibende Leistung zu gewährleisten.
Materialeigenschaften
| Eigentum | Wert |
| 1. Physikalische Eigenschaften | |
| Material | Hochreines Quarzglas (≥99,99% SiO₂) |
| Dichte | 2,2 g/cm³ |
| Zugfestigkeit | ≥ 50 MPa |
| Biegefestigkeit | Bis zu 350 MPa |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 5.5 × 10-⁷ /°C |
| 2. Wärmeleitfähigkeit | 1,3-1,4 W/(m-K) |
| Thermische Eigenschaften | |
| Maximale Betriebstemperatur (ununterbrochen) | 1200℃ |
| Maximale Betriebstemperatur (kurzzeitig) | 1450℃ |
| Erweichungspunkt | 1730℃ |
| Widerstandsfähigkeit gegen thermische Schocks | Hervorragend (widersteht schnellen Temperaturschwankungen ohne Rissbildung) |
| 3. Optische Eigenschaften | |
| Durchlässigkeit für sichtbares Licht | ≥ 93% |
| UV-Durchlässigkeit (254 nm) | ≥ 80% |
| Brechungsindex (589,3 nm) | 1.4585 |
| 4. Elektrische Eigenschaften | |
| Volumenwiderstand (20°C) | ≥ 10¹⁸ Ω-cm |
| Dielektrische Festigkeit | 25-40 kV/mm |
Kundenspezifische Abmessungen
| Modell | Äußerer Durchmesser (mm) | Flansch-Außendurchmesser (mm) | Länge (mm) | SiO₂ Inhalt (%) | Anmerkungen |
| AT-FLG-SY01 | Benutzerdefiniert | Benutzerdefiniert | Benutzerdefiniert | 99.99 | Ein Ende versiegelt / Beide Enden offen |
TOQUARTZ® löst Herausforderungen mit geflanschtem Quarzglasrohr
Geflanschte Quarzglasröhren für Hochtemperaturreaktionen im Labor
Die wichtigsten Vorteile
-
Integrität der Flanschabdichtung bei thermischer Belastung
Behält seine leckfreie Abdichtung nach mehr als 50 Wärmezyklen zwischen 25°C und 1100°C bei. -
Kontaminationsfreie Oberfläche
Die Oberflächenrauhigkeit Ra ≤ 0,4μm verringert die Rückhaltung von Chemikalienrückständen bei Säuredampftests. -
Dimensionsstabilität in säurehaltiger Umgebung
<0.02% dimensional change after 72h exposure to HCl vapor at 900°C.
TOQUARTZ®-Lösung
Ein deutsches Universitätslabor verwendete zuvor Borosilikatrohre in Säuredampftests bei 950°C, was zu 18% Ausfall aufgrund von Flanschverformung und Leckage führte. Nach der Umstellung auf geflanschte Quarzrohre von TOQUARTZ® wurde eine Leckage von 0% über 60 Zyklen erreicht und die Kontamination der Proben um 92% reduziert, was ununterbrochene dreiwöchige Testläufe ermöglichte.
Geflanschte Quarzglasrohre für die CVD- und Halbleiterverarbeitung
Die wichtigsten Vorteile
-
Geringste Metallionenkontamination
Al-, Na-, K-Gehalt < 1 ppm, verifiziert durch ICP-MS, gewährleistet Reinheit in Halbleiterqualität. -
Flanschebenheitstoleranz ≤ ±0,05mm
Gewährleistet einen gleichmäßigen Gasfluss und eine gleichmäßige Abdichtung in automatisierten CVD-Kammern. -
Temperaturwechselbeständigkeit > 1000 Zyklen
Keine Mikrorissbildung nach 1000x 200°C-1000°C Wärmezyklen (gemäß ASTM C1525).
TOQUARTZ®-Lösung
Ein japanischer Halbleiter-OEM hatte aufgrund von Mikrolecks in seinen CVD-Röhren mit einem Ertragsverlust bei 12%-Wafern zu kämpfen. TOQUARTZ® lieferte kundenspezifisch geflanschte Rohre mit einer Flanschebenheit von ≤0,05 mm und verifizierten Verunreinigungsgraden <1ppm. Yield loss dropped to <1.5%, and maintenance intervals extended from 3 to 9 months.
Geflanschte Quarzglasrohre für die industrielle Beheizung und Verarbeitung
Die wichtigsten Vorteile
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Mechanische Festigkeit des Flansches ≥ 45 MPa
Hält einem 24/7-Ofenbetrieb bei 1150°C stand, ohne dass die Flansche reißen oder sich verziehen. -
Gleichmäßigkeit der Wandstärke ±0,1 mm über 1,5 m
Verhindert thermische Hotspots und sorgt für eine gleichmäßige Wärmeverteilung in langen Rohröfen. -
Ermüdungsfestigkeit bei zyklischer Belastung
Kein Strukturversagen nach 10.000 thermischen Zyklen (ΔT = 800°C) in simulierten Ofentests.
TOQUARTZ®-Lösung
Ein US-amerikanischer Hersteller von Wärmebehandlungsanlagen meldete alle 4-6 Monate Flanschrisse in Aluminiumoxidrohren. Nach der Einführung von TOQUARTZ® geflanschten Quarzrohren mit verstärkter Flanschgeometrie und einer Wandtoleranz von ±0,1 mm erhöhte sich die Lebensdauer der Rohre auf 18 Monate, was die jährlichen Ausfallzeiten um 72 Stunden reduzierte.
TOQUARTZ® Kundenspezifische Dienstleistungen für geflanschte Quarzglasrohre
TOQUARTZ® ist auf die Herstellung kundenspezifischer geflanschter Quarzrohre spezialisiert, die auf Ihre spezifischen Anwendungsanforderungen zugeschnitten sind. Unser Ingenieurteam arbeitet eng mit unseren Kunden zusammen, um Lösungen für einzigartige technische Herausforderungen zu entwickeln.
Individuelle Gestaltungsmöglichkeiten
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Kundenspezifische Flanschkonfigurationen
Standard-, geschliffene Glas- oder Spezialausführungen für besondere Anschlussanforderungen -
Mehrflansch-Ausführungen
Rohre mit mehreren Zugangspunkten oder Anschlussflanschen für komplexe Aufbauten -
Integrierte Komponenten
Röhrchen mit eingebauten Schikanen, Probenhaltern oder speziellen inneren Merkmalen -
Kundenspezifische Oberflächenbehandlungen
Feuerpoliert, geschliffen oder spezielle Oberflächenbehandlungen für besondere optische oder abdichtende Anforderungen
Anpassungsprozess
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Technische Konsultation
Unsere Ingenieure prüfen Ihre Anwendungsanforderungen und liefern technischen Input für ein optimales Design. -
Entwurf & Zeichnungsgenehmigung
Wir erstellen detaillierte technische Zeichnungen, die Sie vor der Fertigung prüfen und genehmigen müssen. -
Entwicklung von Prototypen (optional)
Für komplexe Entwürfe können wir Prototypmuster zur Prüfung und Validierung herstellen. -
Produktion und Qualitätskontrolle
Herstellung mit strengen Qualitätskontrollverfahren, um Maßgenauigkeit und Materialqualität zu gewährleisten.
Verwendungsrichtlinien für geflanschte Quarzglasrohre
Die richtige Handhabung und Installation von geflanschten Quarzglasrohren ist entscheidend für die Maximierung der Leistung und die Verlängerung der Lebensdauer. Die folgenden Richtlinien enthalten bewährte Verfahren für Installation, Betrieb und Wartung.
Installationsempfehlungen
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Gleichmäßige Druckverteilung:
Verwenden Sie geeignete Dichtungen (PTFE, Graphit oder Silikon) zwischen dem Flansch und den Gegenflächen, um eine gleichmäßige Druckverteilung zu gewährleisten. -
Kontrolliertes Anziehen:
Ziehen Sie die Flansche sternförmig und drehmomentgesteuert an, um Spannungskonzentrationen zu vermeiden, die zu Rissen führen können. -
Anforderungen an die Unterstützung:
Sorgen Sie bei horizontalen Installationen von mehr als 500 mm für eine ausreichende Abstützung entlang der Rohrlänge, um ein Durchhängen bei hohen Temperaturen zu verhindern. -
Zulage für thermische Ausdehnung:
Entwerfen Sie Montagesysteme, die die Wärmeausdehnung während der Heiz- und Kühlzyklen berücksichtigen.
Reinigung und Wartung
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Empfohlene Reinigung:
Verwenden Sie verdünnten Alkohol, Aceton oder spezielle Quarzreiniger. Vermeiden Sie Flusssäure, die Quarzglas angreift und beschädigt. -
Entfernung der Kaution:
Bei hartnäckigen Ablagerungen kann Wasserstoffperoxid mit Ammoniumhydroxid (SC-1-Lösung) bei organischen Verunreinigungen wirksam sein. -
Zeitplan für die Inspektion:
Prüfen Sie die Flanschoberflächen regelmäßig auf Späne, Risse oder Verunreinigungen, die die Dichtungsintegrität beeinträchtigen könnten.
Thermisches Management
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Heizrate:
Um eine optimale Temperaturwechselbeständigkeit zu erreichen, sollte die Aufheizgeschwindigkeit bei dickwandigen Rohren (> 3 mm) während der ersten 20 Minuten auf 10 °C/Minute begrenzt werden. -
Gleichmäßigkeit der Temperatur:
Achten Sie auf eine gleichmäßige Erwärmung des Rohrumfangs, um lokale Spannungen zu vermeiden. -
Überlegungen zur Kühlung:
Wenn möglich, wird eine natürliche Kühlung empfohlen. Wenn eine Zwangskühlung erforderlich ist, muss diese gleichmäßig erfolgen.
Empfehlungen zur Lagerung
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Speicherumgebung:
In einer sauberen, staubfreien Umgebung mit kontrollierter Luftfeuchtigkeit lagern, um Verunreinigungen zu vermeiden. -
Schutz:
Verwenden Sie Schutzkappen oder Abdeckungen, um die Flanschflächen während der Lagerung und Handhabung zu schützen. -
Handhabung:
Verwenden Sie immer saubere Handschuhe, um zu verhindern, dass sich Öle und Verunreinigungen auf den Oberflächen ablagern.
Sind Sie bereit, Ihre Anforderungen an geflanschte Quarzglasrohre zu besprechen?
Warum eine Partnerschaft mit TOQUARTZ
Vorteil der direkten Fabrik
Als direkter Hersteller können wir die zahlreichen Zwischenstufen ausschalten.
Technische Kompetenz
Das technische Team begleitet die Kunden von der Materialauswahl bis zur Designoptimierung und setzt die Spezifikationen in Ergebnisse um.
Flexible Fertigung
Bearbeitung von Standard- und kundenspezifischen Aufträgen mit Hilfe von Kleinserien und Prototyping, um dringende Fristen einzuhalten.
Qualität
Versicherung
3-Stufen-Validierung vor dem Versand:
1. Maßhaltigkeit,
2. Materialreinheit ,
3. Leistungsschwellen
Globale Lieferkette
Zuverlässige globale Logistik zu den industriellen Zentren (Priorität DE/US/JP/KR) mit nachvollziehbaren Meilensteinen.
Wiederverwertete Produkte
Als spezialisierter Hersteller mit direkten Fertigungsmöglichkeiten bietet TOQUARTZ sowohl Standard- als auch kundenspezifische Quarzlösungen mit technischer Unterstützung während des gesamten Spezifikations- und Implementierungsprozesses.
FAQ
F: Was sind die maximalen Betriebstemperaturen für geflanschte Quarzglasrohre?
A: TOQUARTZ® geflanschte Quarzrohre können kontinuierlich bei Temperaturen von bis zu 1200°C eingesetzt werden. Für kurzfristige Anwendungen können sie Temperaturen von bis zu 1450°C standhalten. Das Material hat einen Erweichungspunkt von ca. 1730°C, was eine erhebliche Sicherheitsmarge für Hochtemperaturanwendungen bietet.
F: Wie hoch ist der chemische Reinheitsgrad von TOQUARTZ® Flanschquarzrohren?
A: Unsere Standard-Quarzflanschrohre werden aus hochreinem Quarzglas mit einem SiO₂-Gehalt von 99,99% hergestellt. Wichtige Verunreinigungen (Al, Na, K, Li usw.) liegen in der Regel im niedrigen ppm-Bereich. Für Anwendungen, die einen noch höheren Reinheitsgrad erfordern, können wir eine detaillierte Analyse der Zusammensetzung durchführen und möglicherweise spezielle Materialien mit einem Reinheitsgrad von bis zu 99,995% SiO₂ beschaffen.
F: Welche Materialien werden für Dichtungen beim Abdichten von geflanschten Quarzrohren empfohlen?
A: Für Hochtemperaturanwendungen (bis zu 260°C) werden PTFE-Dichtungen (Teflon) empfohlen. Für Temperaturen bis zu 450°C sind Graphitdichtungen gut geeignet. Spezielles Hochtemperatursilikon kann bis zu 300°C verwendet werden. Für sehr hohe Temperaturen (>450°C) können je nach Anwendungsfall Keramikfaserdichtungen oder Metall-C-Ringe mit entsprechenden Beschichtungen geeignet sein.
F: Können geflanschte Quarzrohre in Vakuumanwendungen verwendet werden?
A: Ja, TOQUARTZ® geflanschte Quarzrohre sind für Vakuumanwendungen geeignet. Mit geeigneten Dichtungen und Dichtungsmethoden können sie ein Vakuum bis zu 10-⁶ Torr aufrechterhalten. Für Ultrahochvakuumanwendungen können spezielle Flanschkonstruktionen und Vorbereitungsmethoden erforderlich sein. Unser technisches Team kann Sie bei der optimalen Konfiguration von Vakuumsystemen beraten.
F: Wie gebe ich die richtigen Flanschabmessungen für meine Anwendung an?
A: Für eine optimale Abdichtung und Kompatibilität empfehlen wir die Angabe der folgenden Spezifikationen: Flansch-Außendurchmesser, Flanschdicke, Flanschflächenart (flach, konisch oder geschliffen) und jede spezifische Verbindungsnorm, an die Sie angepasst sind. Unser technisches Team kann Sie mit Empfehlungen auf der Grundlage Ihrer Betriebsbedingungen und Anschlussanforderungen unterstützen.
Wenden Sie sich für technische Beratung und Preisgestaltung an unser Ingenieurteam. Wir helfen Ihnen bei der Auswahl der optimalen Spezifikationen für Ihre Anwendungsanforderungen.
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