- Inicio
- /
- Aplicaciones
- /
- Vidrio de cuarzo semiconductor
- /
- Horno de cuarzo de sellado atmosférico...
Puerta de cuarzo hermética a medida para hornos de semiconductores -TOQUARTZ
Características de la puerta del horno de cuarzo
Las puertas de cuarzo para hornos fabricadas por TOQUARTZ® son componentes de ingeniería de precisión diseñados para aplicaciones de alta temperatura en hornos industriales. Estos componentes críticos ofrecen una combinación única de propiedades térmicas, mecánicas y químicas que garantizan un rendimiento óptimo en entornos exigentes.
Resistencia a altas temperaturas
Soporta temperaturas de funcionamiento de hasta 1600°C sin deformarse ni degradarse, por lo que es ideal para procesos de alta temperatura en la fabricación de semiconductores y fotovoltaicos.
Resistencia al choque térmico
Excelente resistencia a los ciclos térmicos y a los cambios bruscos de temperatura, lo que evita el agrietamiento y prolonga la vida útil en entornos térmicos exigentes.
Baja expansión térmica
Con un coeficiente de dilatación térmica de 5,5×10-⁷/K, las puertas de cuarzo para hornos mantienen la estabilidad dimensional durante las fluctuaciones de temperatura, lo que garantiza un sellado fiable y la integridad del proceso.
- Resiste los corrosivos del proceso de semiconductores
- SiO2 de grado semiconductor 99,99%
- Dimensiones personalizables
Especificaciones técnicas de la puerta del horno de cuarzo
Las puertas de cuarzo para hornos TOQUARTZ® se fabrican siguiendo especificaciones precisas, lo que garantiza un rendimiento óptimo en aplicaciones exigentes de alta temperatura. Los siguientes datos técnicos proporcionan información detallada sobre las propiedades físicas, químicas y térmicas de nuestros productos.
| Propiedad | Valor | Unidad |
| Material | Cristal de cuarzo de gran pureza | – |
| Contenido de SiO₂ | ≥99.99 | % |
| Temperatura máxima de trabajo | 1600 | °C |
| Coeficiente de dilatación térmica | 5.5×10-⁷ | /K |
| Conductividad térmica | 1.3 | W/(m-K) |
| Densidad | 2.2 | g/cm³ |
| Resistencia a la tracción | 50 | MPa |
| Tolerancia dimensional | ±0.2 | mm |
| Acabado superficial | Fuego pulido | – |
| Resistencia química | Resistente a ácidos, álcalis y gases fluorados | – |
TOQUARTZ® Resolviendo retos críticos con puertas de cuarzo para hornos
Puertas de horno de cuarzo en la fabricación fotovoltaica
Principales ventajas
-
Precisión de retención atmosférica dentro de ±1,5%
Mantiene la estabilidad de la concentración de gas dopante durante la difusión a 950°C para obtener perfiles de dopaje uniformes. -
Desviación de la uniformidad del dopaje <2% across 156mm wafers
Garantiza una resistencia de lámina y una eficiencia de célula constantes en líneas solares de alto rendimiento. -
El riesgo de contaminación se reduce con 85% frente a las puertas de alúmina
El cuarzo de gran pureza evita la difusión de iones metálicos, preservando la integridad de la oblea de silicio.
Solución TOQUARTZ
Un fabricante de células solares de primer nivel de Corea informó de una pérdida de rendimiento de 2,8% debido a un dopaje inconsistente causado por fugas de gas en los extremos del horno.
TOQUARTZ® suministró puertas de horno de cuarzo personalizadas con ranuras de junta tórica optimizadas y una pureza de SiO₂ de 99,99%. Tras la instalación, el rendimiento mejoró en 2,4%, y el uso de gas dopante se redujo en 11%, ahorrando más de $18.000/mes en costes de material.
Puertas de hornos de cuarzo fundido en el procesamiento de semiconductores
Principales ventajas
-
Generación de partículas <0.1 pcs/cm²/hour under 1200°C
Minimiza la contaminación en procesos de oxidación en salas blancas de clase 100. -
Desviación dimensional <0.05mm after 500 thermal cycles
Mantiene la integridad del sellado durante los ciclos rápidos de recocido y oxidación. -
Resistencia a la corrosión por Cl₂ y HCl hasta 1000 ppm.
Garantiza la estabilidad estructural en entornos agresivos de gases semiconductores.
Solución TOQUARTZ
Una fábrica de semiconductores estadounidense sufrió 4 paradas imprevistas en 2 meses debido a la corrosión de las puertas de cerámica durante la oxidación con HCl.
TOQUARTZ® suministró puertas de cuarzo para hornos con mayor resistencia química y estabilidad dimensional. El tiempo de inactividad se redujo en 92%, lo que supuso un ahorro de $380.000 en producción perdida y una reducción de la frecuencia de mantenimiento de 60%.
Puertas de vidrio de cuarzo para hornos en aplicaciones de investigación de laboratorio
Principales ventajas
-
Transmitancia óptica >90% a 400-800nm
Permite la supervisión visual en tiempo real de los procesos de cristalización y reacción. -
Integración multipuerto con tolerancia de ±0,2 mm
Admite termopar, entrada de gas y puertos de muestreo en configuraciones compactas de laboratorio. -
Plazo de entrega personalizado <18 days for R&D projects
Acelera los plazos de experimentación con la creación y entrega rápidas de prototipos.
Solución TOQUARTZ
Un laboratorio universitario japonés necesitaba una puerta de horno de cuarzo con dos mirillas y 3 puertos de gas para un estudio de crecimiento de cristales en el que el tiempo era un factor importante. Los proveedores estándar ofrecían un plazo de 6-8 semanas.
TOQUARTZ® suministró una unidad totalmente personalizada en 17 días. El proyecto cumplió su objetivo de financiación y el laboratorio informó de una mejora de 30% en el rendimiento experimental.
Servicios de personalización TOQUARTZ® para puertas de horno de sílice fundida
Ingeniería y diseño
- Conversión y optimización de dibujos técnicos
- Modelado 3D de geometrías complejas
- Selección de materiales para aplicaciones específicas
- Consulta de diseño para un rendimiento óptimo
Capacidad de fabricación
- Dimensiones y grosores de pared personalizados
- Configuraciones especializadas de la superficie de sellado
- Integración de mirillas o puertos de acceso
- Diseños de ranura de junta tórica para requisitos de estanquidad específicos
Servicios acelerados
- Creación rápida de prototipos para validar el diseño
- Producción de pequeños lotes para pruebas
- Fabricación de repuestos de emergencia
- Envío en 24 horas para artículos en stock
Pautas de uso de la puerta del horno de cuarzo
La manipulación, instalación y mantenimiento adecuados de las puertas de cuarzo de los hornos son esenciales para maximizar la vida útil y garantizar un rendimiento óptimo en aplicaciones de alta temperatura. Siga estas directrices para evitar daños y prolongar la vida útil de sus componentes de cuarzo.
Manipulación y almacenamiento
- Utilice guantes limpios y sin polvo al manipular las puertas de cuarzo del horno para evitar la contaminación de la superficie
- Almacenar en el envase original o en superficies limpias y acolchadas, lejos de posibles impactos.
- Mantener el entorno de almacenamiento a temperatura y humedad controladas (40-60% HR)
- Evitar la exposición al ácido fluorhídrico (HF) durante el almacenamiento
- Inspeccione si hay microfisuras o daños antes de la instalación
Procedimiento de instalación
- Limpie bien las superficies de montaje antes de la instalación
- Utilice juntas tóricas o juntas de alta temperatura adecuadas que sean compatibles con los gases de proceso.
- Aplique una presión uniforme al fijarlo: evite apretarlo en exceso, ya que podría crear puntos de tensiónAplique una presión uniforme al fijarlo: evite apretarlo en exceso, ya que podría crear puntos de tensión
- Siga las especificaciones de par de apriete recomendadas para la tornillería de montaje
- Deje espacio suficiente para la dilatación térmica durante el funcionamiento
Gestión de la temperatura
- Respetar la temperatura nominal máxima (1200°C para puertas de cuarzo estándar)
- Controlar las tasas de calentamiento para <100°C/hour during initial warm-up to prevent thermal shock
- Garantizar la uniformidad de la temperatura en toda la puerta para evitar tensiones localizadas.
- Permiten un enfriamiento gradual al apagar los sistemas de hornos
- Evite el contacto directo con sistemas de refrigeración o disipadores de calor
Mantenimiento y limpieza
- Inspeccione periódicamente las superficies de sellado en busca de depósitos o daños
- Limpiar con alcohol isopropílico de gran pureza o acetona y toallitas sin pelusa
- Para depósitos persistentes, utilice soluciones ácidas diluidas (excepto HF) seguidas de un aclarado a fondo.
- Sustituya las juntas tóricas y las juntas de acuerdo con el programa del fabricante.
- Documentar el historial de mantenimiento para realizar un seguimiento de la vida útil y el rendimiento de los componentes
Indicadores de sustitución
- Microfisuras visibles o desvitrificación superficial
- Dificultad para mantener la atmósfera del proceso
- Disminución del rendimiento del proceso
- Aumento del consumo de gas o fluctuaciones de presión
¿Necesita asistencia técnica para los componentes de su horno?
y optimización del diseño para garantizar un rendimiento óptimo en su entorno específico.
Por qué asociarse con TOQUARTZ
Ventaja directa de fábrica
Como fabricante directo, podemos suprimir los numerosos eslabones intermedios.
Experiencia en ingeniería
El equipo técnico guía a los clientes desde la selección de materiales hasta la optimización del diseño, traduciendo las especificaciones en resultados.
Fabricación flexible
Gestión de pedidos estándar y personalizados mediante la experiencia en lotes pequeños y el rigor en la creación de prototipos para cumplir los plazos urgentes.
Calidad
Garantía
Validación previa al envío en tres pasos:
1. precisión dimensional,
2. pureza del material ,
3. umbrales de rendimiento
Cadena mundial de suministro
Logística global fiable a centros industriales (prioridad DE/US/JP/KR) con hitos rastreables.
Productos recuperados
Como fabricante especializado con capacidad directa de fábrica, TOQUARTZ proporciona soluciones de cuarzo tanto estándar como personalizadas con soporte de ingeniería durante todo el proceso de especificación e implementación.
PREGUNTAS FRECUENTES
P: ¿Para qué sirve una puerta de horno de cuarzo?
R: Las puertas de cuarzo para hornos se utilizan para sellar los extremos de los hornos de alta temperatura y, al mismo tiempo, mantener estables la temperatura interna y las condiciones atmosféricas. Son componentes críticos en la fabricación de semiconductores, la producción fotovoltaica y la investigación de laboratorio, donde la integridad del proceso y el control de la contaminación son esenciales. Las puertas ayudan a mantener una composición precisa del gas y evitan la pérdida de calor, al tiempo que permiten supervisar el proceso en algunas configuraciones.
P: ¿Cómo sustituir una puerta de cuarzo en un horno de difusión?
R: Para sustituir una puerta de horno de cuarzo en un horno de difusión:
1. Asegúrese de que el horno se ha enfriado completamente para evitar un choque térmico
2. Desconecte cualquier línea de gas o equipo de control conectado a la puerta.
3. Retire los herrajes de montaje mientras sujeta la puerta para evitar que se caiga.
4. Extraiga con cuidado la puerta antigua sin que entre en contacto con los elementos calefactores
5. Limpie a fondo la superficie de montaje
6. Inspeccione y sustituya las juntas tóricas o juntas
7. Instale la nueva puerta de cuarzo utilizando los herrajes de montaje adecuados
8. Apriete los tornillos en cruz para asegurar una presión uniforme.
9. Reconectar los conductos de gas y el equipo de control
10. Pruebe si hay fugas utilizando un método apropiado para sus gases de proceso.
P: ¿Pueden las puertas de cuarzo de los hornos soportar ciclos de alta temperatura?
R: Sí, las puertas de cuarzo para hornos están diseñadas específicamente para soportar ciclos de alta temperatura. Su bajo coeficiente de dilatación térmica (5,5×10-⁷/K) las hace muy resistentes al choque térmico y a los cambios dimensionales durante los ciclos de calentamiento y enfriamiento. Por lo general, las puertas de cuarzo adecuadas pueden soportar miles de ciclos térmicos entre la temperatura ambiente y temperaturas de funcionamiento de hasta 1600°C, siempre que se controlen las velocidades de calentamiento y enfriamiento (por lo general, se recomiendan <100°C/hora durante las fases de calentamiento inicial y enfriamiento final). Para un rendimiento óptimo de los ciclos, es esencial un calentamiento/enfriamiento uniforme y un montaje adecuado que permita una dilatación térmica mínima.
P: ¿Cuál es la temperatura máxima de una puerta de horno de cuarzo?
R: Las puertas estándar de los hornos de cuarzo de gran pureza pueden soportar temperaturas de funcionamiento continuo de hasta 1600°C. La temperatura máxima práctica depende de varios factores, entre ellos:
1. Duración de la exposición (continua frente a intermitente)
2. Velocidad de cambio de temperatura (resistencia al choque térmico)
3. Tensión mecánica durante el montaje
4. Presencia de contaminantes alcalinos (que pueden reducir el punto de ablandamiento)
A temperaturas cercanas a 1600°C, el cuarzo comienza a desvitrificarse con el tiempo, formando estructuras cristalinas que pueden comprometer la integridad mecánica. Para aplicaciones que requieran temperaturas superiores a 1600°C, pueden ser necesarias formulaciones especializadas o materiales alternativos.
P: ¿Cómo pedir a medida una puerta de cuarzo para un horno tubular?
R: Para realizar un pedido personalizado de una puerta de horno de cuarzo para un horno tubular, proporcione la siguiente información:
1. Diámetro exterior y espesor de pared del tubo de su horno
2. Método de sellado requerido (junta tórica, conexión embridada, etc.)
3. 3. Puertos necesarios (entradas/salidas de gas, acceso al termopar, etc.)
4. Gama de temperaturas y requisitos de ciclado
5. Composición de la atmósfera del proceso (especialmente si hay gases corrosivos)
6. Dibujos técnicos o fotografías de la instalación actual (si están disponibles)
7. Descripción de la aplicación para ayudar a optimizar el diseño
TOQUARTZ puede desarrollar un diseño personalizado basado en sus requisitos, proporcionar dibujos técnicos para su aprobación y fabricar según especificaciones precisas con plazos de entrega típicos de 2-3 semanas para diseños personalizados.
Póngase en contacto con nuestro equipo de ingeniería para obtener asesoramiento técnico y precios. Le ayudaremos a seleccionar las especificaciones óptimas para los requisitos de su aplicación.
Español 
English 
Русский 
العربية 
Deutsch 
한국어 
Français 
Português do Brasil 
Türkçe