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Kundenspezifischer Quarz-Wafer-Bootsträger für Halbleiter- und PV-Öfen -TOQUARTZ®
Der aus hochreinem Quarz (bis zu 99,995% SiO₂) gefertigte Quarzboothalter bietet eine außergewöhnliche thermische Stabilität bis zu 1300°C und eine hervorragende Beständigkeit gegen Säuren, Laugen und Fluoridgase.
Merkmale von Quarz-Wafer-Bootsträgern
Hochreines Material
Hergestellt aus hochreinem (bis zu 99,995%) Quarz, der ein minimales Kontaminationsrisiko bei der Hochtemperaturverarbeitung von Halbleiterwafern und Photovoltaikzellen gewährleistet.
Thermische Stabilität
Bewahrt die strukturelle Integrität bei Temperaturen bis zu 1100°C für den Langzeitbetrieb und bis zu 1300°C für kurzfristige Prozesse, ideal für Diffusionsofenanwendungen.
Strukturelle Stabilität
Entwickelt mit optimaler Strukturmechanik, um beladene Waferboote zu unterstützen und gleichzeitig eine stabile Positionierung während der thermischen Zyklusprozesse zu gewährleisten.
Chemische Beständigkeit
Außergewöhnliche Beständigkeit gegen Säuren, Laugen, geschmolzene Salze und fluoridhaltige Gase, was eine lange Lebensdauer in aggressiven chemischen Umgebungen, wie sie in der Halbleiterverarbeitung üblich sind, gewährleistet.
- Beständigkeit gegen Fluoridgas in einem 72-stündigen Belastungstest nachgewiesen
- 3× längere Lebensdauer bei 1000°C Temperaturwechsel
- Thermische Verformungsrate <0.02% at 1200°C
Technische Daten des Quarzscheiben-Bootträgers
Technische Spezifikationen von Quarzglas-Wafer-Bootsträgern
Physikalische Eigenschaften
| Eigentum | Wert | Einheit |
| Dichte | 2,2 g/cm3 | Standard |
| Biegefestigkeit | 48 MPa | ASTM C158 |
| Elastischer Modul | 72 GPa | Bei Raumtemperatur |
| Querkontraktionszahl | 0.14-0.17 | Standardangebot |
| Druckfestigkeit | 1100 MPa | Hohe strukturelle Integrität |
| Biegefestigkeit | 67 MPa | Für tragende Anwendungen |
| Mohs-Härte | 5.5-6.5 | Kratzfest |
Thermische Eigenschaften
| Eigentum | Wert | Einheit |
| Maximale Betriebstemperatur (Langzeit) | 1100°C | Kontinuierlicher Betrieb |
| Maximale Betriebstemperatur (kurzzeitig) | 1300°C | Kurze Bearbeitungszyklen |
| Wärmeleitfähigkeit | 1,4 W/m-K | Bei Raumtemperatur |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 5.5×10-⁷/°C | Geringe Ausdehnung für Formstabilität |
Optische und elektrische Eigenschaften
| Eigentum | Wert | Einheit |
| Spezifische Resistenz | 7×10⁷ Ω-cm | Hervorragende elektrische Isolierung |
| Brechungsindex | 1.4585 | Optische Qualität |
Kundenspezifische Abmessungen von Fused Quartz Wafer Boat Carrier
TOQUARTZ® ist in der Lage, kundenspezifische Spezifikationen auf der Grundlage der Kundenanforderungen zu erfüllen. Wenden Sie sich an unser Technikteam, um detaillierte Maßangaben und Optionen für kundenspezifische Größen zu erhalten.
Lösung kritischer Herausforderungen mit TOQUARTZ®-Quarz-Wafer-Bootsträgern
Quarzglas-Wafer-Bootsträger für die Halbleiterfertigung Präzision
Die wichtigsten Vorteile
-
Optische Transparenz für die In-situ-Überwachung
Ermöglicht die visuelle Inspektion in Echtzeit während der Waferbearbeitung in transparenten Ofenkammern. -
Thermische Verformungsrate <0.02% at 1200°C
Bewahrt die strukturelle Integrität bei längerer Hochtemperaturbelastung in Diffusionsöfen. -
Beständigkeit gegen Fluoridgas in einem 72-stündigen Belastungstest nachgewiesen
Nach kontinuierlicher Einwirkung von CF₄- und HF-Atmosphären wurde keine Verschlechterung der Oberfläche beobachtet.
TOQUARTZ®-Lösung
TOQUARTZ® wendet ein mehrstufiges Glühverfahren und ein kontrolliertes Abkühlungsprotokoll an, um innere Spannungen zu minimieren und thermische Verformungen zu verhindern. In Kombination mit unseren firmeneigenen Quarzreinigungs- und Formgebungsverfahren gewährleistet dies Dimensionsstabilität selbst bei wiederholten thermischen Zyklen von 1200 °C. Kunden berichten von einer gleichmäßigen Ausrichtung der Wafer über alle Chargen hinweg, ohne dass eine Nachbearbeitung erforderlich ist.
Quarzglas-Wafer-Bootsträger für die Effizienz der Photovoltaikzellenproduktion
Die wichtigsten Vorteile
-
3× längere Lebensdauer bei 1000°C Temperaturwechsel
Übersteht mehr als 90 Zyklen ohne Mikrorissbildung und übertrifft damit Standardstützen. -
0% Ausfallrate in der 6-monatigen PV-Leitungssimulation
Bei beschleunigten Alterungstests, die den täglichen Ofeneinsatz simulieren, wurde kein strukturelles Versagen festgestellt. -
$15.000+ vermiedene Ausfallzeiten pro Vorfall
Verhindert ungeplante Bandstillstände, die durch plötzlichen Bruch des Trägers in der Massenproduktion verursacht werden.
TOQUARTZ®-Lösung
TOQUARTZ® verwendet geschmolzenen Quarz mit hoher Dichte und verbesserter Temperaturwechselbeständigkeit, kombiniert mit Kantenabrundung und spannungsfreiem Polieren, um Rissbildungspunkte zu vermeiden. Unsere Träger werden vor dem Versand einer Temperaturwechselsimulation unterzogen, um sicherzustellen, dass sie die von PV-Herstellern geforderten Haltbarkeitsschwellen bei 900-1100 °C erfüllen. Durch diese proaktive Validierung werden Notauswechslungen und Produktionsausfälle reduziert.
Fused Silica Wafer Boat Carrier für Flexibilität in Forschung und Entwicklung
Die wichtigsten Vorteile
-
MOQ = 1 Stück für kundenspezifische Geometrien
Unterstützt die Herstellung von Prototypen aus einem Stück ohne Mindestbestellmengenbeschränkung. -
Durchschnittliche Vorlaufzeit von 2,5 Wochen für kundenspezifische Halterungen
Der 60% wird schneller geliefert als der Branchendurchschnitt von 6-8 Wochen für F&E-Konfigurationen. -
100% Zeichnungsunterstützung durch eigene Ingenieure
Umfasst 2D/3D-CAD-Unterstützung für schnelle Entwurfsiterationen und -validierung.
TOQUARTZ®-Lösung
TOQUARTZ® unterhält eine eigene F&E-Produktionslinie mit flexiblen Werkzeugen und schnellen Prototyping-Möglichkeiten. Unser Ingenieurteam arbeitet direkt mit Forschungskunden zusammen, um gemeinsam kundenspezifische Quarzbootträger zu entwickeln, und bietet umfassende Unterstützung bei der Zeichnung und iteratives Feedback. Dies ermöglicht die Lieferung von funktionalen Prototypen in weniger als 3 Wochen und beschleunigt die Versuchszeiten ohne MOQ-Beschränkungen.
TOQUARTZ® Anpassungsdienste für Quarzglas-Wafer-Bootträger
Technische Unterstützung
Die Ingenieure von TOQUARTZ bieten Unterstützung bei technischen Zeichnungen, Materialempfehlungen und Konstruktionsoptimierung, um sicherzustellen, dass Ihr Quarzbootträger alle Leistungsanforderungen erfüllt.
Schnelles Prototyping
Die beschleunigte Herstellung von Prototypen von Quarz-Wafer-Boot-Haltern ermöglicht es Ihnen, Entwürfe zu testen und zu überprüfen, bevor Sie sich für die volle Produktionsmenge entscheiden.
Spezielle Oberflächenbehandlungen
Kundenspezifische Oberflächenbehandlungen wie Feuerpolieren, Präzisionsschleifen oder Sandstrahlen, um bestimmte optische, thermische oder mechanische Anforderungen zu erfüllen.
Kundenspezifischer Designprozess
Analyse der Anforderungen
- Senden Sie uns Ihre Spezifikationen einschließlich Abmessungen, Temperaturanforderungen und Anwendungsdetails. Unsere Ingenieure werden diese prüfen und innerhalb von 24-48 Stunden eine erste Rückmeldung geben.
Design und Technik
- Unser technisches Team entwickelt detaillierte Entwürfe, Materialspezifikationen und Fertigungsverfahren, die auf Ihre Anwendung zugeschnitten sind. Wir stellen Ihnen CAD-Zeichnungen zur Genehmigung zur Verfügung.
Produktion von Prototypen
- Herstellung erster Quarzbootmuster für Test- und Validierungszwecke. Die typische Vorlaufzeit für kundenspezifische Prototypen beträgt 2-3 Wochen, im Vergleich zu den branchenüblichen 6-8 Wochen.
Produktion und Qualitätskontrolle
- Vollständige Produktion mit umfassender Qualitätskontrolle, einschließlich Maßprüfung, Sichtprüfung und Materialzertifizierung. Alle Produkte enthalten eine detaillierte Qualitätsdokumentation.
Verwendungsrichtlinien für Quarzglas-Wafer-Bootsträger
Einbau und Positionierung
- Überprüfen Sie die Kompatibilität des Ofens und positionieren Sie die Quarzbootstützen symmetrisch, um eine gleichmäßige Gewichtsverteilung zu gewährleisten.
- Verwenden Sie immer saubere, puderfreie Handschuhe, um Verunreinigungen und Fingerabdrücke zu vermeiden.
- Achten Sie auf ausreichenden Abstand zwischen den Quarzschiffchenhaltern und den Ofenwänden, um mechanische Belastungen zu vermeiden.
Temperatur-Management
- Vermeiden Sie schnelle Temperaturwechsel von mehr als 5°C/Minute, um Temperaturschocks und Mikrorisse zu vermeiden.
- Halten Sie die Temperatur unter 1100°C bei Dauerbetrieb oder 1350°C bei kurzen Verarbeitungszyklen.
- Um die Lebensdauer zu verlängern, sollten zwischen den Verarbeitungszyklen angemessene Abkühlzeiten eingehalten werden.
Wartung und Reinigung
- Reinigen Sie mit Reinstwasser oder Lösungsmitteln in Halbleiterqualität; vermeiden Sie scheuernde Reinigungsmethoden.
- Bei hartnäckigen Ablagerungen verdünnte HF-Lösung (2-5%) verwenden und anschließend gründlich mit entionisiertem Wasser abspülen.
- Prüfen Sie regelmäßig unter geeigneten Lichtverhältnissen auf Mikrorisse oder Oberflächenschäden.
Lagerung und Handhabung
- In sauberen, staubfreien Behältern mit geeigneter Polsterung lagern, um mechanische Beschädigungen zu vermeiden.
- Transport in der Originalverpackung mit geeigneten stoßdämpfenden Materialien.
- Vermeiden Sie es, schwere Gegenstände auf die Quarzbootstützen zu legen, auch wenn sie nicht benutzt werden.
Benötigen Sie technische Unterstützung bei Quarzglas-Waferhalterungen?
Warum eine Partnerschaft mit TOQUARTZ
Vorteil der direkten Fabrik
Als direkter Hersteller können wir die zahlreichen Zwischenstufen ausschalten.
Technische Kompetenz
Das technische Team begleitet die Kunden von der Materialauswahl bis zur Designoptimierung und setzt die Spezifikationen in Ergebnisse um.
Flexible Fertigung
Bearbeitung von Standard- und kundenspezifischen Aufträgen mit Hilfe von Kleinserien und Prototyping, um dringende Fristen einzuhalten.
Qualität
Versicherung
3-Stufen-Validierung vor dem Versand:
1. Maßhaltigkeit,
2. Materialreinheit ,
3. Leistungsschwellen
Globale Lieferkette
Zuverlässige globale Logistik zu den industriellen Zentren (Priorität DE/US/JP/KR) mit nachvollziehbaren Meilensteinen.
Wiederverwertete Produkte
Als spezialisierter Hersteller mit direkten Fertigungsmöglichkeiten bietet TOQUARTZ sowohl Standard- als auch kundenspezifische Quarzlösungen mit technischer Unterstützung während des gesamten Spezifikations- und Implementierungsprozesses.
FAQ
F: Was ist die Definition eines Quarzbootträgers?
A: Ein Quarzboot-Träger (auch Quarz-Waferboot-Halter genannt) ist ein Bauteil aus hochreinem Quarz, das zum Halten und Positionieren von Quarz-Waferbooten bei der Hochtemperaturverarbeitung von Halbleitern und Photovoltaikprodukten dient. Diese Träger sorgen für eine stabile Positionierung in Diffusionsöfen und anderen thermischen Verarbeitungsanlagen.
F: Was ist die Höchsttemperatur für Quarzbootträger?
A: TOQUARTZ®-Quarzbootträger können Dauerbetriebstemperaturen von bis zu 1100°C für Langzeitanwendungen und bis zu 1350°C für kurzfristige Verarbeitungszyklen standhalten. Die genaue Temperaturklasse hängt von der jeweiligen Konstruktion und Anwendung ab. Oberhalb dieser Temperaturen kann der Quarz erweichen oder sich verformen.
F: Wie sind die Preise für Quarzboote im Vergleich zu anderen Anbietern?
A: Die Preise für Quarzbootträger liegen in der Regel zwischen $30-150 pro Einheit, je nach Abmessungen, Komplexität und Bestellmenge. Während keramische Alternativen niedrigere Anfangskosten haben können, bieten Quarzbootträger eine bessere Temperaturstabilität, chemische Beständigkeit und längere Lebensdauer, was zu einem besseren langfristigen Wert und einem geringeren Risiko von Produktionsunterbrechungen führt.
F: Können die Werksdienstleistungen für Quarzbootträger auch Unterstützung bei der individuellen Gestaltung umfassen?
A: Ja, TOQUARTZ® bietet umfassende konstruktive Unterstützung für kundenspezifische Quarzbootshalterungen. Unser technisches Team arbeitet direkt mit den Kunden zusammen, um Lösungen zu entwickeln, die für spezifische Anwendungen optimiert sind, einschließlich Unterstützung bei CAD-Zeichnungen, Materialauswahl und Designoptimierung für thermische Stabilität und mechanische Festigkeit.
F: Welche Anbieter von Quarzbootträgern liefern am schnellsten?
A: TOQUARTZ® ist für seine branchenführenden Lieferzeiten bekannt, wobei Standardprodukte innerhalb von 24 Stunden und Sonderanfertigungen innerhalb von 2-3 Wochen geliefert werden. Laut Branchen-Benchmarks ist dies 50-60% schneller als bei durchschnittlichen Quarzkomponenten-Lieferanten, die in der Regel 6-8 Wochen für kundenspezifische Artikel benötigen.
Wenden Sie sich für technische Beratung und Preisgestaltung an unser Ingenieurteam. Wir helfen Ihnen bei der Auswahl der optimalen Spezifikationen für Ihre Anwendungsanforderungen.
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