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Was ist eine Quarzröhre? Materialzusammensetzung, Eigenschaften und industrielle Verwendungsmöglichkeiten

Zuletzt aktualisiert: 10/11/2025
Inhaltsübersicht
Was ist eine Quarzröhre? Materialzusammensetzung, Eigenschaften und industrielle Verwendungsmöglichkeiten

Ein Quarzrohr besteht aus hochreinem Quarzglas, das zu einem Zylinder geformt ist. Dieses Material enthält fast reines Siliziumdioxid, was es von normalem Glas unterscheidet. Die Industrie setzt Quarzrohre für Hochtemperatur-, optische und chemische Anwendungen ein. Die Halbleiterindustrie verwendet mehr als 60% aller Quarzrohre, während auf die Herstellung von Solarzellen über 30% entfallen. Die folgende Tabelle zeigt den Marktanteil nach Region und Branche:

Industrie

Marktanteil (%)

Halbleiterindustrie

>60%

Solar-Photovoltaik-Industrie

>30%

Region Asien-Pazifik

49%

Nord-Amerika

32.8%

Europa

25.3%

Wichtigste Erkenntnisse

  • Quarzröhren werden aus hochreinem Quarzglas hergestellt, das im Vergleich zu herkömmlichem Glas eine höhere thermische Stabilität und chemische Beständigkeit aufweist.

  • Die Halbleiterindustrie verwendet über 60% Quarzrohre, was ihre Bedeutung für High-Tech-Anwendungen unterstreicht.

  • Die amorphe Struktur von Quarzglas ermöglicht es, dass Quarzrohre thermischen Schocks widerstehen, was sie ideal für Umgebungen mit schnellen Temperaturschwankungen macht.

  • Die Wahl der richtigen Reinheit und des richtigen OH-Gehalts ist für Anwendungen wie die UV-Sterilisation und die Halbleiterherstellung von entscheidender Bedeutung, um eine Kontamination zu verhindern.

  • Regelmäßige Reinigung und sorgfältige Handhabung von Quarzrohren können ihre Leistung verbessern und ihre Lebensdauer verlängern.

Welche Materialzusammensetzung kennzeichnet eine Quarzröhre?

Welche Materialzusammensetzung kennzeichnet eine Quarzröhre?

Wie sich verschmolzenes Quarzglas von der Kristallstruktur des natürlichen Quarzes unterscheidet

Ein Quarzrohr wird aus Quarzglas hergestellt, das eine amorphe Struktur aufweist. Das bedeutet, dass die Atome kein regelmäßiges Muster bilden. Natürlicher Quarzkristall hingegen hat eine kristalline Struktur mit einer sich wiederholenden Anordnung der Atome. Der Unterschied in der Struktur wirkt sich auf Reinheit und Leistung aus.

Merkmal

Geschmolzenes Quarzglas

Natürlicher Quarzkristall

Struktur

Amorph (nicht kristallin)

kristallin

Zusammensetzung

Fast reines Siliziumdioxid in amorpher Form

Mineralische Verbindung aus Silizium und Sauerstoff

Reinheit

Höchster Reinheitsgrad (>99,95%)

Variable Reinheitsgrade (95-99,9%)

Quarzglas wird aus hochreinen synthetischen Siliziumdioxidquellen hergestellt. Quarzglas wird aus natürlichen Quarzkristallen oder verarbeitetem Siliziumdioxid hergestellt. Für Quarzglasrohre wird ausschließlich Quarzglas verwendet, da es einen höheren Reinheitsgrad und eine bessere thermische Stabilität aufweist.

Quarzglas weist eine metallische Gesamtverunreinigung von weniger als 1 ppm auf. Quarzglas enthält etwa 20 ppm an Verunreinigungen, hauptsächlich Al₂O₃, mit kleineren Mengen an Alkalien, Fe₂O₃, TiO₂, MgO und ZrO₂. Der Hydroxylgehalt (OH) in Quarzglas kann sehr hoch sein, während Quarzglas in der Regel einen geringeren OH-Gehalt aufweist.

Elektroschmelzen vs. Flammschmelzen Auswirkungen der Herstellung auf die Reinheit

Die Hersteller verwenden hauptsächlich zwei Methoden zur Herstellung Quarzrohre: Elektrisches Schmelzen und Flammenschmelzen. Beim elektrischen Schmelzen wird Quarzsand in einer kontrollierten Atmosphäre geschmolzen. Bei diesem Verfahren wird ein höherer Reinheitsgrad erzielt, da die Verunreinigung begrenzt wird. Beim Flammschmelzen werden Quarzkristalle in einer Hochtemperaturflamme geschmolzen. Bei diesem Verfahren können mehr Hydroxylgruppen (OH) eingebracht werden, die die Materialeigenschaften beeinflussen.

Art von Quarzsand

SiO₂ Reinheitsprozentsatz

Standard Quarzsand

≥ 99.98%

Hochreiner Quarzsand

≥ 99.995%

Produktionsverfahren

OH-Gehalt (ppm)

Elektrische Fusion

150

Flammenfusion

180 - 250

Beim Elektroschmelzen werden kontinuierliche und chargenweise Schmelzverfahren eingesetzt. Bei diesen Verfahren wird Quarzsand in einer kontrollierten Umgebung geschmolzen, wodurch die Kontamination gering gehalten wird. Beim Flammschmelzen wird eine Hochtemperaturflamme zum Schmelzen der Quarzkristalle verwendet. Dieser Prozess kann den OH-Gehalt erhöhen, was die Eigenschaften des Quarzrohrs verändern kann.

Verstehen der amorphen Struktur und der isotropen Eigenschaften

Die amorphe Struktur von Quarzglas verleiht Quarzrohren einzigartige Eigenschaften. Die Atome in Quarzglas reihen sich nicht in einem regelmäßigen Muster aneinander. Diese zufällige Anordnung macht das Material optisch isotrop. Es weist keine Doppelbrechung auf, so dass sein Brechungsindex in allen Richtungen gleich bleibt.

Quarzglas ist chemisch inert und widersteht den meisten Säuren. Dies macht es für die chemische Verarbeitung und die Halbleiterherstellung nützlich. Der Wärmeausdehnungskoeffizient ist sehr niedrig, etwa 0,5 × 10-⁶ K-¹. Diese Eigenschaft hilft Quarzrohren, Temperaturschocks zu widerstehen.

Durch die ungeordnete Anordnung der Atome in Quarzglas kann es große Temperaturschwankungen aushalten, ohne zu brechen. Kristallines Quarz hat eine starre Struktur, die es zwar härter macht, aber auch die Wahrscheinlichkeit erhöht, dass es bei thermischer Belastung bricht.

Quarzglas ist hart und robust. Die Hersteller können es für viele industrielle Zwecke bearbeiten und polieren. Die einzigartige mechanische Festigkeit und Flexibilität von Quarzrohren beruht auf ihrer amorphen Struktur.

Welche physikalischen und thermischen Eigenschaften machen Quarzglasrohre einzigartig?

Welche physikalischen und thermischen Eigenschaften machen Quarzglasrohre einzigartig?

Quarzröhren zeichnen sich durch ihre bemerkenswerten physikalischen und thermischen Eigenschaften aus. Diese Eigenschaften machen sie in Hochtemperatur-, optischen und chemischen Umgebungen unverzichtbar.

Mechanismen des Wärmeausdehnungskoeffizienten und der Temperaturwechselbeständigkeit

Quarzglas, das in Quarzrohren verwendete Material, hat einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten. Das bedeutet, dass es sich bei Erwärmung oder Abkühlung kaum ausdehnt oder zusammenzieht. In der nachstehenden Tabelle wird die Wärmeausdehnung von Quarzglas mit der anderer gängiger Glastypen verglichen:

Glas Typ

Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE) (10-⁶ /K)

Fused Silica

0.55

Borosilikat

3.25

Soda-Kalk-Glas

9.0

Der niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient trägt dazu bei, dass Quarzrohre bei plötzlichen Temperaturschwankungen nicht brechen. Mehrere Faktoren tragen zu ihrer hervorragenden Temperaturwechselbeständigkeit bei:

Faktor

Beschreibung

Geringe thermische Ausdehnung

Quarz hat einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, was die thermische Belastung im Vergleich zu anderen Materialien verringert.

Materielle Reinheit

Hochreiner Quarz ist widerstandsfähiger gegen Wärmeschocks; Verunreinigungen können Spannungspunkte erzeugen.

Wanddicke

Dickere Wände verteilen die Wärmespannung gleichmäßiger, aber zu dicke Wände können zu einer ungleichmäßigen Erwärmung führen.

Heizung/Kühlung Tarife

Allmähliche Veränderungen führen seltener zu einem Temperaturschock als schnelle Temperaturänderungen.

Qualität der Oberfläche

Glatte, fehlerfreie Oberflächen sind weniger anfällig für Rissbildung unter thermischer Belastung.

Quarzglasrohre können schnelle Temperaturschwankungen überstehen, die gewöhnliches Glas zerspringen lassen würden. Die einzigartige atomare Struktur von Quarzglas ermöglicht es, Wärme zu absorbieren und abzugeben, ohne dass sich Risse bilden.

Temperatur-Grenzwerte: Kontinuierliche vs. kurzzeitige maximale Betriebsbereiche

Quarzröhren können sehr hohe Temperaturen aushalten. Ihre Leistung hängt davon ab, wie lange sie der Hitze ausgesetzt sind und in welcher Umgebung sie arbeiten.

  • Bei langfristiger Verwendung können Quarzrohre Temperaturen von bis zu 50 °C standhalten. 1100°C.

  • Bei kurzfristiger Verwendung können sie Temperaturen von bis zu 1200°C.

  • Überschreitung von 1200°C kann zu einer Verformung des Quarzrohrs führen.

  • Unter Vakuumbedingungen sinkt die zulässige Höchsttemperatur auf 1000°C.

Quarzglasrohre bieten eine ausgezeichnete thermische Stabilität für die meisten industriellen Anwendungen. Im Vergleich dazu können Aluminiumoxid-Keramikrohre sogar noch höheren Temperaturen von bis zu 1800 °C standhalten und werden für die extremsten Bedingungen verwendet. Quarzglasrohre bieten jedoch eine einzigartige Kombination aus Reinheit und optischer Klarheit, die viele andere Keramiken nicht erreichen können.

Tipp: Prüfen Sie immer die Betriebsumgebung und die Temperaturanforderungen, bevor Sie ein Quarzrohr für Ihre Anwendung auswählen.

Dichte und mechanische Eigenschaften gemäß ASTM-Normen

Die Dichte und mechanische Festigkeit von Quarzglasrohren entsprechen strengen Industrienormen. Nach ASTM C693 hat Quarzglas eine Dichte von etwa 2,20 g/cm³. Diese niedrige Dichte in Verbindung mit der hohen Reinheit verleiht Quarzrohren ihre leichte und dennoch robuste Beschaffenheit.

Zu den wichtigsten mechanischen Eigenschaften gehören:

  • Härte: Quarzglasröhren sind hart und kratzfest und daher für anspruchsvolle Umgebungen geeignet.

  • Biegefestigkeit: Sie können Biegekräften standhalten, ohne zu brechen.

  • Druckfestigkeit: Quarzrohre widerstehen Quetschkräften, was in Hochdrucksystemen wichtig ist.

Die Hersteller testen diese Eigenschaften anhand von ASTM- und ISO-Normen, um sicherzustellen, dass jedes Quarzrohr die Qualitäts- und Sicherheitsanforderungen erfüllt.

Hinweis: Die Kombination aus geringer Dichte, hoher Festigkeit und thermischer Stabilität macht Quarzrohre ideal für Labor-, Halbleiter- und Industrieofenanwendungen.

Welche optischen und chemischen Eigenschaften ermöglichen spezialisierte Anwendungen?

Spezifikationen für die UV- und sichtbare Transmission für optische Anwendungen

Quarzglasröhren bieten hervorragende optische Klarheit. Sie übertragen sowohl ultraviolettes (UV) als auch sichtbares Licht mit hoher Effizienz. Diese Eigenschaft macht sie unentbehrlich für wissenschaftliche Instrumente, UV-Sterilisation und Fotolithografie. In der nachstehenden Tabelle wird die Lichtdurchlässigkeit von Quarzglasrohren und Borosilikatglasrohren verglichen:

Material

Durchlässigkeit für sichtbares Licht

UV-Durchlässigkeit

Optische Eigenschaften

Quarzglas-Rohr

> 93%

> 80%

Hervorragende optische Eigenschaften

Borosilikatglas-Rohr

~ 92%

K.A.

Gute Lichtdurchlässigkeit

Quarzglasrohre haben eine hohe UV-Durchlässigkeit, während Borosilikatglas die meisten UV-Strahlen blockiert. Dank dieses Unterschieds eignen sich Quarzglasrohre für Anwendungen, die eine starke UV-Belastung erfordern.

Auswirkungen des OH-Gehalts auf die Infrarotleistung und die Materialauswahl

Die Menge an Hydroxyl (OH)-Ionen in einem Quarzrohr beeinflusst seine Fähigkeit, Infrarot (IR)-Licht zu übertragen. Ein hoher OH-Gehalt erzeugt Absorptionsbanden, die IR-Wellenlängen blockieren, insbesondere oberhalb von 2,5 Mikrometern. Für Anwendungen wie Infrarotheizungen ist ein niedriger OH-Gehalt wichtig. In der nachstehenden Tabelle sind die empfohlenen OH-Gehalte für verschiedene Sorten aufgeführt:

Klasse Typ

OH Inhaltsebene

Standard

< 10 ppm

Spezialisiert

< 1 ppm

Durch die Wahl des richtigen OH-Gehalts wird sichergestellt, dass die Quarzröhre in der Infrarotumgebung gut funktioniert.

Normen und Leistungsgrenzen für die Prüfung der chemischen Beständigkeit

Quarzglasrohre widerstehen den meisten Säuren, Basen und Lösungsmitteln. Diese chemische Inertheit macht sie in Labors und chemischen Anlagen zuverlässig. Ihre Korrosionsbeständigkeit erhöht ihre Lebensdauer. Einige starke Säuren, Laugen und Metallsalze können jedoch die Oberfläche angreifen. In Laboratorien kann die Verwendung eines Quarzrohrs mit stark ätzenden Chemikalien seine Lebensdauer verkürzen. Die Wahl des richtigen Typs und das Ergreifen von Vorsichtsmaßnahmen tragen zur Erhaltung der Leistung bei.

  • Quarzröhren reagieren nicht mit den meisten Chemikalien.

  • Sie bleiben auch in rauen Umgebungen stabil.

  • Einige Chemikalien können ihre Lebensdauer verkürzen, daher ist die richtige Auswahl wichtig.

Wie wähle ich die richtigen Quarzröhrenspezifikationen für meine Anwendung?

Anpassung der Anforderungen an Reinheit und OH-Gehalt an die Art der Anwendung

Auswahl der richtigen Reinheit und OH-Gehalt eines Quarzrohrs hängt vom Verwendungszweck ab. Verschiedene Industriezweige benötigen bestimmte Qualitäten, um Leistung und Sicherheit zu gewährleisten. Für die Halbleiterherstellung ist höchste Reinheit unerlässlich. Die Reinheit von Quarz in Halbleiterqualität erreicht 99,995% SiO₂, wobei metallische Verunreinigungen wie Natrium, Kalium und Eisen unter einer Million Teile pro Million gehalten werden. Dies verhindert die Verunreinigung von Siliziumwafern und erhält die Produktqualität.

Typ

OH Inhalt

PQ181E/ PQ181EH

OH < 10 ppm

PQ181E-R/ PQ181EH-R

OH < 30 ppm

Viele empfindliche Anwendungen wie die UV-Desinfektion und die pharmazeutische Produktion erfordern ebenfalls eine hohe Reinheit. Die ultrahohe Reinheit (≥99,995% SiO₂) verhindert das Auslaugen von Metallionen. Glatte Oberflächen und enge Toleranzen helfen bei der Kontrolle von Verunreinigungen. Regelmäßige Reinigung und Inspektion halten die Rohre in optimalem Zustand.

  • Hochreine Quarzrohre sind für die UV-Sterilisation entscheidend, da Verunreinigungen das UV-Licht blockieren können.

  • In der Halbleiter- und Pharmaindustrie sind minimale Verunreinigungen erforderlich, um eine Kontamination zu vermeiden.

  • Quarz mit geringerem Reinheitsgrad kann für weniger empfindliche Anwendungen geeignet sein, was zeigt, dass die Art der Anwendung einen direkten Einfluss auf den erforderlichen Reinheitsgrad hat.

Maßtoleranzangaben für unterschiedliche Betriebsbedingungen

Die Maßtoleranz gewährleistet, dass ein Quarzrohr genau in seine Anwendung passt. Laborgeräte erfordern oft enge Toleranzen, um eine einwandfreie Funktion zu gewährleisten. Zum Beispiel:

  • Abmessungstoleranz: ±0,1 mm

  • Anwendung: Gewährleistet die nahtlose Integration in Chromatographiesysteme mit weniger als 0,2 mm Abstand.

Enge Toleranzen tragen zur Aufrechterhaltung des Vakuums in Halbleiterwerkzeugen bei und verhindern Lecks in Laboreinrichtungen. In weniger anspruchsvollen Umgebungen können etwas größere Toleranzen ausreichen. Passen Sie die Toleranzen immer an die Betriebsbedingungen und den erforderlichen Präzisionsgrad an.

Tipp: Prüfen Sie die Gerätespezifikationen, bevor Sie eine Quarzröhre auswählen, um Kompatibilität und zuverlässige Leistung sicherzustellen.

Ein Quarzrohr bietet gegenüber herkömmlichem Glas Vorteile wie UV-Transparenz, Temperaturwechselbeständigkeit und chemische Inertheit. Diese Eigenschaften unterstützen den Einsatz in Laborinstrumenten, bei der UV-Sterilisation und bei Hochtemperaturprozessen.

  • Hohe Temperaturbeständigkeit

  • Korrosionsbeständigkeit

  • Gute thermische Stabilität

  • Ausgezeichnete Lichtdurchlässigkeit

  • Elektrische Isolierung

Die Wahl der richtigen Spezifikationen, wie Reinheit und Größe, verbessert die Lebensdauer und Leistung.

Faktor

Auswirkungen

Materielle Reinheit

Erhöht die Widerstandsfähigkeit und Langlebigkeit

Temperatur Bewertung

Verhindert Ausfälle unter extremen Bedingungen

Größe und Form

Optimiert die Leistung für jede Anwendung

Regelmäßige Reinigung, allmähliche Erwärmung und sorgfältige Handhabung tragen zur Maximierung der Zuverlässigkeit bei.

FAQ

Was ist der Hauptunterschied zwischen Quarzglasrohren und normalen Glasrohren?

Quarzglasröhren enthalten fast reines Siliziumdioxid. Normale Glasrohre enthalten Zusatzstoffe wie Natrium und Kalzium. Dieser Unterschied verleiht Quarzrohren eine höhere Temperaturbeständigkeit und eine bessere optische Klarheit.

Für welche Anwendungen werden Quarzrohre am häufigsten verwendet?

In der Halbleiterherstellung, in Laborgeräten, bei der UV-Sterilisation und in Hochtemperaturöfen werden Quarzrohre verwendet. Diese Branchen benötigen Materialien, die hitzebeständig, chemikalienresistent und lichtdurchlässig sind.

Was macht Quarzrohre resistent gegen Temperaturschocks?

Quarzglasrohre haben einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten. Dank dieser Eigenschaft können sie schnelle Temperaturschwankungen aushalten, ohne zu brechen oder zu splittern.

Worauf sollten Käufer vor der Auswahl eines Quarzrohrs achten?

Käufer sollten Reinheitsgrad, OH-Gehalt, Größe und Toleranz überprüfen. Sie sollten auch die für ihre Anwendung erforderliche Temperaturklasse und chemische Beständigkeit prüfen.

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Bild von Author: ECHO YANG​

Autor: ECHO YANG

20 Jahre Erfahrung in der Herstellung von Quarzglas.

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Hier erhalten Sie umsetzbare Quarzglas-Tipps und können die Marktdynamik regelmäßig aktualisieren, z. B. Vorlaufzeiten für hochreines Quarzglas, US-Steuerschwankungen in Verbindung mit Kostenkontrolle usw.

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