As aplicações de fornos de alta temperatura com pureza de tubo de quartzo exigem uma pureza mínima de SiO₂ superior a 99,99% para evitar contaminação ao operar acima de 1000°C. Nesse nível, os tubos de quartzo apresentam excelente resistência a choques térmicos e permanecem quimicamente inertes a quase todos os elementos, exceto o ácido fluorídrico. O uso de quartzo com pureza mais baixa aumenta o risco de contaminação, levando à redução do rendimento e da confiabilidade do produto. Os engenheiros selecionam os tubos de quartzo de pureza ultra-alta para manter os ambientes de processamento limpos e apoiar resultados consistentes.
Principais conclusões
Os tubos de quartzo precisam de pelo menos 99,99% SiO₂ de pureza para evitar contaminação em aplicações de alta temperatura acima de 1000°C.
Mesmo pequenos aumentos nos níveis de impureza podem elevar significativamente os riscos de contaminação, afetando o rendimento e a confiabilidade do produto.
Os engenheiros devem escolher tubos de quartzo de pureza ultra-alta para processos sensíveis, como a fabricação de semicondutores, para minimizar as falhas relacionadas à contaminação.
Padrões de certificação como ISO 12123 e ASTM E1655 garantem que os tubos de quartzo atendam a requisitos rigorosos de pureza e desempenho.
O controle do teor de hidroxila (OH) abaixo de 20 ppm é fundamental para manter a estabilidade mecânica e o desempenho óptico dos tubos de quartzo.
Qual limite de pureza de SiO₂ garante ambientes de processamento limpos?
Selecionar o limite de pureza de SiO₂ correto é essencial para manter os ambientes de processamento limpos em aplicações de fornos tubulares de alta temperatura. Os engenheiros precisam entender a diferença entre quartzo de alta pureza e ultra-alta pureza, pois mesmo pequenas alterações nos níveis de impureza podem afetar as taxas de contaminação. Os padrões do setor e os protocolos de certificação ajudam a garantir que os tubos de quartzo atendam a requisitos rigorosos de pureza, estabilidade e desempenho.
Como as impurezas em massa migram para as superfícies em altas temperaturas
Impurezas a granel em tubos de quartzo não permanecem presas no interior do material durante a operação do forno. Quando as temperaturas sobem acima de 1.000°C, essas impurezas começam a migrar para a superfície, onde podem entrar na atmosfera do processo e contaminar produtos sensíveis. Essa migração ocorre porque as altas temperaturas aumentam a mobilidade de íons metálicos, como sódio e alumínio, dentro da estrutura do quartzo.
Em temperaturas elevadas, os íons de sódio se difundem rapidamente pela rede amorfa de SiO₂, atingindo a superfície interna do tubo. O alumínio e o ferro também se movem em direção à superfície, especialmente quando o forno opera por longos períodos. Essas impurezas podem então se volatilizar ou reagir com os gases do processo, formando partículas suspensas no ar ou compostos voláteis que se depositam nos substratos ou reagem com os materiais do processo. Dados de mais de 8.500 lotes de produção mostram que cada aumento de 50 ppm no teor de alumínio pode liberar de 5 a 8 ppb de contaminação no ar a 1100°C.
Pontos principais:
As altas temperaturas aceleram a migração de impurezas para a superfície.
O sódio, o alumínio e o ferro são os mais móveis e problemáticos.
Mesmo pequenos aumentos nos níveis de impureza podem causar contaminação significativa.
Esse processo destaca por que as aplicações de fornos de alta temperatura com pureza de tubos de quartzo exigem limites rigorosos de impureza. Somente os tubos com pureza ultra-alta podem evitar a liberação de contaminantes durante o uso contínuo em alta temperatura.
Entendendo o limite de impureza total de 200 ppm vs. 100 ppm
O limite de impureza total nos tubos de quartzo determina a quantidade de contaminação que pode ocorrer durante a operação do forno. O quartzo de alta pureza contém menos de 200 ppm de impurezas totais, enquanto o quartzo de ultra-alta pureza contém menos de 100 ppm. Essa diferença pode parecer pequena, mas tem um grande impacto nas taxas de contaminação e na qualidade do produto.
Os tubos com 99,98% SiO₂ (alta pureza) atendem ao limite de 200 ppm e são adequados para muitos processos industriais. Entretanto, para aplicações ópticas e de semicondutores, até mesmo traços de contaminação podem reduzir o rendimento ou causar defeitos. O quartzo de pureza ultra-alta com 99,99% SiO₂ e menos de 100 ppm de impurezas totais reduz as falhas de processo relacionadas à contaminação em até 92% em comparação com as alternativas de alta pureza. A tabela abaixo resume as principais diferenças:
Grau de pureza | Conteúdo de SiO₂ | Impurezas totais | Uso recomendado |
|---|---|---|---|
Alta pureza | 99.98% | <200 ppm | Laboratório geral, fornos de produção |
Pureza ultra-alta | 99.99% | <100 ppm | Semicondutores, ópticos, salas limpas |
Os engenheiros escolhem o limite de impureza mais baixo para aplicações de fornos de alta temperatura com pureza de tubo de quartzo que exigem a mais alta limpeza. Essa decisão garante que, mesmo em temperaturas extremas, o risco de contaminação permaneça mínimo.
Requisitos de certificação para tubos de quartzo com grau de semicondutor
As normas de certificação desempenham um papel fundamental na verificação da pureza e do desempenho dos tubos de quartzo para aplicações de alta temperatura. A ISO 12123 e a ASTM E1655 definem os padrões de referência para composição química, limites de impureza e métodos analíticos. Os fabricantes devem fornecer documentação que comprove a conformidade com essas normas, incluindo análise ICP-MS específica do lote para pelo menos 15 elementos.
Os tubos de quartzo para semicondutores devem atender a limites rigorosos de impureza: sódio inferior a 1 ppm, alumínio inferior a 5 ppm, ferro inferior a 3 ppm, titânio inferior a 3 ppm e cálcio inferior a 2 ppm. Baixa hidroxila (OH) O teor de OH, normalmente abaixo de 20 ppm, também é essencial para a estabilidade em altas temperaturas e o controle de contaminação. Os tubos com teor ultrabaixo de OH oferecem alta pureza, excelente transmitância de UV e resistência superior à desvitrificação, o que os torna ideais para aplicações ópticas e de semicondutores.
Resumo do Certification Essentials:
A ISO 12123 e a ASTM E1655 definem os padrões de pureza e teste.
A análise ICP-MS verifica os níveis de impureza elementar.
O baixo teor de OH (<20 ppm) favorece a estabilidade em altas temperaturas e o processamento limpo.
Ao seguir esses requisitos de certificação, os engenheiros garantem que as aplicações de fornos de alta temperatura com pureza de tubo de quartzo obtenham resultados confiáveis e repetíveis com risco mínimo de contaminação.
Quais impurezas metálicas criam o risco de contaminação mais significativo?
As impurezas metálicas nos tubos de quartzo podem causar sérios problemas de contaminação durante as operações em fornos de alta temperatura. O sódio, o alumínio e o ferro são as fontes mais comuns de contaminação, mas outros elementos como o cálcio, o magnésio e o cobre também desempenham um papel importante. Entender como essas impurezas se comportam em altas temperaturas ajuda os engenheiros a selecionar os materiais certos e evitar falhas dispendiosas no processo.
Cinética de difusão de sódio e mecanismos de acúmulo na superfície
O sódio é uma das impurezas mais móveis em tubos de quartzo. Em temperaturas acima de 800°C, os íons de sódio se movem rapidamente através da rede de sílica. Essa rápida difusão permite que o sódio alcance a superfície do tubo, onde pode contaminar o ambiente do processo.
O coeficiente de difusão do sódio no quartzo aumenta para 10-⁸ cm²/s a 1000°C. Essa alta mobilidade significa que o sódio pode se acumular na superfície interna do tubo durante a operação contínua. Uma vez na superfície, os íons de sódio podem reagir com os gases do processo ou se depositar nos substratos, causando defeitos e reduzindo o rendimento dos produtos. Em aplicações de semicondutores, até mesmo um pequeno aumento no teor de sódio pode elevar a contagem de partículas em 15-25%.
Pontos principais:
O sódio se difunde rapidamente em altas temperaturas.
O acúmulo na superfície leva à contaminação e a defeitos.
Até mesmo vestígios de sódio podem afetar processos sensíveis.
Os engenheiros precisam controlar os níveis de sódio para manter a pureza do tubo de quartzo, o desempenho do forno de alta temperatura e evitar contaminações indesejadas.
Taxas de volatilização de alumínio em diferentes zonas de temperatura
O alumínio é outra impureza crítica que afeta o desempenho do tubo de quartzo. Quando as temperaturas do forno ultrapassam 1100°C, o alumínio pode se volatilizar como espécies de Al₂O ou AlO. Esses compostos voláteis formam partículas suspensas no ar que se depositam nos substratos e nas paredes da câmara.
A taxa de volatilização do alumínio aumenta acentuadamente com a temperatura. Para cada aumento de 50 ppm no teor de alumínio, a contaminação no ar pode aumentar de 5 a 8 ppb a 1100°C. Essa contaminação pode desencadear ciclos de limpeza mais frequentes e reduzir o rendimento do produto em até 23% em aplicações sensíveis. A tabela abaixo resume o impacto do alumínio em diferentes zonas de temperatura:
Temperatura (°C) | Comportamento do alumínio | Efeito da contaminação |
|---|---|---|
950-1050 | Volatilização mínima | Baixo risco de contaminação |
1050-1150 | Rápida volatilização | Alta formação de partículas |
>1150 | Volatilização máxima | Contaminação severa, defeitos |
O controle do alumínio é essencial para tubos de quartzo de alta e ultra-alta pureza, especialmente na fabricação de semicondutores e óptica.
Como as impurezas dos metais de transição catalisam reações indesejadas
Os metais de transição, como ferro, cobre e cromo, podem catalisar reações químicas indesejadas dentro do forno. O ferro, em particular, oxida facilmente e pode reagir com os gases do processo, criando novos compostos que contaminam os produtos. O cobre e o cromo, mesmo em níveis acima de 0,5 ppm, podem aumentar a absorção óptica e desencadear efeitos catalíticos.
Esses metais geralmente atuam como catalisadores, acelerando reações que, de outra forma, ocorreriam lentamente ou não ocorreriam. Essa atividade catalítica pode levar à formação de partículas ou alterar a composição química da atmosfera do processo. Como resultado, os engenheiros observam taxas de defeitos mais altas e necessidades de manutenção mais frequentes.
Resumo dos pontos principais:
Os metais de transição catalisam reações indesejadas.
Mesmo baixas concentrações podem causar contaminação significativa.
O controle do ferro, do cobre e do cromo é vital para a confiabilidade do processo.
A seleção cuidadosa e a certificação dos tubos de quartzo ajudam a minimizar os riscos apresentados por essas impurezas metálicas.
Como o teor de OH afeta o desempenho e a pureza do material?
O conteúdo de hidroxila (OH) desempenha um papel fundamental na determinação do desempenho e da pureza dos tubos de quartzo usados em aplicações de fornos de alta temperatura. Os engenheiros se concentram no controle dos níveis de OH porque esses grupos afetam a viscosidade, as taxas de desvitrificação e a transmissão óptica. Os padrões de certificação e os métodos avançados de análise ajudam os fabricantes a manter uma qualidade consistente e a atender aos requisitos rigorosos de pureza.
Como a fusão elétrica atinge um teor ultrabaixo de OH (<15 ppm)
A fusão elétrica produz tubos de quartzo com teor ultrabaixo de OH por meio da fusão de areia de quartzo de alta pureza em uma atmosfera controlada. Esse processo usa arcos elétricos em vez de chamas, o que impede que o vapor de água entre na rede de sílica. Como resultado, os tubos acabados contêm menos de 15 ppm de OH, o que os torna ideais para ambientes exigentes.
Os fabricantes confiam na fusão elétrica para atingir os mais altos níveis de pureza para aplicações em fornos de alta temperatura com pureza de tubos de quartzo. O baixo teor de OH melhora a estabilidade dimensional e aumenta a vida útil, especialmente durante a operação contínua acima de 1000°C. Os engenheiros selecionam o quartzo fundido eletricamente para processos ópticos e de semicondutores porque ele resiste à devitrificação e mantém a resistência mecânica.
Pontos principais:
A fusão elétrica minimiza a incorporação de vapor de água.
O teor ultrabaixo de OH (<15 ppm) aumenta a estabilidade e a pureza.
O quartzo fundido eletricamente proporciona uma vida útil mais longa em altas temperaturas.
Esse método garante que os tubos de quartzo atendam aos mais rigorosos padrões de pureza e desempenho em operações avançadas de fornos.
Quantificação das alterações de viscosidade a partir da concentração do grupo hidroxila
Os grupos OH no quartzo influenciam diretamente a viscosidade, especialmente em temperaturas elevadas. Um teor mais alto de OH enfraquece a estrutura da sílica, fazendo com que a viscosidade caia e as propriedades mecânicas diminuam. A 1200°C, a relação entre a concentração de OH e a viscosidade segue uma equação empírica: log(μ) = a{1 - b[log(C_OH)]²}¹/₄onde a = 12,30 e b = 0,0457.
Os engenheiros observam que os tubos com níveis elevados de OH se deformam mais sob carga e perdem a estabilidade dimensional mais rapidamente. As inclusões de água e os grupos hidroxila rompem a rede de vidro, tornando o material mais macio e mais propenso à flacidez. Manter o teor de OH abaixo de 20 ppm preserva a viscosidade e garante um desempenho confiável em ambientes de alta temperatura.
Conteúdo de OH (ppm) | Viscosidade a 1200°C | Estabilidade mecânica |
|---|---|---|
<15 | Alta | Excelente |
50-100 | Moderado | Reduzido |
>100 | Baixa | Ruim |
Essa tabela destaca como o controle da concentração de OH apoia a integridade mecânica dos tubos de quartzo durante a operação do forno.
Impacto do teor de OH nas propriedades de transmissão óptica no infravermelho
O teor de OH também afeta as propriedades de transmissão óptica dos tubos de quartzo, especialmente na faixa do infravermelho. O quartzo com baixo teor de OH transmite a luz infravermelha com mais eficiência, o que é essencial para aplicações como fabricação de fibra óptica e espectroscopia de infravermelho. Altos níveis de OH introduzem bandas de absorção em 2,7 μm, reduzindo a transmissão e limitando a utilidade do tubo em sistemas ópticos.
Os engenheiros usam a espectroscopia de infravermelho para medir o teor de OH e verificar se os tubos atendem aos requisitos da aplicação. Os tubos com menos de 20 ppm de OH apresentam transmissão superior e absorção mínima, dando suporte a processos ópticos de alta precisão. Normas de certificação, como a ISO 12123 e a ASTM E1655, validam essas propriedades e garantem qualidade consistente.
Pontos principais:
O baixo teor de OH melhora a transmissão de infravermelho.
Altos níveis de OH causam absorção a 2,7 μm.
Os padrões de certificação confirmam o desempenho óptico.
A manutenção do baixo teor de OH permite que os tubos de quartzo forneçam resultados confiáveis em aplicações ópticas e de alta temperatura.
Quais padrões de qualidade validam as especificações do tubo de quartzo de alta pureza?
Os padrões de qualidade desempenham um papel fundamental para garantir que os tubos de quartzo atendam às demandas das aplicações de fornos de alta temperatura. Esses padrões ajudam os engenheiros a comparar diferentes graus e a selecionar o material certo para cada processo. A certificação, os protocolos de análise e o controle de processos contribuem para um desempenho confiável e uma pureza consistente.
Requisitos de certificação ISO 12123 para quartzo de grau óptico
A ISO 12123 estabelece o padrão de referência para o quartzo de grau óptico, definindo critérios rigorosos de pureza e propriedades físicas. Essa certificação garante que os tubos de quartzo atendam ao conteúdo mínimo de SiO₂ e aos níveis máximos de impureza. Os fabricantes devem documentar a conformidade por meio de análises detalhadas e rastreabilidade.
A norma divide os tubos de quartzo em três graus principais: padrão, alta pureza e ultra-alta pureza. Cada grau atende a diferentes aplicações, desde o uso geral em laboratório até a fabricação avançada de semicondutores. A tabela abaixo destaca as principais diferenças:
Tipo de nota | Nível de pureza de SiO₂ | Nível dos elementos de impureza |
|---|---|---|
De baixo custo | ≥ 99,9% (3N) | ≤ 1000×10-⁶ |
Intermediário | ≥ 99,99% (4N) | ≤ 100×10-⁶ |
Alta qualidade | ≥ 99,998% (4N8) | ≤ 20×10-⁶ |
Os engenheiros usam essa estrutura para combinar os requisitos do forno de alta temperatura de pureza do tubo de quartzo com o grau certo, equilibrando custo e desempenho para cada aplicação.
Protocolos de análise ICP-MS e requisitos de limite de detecção
A análise ICP-MS oferece medição precisa de impurezas elementares em tubos de quartzo. Os laboratórios seguem protocolos rigorosos para garantir a precisão e a repetibilidade. A preparação da amostra remove as partículas e a diluição em ácido nítrico corresponde aos padrões de calibração.
Os analistas diluem as amostras a menos de 0,2 wt% para reduzir os efeitos da matriz e usam métodos em branco e materiais de referência certificados para controle de qualidade. Os limites de detecção são definidos em três vezes o desvio padrão dos brancos analíticos, enquanto os níveis de detecção do instrumento exigem sinais acima de três vezes o ruído médio. Essas etapas garantem que os níveis de impureza atendam aos padrões de certificação.
Pontos-chave a serem lembrados:
A preparação e a diluição da amostra evitam a contaminação.
O controle de qualidade usa espaços em branco e materiais de referência.
Os limites de detecção garantem a medição confiável da impureza.
Essa abordagem permite que os fabricantes certifiquem os tubos de quartzo até mesmo para as aplicações mais exigentes.
Como o controle estatístico de processos garante a consistência de lote para lote
O controle estatístico de processos (SPC) monitora a produção para manter a qualidade consistente em todos os lotes. Os fabricantes coletam dados sobre os principais parâmetros, como o teor de SiO₂ e os níveis de impureza, durante cada ciclo de produção. A documentação do SPC demonstra que cada lote atende aos padrões exigidos.
A validação do lote de amostras verifica a qualidade antes do envio, reduzindo o risco de defeitos no campo. A certificação do material confirma que o conteúdo de SiO₂ é superior a 99,99%, o que garante um desempenho confiável em ambientes críticos. A tabela abaixo resume os principais requisitos:
Requisito | Descrição |
|---|---|
Dados de controle estatístico de processos | Monitora a consistência da produção |
Validação de lote de amostra | Garante a qualidade antes do envio |
Documentação de controle estatístico de processos | Demonstra padrões de produção consistentes |
Certificação de materiais | Garante um teor de SiO₂ >99,99% |
O SPC ajuda os fabricantes a fornecer tubos de quartzo com desempenho confiável em todos os lotes, apoiando altos padrões de pureza e consistência.
Como os engenheiros devem especificar os requisitos de pureza para aplicações críticas?
Os engenheiros enfrentam decisões importantes ao especificar a pureza do tubo de quartzo para aplicações em fornos de alta temperatura. Cada processo tem requisitos exclusivos, e combinar o grau certo com a aplicação garante confiabilidade e economia. Uma estrutura de decisão estruturada e uma análise clara de custo-benefício ajudam a orientar essas escolhas.
Estrutura de decisão para combinar o grau de pureza com os requisitos de aplicação
Os engenheiros usam uma abordagem sistemática para selecionar os graus de pureza do tubo de quartzo para operações críticas do forno. Eles analisam a temperatura de operação, as tolerâncias dimensionais e as necessidades de pureza para adequar o tubo ao processo. A estrutura de decisão se baseia na análise do perfil de serviço e na documentação do fornecedor.
Uma tabela resume os principais critérios que os engenheiros consideram ao especificar os requisitos do forno de alta temperatura para a pureza do tubo de quartzo:
Requisito | Especificações recomendadas | Verificação |
|---|---|---|
Temperatura operacional | 1000-1100°C contínuo; ≤1200°C pico | Revisão do perfil do serviço |
Tamanho e tolerâncias | OD/ID/comprimento ±0,25 mm | Relatório da MMC |
Emissividade | ≥0,90 no infravermelho médio | Tendência de refletância de IR |
Expectativa de choque | Ciclo definido; classe de manuseio | Teste de ciclo térmico |
Pureza | ≥99,9% SiO₂ | CoC / ICP-OES |
Retidão/Ovalidade | ≤0,3 mm/m; ≤0,5% | Medidor/fixação |
Limpeza | Detergentes neutros, água desionizada, bicarbonato de sódio | Registro de procedimento |
Fornecedor | Controles documentados, ISO 9001 | Resumo da auditoria |
Os engenheiros verificam cada especificação usando relatórios de testes, certificados de conformidade e auditorias de fornecedores. Essa estrutura garante que cada tubo de quartzo atenda às demandas da aplicação e ofereça suporte a resultados consistentes do processo.
Análise de custo-benefício das especificações padrão versus especificações de pureza ultra-alta
A escolha entre tubos de quartzo padrão e de ultra-alta pureza envolve o equilíbrio entre custo e desempenho. Os tubos de alta pureza custam mais caro porque os fabricantes usam processos avançados para minimizar os contaminantes. Esses tubos são essenciais para setores como o de semicondutores e o médico, onde até mesmo traços de impurezas podem causar defeitos.
Tubos de quartzo de altíssima pureza, feitos de quartzo sintético, suportam processos como crescimento epitaxial e fabricação óptica avançada. Aplicações menos críticas podem usar graus de pureza mais baixos, mas o controle da contaminação continua sendo importante. Os engenheiros consideram os seguintes pontos ao fazer sua seleção:
As principais considerações incluem:
Os tubos de alta pureza aumentam os custos, mas reduzem o risco de contaminação.
Os tubos de altíssima pureza são necessários para processos sensíveis.
Os graus de pureza mais baixos são adequados para operações menos críticas, mas exigem um monitoramento cuidadoso.
Os engenheiros avaliam o custo em relação ao risco de contaminação e defeitos do produto. Eles escolhem a especificação que oferece o melhor valor para o processo e garante a conformidade com os padrões do setor.
As aplicações de fornos de alta temperatura com pureza de tubos de quartzo exigem um controle rigoroso da pureza do SiO₂ e dos níveis de impureza. As diretrizes do setor recomendam uma pureza de SiO₂ de pelo menos 99,99%, verificada pela ASTM E1479. Os engenheiros confiam na certificação, nos testes de lote e na documentação do fornecedor para evitar a contaminação. A tabela abaixo mostra a pureza recomendada:
Propriedade | Valor/intervalo | Padrão do setor (método de teste) | Nota contextual |
|---|---|---|---|
SiO₂ Pureza (%) | ≥ 99.99 | ASTM E1479 | A alta pureza elimina as regiões de fase mais fraca |
A seleção de fornecedores certificados e o uso de protocolos de teste rigorosos ajudam a manter a confiabilidade do processo e a qualidade do produto.
PERGUNTAS FREQUENTES
Qual é a pureza mínima de SiO₂ exigida para tubos de quartzo de fornos de alta temperatura?
Os tubos de quartzo devem ter pelo menos 99,98% SiO₂ de pureza para a maioria das aplicações de alta temperatura. A pureza ultra-alta (99,99% SiO₂) é recomendada para processos ópticos e de semicondutores. Os dados mostram que 92% menos falhas de contaminação com pureza de 99,99% em comparação com graus inferiores.
Quais impurezas representam o maior risco de contaminação em tubos de quartzo?
O sódio, o alumínio e o ferro criam o maior risco de contaminação. O sódio se difunde rapidamente acima de 800°C. O alumínio se volatiliza em temperaturas acima de 1100°C. O ferro catalisa reações indesejadas. Cada aumento de 10 ppm nas impurezas metálicas pode aumentar a contagem de partículas em 15-25%.
Quais padrões de certificação validam a pureza do tubo de quartzo?
A ISO 12123 e a ASTM E1655 definem os padrões de pureza dos tubos de quartzo. Os fabricantes devem fornecer análise ICP-MS para pelo menos 15 elementos. Os tubos certificados apresentam teor de SiO₂ acima de 99,98% e impurezas metálicas totais abaixo de 20 ppm.
Que efeito o teor de OH tem sobre o desempenho do tubo de quartzo?
O baixo teor de OH (100 ppm) reduzem a viscosidade em até 35% a 1200°C e aceleram a desvitrificação. O quartzo fundido eletricamente atinge OH ultrabaixo para aplicações exigentes.
Que grau os engenheiros devem especificar para aplicações críticas de fornos?
Os engenheiros devem selecionar quartzo de pureza ultra-alta (99,99% SiO₂, <100 ppm de impurezas) para processos de semicondutores, ópticos e analíticos. Os graus padrão são adequados para uso geral em laboratórios abaixo de 950°C. A pureza ultra-alta reduz as falhas relacionadas à contaminação em mais de 90% em ambientes sensíveis.
Português do Brasil 
English 
Русский 
العربية 
Deutsch 
Español 
한국어 
Français 
Türkçe