{"id":11370,"date":"2026-07-13T02:00:06","date_gmt":"2026-07-12T18:00:06","guid":{"rendered":"https:\/\/toquartz.com\/?p=11370"},"modified":"2026-02-28T16:21:13","modified_gmt":"2026-02-28T08:21:13","slug":"quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/","title":{"rendered":"\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438 \u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445"},"content":{"rendered":"<p>\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0441 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0432 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u043d\u0438\u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f. \u0414\u0430\u0436\u0435 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0433\u0440\u0430\u0434\u0443\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0431\u0440\u0430\u043a\u0443 \u0446\u0435\u043b\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u2014 \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430, \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u0443, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043d\u0435\u0439 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0435\u0439 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b.<\/p>\n<p>\u0412 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445, \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u0430\u0445 \u0438 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445 CVD \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0441\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u0442\u044c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439. \u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e, \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u043c\u0431\u0438\u043d\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440, \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u2014 \u0432\u0441\u0435, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0434\u043b\u044f \u043e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p>\u0427\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u043e\u043d\u044f\u0442\u044c, \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432\u0441\u0435 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0441\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043e\u043d \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f.<\/p>\n<hr \/>\n<p><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Installed-Quartz-Thermocouple-Tubes-for-Semiconductor-Diffusion-Furnace-Operations.webp\" alt=\"\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\" title=\"\u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\" \/><\/p>\n<h2>\u0422\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043a \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u043c<\/h2>\n<p>\u0412\u043e \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u044f, \u0430 \u0441\u0430\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441. \u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u0430, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0441\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438.<\/p>\n<h3>\u0422\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u044b \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h3>\n<p>\u0422\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c \u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u043c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435, \u0438 \u043a\u0430\u0436\u0434\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0437\u043e\u043d\u0430 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043b\u044e\u0431\u0443\u044e \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0443\u044e \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0443.<\/p>\n<p>\u0413\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0444\u043e\u0441\u0444\u043e\u0440\u043e\u043c, \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 <strong>900 \u00b0C \u0438 1100 \u00b0C<\/strong>, \u043f\u0440\u0438\u0447\u0435\u043c \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0446\u0438\u043a\u043b\u044b \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 <strong>1200\u00b0C<\/strong> \u0432 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0433\u043e\u0440\u044f\u0447\u0438\u0445 \u0437\u043e\u043d\u0430\u0445. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 (LPCVD) \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043e\u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u043e\u0442 <strong>600 \u00b0C \u0438 900 \u00b0C<\/strong>, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u043f\u0435\u0447\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u043e\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 <strong>\u043e\u0442 950 \u00b0C \u0434\u043e 1100 \u00b0C<\/strong> \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0447\u0430\u0441\u043e\u0432 \u0437\u0430 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0446\u0438\u043a\u043b. \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 (RTP), \u043d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 <strong>1250\u00b0C<\/strong> \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0435\u043a\u0443\u043d\u0434.<\/p>\n<p><strong>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0443\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u043e\u0442 \u00b10,5 \u00b0C \u0434\u043e \u00b11,0 \u00b0C<\/strong> \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438. \u041b\u044e\u0431\u0430\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430, \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0430\u044f \u043a \u043d\u0435\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0441\u0441\u044b, \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0438\u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u0442 \u043a \u0438\u0441\u043a\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432 \u0437\u043e\u043d\u0435, \u0432 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 \u0441 \u0447\u0435\u043c \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c.<\/p>\n<h4>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u044b \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 \u0432 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441<\/th>\n<th>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 (\u00b0C)<\/th>\n<th>\u0410\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430<\/th>\n<th>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u0414\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u044f \u0431\u043e\u0440\u0430 \/ \u0444\u043e\u0441\u0444\u043e\u0440\u0430<\/td>\n<td>900 \u2013 1100<\/td>\n<td>N\u2082 \/ O\u2082<\/td>\n<td>30\u2013120 \u043c\u0438\u043d<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0410\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\n<td>950\u20131100<\/td>\n<td>O\u2082 \/ H\u2082O<\/td>\n<td>20\u2013180 \u043c\u0438\u043d<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>LPCVD (Si\u2083N\u2084, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439)<\/td>\n<td>600\u2013900<\/td>\n<td>SiH\u2084, NH\u2083, N\u2082<\/td>\n<td>60\u2013240 \u043c\u0438\u043d<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041e\u0442\u0436\u0438\u0433 (RTA \/ \u043f\u0435\u0447\u044c)<\/td>\n<td>800 \u2013 1150<\/td>\n<td>N\u2082 \/ Ar<\/td>\n<td>10\u201390 \u043c\u0438\u043d<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0413\u0435\u0442\u0442\u0435\u0440\u0438\u043d\u0433 \/ \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c HCl<\/td>\n<td>950 \u2013 1050<\/td>\n<td>HCl \/ O\u2082<\/td>\n<td>15\u201345 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u0427\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/h3>\n<p>\u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445, \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b \u043a \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u044f\u043c, \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430 \u2014 \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u2014 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n<p><strong>\u0418\u043e\u043d\u044b \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430\u0442\u0440\u0438\u0439 (Na\u207a), \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435 300 \u00b0C<\/strong> \u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043c\u0438\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u0432 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0440\u0435\u0448\u0451\u0442\u043a\u0443 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u044f \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430. \u0416\u0435\u043b\u0435\u0437\u043e (Fe), \u043d\u0438\u043a\u0435\u043b\u044c (Ni) \u0438 \u043c\u0435\u0434\u044c (Cu) \u0432\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u043b\u043e\u0432\u0443\u0448\u043a\u0438 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0439, \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0430\u044f \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0436\u0438\u0437\u043d\u0438 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u044f \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438 \u0432 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445. \u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430, \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0432\u044b\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<p>\u041e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044e \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u043f\u0440\u0435\u0434\u0443\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 <strong>\u043e\u0431\u0449\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 50 ppb \u043f\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0435<\/strong>, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b (Na, K, Li) \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0438\u0436\u0435 <strong>\u043f\u043e 5 ppb \u0432 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435<\/strong>. \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043b\u044e\u0431\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430 \u2014 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u2014 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043f\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0437\u043e\u043d\u0443 \u043f\u0435\u0447\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u043e\u043f\u0440\u0438\u043a\u0430\u0441\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043d\u0435\u0439.<\/p>\n<h4>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044b \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u0432 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u042d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442<\/th>\n<th>\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f (ppb)<\/th>\n<th>\u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u041d\u0430\u0442\u0440\u0438\u0439 (Na)<\/td>\n<td>\u2264 5<\/td>\n<td>\u0414\u0435\u0433\u0440\u0430\u0434\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430, \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0416\u0435\u043b\u0435\u0437\u043e (Fe)<\/td>\n<td>\u2264 20<\/td>\n<td>\u0421\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041c\u0435\u0434\u044c (Cu)<\/td>\n<td>\u2264 10<\/td>\n<td>\u0424\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043b\u043e\u0432\u0443\u0448\u0435\u043a \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041d\u0438\u043a\u0435\u043b\u044c (Ni)<\/td>\n<td>\u2264 20<\/td>\n<td>\u0423\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041a\u0430\u043b\u0438\u0439 (K)<\/td>\n<td>\u2264 5<\/td>\n<td>\u041c\u043e\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0412\u0441\u0435\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432<\/td>\n<td>\u2264 50<\/td>\n<td>\u0421\u043e\u0432\u043e\u043a\u0443\u043f\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0436\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u0410\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h3>\n<p>\u041f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0439 \u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043a \u043b\u044e\u0431\u043e\u043c\u0443 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u043c\u0443 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0443 \u0442\u0440\u0435\u0442\u044c\u044e \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u044e \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n<p>\u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0443\u0445\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0436\u0438\u0434\u043a\u0438\u0439 O\u2082, \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0438 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043f\u043e\u043b\u044f. \u0412\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b \u0441 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u043e\u043c (H\u2082) \u0438\u043b\u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0433\u0430\u0437\u043e\u043c (\u0441\u043c\u0435\u0441\u0438 H\u2082\/N\u2082) \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0430 \u0438 \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. <strong>\u0413\u0430\u0437 HCl \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 1\u20135% \u043f\u043e \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0443<\/strong> \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0446\u0438\u043a\u043b\u043e\u0432 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u0435\u0442\u0443\u0447\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u0441\u043e \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a \u043f\u0435\u0447\u0438 \u2014 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445, \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u044f \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0435\u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c. \u0418\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u0432\u043a\u0438 (N\u2082, Ar) \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b, \u043d\u0435 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438, \u043d\u043e \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043e\u0442 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0432\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438.<\/p>\n<p>\u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430, \u0432\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u0441 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434 \u2014 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u044b \u2014 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0430 \u043d\u0435 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043e\u043c, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0435\u0433\u043e. <strong>\u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u043e \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u0442\u043e\u043b\u044c \u0436\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u0430\u043a \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/strong>, \u0438 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u044e \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<hr \/>\n<h2>\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440<\/h2>\n<p>\u0423\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u043c \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 \u2014 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u2014 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0443 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445. \u041f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0432\u0441\u0435\u043c \u044d\u0442\u0438\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u044a\u044f\u0441\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 <a href=\"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wholesale-fused-quartz-glass-tubes\/\">\u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b<\/a> \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438.<\/p>\n<h3>\u0422\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430<\/h3>\n<p>\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0435\u0451 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u2014 \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0435\u0437\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043f\u0430\u0434\u0430\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0434\u0438\u0444\u0444\u0435\u0440\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438.<\/p>\n<p><strong>\u041a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f (CTE) \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 0,55 \u00d7 10\u207b\u2076\/\u00b0C<\/strong>, \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u043e\u0442 20 \u00b0C \u0434\u043e 1000 \u00b0C. \u042d\u0442\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0414\u043b\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f: \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f (Al\u2082O\u2083) \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 <strong>7,2 \u00d7 10\u207b\u2076\/\u00b0C<\/strong>, \u0430 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0443\u043b\u043b\u0438\u0442\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 <strong>5,0 \u00d7 10\u207b\u2076\/\u00b0C<\/strong> \u2014 \u043e\u0431\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u0432 \u0432\u043e\u0441\u0435\u043c\u044c \u0440\u0430\u0437 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430. \u041f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0446\u0438\u043a\u043b\u0430 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u0434\u043e 1000 \u00b0C \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0435\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431\u0430\u0445 \u0438\u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430\u043a\u0430\u043f\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u041f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0442\u0430\u043a\u043e\u0433\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f (CTE) \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b <strong>\u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u0443\u0434\u0430\u0440\u0443<\/strong>. \u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u0449\u0430\u0442\u044c \u0438\u0437 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u0441 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u0432 \u043f\u0435\u0447\u044c \u0441 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 1000 \u00b0C \u0431\u0435\u0437 \u0440\u0438\u0441\u043a\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u043f\u0435\u0447\u0438. \u042d\u0442\u043e \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0443\u0434\u0430\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (R'), \u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 <strong>\u0417\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f R' \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442 1000 \u00b0C<\/strong> \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u2014 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\u0443 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0438 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 \u043d\u0438\u0436\u0435 1200 \u00b0C.<\/p>\n<h4>CTE: \u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b<\/th>\n<th>CTE (\u00d710-\u2076\/\u00b0C)<\/th>\n<th>\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 (\u00b0C)<\/th>\n<th>\u0423\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u0443\u0434\u0430\u0440\u0443<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u041f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 (\u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439)<\/td>\n<td>0.55<\/td>\n<td>1100 (\u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e)<\/td>\n<td>\u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e (\u043d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435)<\/td>\n<td>0.55<\/td>\n<td>1050 (\u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u044b\u0439)<\/td>\n<td>\u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f (99,7%)<\/td>\n<td>7.2<\/td>\n<td>1700<\/td>\n<td>\u0423\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041c\u0443\u043b\u043b\u0438\u0442<\/td>\n<td>5.0<\/td>\n<td>1600<\/td>\n<td>\u0423\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC)<\/td>\n<td>4.0<\/td>\n<td>1600<\/td>\n<td>\u0425\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041d\u0435\u0440\u0436\u0430\u0432\u0435\u044e\u0449\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u043b\u044c (310S)<\/td>\n<td>16.0<\/td>\n<td>1050<\/td>\n<td>\u0411\u0435\u0434\u043d\u044b\u0439<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445<\/h3>\n<p>\u0412\u043e \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0433\u0440\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u2014 \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0435\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438, \u043d\u043e \u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b.<\/p>\n<p><strong>\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445 O\u2082, N\u2082, Ar, H\u2082, HCl \u0438 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445, \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432.<\/strong> \u041e\u043d \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u043c\u0443 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0432 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0443\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d \u0434\u043e SiO\u2082. \u0412 \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 H\u2082 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043d\u0438\u0436\u0435 1200 \u00b0C \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u0443\u044e \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0439 \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 LPCVD \u0438\u043b\u0438 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0430. \u0410\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b HCl \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f\u0445, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 (1\u20135% \u043f\u0440\u0438 900\u20131050 \u00b0C), \u043d\u0435 \u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c, \u0442\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u0447\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u044a\u0435\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446 \u0437\u0435\u0440\u0435\u043d.<\/p>\n<p>\u0412\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u0430 (HF) \u0438 \u0435\u0451 \u044d\u043a\u0432\u0438\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442 \u0432 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u0435. <strong>HF \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0430 SiO\u2082 \u043f\u0440\u0438 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435<\/strong>, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0437\u0430\u043f\u0440\u0435\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430\u0445, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434, \u0438\u043b\u0438 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u00ab\u043c\u043e\u043a\u0440\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u043b\u0430\u00bb \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0444\u0442\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u043e\u043c \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438. \u0417\u0430 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f, \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0435\u0441\u044c \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0432 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n<h4>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0441 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u0410\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430<\/th>\n<th>\u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/th>\n<th>\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u0421\u0443\u0445\u043e\u0439 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434 (O\u2082)<\/td>\n<td>\u2713 \u041f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>\u0420\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0435 \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f; \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0443\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043e<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0412\u043b\u0430\u0436\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u044b O\u2082 \/ H\u2082O<\/td>\n<td>\u2713 \u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e<\/td>\n<td>\u041d\u0435\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043a\u0441\u0438\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 &gt;1000 \u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>N\u2082 \/ Ar (\u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b)<\/td>\n<td>\u2713 \u041f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>\u041e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>H\u2082 \/ \u0413\u0430\u0437 \u0434\u043b\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u043a\u0438<\/td>\n<td>\u2713 \u0412\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0434\u043e 1200 \u00b0C<\/td>\n<td>\u041d\u0435 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0438\u0436\u0435 1200 \u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>HCl (1\u20135%)<\/td>\n<td>\u2713 \u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e<\/td>\n<td>\u041e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u043f\u0430\u0440\u044b HF<\/td>\n<td>\u2717 \u041d\u0435\u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e<\/td>\n<td>\u0411\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 SiO\u2082; \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u044c<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>SiH\u2084 \/ NH\u2083 (CVD)<\/td>\n<td>\u2713 \u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e<\/td>\n<td>\u041e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u0432\u043d\u0435\u0448\u043d\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u0421\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438<\/h3>\n<p>\u041d\u0435 \u0432\u0435\u0441\u044c \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c\u044e \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b, \u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p><strong>\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446<\/strong>, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043b\u0438\u0437\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0442\u0440\u0430\u0445\u043b\u043e\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiCl\u2084), \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 SiO\u2082 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435 <strong>\u226599,9991 TP3T (5N)<\/strong> \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043e\u0431\u0449\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 <strong>20 ppb \u043f\u043e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0435<\/strong>. \u041e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b (Na, K, Li) \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u043d\u0438\u0436\u0435 <strong>1\u20132 ppb<\/strong> \u0438\u0437 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430. <strong>\u041d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446<\/strong>, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b, \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 SiO\u2082 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e <strong>99.9%<\/strong> \u0441 \u043e\u0431\u0449\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 <strong>50\u2013200 ppb<\/strong> \u2014 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u043d\u043e \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 CMOS-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.<\/p>\n<p>\u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438, \u0433\u0434\u0435 <strong>\u0417\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0435\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u043e\u0439, \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u0443 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 50\u2013200 \u043c\u0412<\/strong> \u2014 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u0431\u043e\u044f\u043c \u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u0441 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043a \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441\u0443 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u0430\u0442\u044c \u0432 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0442\u0435 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0435\u0440\u0442\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 Na, K, Fe, Cu \u0438 Ni.<\/p>\n<h4>\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0435\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041a\u043b\u0430\u0441\u0441<\/th>\n<th>\u0421\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 SiO\u2082 (%)<\/th>\n<th>\u041e\u0431\u0449\u0435\u0435 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 (\u043f\u043f\u0431)<\/th>\n<th>Na + K (ppb)<\/th>\n<th>\u0420\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 (5N)<\/td>\n<td>\u2265 99,999<\/td>\n<td>&lt; 20<\/td>\n<td>&lt; 2<\/td>\n<td>\u0421\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 CMOS-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438, \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u044c, \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 (4N)<\/td>\n<td>\u2265 99.99<\/td>\n<td>&lt; 50<\/td>\n<td>&lt; 5<\/td>\n<td>\u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u0430\u044f \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u044f, LPCVD<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c<\/td>\n<td>\u2265 99,9<\/td>\n<td>50\u2013200<\/td>\n<td>10\u201350<\/td>\n<td>\u041e\u0442\u0436\u0438\u0433, \u043d\u0435\u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446<\/td>\n<td>\u2265 99,5<\/td>\n<td>&gt; 200<\/td>\n<td>&gt; 50<\/td>\n<td>\u041d\u0435\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u041e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0435\u0451 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h3>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u2014 \u043e\u0442 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e (\u0423\u0424) \u0434\u043e \u0431\u043b\u0438\u0436\u043d\u0435\u0433\u043e \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u0433\u043e (\u0411\u0418\u041a) \u2014 \u0438 \u044d\u0442\u043e \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0437\u0430 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0438 \u044d\u0441\u0442\u0435\u0442\u0438\u043a\u0438, \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439.<\/p>\n<p><strong>\u041f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440 \u0441\u043f\u0430\u044f\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432<\/strong> \u0431\u0435\u0437 \u0438\u0437\u0432\u043b\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438. \u0412 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0446\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438, \u0433\u0434\u0435 \u043d\u0435\u0437\u0430\u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a\u0430\u043a \u043a \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0435 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043a \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u0432\u043e\u0437\u043c\u0443\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c, \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0446\u0435\u043d\u0438\u0442\u044c \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u0438, \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0430\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0443 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445, \u0433\u0434\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0438\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u0442\u0430\u043b\u043e\u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u0430\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430 \u043d\u0435 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u0438\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c \u0438 \u0437\u043e\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430.<\/p>\n<p>\u041d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0435 (\u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0431\u0435\u043b\u044b\u0435) \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0443\u0437\u044b\u0440\u044c\u043a\u043e\u0432, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043f\u043e\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043b\u0443\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u043c \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u0432 \u0431\u043b\u0438\u0436\u043d\u0435\u043c \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435. <strong>\u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/strong>, \u0430 \u0432 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0433\u0434\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0430\u043c\u0438, \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446.<\/p>\n<hr \/>\n<p><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Multi-Bore-Quartz-Thermocouple-Tubes-for-Dimensional-Inspection-in-Semiconductor-Component-Qualification.webp\" alt=\"\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0441 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u0430\u0442\u0442\u0435\u0441\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\" title=\"\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0441 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u0430\u0442\u0442\u0435\u0441\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\" \/><\/p>\n<h2>\u041a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h2>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432, \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439, \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u2014 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0435\u0451 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043a \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c.<\/p>\n<h3>\u0413\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431 \u0441 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f\u043c\u0438<\/h3>\n<p>\u041a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442, \u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u043e\u043d\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u0442\u044c, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0442\u043e, \u043a\u0430\u043a \u044d\u0442\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u0434\u0440\u0443\u0433 \u043e\u0442 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0430.<\/p>\n<p><strong>\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0441 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c<\/strong> \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432; \u043e\u043d\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440, \u043f\u0440\u0438\u0447\u0435\u043c \u0434\u0432\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u043f\u0440\u043e\u0434\u0435\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e-\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0442\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044c \u0441 \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c, \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043e\u043b\u043e\u0447\u043a\u0438. \u0422\u0430\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044e, \u0430 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430 \u2014 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0443. \u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 <strong>\u043e\u0442 4 \u043c\u043c \u0434\u043e 12 \u043c\u043c<\/strong>, \u0441 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u043e\u0442 <strong>\u043e\u0442 2 \u043c\u043c \u0434\u043e 8 \u043c\u043c<\/strong>.<\/p>\n<p><strong>\u0422\u0440\u0443\u0431\u044b \u0441 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f\u043c\u0438<\/strong> \u2014 \u0447\u0430\u0449\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f\u0445 \u0441 \u0434\u0432\u0443\u043c\u044f \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 (\u0434\u0432\u0430 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043b\u043b\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441\u0430) \u0438\u043b\u0438 \u0441 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u044c\u043c\u044f \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u2014 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u0442\u044c \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0440 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0432 \u043e\u0434\u043d\u043e\u043c \u0432\u0441\u0442\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c \u0443\u0437\u043b\u0435. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u043e \u0432 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445, \u0433\u0434\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a, \u0438\u043b\u0438 \u0432 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0430\u044f \u0438 \u0440\u0435\u0437\u0435\u0440\u0432\u043d\u0430\u044f \u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438 \u0442\u043e\u0442 \u0436\u0435 \u0432\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0440\u0442. <strong>\u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0432 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u0445 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0442 0,8 \u043c\u043c \u0434\u043e 1,5 \u043c\u043c<\/strong>, \u0430 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0443\u0437\u044b\u0440\u044c\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n<h4>\u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0430<\/th>\n<th>\u041a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439<\/th>\n<th>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 (\u043c\u043c)<\/th>\n<th>\u0422\u0438\u043f\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 (\u043c\u043c)<\/th>\n<th>\u041f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u041e\u0434\u043d\u043e\u043a\u0430\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439<\/td>\n<td>1<\/td>\n<td>4 \u2013 12<\/td>\n<td>2 \u2013 8<\/td>\n<td>\u0418\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0437\u043e\u043d\u044b<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0421 \u0434\u0432\u0443\u043c\u044f \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f\u043c\u0438<\/td>\n<td>2<\/td>\n<td>8 \u2013 16<\/td>\n<td>2\u20134 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u043e\u0442\u0432\u0451\u0440\u0441\u0442\u0438\u0435<\/td>\n<td>\u0420\u0435\u0437\u0435\u0440\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0427\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435\u0445\u0441\u0442\u0432\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439<\/td>\n<td>4<\/td>\n<td>14 \u2013 22<\/td>\n<td>1,5\u20133 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0435<\/td>\n<td>\u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0437\u043b\u044b<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a<\/h3>\n<p>\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u2014 \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0444\u043b\u0430\u043d\u0446\u044b, \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0449\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440\u044b \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445, \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0435 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p><strong>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0442 \u00b10,10 \u043c\u043c \u0434\u043e \u00b10,15 \u043c\u043c<\/strong>, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u0434\u043b\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u00b10,3 \u043c\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435. \u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043f\u043e\u0433\u0440\u0435\u0448\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043d\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 <strong>\u00b10,1 \u043c\u043c<\/strong> \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u043c\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u0433\u0438\u0431\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0435. \u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u043f\u043e \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 <strong>\u043e\u0442 \u00b11,0 \u043c\u043c \u0434\u043e \u00b12,0 \u043c\u043c<\/strong> \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c \u043e\u0442 300 \u0434\u043e 1500 \u043c\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441 \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u043e\u0433\u043d\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439.<\/p>\n<p>\u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0432\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0430 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043d\u0430 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u043a\u043b\u0438\u043a\u0430. <strong>\u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u044b (1,0\u20131,5 \u043c\u043c) \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u0443\u044e \u043c\u0430\u0441\u0441\u0443<\/strong> \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435 \u0440\u0435\u0430\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0438 \u2014 \u044d\u0442\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432 \u0437\u043e\u043d\u0435. \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 (2,0\u20133,0 \u043c\u043c) \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043b\u0435\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043f\u0440\u0438 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0430\u0445, \u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043a \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u043a\u043b\u0438\u043a\u0430. \u0412 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0435\u0439 \u0438 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 <strong>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0442 1,5 \u043c\u043c \u0434\u043e 2,0 \u043c\u043c<\/strong>, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e.<\/p>\n<h4>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u044b \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/th>\n<th>\u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441<\/th>\n<th>\u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u043f\u043e \u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0443 (\u043c\u043c)<\/td>\n<td>\u00b1 0,10 \u2013 0,15<\/td>\n<td>\u00b1 0,30 \u2013 0,50<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 (\u043c\u043c)<\/td>\n<td>\u00b1 0.10<\/td>\n<td>\u00b1 0,20 \u2013 0,30<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a (\u043c\u043c)<\/td>\n<td>1,0 \u2013 3,0<\/td>\n<td>1,0 \u2013 5,0<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u043f\u043e \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 (\u043c\u043c)<\/td>\n<td>\u00b1 1,0 \u2013 2,0<\/td>\n<td>\u00b1 2,0 \u2013 5,0<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f (\u043c\u043c)<\/td>\n<td>\u00b1 0,05 \u2013 0,10<\/td>\n<td>\u00b1 0,15 \u2013 0,30<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u041a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0433\u043e \u0438 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430<\/h3>\n<p>\u0413\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u2014 \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e \u043e\u0442 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u0430 \u043b\u0438 \u043e\u043d\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 \u2014 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0432\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0443 \u0441\u043f\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0438 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0443\u0437\u043b\u0430.<\/p>\n<p><strong>\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430<\/strong> \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0437\u0430\u043f\u0430\u044f\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u0438\u043a \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u0443\u044e \u0441\u0440\u0435\u0434\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043f\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0433\u0430\u0437\u0430\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043e\u0447\u0438\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 HCl, \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445 CVD \u0441 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430\u043c\u0438-\u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0432 \u043b\u044e\u0431\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445, \u0433\u0434\u0435 \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044e \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0435 \u0441 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043c. \u041a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u043c \u043a\u043e\u043d\u0446\u043e\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439, \u0438 <strong>\u0437\u0430\u0437\u043e\u0440\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u043e\u043c \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u043e\u0442 5 \u043c\u043c \u0434\u043e 15 \u043c\u043c<\/strong> \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0435\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043e\u0439 \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043a\u043e\u0439 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p><strong>\u0422\u0440\u0443\u0431\u044b \u0441 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0430\u043c\u0438<\/strong> \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442 \u0441\u043f\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043e\u0439, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0443\u044e \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u0443\u044e \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0443 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435, \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0449\u0443\u044e \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f\u043c \u0441 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u043c \u043a\u043e\u043d\u0446\u043e\u043c. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0442\u0430\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430 \u043d\u0435 \u0432\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u0441\u043e \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u043e\u043c \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u2014 \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0432\u0443\u044e \u043e\u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u044c \u0432 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u043b\u0430\u0431\u043e\u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445 N\u2082 \u0438 Ar. <strong>\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0441 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/strong>, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0435\u0447\u0430\u043c\u0438, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435, \u0433\u0434\u0435 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<hr \/>\n<p><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Platinum-Paired-Quartz-Thermocouple-Tubes-for-High-Temperature-Assembly-in-Semiconductor-Equipment.webp\" alt=\"\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0441 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0438\u043d\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\" title=\"\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0441 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0438\u043d\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\" \/><\/p>\n<h2>\u0422\u0438\u043f\u044b \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0432 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h2>\n<p>\u0412 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0443\u0431\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430. \u0412 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0441 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0442\u0438\u043f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0443\u044e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443, \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b.<\/p>\n<h3>\u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0438\u043f\u0430 K \u0438 \u0442\u0438\u043f\u0430 N \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0441 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439 \u043d\u0438\u0436\u0435 1100 \u00b0C<\/h3>\n<p>\u0421\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0437 \u043d\u0435\u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0442\u0438\u043f\u044b K \u0438 N \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043d\u0438\u0436\u0435 1100 \u00b0C, \u0438 \u043e\u0431\u0435 \u044d\u0442\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u0445 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430.<\/p>\n<p><strong>\u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0438\u043f\u0430 K (\u0445\u0440\u043e\u043c\u0435\u043b\u044c-\u0430\u043b\u044e\u043c\u0435\u043b\u044c, Ni-Cr\/Ni-Al)<\/strong> \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043e\u0442 <strong>\u043e\u0442 -200 \u00b0C \u0434\u043e 1260 \u00b0C<\/strong>, \u0441\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e <strong>\u00b12,2 \u00b0C \u0438\u043b\u0438 \u00b10,751 TP3T<\/strong> \u0432\u044b\u0448\u0435 375 \u00b0C (IEC 60584, \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441 1). \u041e\u043d\u0438 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 <a href=\"https:\/\/en.wikipedia.org\/wiki\/Seebeck_coefficient\">\u041a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0417\u0435\u0435\u0431\u0435\u043a\u0430<\/a><sup id=\"fnref1:1\"><a href=\"#fn:1\" class=\"footnote-ref\">1<\/a><\/sup> \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e <strong>41 \u043c\u043a\u0412\/\u00b0C<\/strong> \u043f\u0440\u0438 1000 \u00b0C \u2014 \u0441\u0430\u043c\u043e\u043c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0438\u0437 \u043d\u0435\u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u2014 \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0441\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0438\u043f\u0430 K \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044b <strong>\u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0435 \u00ab\u0437\u0435\u043b\u0451\u043d\u043e\u0439 \u0433\u043d\u0438\u043b\u044c\u044e\u00bb<\/strong> \u0432 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430\u0445 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043f\u0430\u0440\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435 800 \u00b0C, \u0433\u0434\u0435 \u0445\u0440\u043e\u043c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u0435 Chromel \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437\u0431\u0438\u0440\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445 \u0441 \u0444\u043e\u0440\u043c\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c \u0433\u0430\u0437\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0430\u0437\u043e\u0442\u043e\u043c (N\u2082) \u0431\u0435\u0437 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430.<\/p>\n<p><strong>\u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0438\u043f\u0430 N (\u041d\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0438\u043b-\u041d\u0438\u0441\u0438\u043b)<\/strong> \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0435\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0441\u043b\u0430 \u0442\u0438\u043f\u0430 K \u0438 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 <strong>\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u0443 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435 800 \u00b0C<\/strong>. \u0414\u0440\u0435\u0439\u0444 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0442\u0438\u043f\u0430 N \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 1000 \u00b0C, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 <strong>0,5 \u00b0C \u0437\u0430 \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0435 100 \u0447\u0430\u0441\u043e\u0432<\/strong> \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0430\u0436\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 <strong>1\u20133 \u00b0C \u0437\u0430 100 \u0447\u0430\u0441\u043e\u0432<\/strong> \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u043e\u0439 \u0442\u0438\u043f\u0430 K \u043f\u0440\u0438 \u044d\u043a\u0432\u0438\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0438\u043f\u0430 N \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0437 \u043d\u0435\u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0433\u0434\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0441\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c\u0443 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0432\u0430\u043b\u044b \u043a\u0430\u043b\u0438\u0431\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0432\u043e\u0441\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u043a\u0430\u043a \u0442\u0438\u043f\u0430 K, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0442\u0438\u043f\u0430 N \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u044b \u0441 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445.<\/p>\n<h4>\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0437 \u043d\u0435\u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u0445 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041d\u0435\u0434\u0432\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/th>\n<th>\u0422\u0438\u043f K<\/th>\n<th>\u0422\u0438\u043f N<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 (\u00b0C)<\/td>\n<td>\u043e\u0442 -200 \u0434\u043e 1260<\/td>\n<td>\u043e\u0442 -200 \u0434\u043e 1300<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0443 \u041c\u042d\u041a (\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441 1)<\/td>\n<td>\u00b12,2 \u00b0C \u0438\u043b\u0438 \u00b10,751 TP3T<\/td>\n<td>\u00b12,2 \u00b0C \u0438\u043b\u0438 \u00b10,751 TP3T<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0417\u0435\u0435\u0431\u0435\u043a\u0430 \u043f\u0440\u0438 1000 \u00b0C (\u043c\u043a\u0412\/\u00b0C)<\/td>\n<td>~41<\/td>\n<td>~36<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0414\u0440\u0435\u0439\u0444 \u043f\u0440\u0438 1000 \u00b0C (\u00b0C\/100 \u0447)<\/td>\n<td>1\u20133<\/td>\n<td>&lt; 0.5<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0412\u043e\u0441\u043f\u0440\u0438\u0438\u043c\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0437\u0435\u043b\u0435\u043d\u043e\u0439 \u0433\u043d\u0438\u043b\u0438<\/td>\n<td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f (&gt; 800 \u00b0C, \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 pO\u2082)<\/td>\n<td>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u043e\u043c<\/td>\n<td>\u2713 \u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e<\/td>\n<td>\u2713 \u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 S, R \u0438 B \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u043f\u0440\u043e\u0442\u0435\u043a\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435 1100 \u00b0C \u2014 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0443\u044e \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u044e \u0438 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b LPCVD \u2014 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0438\u0437 \u0434\u0440\u0430\u0433\u043e\u0446\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u0445 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b \u043e\u0442 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p><strong>\u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0438\u043f\u0430 S (Pt-10%Rh \/ Pt) \u0438 \u0442\u0438\u043f\u0430 R (Pt-13%Rh \/ Pt)<\/strong> \u0431\u0435\u0437\u043e\u0442\u043a\u0430\u0437\u043d\u043e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b <strong>1600\u00b0C<\/strong> \u0432 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 1 \u043f\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0443 \u041c\u042d\u041a <strong>\u00b11,0 \u00b0C \u0438\u043b\u0438 \u00b10,251 TP3T<\/strong> \u0432\u044b\u0448\u0435 1100 \u00b0C. \u0412 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u0442\u0438 \u0442\u0438\u043f\u044b \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 1050\u20131200 \u00b0C, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0438\u0437 \u043d\u0435\u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u043e\u0432 \u0441\u0432\u043e\u0435\u0433\u043e \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u0430. \u0421\u043f\u043b\u0430\u0432\u044b \u043f\u043b\u0430\u0442\u0438\u043d\u044b \u0438 \u0440\u043e\u0434\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044b <strong>\u043c\u0438\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0440\u043e\u0434\u0438\u044f \u0438 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0437\u0435\u0440\u0435\u043d \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435 1300 \u00b0C<\/strong>, \u0438 \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b <strong>\u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0444\u043e\u0441\u0444\u043e\u0440\u0430 \u0438 \u0431\u043e\u0440\u0430<\/strong> \u2014 \u0432\u0441\u0435 \u043e\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432 \u0432 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 S \u0438 R \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445: \u043e\u043d\u0430 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0438\u043d\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u0443 \u043e\u0442 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u0442\u044c \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0443 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0438 5\u201315 \u043c\u043c \u043e\u0442 \u0437\u043e\u043d\u044b \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430.<\/p>\n<p><strong>\u0422\u0438\u043f B (Pt-30%Rh \/ Pt-6%Rh)<\/strong> \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e <strong>1820 \u00b0C<\/strong>, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0435\u0437\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043d\u0438\u0436\u0435 600 \u00b0C \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0435\u043d\u0435\u0431\u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043e \u043c\u0430\u043b\u044b\u043c \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0443\u043b\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0417\u0435\u0435\u0431\u0435\u043a\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445. \u0412 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0442\u0438\u043f B \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0430. \u0421\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0440\u043e\u0434\u0438\u044f \u0432 \u043d\u0451\u043c \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e <strong>\u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u0443, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441\u043e\u0432 \u0440\u043e\u0434\u0438\u044f<\/strong> \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0442\u0438\u043f\u0430\u043c\u0438 S \u0438\u043b\u0438 R, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u043c. \u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u0430 \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0438\u043f\u0430 B \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438, \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 1100 \u00b0C \u0432 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b; \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u0442\u044c \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n<h4>\u0422\u0438\u043f\u044b \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0437 \u0434\u0440\u0430\u0433\u043e\u0446\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0441 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u0422\u0438\u043f<\/th>\n<th>\u0421\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432<\/th>\n<th>\u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d (\u00b0C)<\/th>\n<th>\u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (\u043a\u043b\u0430\u0441\u0441 1 \u043f\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0443 \u041c\u042d\u041a)<\/th>\n<th>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>S<\/td>\n<td>Pt-10%Rh \/ Pt<\/td>\n<td>0 \u2013 1600<\/td>\n<td>\u00b11,0 \u00b0C \u0438\u043b\u0438 \u00b10,251 TP3T<\/td>\n<td>\u041c\u0438\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f Rh &gt; 1300 \u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>R<\/td>\n<td>Pt-13%Rh \/ Pt<\/td>\n<td>0 \u2013 1600<\/td>\n<td>\u00b11,0 \u00b0C \u0438\u043b\u0438 \u00b10,251 TP3T<\/td>\n<td>\u041c\u0438\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f Rh &gt; 1300 \u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>B<\/td>\n<td>Pt-30%Rh \/ Pt-6%Rh<\/td>\n<td>600 \u2013 1820<\/td>\n<td>\u00b10,251 TP3T (&gt; 1050 \u00b0C)<\/td>\n<td>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c &lt; 600 \u00b0C<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<hr \/>\n<p><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Closed-End-Quartz-Thermocouple-Tubes-for-Thermal-Stability-Verification-in-Process-Furnaces.webp\" alt=\"\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445\" title=\"\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445\" \/><\/p>\n<h2>\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/h2>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0432\u044b\u0431\u0438\u0440\u0430\u0442\u044c \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0443\u044e \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0443, \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u0443\u044f\u0441\u044c \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0442\u0438\u043f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430. \u041a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u2014 \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0443\u044e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443, \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0443\u0434\u0430\u0440\u0430\u043c, \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0430\u043c \u0438 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u2014 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043e\u0446\u0435\u043d\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430.<\/p>\n<h3>\u041f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430<\/h3>\n<p>\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u2014 \u043e\u043d\u0430 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438, \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b, \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f.<\/p>\n<p><strong>\u041f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u043d\u044b \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u0443\u044e \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u044e \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 1100 \u00b0C<\/strong> \u0432 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435. \u041a\u0440\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e <strong>\u0422\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 1250 \u00b0C \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 1 \u0447\u0430\u0441\u0430<\/strong>, \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0443\u0431\u0430 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0435, \u0430 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438. \u041f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e <strong>1050\u20131100 \u00b0C, \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f<\/strong> \u2014 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0432 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0431\u0430\u043b\u0438\u0442. \u042d\u0442\u043e \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043f\u043e\u043c\u0443\u0442\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0430 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u043c \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u0442\u0440\u0443\u0431\u044b.<\/p>\n<p>\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0440\u043e\u043a \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e <strong>1000\u20131050 \u00b0C<\/strong>, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445. \u0412 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438 \u0440\u0435\u0434\u043a\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 1100 \u00b0C, <strong>\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/strong> \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 50\u2013100 \u00b0C \u0432\u044b\u0448\u0435 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u2014 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043f\u0440\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0430\u0445.<\/p>\n<h4>\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u0422\u0438\u043f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438<\/th>\n<th>\u041d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u0430\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f (\u00b0C)<\/th>\n<th>\u041a\u0440\u0430\u0442\u043a\u043e\u0441\u0440\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0438\u043a (\u00b0C)<\/th>\n<th>\u041d\u0430\u0447\u0430\u043b\u043e \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 (\u00b0C)<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u041f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439<\/td>\n<td>1100<\/td>\n<td>1250<\/td>\n<td>1050\u20131100<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b<\/td>\n<td>1050<\/td>\n<td>1200<\/td>\n<td>1000\u20131050<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c<\/td>\n<td>1000\u20131050<\/td>\n<td>1150<\/td>\n<td>950\u20131000<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u0423\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0443\u0434\u0430\u0440\u0430\u043c \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0435<\/h3>\n<p>\u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f (CTE) \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0443\u0434\u0430\u0440\u0430\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0445\u0432\u0430\u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0438 \u043e\u0434\u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0430\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u0430\u044f \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430, \u0438 \u044d\u0442\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e\u0442\u043d\u044f\u043c \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0446\u0438\u043a\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n<p><strong>\u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0435 \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442 1000 \u00b0C \u0434\u043e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b<\/strong> \u0431\u0435\u0437 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u2014 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u043e \u0431\u044b \u043a \u043a\u0430\u0442\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0442\u0440\u0443\u0431 \u0438\u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0443\u043b\u043b\u0438\u0442\u0430 \u0441 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a. \u0414\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u043f\u0430\u0434\u043e\u043c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 (\u0394T_c), \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0432\u0435\u0440\u043e\u044f\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 50%: \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430, <strong>\u0394T_c \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 1000 \u00b0C<\/strong>, \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e <strong>200 \u00b0C \u0434\u043b\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f (99,5%)<\/strong> \u0438 <strong>350 \u00b0C \u0434\u043b\u044f \u043c\u0443\u043b\u043b\u0438\u0442\u0430<\/strong>. \u041f\u0440\u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u0445\u043e\u043b\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0431\u043e\u0440\u043a\u0438 \u0432\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0430\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0442\u0443\u044e \u043f\u0435\u0447\u044c \u2014 \u0447\u0442\u043e \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0434\u0443\u0440\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u2014 \u0442\u0430\u043a\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0448\u043e\u043a\u0443 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d \u0432\u043d\u0435\u043f\u043b\u0430\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043a \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u0412 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b, <strong>\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432<\/strong> \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u044b\u0441\u044f\u0447\u0438 \u0446\u0438\u043a\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430-\u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0435\u0437 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0442\u0440\u0435\u0449\u0438\u043d \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0438\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\u043c \u0437\u0435\u0440\u0435\u043d, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0441\u0443\u0440\u0441 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0438. \u0423\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0440\u0435\u0441\u0443\u0440\u0441 \u043f\u0440\u0438 <strong>50 \u0446\u0438\u043a\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u0443\u0442\u043a\u0438 \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 \u043e\u0442 25 \u00b0C \u0434\u043e 1000 \u00b0C<\/strong> \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u0438\u043b\u0430 \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430, \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e <strong>2 000 \u0446\u0438\u043a\u043b\u043e\u0432 \u0431\u0435\u0437 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/strong> \u2014 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u0441\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0435\u0447\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043b\u0435\u0442.<\/p>\n<h4>\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b<\/th>\n<th>\u041a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0394T_c (\u00b0C)<\/th>\n<th>CTE (\u00d710-\u2076\/\u00b0C)<\/th>\n<th>\u0426\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c (\u0446\u0438\u043a\u043b\u044b \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 25\u20131000 \u00b0C)<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u041f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446<\/td>\n<td>&gt; 1000<\/td>\n<td>0.55<\/td>\n<td>&gt; 2 000<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f (99,5%)<\/td>\n<td>~200<\/td>\n<td>7.2<\/td>\n<td>200\u2013500<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041c\u0443\u043b\u043b\u0438\u0442<\/td>\n<td>~350<\/td>\n<td>5.0<\/td>\n<td>300\u2013700<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/td>\n<td>~400<\/td>\n<td>4.0<\/td>\n<td>500\u20131000<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u0438 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0430\u0445<\/h3>\n<p>\u041d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0432\u043e\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438, \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u043c \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u043e\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0438 \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0438 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431.<\/p>\n<p><strong>\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f (MOR) \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 50\u201365 \u041c\u041f\u0430<\/strong> \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435, \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044f\u0441\u044c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0434\u043e <strong>40\u201355 \u041c\u041f\u0430 \u043f\u0440\u0438 1000 \u00b0C<\/strong> \u2014 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432 \u0434\u0432\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0430 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f (99,7%) \u043f\u0440\u0438 \u044d\u043a\u0432\u0438\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u044b \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u0434 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u0442\u043e\u0447\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438, \u0443\u0434\u0430\u0440\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u043e\u043d\u0442\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0447\u0435\u043c \u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438. <strong>\u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c \u0440\u044b\u0447\u0430\u0433\u043e\u043c<\/strong> \u0434\u043b\u044f \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u0432: \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0441 1,5 \u043c\u043c \u0434\u043e 2,5 \u043c\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0432\u0434\u0432\u043e\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c \u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u044b <a href=\"https:\/\/en.wikipedia.org\/wiki\/Moment_of_inertia\">\u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0446\u0438\u0438<\/a><sup id=\"fnref1:2\"><a href=\"#fn:2\" class=\"footnote-ref\">2<\/a><\/sup>, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u043f\u0440\u043e\u0433\u0438\u0431\u0443 \u043f\u043e\u0434 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432\u0435\u0441\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435 900 \u00b0C \u0441\u043e\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0430 \u0441 \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u043c <strong>\u0432\u044f\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0437\u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c (\u043f\u0440\u043e\u0432\u0438\u0441\u0430\u043d\u0438\u0435)<\/strong> \u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u0445 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430. \u0412 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 600 \u043c\u043c, \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445, \u043f\u0440\u0438\u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u043a 1100 \u00b0C, \u043f\u0440\u043e\u0432\u0438\u0441\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u0441\u044f\u0446\u0435\u0432. <strong>\u041e\u043f\u043e\u0440\u0430 \u0442\u0440\u0443\u0431\u044b \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0430\u0445 \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0435\u0451 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435<\/strong> \u2014 \u043b\u0438\u0431\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043d\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u2014 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043c\u044f\u0433\u0447\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u043e \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0412 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f\u0445 \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0447\u044c\u044e \u0433\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0430 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0441\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440, \u0430 \u043d\u0435 \u0438\u0437\u0433\u0438\u0431\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e\u043b\u0437\u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<h4>\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438<\/h4>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u041d\u0435\u0434\u0432\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/th>\n<th>\u041f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446<\/th>\n<th>\u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f (99,7%)<\/th>\n<th>SiC<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 (\u041c\u041f\u0430)<\/td>\n<td>50\u201365<\/td>\n<td>300\u2013380<\/td>\n<td>400 - 500<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 1000 \u00b0C (\u041c\u041f\u0430)<\/td>\n<td>40\u201355<\/td>\n<td>250\u2013320<\/td>\n<td>350\u2013450<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0443\u043f\u0440\u0443\u0433\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u0413\u041f\u0430)<\/td>\n<td>73<\/td>\n<td>370<\/td>\n<td>410<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0422\u0432\u0451\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u0412\u0438\u043a\u043a\u0435\u0440\u0441\u0443 (\u0413\u041f\u0430)<\/td>\n<td>9<\/td>\n<td>15<\/td>\n<td>25<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (\u0433\/\u0441\u043c\u00b3)<\/td>\n<td>2.20<\/td>\n<td>3.90<\/td>\n<td>3.10<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h3>\u0413\u0430\u0437\u043e\u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445<\/h3>\n<p>\u041f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0441\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u043e\u0432 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0443\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437 \u0432\u0438\u0434\u0443 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b, \u0445\u043e\u0442\u044f \u043e\u043d\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0435\u0435 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430, \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0433\u0430\u0437, \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044e \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442 \u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u0440\u043e\u0437\u0443 \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b.<\/p>\n<p><strong>\u041f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u043d\u0438\u0437\u043a\u0443\u044e \u0433\u0430\u0437\u043e\u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043d\u0438\u0436\u0435 1000 \u00b0C<\/strong>, \u0441 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043b\u044f \u0433\u0435\u043b\u0438\u044f, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e <strong>10\u207b\u00b9\u2070 \u0441\u043c\u00b3\u00b7\u0441\u043c\/(\u0441\u043c\u00b2\u00b7\u0441\u00b7\u0441\u043c \u0440\u0442. \u0441\u0442.)<\/strong> \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u2014 \u0441\u0430\u043c\u0430\u044f \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043e\u043b. \u0414\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0432\u0443\u0445\u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a O\u2082 \u0438 N\u2082, \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0436\u0435, \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0447\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0441 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0430\u043c\u0438 \u0444\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432. \u042d\u0442\u0430 \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 <strong>\u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0445 \u043f\u0443\u0437\u044b\u0440\u0435\u0439, \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0449\u0438\u043d \u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0441\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435<\/strong> \u2014 \u0432\u0441\u0435 \u044d\u0442\u043e \u2014 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u044f\u0442\u044c \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043b\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u0417\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f <strong>\u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435 900 \u00b0C<\/strong>. H\u2082 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0443\u044e \u043c\u043e\u043b\u0435\u043a\u0443\u043b\u0443 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0438 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435 900 \u00b0C, \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044f \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0439, \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u043c\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u044c \u0442\u0440\u0443\u0431\u044b. \u0412 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0438, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 H\u2082 \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e <strong>5% \u043f\u043e \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0441\u0432\u044b\u0448\u0435 900 \u00b0C<\/strong>, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0443 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b \u0432\u043e\u043a\u0440\u0443\u0433 \u0441\u043f\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0447\u0430\u0441\u043e\u0432. <strong>\u0423\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u0435\u043d\u043a\u0438 (\u2265 2,0 \u043c\u043c) \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u0430 \u043a\u0430\u043b\u0438\u0431\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b<\/strong> \u0420\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0440\u044b \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u044c \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n<hr \/>\n<p><img decoding=\"async\" src=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Semiconductor-Grade-Quartz-Thermocouple-Tubes-for-High-Purity-Wafer-Processing-Applications.webp\" alt=\"\u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b\" title=\"\u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b\" \/><\/p>\n<h2>\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0432 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h2>\n<p>\u041d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0446\u0438\u043a\u043b\u0430 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u2014 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437 \u043d\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0432\u043e\u0438 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430.<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0414\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438<\/strong> \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0441\u043e\u0432\u0443\u044e \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432. \u041a\u0430\u043a \u0432 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0432 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u0437\u043e\u043d\u0435 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0432 \u0442\u0440\u0451\u0445\u2013\u043f\u044f\u0442\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0430\u0445 \u043f\u043e \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438. \u041f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043e\u0442 900 \u00b0C \u0434\u043e 1100 \u00b0C \u0432 \u0441\u043c\u0435\u0448\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430\u0445 O\u2082\/N\u2082 \u0438\u043b\u0438 N\u2082\/\u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, <strong>\u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0441 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u043e\u0439 SiO\u2082 \u2265 99,99%<\/strong> \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438. \u0414\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0442\u0440\u0443\u0431 \u0432 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043a\u043e\u043b\u0435\u0431\u043b\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 800 \u043c\u043c \u0434\u043e 1500 \u043c\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u0433\u043e \u0432\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u043e\u0432\u0438\u0441\u0430\u043d\u0438\u044e \u2014 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0440\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0439, \u0433\u0434\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u043f\u043e\u0440\u044b \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u044b. \u0421\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0446\u0438\u043a\u043b\u043e\u0432 (\u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432 \u0434\u0435\u043d\u044c), \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0435 HCl \u0438 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044e \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u043d\u0435\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u043e\u0439 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438<\/strong> \u0420\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0443\u0445\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b O\u2082 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u0441\u0440\u0435\u0434\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0435\u0447\u0438, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445. <strong>\u041f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0441 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0430\u043c\u0438<\/strong> \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044e \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f \u0434\u043b\u044f \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0430, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u0443\u044e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0438, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u043c\u0438\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0439 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u041f\u0435\u0447\u0438 LPCVD<\/strong> \u0432\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440: \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b (SiH\u2084, NH\u2083, Si\u2082H\u2086, WF\u2086) \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 0,1\u20132,0 \u0422\u043e\u0440\u0440. \u041f\u0440\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u0432 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439. <strong>\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0441 \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u043c\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a \u2265 1,5 \u043c\u043c<\/strong> \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0446\u0435\u043b\u044c\u044e \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0430\u0437\u0430-\u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0430. \u041e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u043c \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 LPCVD; \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0431\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438, \u043d\u0435 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u043c\u0438 HF (\u0442\u0430\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043a\u0430\u043a \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044b HNO\u2083\/H\u2082O\u2082), \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a, \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0430\u044f \u043a\u043e\u0440\u043f\u0443\u0441 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u041f\u0435\u0447\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0430<\/strong> \u2014 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043a\u0430\u043a \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0447\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u0430 (RTA) \u0441 \u043b\u0430\u043c\u043f\u043e\u0432\u044b\u043c \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u043e\u043c \u2014 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0432 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0442\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f. \u0412 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430\u0445 RTA \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (\u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430 50\u2013200 \u00b0C\/\u0441) \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0443\u0434\u0430\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043b\u044e\u0431\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<hr \/>\n<h2>\u0414\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u0445 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438 \u0435\u0451 \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b<\/h2>\n<p>\u041e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u043c\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u043e\u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u043f\u0440\u0438 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u2014 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0438\u043c\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0432 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0431\u0430\u043b\u0438\u0442.<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c \u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u044f:<\/strong> \u0414\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043c\u0435\u0441\u0442\u0430\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0432 \u0437\u043e\u043d\u0430\u0445 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u044c \u0441\u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0449\u0435\u0439 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e <strong>1000 \u00b0C \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430<\/strong> \u0438 <strong>1050 \u00b0C \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0440\u043e\u043a \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b<\/strong>. \u0412\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u0431\u0435\u043b\u043e\u0433\u043e, \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u2014 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e\u0440\u0435\u0447\u0438\u0438 \u044d\u0442\u043e \u043d\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u00ab\u043f\u043e\u043c\u0443\u0442\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c\u00bb \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438. \u0421 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0444\u0430\u0437\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0431\u0430\u043b\u0438\u0442\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0443\u044e \u043e\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 (2,33 \u0433\/\u0441\u043c\u00b3 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 2,20 \u0433\/\u0441\u043c\u00b3), \u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441 \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u043c, \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 <strong>\u043f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0440\u0443\u0431\u044b<\/strong>. \u041f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435 ~220 \u00b0C \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0431\u0430\u043b\u0438\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0438\u043c\u043e\u043c\u0443 \u03b1-\u03b2-\u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0443, \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0436\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435\u043c\u0443\u0441\u044f \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0443 2\u20133%, \u0447\u0442\u043e \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0435\u0441\u043a\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0437\u043e\u043d\u0430\u0445 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u044c\u044e \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438. \u0422\u0440\u0443\u0431\u0443, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u0448\u043b\u0430 \u043e\u0431\u0448\u0438\u0440\u043d\u0430\u044f \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f, \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u0442\u044c \u0434\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0430\u043a \u043e\u043d\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0440\u0438\u0441\u043a \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442 \u043f\u043e\u0434 \u0443\u0433\u0440\u043e\u0437\u0443 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0435\u0447\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0424\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044e:<\/strong> \u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u044e\u0442 \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0449\u0435\u0439 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b. <strong>\u0417\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438<\/strong> \u2014 \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u043c\u0430\u043d\u0438\u043f\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u0439 \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0435\u0440\u0447\u0430\u0442\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0433\u0430\u0437\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0441\u043e\u043f\u0440\u0438\u043a\u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0441\u043e\u0441\u0435\u0434\u043d\u0438\u043c\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0435\u0447\u0438 \u2014 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a \u0444\u043b\u044e\u0441, \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044e \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u043e \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438. \u0417\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430\u0442\u0440\u0438\u0435\u043c \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438 <strong>\u041a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 1\u20135 ppm<\/strong> \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433 \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 50\u2013100 \u00b0C. <strong>\u0412\u043e\u0434\u044f\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0430\u0440 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445<\/strong> \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u0435\u0442 \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f <a href=\"https:\/\/en.wikipedia.org\/wiki\/Silanol\">\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u043e\u043b (Si-OH)<\/a><sup id=\"fnref1:3\"><a href=\"#fn:3\" class=\"footnote-ref\">3<\/a><\/sup> \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u044b, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438. \u042d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431 \u0432 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u0432\u043b\u0430\u0436\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 1050 \u00b0C \u0438\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0431\u0435\u0437 \u043d\u0430\u0434\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0435\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u0437\u0430\u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u044f\u0445 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0423\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b:<\/strong> \u041f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043a \u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u043b\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 <strong>\u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0432\u0430\u043b \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0430 \u0442\u0440\u0443\u0431<\/strong> \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u0412 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445, \u043f\u0440\u043e\u0442\u0435\u043a\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435 1000 \u00b0C \u0432 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435, \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043c\u0435\u0442 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043c\u0443\u0442\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0432\u0430\u043b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u0435\u0447\u0438 \u2014 \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0435 <strong>\u043e\u0442 4 \u0434\u043e 8 \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c<\/strong> \u2014 \u0440\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f. \u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438, \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 <strong>20\u201330% \u043e\u0442 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0437\u043e\u043d\u044b \u043d\u0430\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430<\/strong> \u0438\u0445 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438, \u0430 \u043d\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0434\u043e \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0438\u0437 \u0441\u0442\u0440\u043e\u044f. \u0421\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043b\u043e\u0432 \u043f\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0440\u043a\u0430\u043c\u0438 \u2014 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0447\u0430\u0442\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u044d\u0442\u0438\u043b\u0435\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442\u0430\u0445 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0441 \u043a\u043e\u0436\u0435\u0439 \u2014 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0434\u043b\u0435\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<hr \/>\n<h2>\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0441 \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n<p>\u0412 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b, \u043e\u0446\u0435\u043d\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c, \u043d\u0435\u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u043d\u043e \u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438, \u043a\u0430\u043a \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u041a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a, \u0438 \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0432 \u043a\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u0430 \u0432 \u043a\u0430\u043a\u0438\u0445 \u2014 \u043d\u0435\u0442, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0438\u044e \u043e\u0431\u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f (Al\u2082O\u2083, 99,7%)<\/strong> \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e (\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u044b\u0432\u0435 ~350 \u041c\u041f\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 ~55 \u041c\u041f\u0430 \u0443 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430) \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u0443\u044e \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u044e \u0434\u043e <strong>1700 \u00b0C<\/strong> \u2014 \u0447\u0442\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430, \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u0435 1100 \u00b0C. \u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0433\u0434\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442 1100 \u00b0C, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f <strong>\u041a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f (CTE) \u2014 7,2 \u00d7 10\u207b\u2076\/\u00b0C<\/strong> \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0443\u044f\u0437\u0432\u0438\u043c\u044b\u043c \u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0448\u043e\u043a\u0443 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0435\u0437\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043f\u0430\u0434\u0430\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c <strong>\u0412\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 HCl \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445<\/strong> \u2014 \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446 \u0437\u0435\u0440\u0435\u043d \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u0430\u043c\u0438 Al\u2082O\u2083 \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0446\u0438\u043a\u043b\u044b \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 HCl. <strong>\u041a\u043e\u0440\u0434\u0443\u0440 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043e\u0431\u0449\u0438\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439<\/strong> (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e 200\u2013500 ppm \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 &lt; 50 ppb \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430), \u0447\u0442\u043e \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0437\u043e\u043d\u0430\u0445 \u0441 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043a \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044e \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 CMOS-\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC)<\/strong> \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e (\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u044b\u0432\u0435 ~450 \u041c\u041f\u0430) \u0438 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439, \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 <strong>1600\u00b0C<\/strong>. SiC \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u0432 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445, \u043e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u043e\u043d \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0440\u044f\u0434 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432. <strong>SiC \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e<\/strong>, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0433\u0440\u0435\u0448\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u042d\u0414\u0421 \u0438\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0437\u0430\u0437\u0435\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, SiC \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f <strong>\u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0448\u0435 800 \u00b0C \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 O\u2082<\/strong>, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 SiO\u2082, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043d\u0435\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438, \u0447\u0442\u043e \u0435\u0449\u0451 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0435, \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d. \u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 SiC \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u043d\u0435 \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043e\u043d \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u043e\u043d\u0430\u0445, \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u041a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430<\/strong> \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043d\u0438\u0436\u0435 1100 \u00b0C \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e \u0437\u0430\u043a\u0440\u0435\u043f\u0438\u043b\u0441\u044f: \u043d\u0438 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441 \u043d\u0438\u043c \u043f\u043e \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u044e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a, \u043a\u0430\u043a \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u043e \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445, \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0443\u0434\u0430\u0440\u0430\u043c \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u0414\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u2014 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0438 LPCVD \u2014 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u0443\u0434\u043e\u0431\u043d\u044b\u043c \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u043e\u043c \u2014 \u044d\u0442\u043e \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<hr \/>\n<h2>\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 TOQUARTZ, \u043e\u0442\u0432\u0435\u0447\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h2>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u0440\u0438\u044f\u0442\u0438\u0439 \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438, \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0432\u0441\u0435\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c, \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435, \u0441\u0435\u0440\u0442\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u043e\u0442\u0441\u043b\u0435\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u043c\u0438.<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>TOQUARTZ<\/strong> \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0437 <strong>\u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0441 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u043e\u0439 SiO\u2082 \u2265 99,99%<\/strong> \u0430 \u043e\u0431\u0449\u0438\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439, \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c ICP-MS, \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 50 ppb. \u041a\u0430\u0436\u0434\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u044f \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0435\u0440\u0442\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u043c \u043d\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u0443\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u043e \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 Na, K, Fe, Cu, Ni \u0438 Al \u2014 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0443\u044e \u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439. \u0414\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043a \u043f\u0440\u043e\u0441\u043b\u0435\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0430\u043c\u0438 ISO\/TS 16949 \u0438 SEMI, \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u044b\u043c\u0438 \u043a \u0430\u0442\u0442\u0435\u0441\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 TOQUARTZ \u043f\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u0435\u0439 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438<\/strong> \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u043e\u0442 4 \u043c\u043c \u0434\u043e 100 \u043c\u043c \u0441 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e \u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0443 <strong>\u00b10,10 \u043c\u043c<\/strong>, \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 <strong>\u00b10,10 \u043c\u043c<\/strong>, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 <strong>\u00b10,05 \u043c\u043c<\/strong> \u2014 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c, \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u043c \u043a \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c, \u0438\u0437\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438. \u0414\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b \u043a\u0430\u043a \u0437\u0430\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u0435, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441 \u043e\u0434\u043d\u043e- \u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0435\u0439, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u044f \u0438\u043d\u0434\u0438\u0432\u0438\u0434\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e \u00b11,0 \u043c\u043c. \u0414\u043b\u044f \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0441 \u0442\u043e\u0440\u0446\u0430\u043c\u0438, \u043e\u0442\u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043e\u0433\u043d\u0451\u043c, \u0444\u043b\u0430\u043d\u0446\u0430\u043c\u0438 \u0441 \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0441 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0430 \u043f\u043e \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong> \u041a\u043e\u043d\u0441\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c \u0442\u0440\u0443\u0431 \u2014 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0431\u043e\u0440 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b, \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a, \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0445\u043e\u0434\u0430 \u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0442\u043e\u0440\u0446\u043e\u0432 \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u2014 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 TOQUARTZ. \u0412 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435, \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 \u0438 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044e \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u043e \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435, \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u043d\u0430 \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0441\u0431\u043e\u0438 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u0442\u0440\u0443\u0431\u0430\u043c\u0438, \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<hr \/>\n<h2>\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n<p>\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0433\u0440\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043e\u0431\u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0443\u044e \u0438 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u0443\u044e \u0440\u043e\u043b\u044c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432. \u0418\u0445 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u043e \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 50 ppb \u0438 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0443\u0434\u0430\u0440\u0430\u043c \u0432 \u0441\u043e\u0432\u043e\u043a\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043a \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u043c \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445, \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445, LPCVD \u0438 \u043e\u0442\u0436\u0438\u0433\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439, \u043a\u0430\u043a \u043d\u0438 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0434\u0440\u0443\u0433\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b. \u041f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u043e\u0432 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u2014 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044b \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u0442\u0438\u043f\u0430\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u2014 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c \u043f\u043e\u0434\u0431\u0438\u0440\u0430\u0442\u044c, \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438 \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0435 \u0438 \u0441\u0432\u043e\u0431\u043e\u0434\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0442 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043f\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n<hr \/>\n<h2>\u0427\u0410\u0421\u0422\u041e \u0417\u0410\u0414\u0410\u0412\u0410\u0415\u041c\u042b\u0415 \u0412\u041e\u041f\u0420\u041e\u0421\u042b<\/h2>\n<p><strong>\u041a\u0430\u043a\u043e\u0432\u0430 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0432 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432?<\/strong><\/p>\n<p>\u041f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u043d\u044b \u043d\u0430 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u0443\u044e \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u044e \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 1100 \u00b0C, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0433\u0440\u0435\u0432\u044b \u0434\u043e 1250 \u00b0C \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043d\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0447\u0430\u0441\u0430. \u041d\u0430\u0447\u0430\u043b\u043e \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u2014 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c, \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u2014 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043e\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 1050 \u00b0C \u0434\u043e 1100 \u00b0C \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0440\u043e\u043a \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b. \u0423 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0440\u044b\u0432\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043d\u0438\u0436\u0435 \u2014 \u043e\u0442 1000 \u00b0C \u0434\u043e 1050 \u00b0C.<\/p>\n<p><strong>\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446, \u0430 \u043d\u0435 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f?<\/strong><\/p>\n<p>\u041f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u043d\u0438\u0436\u0435 50 ppb \u2014 \u0447\u0442\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 \u043d\u0438\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f, \u2014 \u0447\u0442\u043e \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f (CTE) \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430, \u0440\u0430\u0432\u043d\u044b\u0439 0,55 \u00d7 10\u207b\u2076\/\u00b0C, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0435\u043c\u0443 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0443\u0434\u0430\u0440\u0430\u043c, \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0443\u044e \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c \u0443 \u0433\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c\u0430, \u0447\u0442\u043e \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439, \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u0446\u0438\u043a\u043b\u0430\u043c \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 HCl \u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0439.<\/p>\n<p><strong>\u041f\u043e \u043a\u0430\u043a\u0438\u043c \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430\u043c \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0431\u0435\u043b\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438?<\/strong><\/p>\n<p>\u041f\u043e\u043c\u0443\u0442\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0438\u0437\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u0438\u0437\u043d\u0430\u043a\u043e\u043c \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u2014 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u0432 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0431\u0430\u043b\u0438\u0442. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 \u0432\u044b\u0448\u0435 1050 \u00b0C, \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438 (\u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0435\u0440\u0447\u0430\u0442\u043e\u043a) \u0438 \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0438 \u0432\u043e\u0434\u044f\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0430\u0440\u0430 \u0432 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435. \u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043c\u0443\u0442\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u0442\u044c \u0443\u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0430\u044e\u0449\u0435, \u0442\u0430\u043a \u043a\u0430\u043a \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441 \u044d\u0442\u0438\u043c \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u044a\u0451\u043c\u0430 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0451\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0449\u0438\u043d \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438.<\/p>\n<p><strong>\u041a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0438\u043f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432?<\/strong><\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u043f\u0435\u0447\u0435\u0439 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 \u043e\u0442 1050 \u00b0C \u0434\u043e 1200 \u00b0C, \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0442\u0438\u043f\u0430 S (Pt-10%Rh\/Pt) \u0438 \u0442\u0438\u043f\u0430 R (Pt-13%Rh\/Pt), \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430 1 \u043f\u043e \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0443 \u041c\u042d\u041a \u00b11,0 \u00b0C \u0438\u043b\u0438 \u00b10,25%. \u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0438\u043d\u043e-\u0440\u043e\u0434\u0438\u0435\u0432\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u0443 \u043e\u0442 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432 \u0431\u043e\u0440\u0430, \u0444\u043e\u0441\u0444\u043e\u0440\u0430 \u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0432 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430\u0445 \u2014 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0438 \u0431\u044b \u043a \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0447\u0430\u0441\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f.<\/p>\n<hr \/>\n<p>\u0421\u0441\u044b\u043b\u043a\u0438:<\/p>\n<div class=\"footnotes\">\n<hr \/>\n<ol>\n<li id=\"fn:1\">\n<p>\u041a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0417\u0435\u0435\u0431\u0435\u043a\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442 \u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u043d\u0443 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043f\u0430\u0434\u0430 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 \u043d\u0430 \u0441\u0442\u044b\u043a\u0435 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b, \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440\u044b \u0432 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0435 \u0441\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445.<a href=\"#fnref1:1\" rev=\"footnote\" class=\"footnote-backref\">\u21a9<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li id=\"fn:2\">\n<p>\u041c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044f \u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u2014 \u044d\u0442\u043e \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0438\u0437\u0433\u0438\u0431\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0433\u0438\u0431\u0443 \u0438 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a \u043f\u0440\u043e\u0433\u043d\u043e\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u043e\u0433\u0438\u0431\u0430 \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431 \u043f\u043e\u0434 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0435\u0441\u0430.<a href=\"#fnref1:2\" rev=\"footnote\" class=\"footnote-backref\">\u21a9<\/a><\/p>\n<\/li>\n<li id=\"fn:3\">\n<p>\u041f\u043e\u0434 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u043d\u043e\u043c \u00ab\u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u043e\u043b\u00bb \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043a\u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u044b \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (Si-OH), \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0441 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0438 \u0432\u043e\u0434\u044b, \u0438 \u0438\u0445 \u043d\u0430\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c \u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c, \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u0443\u044e \u0440\u0435\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e \u0438 \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044e.<a href=\"#fnref1:3\" rev=\"footnote\" class=\"footnote-backref\">\u21a9<\/a><\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Semiconductor fabrication demands measurement precision that most industrial environments never encounter. When temperature deviates by even a few degrees, entire [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":2,"featured_media":11372,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"default","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[10],"tags":[72],"class_list":["post-11370","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blogs","tag-quartz-glass-tube"],"acf":[],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO Premium plugin v25.4 (Yoast SEO v28.1) - https:\/\/yoast.com\/product\/yoast-seo-premium-wordpress\/ -->\n<title>Quartz Thermocouple Tubes in Semiconductor Manufacturing | TOQUARTZ\u00ae<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Fused silica quartz thermocouple tubes deliver sub-50 ppb purity, 1100\u00b0C thermal stability, and full chemical inertness across diffusion, oxidation, and CVD semiconductor processes.\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/toquartz.com\/ru\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"ru_RU\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Quartz Thermocouple Tube Properties and Semiconductor Furnace Use\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"Fused silica quartz thermocouple tubes deliver sub-50 ppb purity, 1100\u00b0C thermal stability, and full chemical inertness across diffusion, oxidation, and CVD semiconductor processes.\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/toquartz.com\/ru\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"TOQUARTZ: Quartz Glass Solution\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2026-07-12T18:00:06+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Quartz-Thermocouple-Tubes-in-Semiconductor-Manufacturing.webp\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"900\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"600\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/webp\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"ECHO\u00a0YANG\u200b\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"ECHO\u00a0YANG\u200b\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"1 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\u0430\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/\"},\"author\":{\"name\":\"ECHO\u00a0YANG\u200b\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/64de60160e69ad73646f68c4a56a90d3\"},\"headline\":\"Quartz Thermocouple Tube Properties and Semiconductor Furnace Use\",\"datePublished\":\"2026-07-12T18:00:06+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/\"},\"wordCount\":5962,\"commentCount\":0,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2026\\\/02\\\/Quartz-Thermocouple-Tubes-in-Semiconductor-Manufacturing.webp\",\"keywords\":[\"quartz glass tube\"],\"articleSection\":[\"Blogs\"],\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"CommentAction\",\"name\":\"Comment\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/#respond\"]}]},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/\",\"name\":\"Quartz Thermocouple Tubes in Semiconductor Manufacturing | TOQUARTZ\u00ae\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2026\\\/02\\\/Quartz-Thermocouple-Tubes-in-Semiconductor-Manufacturing.webp\",\"datePublished\":\"2026-07-12T18:00:06+00:00\",\"description\":\"Fused silica quartz thermocouple tubes deliver sub-50 ppb purity, 1100\u00b0C thermal stability, and full chemical inertness across diffusion, oxidation, and CVD semiconductor processes.\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/#primaryimage\",\"url\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2026\\\/02\\\/Quartz-Thermocouple-Tubes-in-Semiconductor-Manufacturing.webp\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2026\\\/02\\\/Quartz-Thermocouple-Tubes-in-Semiconductor-Manufacturing.webp\",\"width\":900,\"height\":600,\"caption\":\"Quartz Thermocouple Tubes in Semiconductor Manufacturing\"},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\\\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"Home\",\"item\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"Blogs\",\"item\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/blogs\\\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":3,\"name\":\"Quartz Thermocouple Tube Properties and Semiconductor Furnace Use\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/#website\",\"url\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/\",\"name\":\"TOQUARTZ\",\"description\":\"\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"ru-RU\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/#organization\",\"name\":\"TOQUARTZ\",\"url\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"ru-RU\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/logo-2.png\",\"contentUrl\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/wp-content\\\/uploads\\\/2025\\\/02\\\/logo-2.png\",\"width\":583,\"height\":151,\"caption\":\"TOQUARTZ\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/#\\\/schema\\\/logo\\\/image\\\/\"}},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/#\\\/schema\\\/person\\\/64de60160e69ad73646f68c4a56a90d3\",\"name\":\"ECHO\u00a0YANG\u200b\",\"url\":\"https:\\\/\\\/toquartz.com\\\/ru\\\/author\\\/webadmin\\\/\"}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO Premium plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 | TOQUARTZ\u00ae","description":"\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u043e\u0439 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 50 ppb, \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e 1100 \u00b0C \u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0438 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445, \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438 CVD-\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/","og_locale":"ru_RU","og_type":"article","og_title":"Quartz Thermocouple Tube Properties and Semiconductor Furnace Use","og_description":"Fused silica quartz thermocouple tubes deliver sub-50 ppb purity, 1100\u00b0C thermal stability, and full chemical inertness across diffusion, oxidation, and CVD semiconductor processes.","og_url":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/","og_site_name":"TOQUARTZ: Quartz Glass Solution","article_published_time":"2026-07-12T18:00:06+00:00","og_image":[{"width":900,"height":600,"url":"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Quartz-Thermocouple-Tubes-in-Semiconductor-Manufacturing.webp","type":"image\/webp"}],"author":"ECHO\u00a0YANG\u200b","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"\u041d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0430\u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c":"ECHO\u00a0YANG\u200b","\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0434\u043b\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f":"1 \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442\u0430"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/"},"author":{"name":"ECHO\u00a0YANG\u200b","@id":"https:\/\/toquartz.com\/#\/schema\/person\/64de60160e69ad73646f68c4a56a90d3"},"headline":"Quartz Thermocouple Tube Properties and Semiconductor Furnace Use","datePublished":"2026-07-12T18:00:06+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/"},"wordCount":5962,"commentCount":0,"publisher":{"@id":"https:\/\/toquartz.com\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Quartz-Thermocouple-Tubes-in-Semiconductor-Manufacturing.webp","keywords":["quartz glass tube"],"articleSection":["Blogs"],"inLanguage":"ru-RU","potentialAction":[{"@type":"CommentAction","name":"Comment","target":["https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/#respond"]}]},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/","url":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/","name":"\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 | TOQUARTZ\u00ae","isPartOf":{"@id":"https:\/\/toquartz.com\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Quartz-Thermocouple-Tubes-in-Semiconductor-Manufacturing.webp","datePublished":"2026-07-12T18:00:06+00:00","description":"\u0422\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u043f\u0430\u0440 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u043e\u0439 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 50 ppb, \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e 1100 \u00b0C \u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0438 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445, \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438 CVD-\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/#breadcrumb"},"inLanguage":"ru-RU","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/#primaryimage","url":"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Quartz-Thermocouple-Tubes-in-Semiconductor-Manufacturing.webp","contentUrl":"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Quartz-Thermocouple-Tubes-in-Semiconductor-Manufacturing.webp","width":900,"height":600,"caption":"Quartz Thermocouple Tubes in Semiconductor Manufacturing"},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/toquartz.com\/quartz-thermocouple-tubes-in-semiconductor-manufacturing\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"Home","item":"https:\/\/toquartz.com\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"Blogs","item":"https:\/\/toquartz.com\/blogs\/"},{"@type":"ListItem","position":3,"name":"Quartz Thermocouple Tube Properties and Semiconductor Furnace Use"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/toquartz.com\/#website","url":"https:\/\/toquartz.com\/","name":"TOQUARTZ","description":"","publisher":{"@id":"https:\/\/toquartz.com\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/toquartz.com\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"ru-RU"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/toquartz.com\/#organization","name":"TOQUARTZ","url":"https:\/\/toquartz.com\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"ru-RU","@id":"https:\/\/toquartz.com\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/logo-2.png","contentUrl":"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/02\/logo-2.png","width":583,"height":151,"caption":"TOQUARTZ"},"image":{"@id":"https:\/\/toquartz.com\/#\/schema\/logo\/image\/"}},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/toquartz.com\/#\/schema\/person\/64de60160e69ad73646f68c4a56a90d3","name":"\u042d\u0425\u041e \u042f\u041d\u0413","url":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/author\/webadmin\/"}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/11370","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/2"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=11370"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/11370\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":11378,"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/11370\/revisions\/11378"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/11372"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=11370"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=11370"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/toquartz.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=11370"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}