![\"\u041f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u0430\u044f](\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Transparent-quartz-capillary-tube-for-UV-detection-laboratory-bench-analysis.webp\" "\\"\u041f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u0430\u044f")
<\/p>\n\u0411\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0439 \u0438 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u043e\u0432 \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043e\u043a \u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u044e\u0442 \u044d\u0442\u0438 \u0434\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u044b\u043c\u0438 - \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043e\u0448\u0438\u0431\u043a\u0430\u043c, \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0443 \u0438\u0437 \u0441\u0442\u0440\u043e\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0430\u0442\u0435 \u0440\u0435\u0441\u0443\u0440\u0441\u043e\u0432.<\/p>\n
\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438 \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u0443 \u0438 \u0442\u0443 \u0436\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u0443 (SiO\u2082), \u043d\u043e \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043a\u0430\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u044b\u0440\u044c\u044f, \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044e, \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u043c\u0443 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043b\u043a\u0443 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0443 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0412 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438, \u0442\u0430\u043a \u0447\u0442\u043e \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, \u0430 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.<\/p>\n
\u0420\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0432 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u044d\u0442\u0438\u043c\u0438 \u0434\u0432\u0443\u043c\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439. \u0420\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u044f \u0432 \u0423\u0424-\u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0438, \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u043c\u044b, \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432 \u0440\u044f\u0434\u0435 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0432 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0438\u043c\u044b, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d \u043d\u0435\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b. \u0412 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u0441\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438, \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u044f \u0441 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0438 \u0437\u0430\u043a\u0430\u043d\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430.<\/p>\n
<\/p>\n
\u041f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u044b\u0440\u044c\u044f - \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u043c\u0430\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f, \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f \u044d\u0442\u0438 \u0434\u0432\u0430 \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0442\u0440\u0443\u0431, \u0438 \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0444\u0430\u043a\u0442\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0432\u0441\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043e\u0448\u0438\u0431\u043a\u0438 \u0432 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f\u0445.<\/p>\n
\u041f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0438 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0430\u044e\u0442 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e SiO\u2082, \u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u043d\u0438 \u0432\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442 \u0432 \u044d\u0442\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e, \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b. \u0421\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0438\u0434\u0435\u043d\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u0432\u0438\u0434\u043e\u0432 \u0441\u044b\u0440\u044c\u044f, \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043e\u0449\u0443\u0442\u0438\u043c\u043e \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435, \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 - \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u0442\u0435\u0440\u0435\u0442\u044c \u043d\u0438\u043a\u0430\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n
\u041f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0432\u0438\u0434\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (\u03b1-SiO\u2082), \u0434\u043e\u0431\u044b\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437 \u043f\u0435\u0433\u043c\u0430\u0442\u0438\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0436\u0438\u043b \u0438 \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u0442\u0435\u0440\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c\u0443 \u043c\u0438\u0440\u0443. \u041f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0438\u043d\u0435\u0440\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u0443\u044e \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0443 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0434\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0435 \u0432\u044b\u0449\u0435\u043b\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0435\u043f\u0430\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u0438 \u0437\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0444\u0438\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435.<\/strong> - \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0439, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043d\u043e \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0437\u0430\u043f\u0435\u0440\u0442\u044b\u0445 \u0432 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0435 \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435.<\/p>\n \u041c\u0438\u043d\u0435\u0440\u0430\u043b \u0440\u0430\u0441\u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0441\u0432\u044b\u0448\u0435 1 700 \u00b0C \u0438 \u0432\u044b\u0442\u044f\u0433\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u0443\u044e \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043e\u043f\u0440\u0430\u0432\u043e\u043a. \u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0442\u044f\u0436\u043a\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0442 0,5 \u0434\u043e 5 \u043c\/\u043c\u0438\u043d \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0433\u043e \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438<\/strong>\u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0443\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0432\u044b\u0442\u044f\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432. \u041f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0438, \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0435\u0433\u043e \u0433\u0435\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430: \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f 10-50 ppm, \u0436\u0435\u043b\u0435\u0437\u0430 0,5-5 ppm \u0438 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0430 1-10 ppm - \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0435 \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u044b\u0440\u044c\u044f.<\/p>\n \u042d\u0442\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u043d\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/strong> \u041e\u043d\u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u044b \u0441 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u0430\u044f \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u0441 \u043c\u043e\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u043e \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b. \u042d\u0442\u043e \u0433\u0435\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043d\u0430\u0441\u043b\u0435\u0434\u0438\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u043e\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u043e\u0432.<\/p>\n \u041f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u043d\u0435 \u0434\u043e\u0431\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 - \u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c. \u0414\u0432\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 - \u043f\u043b\u0430\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043b\u0438\u0437 \u0442\u0435\u0442\u0440\u0430\u0445\u043b\u043e\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiCl\u2084) \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (CVD).<\/strong>\u041e\u0431\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0442 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438, \u043e\u0447\u0438\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 0,1 ppm. \u0422\u0430\u043a\u0430\u044f \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0438-\u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 \u0447\u0438\u0449\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u044b\u0440\u044c\u044f.<\/p>\n \u041f\u0440\u0438 \u043f\u043b\u0430\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043b\u0438\u0437\u0435 \u043f\u0430\u0440\u044b SiCl\u2084 \u0432\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u0441 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043f\u043b\u0430\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c, \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0447\u0435\u0433\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0430\u0436\u0430 SiO\u2082, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e. \u0421\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 OH \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0438 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438.<\/strong>\u0412 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439, \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u043a \u0438\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u044e, \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u041e\u041d (>800 ppm, \"\u043c\u043e\u043a\u0440\u044b\u0439\" \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441) \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u041e\u041d (<10 ppm, "\u0441\u0443\u0445\u043e\u0439" \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441). \u0422\u0430\u043a\u0430\u044f \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0433\u043e\u0432 \u0432 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430.<\/p>\n \u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0435\u0433\u043e \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 - \u044d\u0442\u043e \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f, \u0430 \u043d\u0435 \u0433\u0435\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043b\u043e\u0442\u0435\u0440\u0435\u044f.<\/strong> \u041e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f OH \u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043b\u043e\u043c\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0438 \u043a \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435, \u0441 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u043c \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446, \u0438 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u044d\u0442\u0430 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0431\u0438\u0440\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0430\u043c, \u0433\u0434\u0435 \u0432\u043e\u0441\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0435\u043c.<\/p>\n \u041d\u043e\u043c\u0435\u043d\u043a\u043b\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u0443\u0442\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \"\u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u043c\" \u0438 \"\u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u043c \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u043c\" \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0432\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435 \u043e\u0431\u044a\u044f\u0441\u043d\u0438\u043c\u043e\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435. ISO\/DIS 10629 \u0438 \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0448\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0441\u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0432\u0441\u0435 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430 SiO\u2082 \u043f\u043e \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u043c \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u044f\u043c<\/strong> \u043d\u0435 \u043e\u0431\u044f\u0437\u044b\u0432\u0430\u044f \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0438 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0441\u044b\u0440\u044c\u0435 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438. \u0412 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0432 1970-\u0445 \u0438 1980-\u0445 \u0433\u043e\u0434\u0430\u0445 \u043c\u0430\u0440\u043a\u0435\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u043a\u0440\u0435\u043f\u0438\u043b\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u043d \"\u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\" \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u043e\u0431\u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043b\u044e\u0431\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 SiO\u2082, \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e \u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u044b\u0440\u044c\u044f.<\/p>\n \u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0432 \u0441\u0432\u043e\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u043e\u0433\u0430\u0445 \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u043e\u0431\u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043a\u0430\u043a \"\u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u0430\", \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430\u0445, \u0433\u0434\u0435 \"\u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\" \u0432\u043e\u0441\u043f\u0440\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a \u043d\u0435\u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0441\u0442\u0438\u0436\u043d\u043e\u0435<\/strong>. \u041d\u0430 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u044b\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u044c, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430 \u043d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441 \u0441\u0435\u0440\u0442\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430 \u0441 \u0443\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f OH (ppm), \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 (ppm \u043f\u043e ICP-MS<\/a>1<\/a><\/sup>), \u0438 \u043c\u0430\u0440\u0448\u0440\u0443\u0442 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u0441\u044b\u0440\u044c\u044f. \u0412 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u043d \"\u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u0430\u044f \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u0430\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\" \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0438\u043a\u0435\u0442\u043a\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0432\u0443\u0441\u043c\u044b\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0438.<\/p>\n \u0427\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 - \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, \u044d\u0442\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0432\u0441\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u044f \u0432 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u0445, \u043e\u0431\u0441\u0443\u0436\u0434\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435, \u043e\u0442 \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0441\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u0430 \u0434\u0435\u0432\u0438\u0442\u0440\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n \u041a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u0432 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0435 \u0438 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 OH \u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u0430. \u041e\u043d\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u044f\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u044b\u0440\u044c\u044f \u0438 \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u043a\u0430\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b. \u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u043b\u044e\u0431\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438.<\/p>\n \u041d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438<\/a> \u041a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043d\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0442 10 \u0434\u043e 60 ppm<\/strong>\u0436\u0435\u043b\u0435\u0437\u043e - \u043e\u0442 0,3 \u0434\u043e 8 ppm, \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d - \u043e\u0442 1 \u0434\u043e 12 ppm, \u043a\u0430\u043b\u0438\u0439 - \u043e\u0442 5 \u0434\u043e 30 ppm. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0430, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0437 \u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u043b\u044c\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043d\u043e\u0440\u0432\u0435\u0436\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 lascas, \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044e\u0442 \u044d\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043e\u043a, \u043d\u043e \u043d\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 0,1 ppm, \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u044b\u0440\u044c\u044f.<\/p>\n \u042d\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0438 \u043d\u0435\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u044b \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0435. \u041d\u0430 \u0440\u0430\u043d\u043d\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u044f\u0445 \u043e\u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e\u0432\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0436\u0435\u043b\u0435\u0437\u043e \u0438 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441\u043a\u0430\u043f\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\u0445 \u0437\u0435\u0440\u0435\u043d<\/strong>\u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u044f \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u044b \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043a \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0441\u043b\u0430\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u043b\u0438\u043d\u044b \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0432 \u0423\u0424-\u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435. \u0410\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439, \u0438\u0437\u043e\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u043e \u0437\u0430\u043c\u0435\u0449\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0442\u0438, \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0441\u0432\u044f\u0437\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0435\u0442\u0438 \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0440\u0430\u0437\u043c\u044f\u0433\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043e\u0441\u043f\u0440\u0438\u0438\u043c\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u043c \u043e\u043a\u0440\u0430\u0441\u043a\u0438, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, - \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0435 \u0432 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 \u0441\u0438\u043d\u0445\u0440\u043e\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0423\u0424-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c.<\/p>\n \u041f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0439 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u043e\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0438 \u043a \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0438.<\/strong> \u0432 \u0423\u0424-\u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043e \u0441 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0433\u0435\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430. \u0414\u0432\u0435 \u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e \u043c\u0430\u0440\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0440\u043a\u0438 \u043e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438 \u0442\u043e\u0433\u043e \u0436\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u0430 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 5-15% \u043f\u043e \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u0438 200 \u043d\u043c, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043e\u043d\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u044b \u0438\u0437 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0439 \u0434\u043e\u0431\u044b\u0447\u0438 - \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u0432\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043e\u0448\u0438\u0431\u043a\u0443 \u0432 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n \u0421\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043a\u0441\u0438\u043b\u0430 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u043c \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435 \u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u0432 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u043c \u0441\u043c\u044b\u0441\u043b\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u0432\u0430 - \u044d\u0442\u043e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430<\/strong>. \u041f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c OH, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043b\u0438\u0437\u0430 \u0432 \u043f\u043b\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438, \u043d\u0430\u0441\u044b\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u0432\u043e\u0434\u043e\u0439, \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 800-1 200 ppm OH. \u0421\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c OH, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c CVD \u0438\u043b\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u043e\u0439 SiCl\u2084, \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 10 ppm, \u0430 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0430 \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c OH, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0435 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u044c \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 1 ppm.<\/p>\n \u0413\u0440\u0443\u043f\u043f\u0430 OH \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 2,73 \u043c\u043a\u043c \u0438 3,5 \u043c\u043a\u043c \u0441 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0438\u043d\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 50 \u0438 5 \u043b-\u043c\u043e\u043b\u044c-\u00b9-\u0441\u043c\u00b9 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e.<\/strong>\u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u041e\u041d \u043d\u0435\u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0431\u043b\u0438\u0436\u043d\u0435\u0439 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u043a\u0440\u0430\u0441\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0445\u043e\u0442\u044f \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0423\u0424-\u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430. \u041d\u0430\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432, \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u041e\u041d \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 2-4 \u043c\u043a\u043c \u0441 \u0437\u0430\u0442\u0443\u0445\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 1 \u0434\u0411\/\u043c \u0438 \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043d \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 Er:YAG-\u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u0430 \u0438 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432 FTIR.<\/p>\n \u041d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e \u043d\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0438.<\/strong> \u0421\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 OH \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c \u0430\u0440\u0442\u0435\u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 \u0434\u043e\u0431\u044b\u0447\u0438 \u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0438 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0442 150 \u0434\u043e 400 ppm \u0432 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0440\u0442\u0430\u0445 - \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043d\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u043d\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0423\u0424-, \u043d\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0418\u041a-\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0432 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u0437\u043e\u043d\u0443, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043d\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c OH \u0432 \u0438\u0445 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043a\u043d\u0430\u0445.<\/p>\n \u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442 SEMI F47 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0447\u0430\u0445 \u0438 CVD-\u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442\u044c \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 20 ppm \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0436\u0435\u043b\u0435\u0437\u043e \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 1 ppm, \u0430 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439 - \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 5 ppm. \u041a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u0438\u043c \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0432\u044b\u043c \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c<\/strong>\u043d\u043e \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0438\u0437 \u0438\u0437\u0431\u0440\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0435\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441 \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437\u043e\u043c ICP-MS. \u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0435\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 0,5 ppm \u0438 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0443 SEMI F47 \u0441\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441\u043e\u043c.<\/p>\n \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0444\u043e\u0440\u0435\u0437\u0430, \u0432 \u0442\u043e\u043c \u0447\u0438\u0441\u043b\u0435 Agilent, Beckman Coulter \u0438 Waters, \u0443\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u044b \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430. \u042d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043e\u0441\u043c\u043e\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a (\u042d\u041e\u041f) \u0432 \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u0435 \u041a\u042d \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u043e\u043b\u0430<\/strong>, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0432 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u0445 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u043a\u0430\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434\u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u043c \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u043c - \u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0437\u0430\u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0432 \u0440\u0435\u0446\u0435\u043d\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043b\u0438\u0442\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043f\u043e \u041a\u042d \u043a\u0430\u043a \"\u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 EOF, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u043c\" \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f\u0445 \u0432\u043f\u043b\u043e\u0442\u044c \u0434\u043e 20 ppm \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n \u041f\u043e\u0440\u043e\u0433 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0439.<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0444\u0438\u043e\u043b\u0435\u0442\u0430, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 193 \u043d\u043c, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0441 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0436\u0435\u043b\u0435\u0437\u0430 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 0,05 ppm \u0438 \u0442\u0438\u0442\u0430\u043d\u0430 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 0,01 ppm, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e-\u0438\u043d\u0434\u0443\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0433\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f (\u0420\u0418\u0410) \u0432 ArF. \u044d\u043a\u0441\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440<\/a>2<\/a><\/sup> \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435. \u0412 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043d\u0435 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043d\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430, \u0441\u0435\u0440\u0442\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0443\u0442\u044c \u043a \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044e \u0438 \u043f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043e\u043d \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h3>\n
\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438 \u0434\u043e \u0441\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0440 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u043d\u0430 \u043a\u0430\u043a \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u044b\u0435<\/h3>\n
\n\u0423\u0440\u043e\u0432\u043d\u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438\u0437 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0430<\/h2>\n
\u041f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439, \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u043c \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u043c \u0442\u0440\u0443\u0431\u043a\u0430\u043c<\/h3>\n
\u041a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f OH \u043a\u0430\u043a \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0432 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e\u043c \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435<\/h3>\n
\u041f\u043e\u0440\u043e\u0433\u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438<\/h3>\n
\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u043f\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0430\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/h4>\n
![\"\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f](\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/High-purity-quartz-capillary-tube-for-capillary-electrophoresis-separation-systems.webp\" "\\"\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f")
<\/p>\n![\"\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u0430\u044f](\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Low-OH-quartz-capillary-tube-for-optical-breadboard-laser-transmission-testing.webp\" "\\"\u041a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u0430\u044f")
<\/p>\n![\"\u0422\u043e\u043d\u043a\u043e\u0441\u0442\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f](\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Fine-bore-quartz-capillary-tube-for-spectroscopic-analytical-instrumentation.webp\" "\\"\u0422\u043e\u043d\u043a\u043e\u0441\u0442\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f")
<\/p>\n![\"\u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f](\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2026\/02\/Precision-quartz-capillary-tube-for-gas-chromatography-instrument-sample-introduction.webp\" "\\"\u041f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f")
<\/p>\n