{"id":11055,"date":"2026-01-16T02:00:58","date_gmt":"2026-01-15T18:00:58","guid":{"rendered":"https:\/\/toquartz.com\/?p=11055"},"modified":"2025-10-22T11:39:02","modified_gmt":"2025-10-22T03:39:02","slug":"uv-quartz-disc-purity-standards-deep-uv-spectroscopy","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/toquartz.com\/de\/uv-quartz-disc-purity-standards-deep-uv-spectroscopy\/","title":{"rendered":"Welcher Reinheitsgrad gew\u00e4hrleistet eine optimale UV-Durchl\u00e4ssigkeit in Quarzscheiben unter 200 nm?"},"content":{"rendered":"<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-large\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"400\" src=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/5427d8d5f407409c80aae4d414adc448.jpg\" alt=\"Welcher Reinheitsgrad gew\u00e4hrleistet eine optimale UV-Durchl\u00e4ssigkeit in Quarzscheiben unter 200 nm?\" class=\"wp-image-11052\" srcset=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/5427d8d5f407409c80aae4d414adc448.jpg 800w, https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/5427d8d5f407409c80aae4d414adc448-300x150.jpg 300w, https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/5427d8d5f407409c80aae4d414adc448-768x384.jpg 768w, https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/5427d8d5f407409c80aae4d414adc448-18x9.jpg 18w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><figcaption class=\"wp-element-caption\"><\/figcaption><\/figure>\n\n\n<p>Die Reinheit der UV-Durchl\u00e4ssigkeit von Quarzscheiben spielt eine entscheidende Rolle bei Anwendungen im tiefen Ultraviolettbereich. F\u00fcr eine optimale Leistung unterhalb von 200 nm muss uv-geschmolzenes Quarzglas einen Mindestwert von 99,995% Quarzglas mit weniger als 5 ppm metallischen Verunreinigungen erreichen. Selbst winzige Mengen an Chrom oder Kupfer k\u00f6nnen erhebliche Absorptionsverluste verursachen, so dass strenge elementspezifische Kontrollen unerl\u00e4sslich sind. Die Wissenschaftler w\u00e4hlen die Materialien f\u00fcr optische Fensterscheiben auf der Grundlage dieser Reinheitsstandards aus, um hohe \u00dcbertragungsraten im tiefen UV-Bereich zu gew\u00e4hrleisten.<\/p>\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Wichtigste Erkenntnisse<\/h2>\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><p>Quarzscheiben m\u00fcssen eine Reinheit von mindestens 99,995% SiO\u2082 und weniger als 5 ppm metallische Verunreinigungen aufweisen, um eine optimale UV-Transmission unter 200 nm zu gew\u00e4hrleisten.<\/p><\/li><li><p>Selbst winzige Mengen an Verunreinigungen wie Chrom und Kupfer k\u00f6nnen die UV-Durchl\u00e4ssigkeit erheblich verringern, weshalb eine strenge Kontrolle unerl\u00e4sslich ist.<\/p><\/li><li><p>Die elektronische Bandl\u00fccke von Quarzglas erm\u00f6glicht eine UV-Lichtdurchl\u00e4ssigkeit bis zu 150 nm und \u00fcbertrifft damit herk\u00f6mmliches Glas.<\/p><\/li><li><p>Die Hersteller verwenden fortschrittliche Methoden wie ICP-MS und Spektrophotometrie, um die Reinheit und Leistung von Quarzscheiben zu \u00fcberpr\u00fcfen.<\/p><\/li><li><p>Die Aufrechterhaltung eines niedrigen OH-Gehalts in Quarzglas ist entscheidend f\u00fcr eine hohe UV-Durchl\u00e4ssigkeit und die Vermeidung von Absorptionsverlusten.<\/p><\/li>\n<\/ul>\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Was sind die Grundlagen der UV-Transmission unterhalb von 200 nm in der Quarzoptik?<\/h2>\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-large\"><img decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"400\" src=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/3fa2b595fec64d2dad53c6c1ab832280.jpg\" alt=\"Was sind die Grundlagen der UV-Transmission unterhalb von 200 nm in der Quarzoptik?\" class=\"wp-image-11053\" srcset=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/3fa2b595fec64d2dad53c6c1ab832280.jpg 800w, https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/3fa2b595fec64d2dad53c6c1ab832280-300x150.jpg 300w, https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/3fa2b595fec64d2dad53c6c1ab832280-768x384.jpg 768w, https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/3fa2b595fec64d2dad53c6c1ab832280-18x9.jpg 18w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><figcaption class=\"wp-element-caption\"><\/figcaption><\/figure>\n\n\n<p>Quarzscheiben spielen eine entscheidende Rolle bei Anwendungen im tiefen UV-Bereich, aber nicht alle Materialien k\u00f6nnen Licht unter 200 nm durchlassen. Das Verst\u00e4ndnis der physikalischen und chemischen Eigenschaften von Quarzglas hilft zu erkl\u00e4ren, warum es sich f\u00fcr diese anspruchsvollen Anwendungen besonders eignet. In diesem Abschnitt wird untersucht, warum optisches Quarzglas mit UV-Durchl\u00e4ssigkeit so gut im tiefen ultravioletten Bereich funktioniert.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Elektronische Bandl\u00fccke und UV-Transmissionsgrenzwerte in Quarzglas<\/h3>\n\n\n<p>Die elektronische Bandl\u00fccke von Quarzglas bildet die grundlegende Grenze f\u00fcr die UV-Durchl\u00e4ssigkeit. Quarzglas hat eine Bandl\u00fccke von etwa 8,3 eV, d. h. es kann UV-Licht bis zu einer Wellenl\u00e4nge von fast 150 nm durchlassen, bevor die Absorption stark ansteigt. Dank dieser Eigenschaft \u00fcbertrifft Quarzglas die Leistung von normalem Glas, das UV-Licht unter 300 nm blockiert.<\/p>\n\n\n<p>Die Bandl\u00fccke wirkt wie eine Barriere, die nur Photonen mit niedriger Energie passieren k\u00f6nnen, so dass Photonen mit h\u00f6herer Energie absorbiert werden. Daher erm\u00f6glicht Quarzglas Anwendungen, die tiefes UV-Licht erfordern, wie z. B. Spektroskopie und Fotolithografie.<\/p>\n\n\n<blockquote class=\"wp-block-quote is-layout-flow wp-block-quote-is-layout-flow\"><p><strong>Wichtige Punkte:<\/strong><\/p><ul><li><p><strong>Die 8,3 eV-Bandl\u00fccke von Quarzglas erm\u00f6glicht eine UV-Durchl\u00e4ssigkeit bis zu 150 nm.<\/strong><\/p><\/li><li><p><strong>Normales Glas absorbiert UV-Strahlen unterhalb von 300 nm, was seine Verwendung f\u00fcr Optiken im tiefen UV-Bereich einschr\u00e4nkt.<\/strong><\/p><\/li><li><p><strong>Die Bandl\u00fccke bestimmt direkt die UV-Grenze f\u00fcr Quarzscheiben.<\/strong><\/p><\/li><\/ul><\/blockquote>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Mechanismen der Photonenabsorption in Quarzglas bei tiefen UV-Wellenl\u00e4ngen<\/h3>\n\n\n<p>Die Absorption von Photonen in Quarzglas tritt auf, wenn die Energie der Photonen die Bandl\u00fccke \u00fcberschreitet und die Elektronen in h\u00f6here Energiezust\u00e4nde springen. Unterhalb von 200 nm k\u00f6nnen selbst kleine Verunreinigungen oder Defekte neue Energieniveaus einf\u00fchren, die die Absorption erh\u00f6hen und die Transmission verringern. Diese Empfindlichkeit macht die Reinheitskontrolle f\u00fcr leistungsstarke UV-Optiken unerl\u00e4sslich.<\/p>\n\n\n<p>Die Hersteller m\u00fcssen metallische Verunreinigungen auf ein Minimum reduzieren, da diese Elemente lokalisierte Zust\u00e4nde erzeugen, die tiefe UV-Photonen absorbieren. Das Vorhandensein von Eisen, Titan oder Chrom kann selbst bei geringen Konzentrationen zu erheblichen Transmissionsverlusten f\u00fchren.<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Mechanismus<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Ursache<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Auswirkung auf die UV-Transmission<\/strong><\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Bandl\u00fcckenabsorption<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Photonenenergie &gt; 8,3 eV<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Starker R\u00fcckgang der Transmission unterhalb von 150 nm<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Absorption von Verunreinigungen<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Metallische Ionen oder Defekte<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Erh\u00f6hte Absorption unterhalb von 200 nm<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Vorteile der amorphen Struktur f\u00fcr die UV-Transparenz von Quarzscheiben<\/h3>\n\n\n<p>Die amorphe Struktur von Quarzglas verleiht ihm einen einzigartigen Vorteil in Bezug auf die UV-Transparenz. Diese Struktur weist keine Korngrenzen auf und hat eine einheitliche atomare Anordnung, was die Lichtstreuung und -absorption verringert. Infolgedessen l\u00e4sst Quarzglas bei einer Dicke von 1 mm \u00fcber 90% UV- und sichtbares Licht durch.<\/p>\n\n\n<p>Kristallines Quarz hingegen enth\u00e4lt Korngrenzen und mehr Defekte, die das Licht streuen und die Transmission verringern. Die Gleichm\u00e4\u00dfigkeit von Quarzglas im atomaren Ma\u00dfstab gew\u00e4hrleistet eine gleichbleibende Leistung bei anspruchsvollen UV-Anwendungen.<\/p>\n\n\n<blockquote class=\"wp-block-quote is-layout-flow wp-block-quote-is-layout-flow\"><p><strong>Wichtige Punkte:<\/strong><\/p><ul><li><p><strong>Amorphes Quarzglas weist minimale Defekte und keine Korngrenzen auf.<\/strong><\/p><\/li><li><p><strong>Diese Struktur erm\u00f6glicht eine UV-Durchl\u00e4ssigkeit von \u00fcber 90% bei einer Dicke von 1 mm.<\/strong><\/p><\/li><li><p><strong>Kristallines Quarzglas l\u00e4sst aufgrund erh\u00f6hter Streuung und Absorption weniger UV durch.<\/strong><\/p><\/li><\/ul><\/blockquote>\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Wie verursachen metallische Verunreinigungen UV-Absorptionsverluste unterhalb von 200 nm?<\/h2>\n\n\n<figure class=\"wp-block-image aligncenter size-large\"><img decoding=\"async\" width=\"800\" height=\"400\" src=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/048984c2c05f4537aee2e5525f8db8f0.jpg\" alt=\"Wie verursachen metallische Verunreinigungen UV-Absorptionsverluste unterhalb von 200 nm?\" class=\"wp-image-11054\" srcset=\"https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/048984c2c05f4537aee2e5525f8db8f0.jpg 800w, https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/048984c2c05f4537aee2e5525f8db8f0-300x150.jpg 300w, https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/048984c2c05f4537aee2e5525f8db8f0-768x384.jpg 768w, https:\/\/toquartz.com\/wp-content\/uploads\/2025\/10\/048984c2c05f4537aee2e5525f8db8f0-18x9.jpg 18w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><figcaption class=\"wp-element-caption\"><\/figcaption><\/figure>\n\n\n<p>Metallische Verunreinigungen spielen eine wichtige Rolle bei der Verringerung der UV-Transmission in <a target=\"_self\" href=\"https:\/\/toquartz.com\/de\/clear-quartz-glass-plate\/\">Quarzscheiben<\/a>insbesondere bei Wellenl\u00e4ngen unter 200 nm. Diese Verunreinigungen f\u00fchren zu Defekten in der Kristallstruktur, die neue Energiezust\u00e4nde erzeugen, die UV-Photonen absorbieren. Das Verst\u00e4ndnis der spezifischen Auswirkungen der einzelnen Verunreinigungen hilft den Wissenschaftlern bei der Auswahl des richtigen Quarzglases f\u00fcr Anwendungen im tiefen UV-Bereich.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Charakteristische UV-Absorptionsbanden von Fe-, Ti- und Al-Verunreinigungen<\/h3>\n\n\n<p>Eisen, Titan und Aluminium erzeugen jeweils einzigartige Absorptionsbanden in Quarzglas. Diese Banden treten auf, weil Verunreinigungsatome das Silizium im Kristallgitter ersetzen und so die Wechselwirkung des Materials mit dem UV-Licht ver\u00e4ndern. Das Vorhandensein dieser Verunreinigungen f\u00fchrt zu sichtbaren Farbver\u00e4nderungen und erh\u00f6hter UV-Absorption.<\/p>\n\n\n<p><a target=\"_blank\" rel=\"nofollow\" href=\"https:\/\/www.nature.com\/articles\/s41598-020-71786-1\">Die folgende Tabelle zeigt, wie die einzelnen Verunreinigungen das Absorptionsspektrum beeinflussen<\/a> und F\u00e4rbung von Quarzglas:<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Verunreinigung<\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Merkmale der UV-Absorptionsbande<\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Eisen (Fe)<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Verwandt mit der Amethystf\u00e4rbung, insbesondere durch Fe3+-Ionen, die Si4+ ersetzen<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Titan (Ti)<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Beeinflusst das Absorptionsspektrum und tr\u00e4gt zu Farbschwankungen bei Quarzglas bei<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Aluminium (Al)<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Beeinflusst die F\u00e4rbung und die Absorptionseigenschaften von Quarzglas, oft in Verbindung mit Eisen und Titan<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<p>Diese Absorptionsbanden f\u00fchren direkt zu Transmissionsverlusten im tiefen UV-Bereich. Je mehr Verunreinigungen vorhanden sind, desto gr\u00f6\u00dfer ist der Verlust.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Berechnung des \u00dcbertragungsverlustes aus den Konzentrationen metallischer Verunreinigungen<\/h3>\n\n\n<p>Wissenschaftler k\u00f6nnen den UV-Transmissionsverlust absch\u00e4tzen, indem sie die Konzentration von Verunreinigungen in Quarzglas messen. Jede Verunreinigung hat einen bekannten Extinktionskoeffizienten, der beschreibt, wie stark sie UV-Licht absorbiert. Durch Anwendung des Beer-Lambert-Gesetzes k\u00f6nnen sie vorhersagen, wie viel Licht bei bestimmten Wellenl\u00e4ngen verloren geht.<\/p>\n\n\n<p>So kann beispielsweise eine Quarzscheibe mit 1 ppm Eisen bei 190 nm bis zu 3% an Transmission verlieren. Titan und Aluminium haben \u00e4hnliche Auswirkungen, aber ihre Wirkung h\u00e4ngt von ihrer Konzentration und der Wellenl\u00e4nge ab. Die genaue Messung von Verunreinigungen erm\u00f6glicht es den Herstellern, die Qualit\u00e4t zu kontrollieren und eine hohe UV-Leistung zu gew\u00e4hrleisten.<\/p>\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><p><strong>Wichtige Punkte:<\/strong><\/p><ul><li><p><strong>Der \u00dcbertragungsverlust nimmt mit h\u00f6heren Verunreinigungskonzentrationen zu.<\/strong><\/p><\/li><li><p><strong>Das Beer-Lambert-Gesetz hilft bei der Vorhersage der UV-Absorption in Quarzglas.<\/strong><\/p><\/li><li><p><strong>Die pr\u00e4zise Kontrolle von Verunreinigungen gew\u00e4hrleistet eine zuverl\u00e4ssige Leistung im tiefen UV-Bereich.<\/strong><\/p><\/li><\/ul><\/li>\n<\/ul>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Auswirkungen von \u00dcbergangsmetallen auf die tiefe UV-Absorption in Quarzglas<\/h3>\n\n\n<p>\u00dcbergangsmetalle wie Eisen und Titan haben eine viel st\u00e4rkere Wirkung auf die UV-Absorption als andere Verunreinigungen. Diese Metalle erzeugen lokalisierte Energiezust\u00e4nde, die Photonen mit Wellenl\u00e4ngen unter 200 nm absorbieren, die reines Quarzglas normalerweise durchlassen w\u00fcrde. Das Vorhandensein dieser Metalle kann die UV-Durchl\u00e4ssigkeit um mehrere Prozent verringern, selbst bei sehr geringen Konzentrationen.<\/p>\n\n\n<p>Wissenschaftliche Studien zeigen, dass metallische Verunreinigungen wie Al und Fe in die <a target=\"_blank\" rel=\"nofollow\" href=\"https:\/\/pmc.ncbi.nlm.nih.gov\/articles\/PMC11181150\/\">Defekte in den Kristallgittern<\/a>. Diese Defekte erm\u00f6glichen es dem Quarz, UV-Licht bei Wellenl\u00e4ngen zu absorbieren, die reines SiO2 aufgrund seiner gro\u00dfen optischen Bandl\u00fccke nicht absorbieren kann. Diese Absorption f\u00fchrt zu einem erheblichen Transmissionsverlust bei Anwendungen im tiefen UV-Bereich.<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>\u00dcbergangsmetall<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Erzeugt Defekte<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Absorbiert UV unter 200nm<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Verursacht \u00dcbertragungsverluste<\/strong><\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Eisen (Fe)<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Ja<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Ja<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Ja<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Titan (Ti)<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Ja<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Ja<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Ja<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<p>\u00dcbergangsmetalle sind nach wie vor die wichtigsten Verunreinigungen, die f\u00fcr eine optimale UV-Durchl\u00e4ssigkeit von Quarzglas kontrolliert werden m\u00fcssen.<\/p>\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Welche kritischen Reinheitsgrade von Siliziumdioxid minimieren den \u00dcbertragungsverlust bei Anwendungen im Sub-200nm-Bereich?<\/h2>\n\n\n<p>Der Reinheitsgrad der UV-Durchl\u00e4ssigkeit von Quarzscheiben bestimmt direkt, wie viel tiefes UV-Licht durch eine optische Fensterscheibe hindurchgeht. Die Wahl des richtigen Reinheitsgrades f\u00fcr Quarzglas gew\u00e4hrleistet eine hohe Durchl\u00e4ssigkeit und zuverl\u00e4ssige Leistung in der Spektroskopie und Fotolithografie. In diesem Abschnitt wird erl\u00e4utert, welche Reinheitsgrenzwerte und \u00dcberpr\u00fcfungsmethoden die besten Ergebnisse unterhalb von 200 nm garantieren.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">ICP-MS-Analyse und Methoden zur \u00dcberpr\u00fcfung des optischen Reinheitsgrads<\/h3>\n\n\n<p>Die Hersteller verwenden die ICP-MS-Analyse zur Messung von Spurenverunreinigungen in Quarzglas, um die optische Qualit\u00e4t von Quarzscheiben zu \u00fcberpr\u00fcfen. Mit dieser Methode werden metallische Elemente in sehr geringen Konzentrationen, oft unter 1 ppm, nachgewiesen, wodurch sichergestellt wird, dass das Material die strengen Reinheitsanforderungen f\u00fcr eine hohe Lichtdurchl\u00e4ssigkeit erf\u00fcllt. Die genaue Messung von Verunreinigungen unterst\u00fctzt die Herstellung von Materialien f\u00fcr optische Fensterscheiben mit gleichbleibender Leistung.<\/p>\n\n\n<p>Die ICP-MS-Ergebnisse zeigen die Konzentration der einzelnen Verunreinigungen wie Eisen, Titan und Aluminium, die die Reinheit der UV-Durchl\u00e4ssigkeit von Quarzscheiben beeintr\u00e4chtigen k\u00f6nnen. Die spektrophotometrische Pr\u00fcfung best\u00e4tigt dann die tats\u00e4chliche UV-Durchl\u00e4ssigkeit, indem gemessen wird, wie viel Licht bei bestimmten Wellenl\u00e4ngen durch die Scheibe dringt. Diese beiden Methoden zusammen ergeben ein vollst\u00e4ndiges Bild der Materialqualit\u00e4t.<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Pr\u00fcfverfahren<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Was es misst<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Warum es wichtig ist<\/strong><\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>ICP-MS<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Metallische Verunreinigungen im Spurenbereich<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Gew\u00e4hrleistet Reinheit f\u00fcr hohe Durchl\u00e4ssigkeit<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Spektralphotometrie<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>UV-Transmission in Prozent<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Best\u00e4tigt die Leistung der optischen Fensterfolie<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Kosten-Leistungs-Verh\u00e4ltnis bei der Auswahl der Quarzscheibenreinheit<\/h3>\n\n\n<p>Die Reinheit der UV-Durchl\u00e4ssigkeit von Quarzscheiben verbessert sich mit abnehmendem Verunreinigungsgrad, aber die Kosten f\u00fcr Quarzglas steigen bei den h\u00f6chsten Qualit\u00e4ten stark an. F\u00fcr Anwendungen unter 190 nm empfehlen die Hersteller \u226599.995% SiO\u2082 und weniger als 5 ppm Gesamtmetalle, w\u00e4hrend f\u00fcr Anwendungen von 190-200 nm \u226599.985% SiO\u2082 und bis zu 10 ppm Metalle verwendet werden k\u00f6nnen. Diese Ausgewogenheit erm\u00f6glicht es den Nutzern, die richtige optische Fensterfolie f\u00fcr ihre Bed\u00fcrfnisse auszuw\u00e4hlen, ohne zu viel Geld auszugeben.<\/p>\n\n\n<p>In der folgenden Tabelle sind die praktischen Reinheitsschwellenwerte f\u00fcr verschiedene UV-Bereiche und ihre Auswirkungen auf die Leistung aufgef\u00fchrt:<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Verunreinigung Typ<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Schwellenwerte f\u00fcr &lt; 190nm<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Schwellenwerte f\u00fcr 190-200nm<\/strong><\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>SiO\u2082 Reinheit<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>\u2265 99.995%<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>\u2265 99.985%<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Metalle insgesamt<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 5 ppm<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 10 ppm<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Fe<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 3 ppm<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 5 ppm<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Ti<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 1 ppm<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 3 ppm<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Al<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 3 ppm<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 5 ppm<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<p>Die Wahl des richtigen Reinheitsgrades gew\u00e4hrleistet eine hohe Durchl\u00e4ssigkeit bei gleichzeitig \u00fcberschaubaren Kosten f\u00fcr jede Anwendung optischer Fensterfolien.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Anforderungen an den OH-Gehalt f\u00fcr hochreine UV-Spektroskopieanwendungen<\/h3>\n\n\n<p>Das Vorhandensein von Hydroxylgruppen (OH) in Quarzglas kann die Reinheit der UV-Durchl\u00e4ssigkeit von Quarzscheiben verringern, insbesondere unterhalb von 200 nm. OH-Gruppen absorbieren UV-Licht und erh\u00f6hen die Gesamtabsorption, wodurch die f\u00fcr eine genaue Spektroskopie erforderliche hohe Durchl\u00e4ssigkeit verringert wird. Die Hersteller kontrollieren den OH-Gehalt, um die Leistung der einzelnen optischen Fensterscheiben zu erhalten.<\/p>\n\n\n<p>Quarzscheiben mit einem OH-Gehalt von weniger als 10 ppm werden f\u00fcr hochreine Anwendungen bevorzugt, da sie die Absorption minimieren und eine pr\u00e4zise Spektralanalyse erm\u00f6glichen. H\u00f6here OH-Gehalte k\u00f6nnen zu Entglasung f\u00fchren und sowohl die Integrit\u00e4t als auch die Genauigkeit der optischen Fensterscheibe beeintr\u00e4chtigen. In der folgenden Tabelle sind die empfohlenen Grenzwerte f\u00fcr den OH-Gehalt und ihre Auswirkungen zusammengefasst:<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>OH Inhaltsebene<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Empfehlung<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Auswirkungen auf die Leistung<\/strong><\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Weniger als 10 ppm<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Bevorzugt f\u00fcr hochreine Anwendungen<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Minimiert Absorptionseffekte und unterst\u00fctzt eine genaue Spektralanalyse<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>H\u00f6here Ebenen<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Nicht empfohlen<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Beschleunigt die Entglasung und beeintr\u00e4chtigt die Integrit\u00e4t der R\u00f6hrchen und die analytische Genauigkeit<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<p>Der niedrige OH-Gehalt in Quarzglas gew\u00e4hrleistet, dass die UV-Durchl\u00e4ssigkeit der Quarzscheiben f\u00fcr anspruchsvolle Anwendungen in der Spektroskopie und f\u00fcr optische Fensterscheiben hoch bleibt.<\/p>\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Wie beeinflussen Spurenelemente die optische Leistung im Sub-200nm-Bereich \u00fcber einfache Reinheitsmetriken hinaus?<\/h2>\n\n\n<p>Spurenelemente k\u00f6nnen das Verhalten von Quarzscheiben bei Anwendungen im tiefen UV-Bereich drastisch ver\u00e4ndern. Wissenschaftler untersuchen diese Elemente, weil sie die optische Leistung auf eine Weise beeinflussen, die \u00fcber einfache Reinheitszahlen hinausgeht. Das Wissen um die Wirkung der einzelnen Spurenelemente hilft den Anwendern bei der Auswahl von Quarzglas, das die strengen Anforderungen an die Transmission im Sub-200nm-Bereich erf\u00fcllt.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Auswirkungen der unterschiedlichen UV-Absorption von Chrom- und Kupferverunreinigungen<\/h3>\n\n\n<p>Chrom und Kupfer fallen als Spurenelemente auf, die eine starke UV-Absorption in Quarzglas verursachen. Diese Metalle erzeugen intensive Absorptionsbanden in der N\u00e4he von 190 nm und 185 nm, die die optische Leistung selbst bei Konzentrationen unter 1 ppm verringern k\u00f6nnen. Die Forscher fanden heraus, dass Chrom in einer Konzentration von 0,5 ppm die Transmission bei 190 nm um bis zu 4% verringern kann.<\/p>\n\n\n<p>Auch Kupfer hat eine erhebliche Wirkung, mit Absorptionsstreifen, die bis in den tiefen UV-Bereich reichen. Beide Elemente interagieren mit der Siliziumdioxidmatrix und bilden lokalisierte Energiezust\u00e4nde, die UV-Photonen einfangen. Dieser Prozess f\u00fchrt bei hochpr\u00e4zisen Anwendungen zu messbaren Transmissionsverlusten.<\/p>\n\n\n<blockquote class=\"wp-block-quote is-layout-flow wp-block-quote-is-layout-flow\"><p><strong>Wichtige Punkte:<\/strong><\/p><ul><li><p>Chrom und Kupfer verursachen schon bei sehr geringen Konzentrationen eine starke UV-Absorption.<\/p><\/li><li><p>Diese Spurenelemente k\u00f6nnen die optische Leistung um mehrere Prozent verringern.<\/p><\/li><li><p>Quarzglas mit kontrollierten Spurenmetallen unterst\u00fctzt eine bessere UV-Durchl\u00e4ssigkeit.<\/p><\/li><\/ul><\/blockquote>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Elementspezifische Verunreinigungsgrenzwerte f\u00fcr Deep-UV-Quarzanwendungen<\/h3>\n\n\n<p>Die Festlegung strenger Grenzwerte f\u00fcr jedes Spurenelement tr\u00e4gt dazu bei, die hohe optische Leistung von Quarzscheiben zu erhalten. Die Hersteller verwenden Daten aus ICP-MS-Analysen, um festzulegen, welche Werte f\u00fcr die Arbeit im tiefen UV-Bereich akzeptabel sind. Sie empfehlen zum Beispiel, Chrom unter 0,5 ppm und Kupfer unter 1 ppm zu halten, um eine \u00fcberm\u00e4\u00dfige Absorption zu vermeiden.<\/p>\n\n\n<p>Elementspezifische Grenzwerte erm\u00f6glichen es den Nutzern, die problematischsten Verunreinigungen gezielt zu behandeln. Dieser Ansatz stellt sicher, dass Quarzglas die Anforderungen der Spektroskopie und der Fotolithografie erf\u00fcllt. Wissenschaftler verlassen sich auf diese Grenzwerte, um vorherzusagen, wie eine Quarzscheibe in anspruchsvollen Umgebungen funktionieren wird.<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Element<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Empfohlener Grenzwert (ppm)<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Auswirkungen auf die optische Leistung<\/strong><\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Chrom<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 0.5<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Verhindert starke Absorption bei 190nm<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Kupfer<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 1<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Reduziert \u00dcbertragungsverluste bei 185nm<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Eisen<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 2<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Minimiert die UV-Absorption<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<p>Die Hersteller verwenden diese Grenzwerte als Richtschnur f\u00fcr die Produktion und Qualit\u00e4tskontrolle von tiefen UV-Quarzscheiben.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Beitr\u00e4ge der Elemente der Seltenen Erden zu den UV-Vis-Absorptionsspektren<\/h3>\n\n\n<p>Seltene Erden wie Cer und Neodym k\u00f6nnen die optische Leistung beeinflussen, aber ihre Auswirkungen sind in der Regel weniger gravierend als die der \u00dcbergangsmetalle. Diese Elemente erzeugen scharfe Absorptionslinien im UV-Spektrum, die Messungen in empfindlichen Anwendungen beeintr\u00e4chtigen k\u00f6nnen. Wissenschaftler \u00fcberwachen den Gehalt an seltenen Erden, um sicherzustellen, dass Quarzglas f\u00fcr die Spektroskopie geeignet bleibt.<\/p>\n\n\n<p>Die meisten hochreinen Quarzgl\u00e4ser enthalten weniger als 0,5 ppm an Seltenen Erden. Diese niedrige Konzentration h\u00e4lt die Absorption minimal und unterst\u00fctzt eine zuverl\u00e4ssige optische Leistung. Forscher verwenden die Spektralphotometrie, um unerw\u00fcnschte Absorptionsmerkmale festzustellen.<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Seltene Erde Element<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Typische Konzentration (ppm)<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Auswirkungen auf die UV-Visuelle Absorption<\/strong><\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Cerium<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 0.5<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Geringe scharfe Absorptionslinien<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Neodym<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 0.5<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Minimale Auswirkung auf die optische Leistung<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Praseodym<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 0.5<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Vernachl\u00e4ssigbare Auswirkungen<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<p>Die sorgf\u00e4ltige Kontrolle des Gehalts an Seltenen Erden tr\u00e4gt dazu bei, die hohen Standards aufrechtzuerhalten, die f\u00fcr Anwendungen mit tiefem UV-Fused Silica erforderlich sind.<\/p>\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">Mit welchen optimierten Herstellungsverfahren lassen sich hochreine Quarzscheiben f\u00fcr Deep UV-Anwendungen herstellen?<\/h2>\n\n\n<p>Die Hersteller verwenden fortschrittliche Verfahren, um Quarzscheiben mit au\u00dfergew\u00f6hnlicher Reinheit f\u00fcr Anwendungen im tiefen UV-Bereich herzustellen. Jeder Produktionsschritt zielt darauf ab, die Verunreinigung zu minimieren und die optische Leistung zu maximieren. Diese optimierten Methoden stellen sicher, dass Quarzscheiben die strengen Standards f\u00fcr wissenschaftliche und industrielle Anwendungen erf\u00fcllen.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Dampfphasensynthese f\u00fcr h\u00f6chste Reinheit bei UV-Quarzscheiben<\/h3>\n\n\n<p>Die Dampfphasensynthese ist das f\u00fchrende Verfahren zur Herstellung hochreiner Quarzscheiben. Bei diesem Verfahren werden hochreine Siliziumverbindungen in einer kontrollierten Umgebung verwendet, um geschmolzenes Siliziumdioxid mit minimalen metallischen Verunreinigungen zu bilden. Das Ergebnis ist Quarz mit einem Reinheitsgrad, der \u00fcber dem von herk\u00f6mmlichen Schmelzverfahren liegt.<\/p>\n\n\n<p>Ingenieure bevorzugen die Dampfphasensynthese, weil sie durchweg Quarzscheiben mit einem Gehalt an Metallverunreinigungen unter 2 ppm liefert. Diese Scheiben weisen eine Transmission im fernen Ultraviolettbereich von \u00fcber 85% bei 185-200 nm auf und weisen eine optische Gleichm\u00e4\u00dfigkeit von mehr als 2\u00d710^-6 auf. Die Strahlungsbest\u00e4ndigkeit betr\u00e4gt mehr als 15 Jahre, so dass diese Scheiben auch bei langfristiger Verwendung zuverl\u00e4ssig sind.<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Charakteristisch<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Wert<\/strong><\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Gehalt an Metallverunreinigungen<\/strong><\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><a target=\"_blank\" rel=\"nofollow\" href=\"https:\/\/www.sciencedirect.com\/topics\/physics-and-astronomy\/vapor-phase\">&lt;2 ppm<\/a><\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>UV-Durchl\u00e4ssigkeit (185-200nm)<\/strong><\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>\u226585%<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Optische Einheitlichkeit<\/strong><\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Besser als 2\u00d710^-6<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Strahlungsresistenz<\/strong><\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Mehr als 15 Jahre<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<p>Die Dampfphasensynthese erm\u00f6glicht es den Herstellern, die hohen Anforderungen an optische Systeme im tiefen UV-Bereich zu erf\u00fcllen.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Reinraumkontrollen zur Verhinderung von Verunreinigungen bei der Herstellung von Discs<\/h3>\n\n\n<p>Reinraumkontrollen spielen eine wichtige Rolle bei der Aufrechterhaltung der Quarzreinheit w\u00e4hrend der Herstellung. Die Mitarbeiter arbeiten in Umgebungen mit strenger Luftfilterung und Partikel\u00fcberwachung, um eine Kontamination durch Staub und Metalle zu verhindern. Bei jedem Schritt, vom Schleifen bis zum Polieren, werden spezielle Ger\u00e4te und hochreine Chemikalien eingesetzt.<\/p>\n\n\n<p>Die Techniker folgen Protokollen, die die Verwendung von entionisiertem Wasser und nichtmetallischen Werkzeugen vorsehen. Diese Ma\u00dfnahmen verringern das Risiko der Einbringung von Verunreinigungen wie Aluminium, Eisen oder Natrium. Der Hei\u00dfchlorierungsprozess findet au\u00dferdem in einer <a target=\"_blank\" rel=\"nofollow\" href=\"https:\/\/www.ausimm.com\/publications\/conference-proceedings\/international-future-mining-conference-2024-proceedings\/the-challenges-of-producing-high-purity-quartz\/\">kontrollierte Atmosph\u00e4re, die eine fachkundige Handhabung erfordert<\/a> um eine Kontamination zu vermeiden.<\/p>\n\n\n<blockquote class=\"wp-block-quote is-layout-flow wp-block-quote-is-layout-flow\"><p><strong>Wichtige Punkte:<\/strong><\/p><ul><li><p>Reinraumkontrollen verhindern Kontaminationen beim Schleifen und Polieren.<\/p><\/li><li><p>Die Arbeiter verwenden hochreine Chemikalien und nichtmetallische Werkzeuge.<\/p><\/li><li><p>Kontrollierte Atmosph\u00e4ren sch\u00fctzen Quarzscheiben vor kritischen Verunreinigungen.<\/p><\/li><\/ul><\/blockquote>\n\n\n<p>Strenge Reinraumpraktiken helfen den Herstellern, die hohe Reinheit zu erreichen, die f\u00fcr tiefe UV-Quarzscheiben erforderlich ist.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Kombinierte chemische und optische Pr\u00fcfung zur endg\u00fcltigen Reinheitspr\u00fcfung<\/h3>\n\n\n<p>Die Hersteller \u00fcberpr\u00fcfen die Reinheit der Quarzscheiben sowohl mit chemischen als auch mit optischen Tests. Mit der ICP-MS-Analyse werden metallische Verunreinigungen im Spurenbereich von weniger als 1 ppm nachgewiesen, wodurch best\u00e4tigt wird, dass die Scheiben den strengen Normen entsprechen. Spektrophotometrische Tests messen die UV-Durchl\u00e4ssigkeit und stellen sicher, dass jede Scheibe die erwartete Leistung in optischen Systemen erbringt.<\/p>\n\n\n<p>Qualit\u00e4tskontrollteams pr\u00fcfen mit Hilfe fortschrittlicher Schleif- und Poliertechniken, ob das Material gleichm\u00e4\u00dfig dick und die Oberfl\u00e4chen glatt sind. Das Laserschneiden sorgt f\u00fcr pr\u00e4zise Gr\u00f6\u00dfen, und die Kantengl\u00e4ttung verbessert die Sicherheit und Verwendbarkeit. Diese Schritte garantieren, dass jede Scheibe den Spezifikationen entspricht, die f\u00fcr tiefe UV-Anwendungen erforderlich sind.<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Pr\u00fcfverfahren<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Zweck<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Ergebnis<\/strong><\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>ICP-MS-Analyse<\/strong><\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Detektiert Spuren von Verunreinigungen<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Best\u00e4tigt die chemische Reinheit<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Spektralphotometrie<\/strong><\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Misst die UV-Transmission<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>\u00dcberpr\u00fcft die optische Leistung<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Pr\u00e4zise Endbearbeitung<\/strong><\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Sorgt f\u00fcr gleichm\u00e4\u00dfige Dicke und Kanten<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Entspricht den Anwendungsstandards<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<p>Durch kombinierte Tests wird sichergestellt, dass nur Quarzscheiben mit gepr\u00fcfter Reinheit und Leistung an wissenschaftliche und industrielle Anwender gelangen.<\/p>\n\n\n<p>Quarzscheiben f\u00fcr tiefe UV-Durchl\u00e4ssigkeit erfordern eine SiO\u2082-Reinheit von mindestens 99,995% und metallische Verunreinigungen von insgesamt unter 5 ppm. Die Hersteller m\u00fcssen sowohl die Materialqualit\u00e4t als auch die Verarbeitungsschritte kontrollieren, um eine hohe UV-Durchl\u00e4ssigkeit zu erreichen. Chemische und optische \u00dcberpr\u00fcfungen stellen sicher, dass jede Scheibe die strengen Normen erf\u00fcllt.<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Quarz Typ<\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>UV-Durchl\u00e4ssigkeit unterhalb von 265 nm<\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>UV-Durchl\u00e4ssigkeit bis zu 200 nm<\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Minderwertiger Quarz<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Erheblicher R\u00fcckgang<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>K.A.<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Quarz in optischer Qualit\u00e4t<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>\u00dcber 85%<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Ja<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<p>Die Auswahl von Quarzglas in optischer Qualit\u00e4t und die Einhaltung von Reinraumbedingungen helfen den Anwendern, bei anspruchsvollen Anwendungen zuverl\u00e4ssige Ergebnisse zu erzielen.<\/p>\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\">FAQ<\/h2>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Welcher Reinheitsgrad ist f\u00fcr die UV-Transmission unter 200 nm am besten geeignet?<\/h3>\n\n\n<p>Quarzscheiben mit mindestens 99,995% SiO\u2082 und weniger als 5 ppm metallischen Verunreinigungen bieten die beste UV-Durchl\u00e4ssigkeit unter 200 nm. Diese hohe Reinheit sorgt f\u00fcr minimale Absorption und zuverl\u00e4ssige Leistung in tiefen UV-Anwendungen.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Warum sind Spurenmetalle wie Chrom und Kupfer so wichtig?<\/h3>\n\n\n<p>Chrom und Kupfer absorbieren UV-Licht sehr stark, selbst bei Werten unter 1 ppm. Diese Metalle k\u00f6nnen die Transmission um mehrere Prozent verringern, so dass eine strenge Kontrolle f\u00fcr hochpr\u00e4zise optische Anwendungen unerl\u00e4sslich ist.<\/p>\n\n\n<blockquote class=\"wp-block-quote is-layout-flow wp-block-quote-is-layout-flow\"><p><strong>Wichtige Punkte:<\/strong><\/p><ul><li><p>Spurenelemente verursachen eine starke UV-Absorption.<\/p><\/li><li><p>Schon kleine Mengen senken die \u00dcbertragung.<\/p><\/li><li><p>Strenge Grenzwerte sch\u00fctzen die optische Leistung.<\/p><\/li><\/ul><\/blockquote>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Wie \u00fcberpr\u00fcfen die Hersteller die Reinheit von Quarzscheiben?<\/h3>\n\n\n<p>Die Hersteller verwenden ICP-MS zur Messung von Spurenmetallen und Spektrophotometrie zur Pr\u00fcfung der UV-Transmission. Diese Methoden best\u00e4tigen, dass jede Scheibe die strengen Reinheits- und Leistungsstandards f\u00fcr die Arbeit im tiefen UV-Bereich erf\u00fcllt.<\/p>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Welche Rolle spielt der OH-Gehalt in Quarzscheiben?<\/h3>\n\n\n<p>Ein niedriger OH-Gehalt, in der Regel unter 10 ppm, tr\u00e4gt zu einer hohen UV-Durchl\u00e4ssigkeit bei. Ein hoher OH-Gehalt erh\u00f6ht die Absorption und kann die Scheibe w\u00e4hrend des Gebrauchs besch\u00e4digen.<\/p>\n\n\n<figure class=\"wp-block-table\">\n<table class=\"has-fixed-layout\">\n<colgroup><col style=\"min-width: 25px;\"><col style=\"min-width: 25px;\"><\/colgroup><tbody><tr><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>OH Inhalt<\/strong><\/p><\/th><th colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p><strong>Auswirkung auf die UV-Transmission<\/strong><\/p><\/th><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&lt; 10 ppm<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Beh\u00e4lt eine hohe \u00dcbertragung bei<\/p><\/td><\/tr><tr><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>&gt; 10 ppm<\/p><\/td><td colspan=\"1\" rowspan=\"1\"><p>Erh\u00f6ht die Absorption<\/p><\/td><\/tr><\/tbody>\n<\/table>\n<\/figure>\n\n\n<h3 class=\"wp-block-heading\">Kann nat\u00fcrlicher Quarz f\u00fcr tiefe UV-Anwendungen verwendet werden?<\/h3>\n\n\n<p>Nat\u00fcrlicher Quarz enth\u00e4lt in der Regel h\u00f6here metallische Verunreinigungen. Dies verringert die UV-Durchl\u00e4ssigkeit unter 200 nm. Synthetisches Quarzglas wird f\u00fcr tiefes UV bevorzugt, da es eine viel h\u00f6here Reinheit und bessere optische Leistung bietet.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Technische Spezifikationen f\u00fcr UV-Anwendungen im Sub-200nm-Bereich: SiO\u2082-Reinheitsgrade, Grenzwerte f\u00fcr metallische Verunreinigungen (<5ppm), and ISO 12123 compliance for quartz spectroscopy 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